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Dokumentenidentifikation DE4202024A1 29.07.1993
Titel Isolierkühldose zum Abführen der Verlustwärme von Halbleiterbauelementen
Anmelder ABB Patent GmbH, 6800 Mannheim, DE
Erfinder Krämer, Wilhelm, Dipl.-Ing., 6902 Sandhausen, DE
DE-Anmeldedatum 25.01.1992
DE-Aktenzeichen 4202024
Offenlegungstag 29.07.1993
Veröffentlichungstag im Patentblatt 29.07.1993
IPC-Hauptklasse H01L 23/46
IPC-Nebenklasse F28D 21/00   H05K 7/20   
Zusammenfassung Es wird eine Isolierkühldose zum Abführen der Verlustwärme von Halbleiterbauelementen unter Verwendung einer elektrisch leitfähigen Kühlflüssigkeit vorgeschlagen, mit zwei halbschalenförmigen, aus einem gut wärmeleitenden Material bestehenden, von der Kühlflüssigkeit durchströmbaren Kühlkörpern (1, 2), mit je einer Keramikscheibe (3, 4) an jeder Hauptoberfläche der Kühlkörper und mit einem äußeren Isoliergehäuse (12) im Randbereich der Keramikscheiben. Ein in sehr hohem Maß wasserdampfundurchlässiges, elektrisch isolierendes inneres Isoliergehäuse (8) kleidet den durch die Außenmantelflächen der Kühlkörper (1, 2), die Randbereiche der Keramikscheiben (5, 6) und das äußere Isoliergehäuse (12) gebildeten und von der Kühlflüssigkeit durchströmten, kreisringförmigen Randbereich aus. An den Berührungsflächen von Kühlkörpern (1, 2), Keramikscheiben (5, 6) und innerem Isoliergehäuse (8) sind jeweils in sehr hohem Maß wasserdampfundurchlässige hydraulische Dichtungen (9) vorgesehen. An den Berührungsflächen von Keramikscheiben (5, 6), äußerem Isoliergehäuse (12) und innerem Isoliergehäuse (8) sind wasserdampfdurchlässige elektrische Dichtungen (10) vorgesehen.

Beschreibung[de]

Die Erfindung bezieht sich auf eine Isolierkühldose zum Abführen der Verlustwärme von Halbleiterbauelementen gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und kann beispielsweise zum Abführen der Verlustwärme von Halbleiterbauelementen in Elektro-Schienenfahrzeugen verwendet werden.

Eine derartige Isolierkühldose zum Abführen der Verlustwärme von Halbleiterbauelementen ist aus der DE 37 40 233 A1 bekannt. Dort wird eine Isolierkühldose zum Abführen der Verlustwärme von Halbleiterbauelementen, insbesondere von Leistungsgleichrichtern, beschrieben, die aus zwei Schalen mit einem Stutzen zum Zu- und Abführen der Kühlflüssigkeit (Brauchwasser) besteht. Im Inneren der Schalen sind Strömungshindernisse (Kühlrippen) und Kontaktplatten zur Aufnahme der von dem Halbleiterbauelement abgegebenen Wärme und deren Verteilung an die Kühlflüssigkeit vorgesehen. Eine Isolierplatte aus anorganischem Isoliermaterial ist zwischen der Kontaktplatte und der Schale angeordnet, wobei der Durchmesser der Isolierplatte größer ist als der Durchmesser der Schale und der Kontaktplatte. Hiermit wird eine Isolierkühldose geschaffen, die mit normalem Wasser, d. h. mit Brauchwasser, gekühlt werden kann und bei der zumindest bei rißfreier Isolierplatte keine Glimmentladungen auftreten, wobei die Kühldosen selbst spannungsfrei sind.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Isolierkühldose zum Abführen der Verlustwärme von Halbleiterbauelementen der eingangs genannten Art anzugeben, die auch beim Auftreten von Rissen in den Isolierplatten aus anorganischem Isoliermaterial (Keramikscheiben) eine hohe Glimmspannungsfestigkeit aufweist, wodurch ein Spannungsdurchschlag zwischen dem Brauchwasser bzw. den vom Brauchwasser durchströmten Kühlkörpern und den Halbleiterbauelementen zuverlässig verhindert wird.

Diese Aufgabe wird in Verbindung mit den Merkmalen des Oberbegriffes erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Die mit der Erfindung erzielbaren Vorteile bestehen insbesondere darin, daß durch die Doppeldichtung (elektrische und hydraulische Abdichtungsfunktionen sind voneinander getrennt) mit hydraulischen Dichtungen, elektrischen Dichtungen und innerem Isoliergehäuse zum einen eine hervorragende elektrische Isolierung zwischen potentialbehafteten Halbleiterbauelementen und der elektrisch leitfähigen Kühlflüssigkeit (Brauchwasser) erzielt wird und zum anderen zuverlässig verhindert wird, daß Kühlflüssigkeit in die Berührungsflächen zwischen Kühlkörpern und Keramikscheiben eindringt. Letzteres ist von ausschlaggebender Bedeutung, falls Risse in den Keramikscheiben auftreten. Durch die in sehr hohem Maß wasserdampfundurchlässigen hydraulischen Dichtungen und das innere Isoliergehäuse wird verhindert, daß Kühlflüssigkeit in derartige Risse eindringt, wodurch auch bei Rißbildung eine hohe Glimmspannungsfestigkeit aufrechterhalten wird. Von Wichtigkeit ist auch, daß die elektrische Dichtung wasserdampfdurchlässig ist, wodurch eine Ansättigung von Wasserdampf zwischen den hydraulischen Dichtungen, dem inneren Isoliergehäuse und dieser elektrischen Dichtung verhindert wird. Es ist vielmehr eine "Ausdunstung" von eingedrungenem Wasser durch diese elektrische Dichtung und die Grenzschichten zwischen äußerem Isoliergehäuse und Keramikscheiben nach außen möglich.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist es, daß die Isolierkühldose ohne komplizierte und aufwendige Verfahren in wirtschaftlicher Weise herstellbar und sowohl während der Herstellung als auch im Betrieb wenig bruchempfindlich ist. Es sind keine schwierigen Lötvorgänge oder Metall-Keramik-Klebungen notwendig und es können wirtschaftliche Großserientechniken eingesetzt werden.

Die Isolierkühldose ist sehr robust bezüglich mechanischer Einflüsse, z. B. vibrationsfest.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Seitenansicht einer Isolierkühldose in geschnittener Darstellung,

Fig. 2 einen Kühlkörper der Isolierkühldose im Detail,

Fig. 3 eine Aufsicht auf eine Isolierkühldose in geschnittener Darstellung,

Fig. 4 einen Spannverband,

Fig. 5 eine alternative Anordnung des Kühlflüssigkeits-Eintritts und -Austritts,

Fig. 6 eine alternative Ausbildung eines Kühlflüssigkeits-Eintritts oder -Austritts,

Fig. 7 eine alternative Ausbildung des äußeren Isoliergehäuses,

Fig. 8 eine alternative Ausbildung der Kühlkorper.

In Fig. 1 ist eine Seitenansicht einer Isolierkühldose in geschnittener Darstellung gezeigt. Im Zentrum der Isolierkühldose befinden sich zwei spiegelsymmetrisch ausgebildete, halbschalenförmige, sich direkt gegenüberliegende und gegeneinander gepreßte Kühlkörper 1, 2 aus Kupfer oder einem anderen gut wärmeleitenden Material. Die Kühlkörper 1, 2 bestehen jeweils aus einer Kreisscheibe 3 (siehe Fig. 2) mit einer Vielzahl von runden, viereckigen oder rechteckigen Kühlnoppen 4, wobei die Kühlnoppen 4 der beiden Kühlkörper gegeneinander gepreßt sind. Auf diese Weise werden zahlreiche, zur Durchströmung einer Kühlflüssigkeit geeignete Zwischenräume 22 gebildet und die in die Kühlkörper eingeleitete Wärmeleistung kann über eine große wirksame Oberfläche (= Kühlnoppen und Innenflächen der Kreisscheibe 3) an die strömende Kühlflüssigkeit abgegeben werden.

Gegen die planebenen, nach außen gerichteten Hauptflächen der Kühlkörper 1 bzw. 2 sind elektrisch gut isolierende und thermisch gut leitfähige Keramikscheiben 5 bzw. 6 gepreßt. Die Keramikscheiben 5, 6 bestehen vorzugsweise aus Aluminiumnitrid und sind kreisscheibenförmig ausgebildet, wobei die Außenkanten mit Anfasungen 7 zu beiden Hauptflächen versehen sind. Der Durchmesser der Keramikscheiben 5, 6 ist größer als der Durchmesser der Kühlkörper 1, 2. Die Stärke einer Keramikscheibe 5, 6 ist mit a bezeichnet.

Der derart gebildete Sandwich-Aufbau Keramikscheibe 5 - Kühlkörper 1 - Kühlkörper 2 - Keramikscheibe 6 wird an seiner zylinderförmigen Außenfläche mittels eines hohlzylinderförmigen äußeren Isoliergehäuses 12 zusammengehalten. Das vorzugsweise aus Duroplast bestehende und auf den vorstehend beschriebenen Sandwich-Aufbau "aufgeschrumpfte" äußere Isoliergehäuse 12 preßt die Einzelbauteile des Sandwich-Aufbaus gegeneinander, indem es kraftschlüssig über die Anfasungen 7 der Keramikscheiben 5, 6 greift. Trotzdem ist eine relativ weiche Einbettung der Keramikscheiben 5, 6 in das äußere Isoliergehäuse 12 gewährleistet.

Zur elektrischen Isolierung und hydraulischen Abdichtung sind eine Reihe von Dichtungen 9, 10 sowie ein inneres Isoliergehäuse 8 zwischen Kühlkörper/Keramikscheibe einerseits und äußerem Isoliergehäuse 12 andererseits vorgesehen. Ein im Querschnitt U-förmiges, elektrisch isolierendes inneres Isoliergehäuse 8 umkleidet vollständig den randseitigen, kreisringförmigen Bereich zwischen den Kühlkörpern 1, 2, den Keramikscheiben 5, 6 und dem äußeren Isoliergehäuse 12. Das innere Isoliergehäuse 8 besteht aus einem elastischen Material mit sehr guten elektrisch isolierenden Eigenschaften, das in sehr hohem Maße wasserdampfundurchlässig ist. Als Material eignet sich z. B. ein Thermoplast, z. B. glasfaserverstärktes Polyamid oder glasfaserverstärktes Polyester oder auch PPS Polyphenylensulfid.

Eine hydraulische Abdichtung erfolgt durch zwei ringförmige hydraulische Dichtungen 9, wobei die Dichtungen 9 die Verbindungsflächen zwischen Kühlkörpern 1, 2, Keramikscheiben 5, 6 sowie innerem Isoliergehäuse 8 abdichten. Elektrische Dichtungen 10 sind an den Verbindungsflächen zwischen Keramikscheiben 5, 6, innerem Isoliergehäuse 8 und äußerem Isoliergehäuse 12 angeordnet und greifen auch in den spitzwinkligen Bereich zwischen Anfasung 7 und äußerem Isoliergehäuse 12 ein. Die hydraulischen Dichtungen 9, 10 bestehen aus einem in sehr hohem Maß absolut wasserdampfundurchlässigen Material, z. B. FKM Fluor Elastomer, wobei keinesfalls elektrisch leitfähige Additive (z. B. Ruß) beigemengt werden dürfen, um eine hohe elektrische Isolierfähigkeit sicherzustellen. Die elektrisch isolierenden Eigenschaften der hydraulischen Dichtungen 9 sind insofern von Bedeutung, da sie eine elektrische Fußpunktisolierung darstellen (abgedeckter möglicher Lichtbogenfußpunkt für die Kühlkörper 1, 2).

Im Unterschied zu den hydraulischen Dichtungen 9 sind die elektrisch sehr gut isolierenden elektrischen Dichtungen 10 wasserdampfundurchlässig. Als Material eignet sich z. B. EPDM Athylen, Propylen oder VMQ Silikon. Die elektrischen Dichtungen realisieren aufgrund ihrer "Flächendichtung" eine hohe Durchschlagspannung.

Die derart gestaltete Isolierkühldose ist durch das stabile, sehr kriechstromfeste äußere Isoliergehäuse 12 gegen mechanische Beanspruchungen geschützt, wobei die erforderlichen Kriechwege zu beachten sind (siehe auch Fig. 7). Zur Herstellung des äußeren Isoliergehäuses 12 wird das innere Isoliergehäuse z. B. mit Duroplast umgossen oder mit Polyester umspritzt.

Da durch das äußere Isoliergehäuse 12 eine radiale Zusammenpressung der Bauteile erzielt wird, ist es nicht möglich, daß sich eventuell während des Betriebes der Isolierkühldose ausbildende Risse in den Keramikscheiben verbreitern. Derartige Risse können deshalb lediglich in Form feiner Haarrisse entstehen. Unter Fig. 8 wird eine Möglichkeit angeführt, wie derartige Risse "geheilt" werden können.

Wie aus Fig. 1 zu erkennen ist, ergibt sich durch Einsatz der beiden Isoliergehäuse 8, 12 eine Verbundwerkstoffkühldose in Zweischalentechnik, d. h. aus zwei Kunststoffgehäusen ineinander. Zweckmäßig weist das äußere Isoliergehäuse 12 zwei, drei oder vier am Umfang verteilte randseitige Haltenoppen 13 zur Arretierung von mit den Keramikscheiben 5 bzw. 6 in Kontakt tretenden Stromführungsblechen 14, 15 auf. Diese Stromführungsbleche 14, 15 wiederum treten in direkten Kontakt mit den zu kühlenden Halbleiterbauelementen, so daß der vom Halbleiterbauelement produzierte Wärmestrom über das thermisch gut leitfähige Stromführungsblech, die Keramikscheibe und den Kühlkörper zur durch die Isolierkühldose strömenden Kühlflüssigkeit fließt. Zur Arretierung der Halbleiterbauelemente sind die Stromführungsbleche vorteilhaft mit Zentrierschubstanzungen versehen, die in entsprechende Ausnehmungen der Halbleiterbauelemente eingreifen (siehe auch Fig. 4).

In Fig. 2 ist ein Kühlkörper der Isolierkühldose im Detail dargestellt. Es ist die mit einer Vielzahl von Kühlnoppen 4 versehene Kreisscheibe 3 zu erkennen.

Fig. 3 zeigt eine Aufsicht auf eine Isolierkühldose in geschnittener Darstellung. Dabei sind insbesondere Kühlflüssigkeits-Eintritt 16 und -Austritt 17 zu erkennen. Der rohrförmig ausgebildete Eintritt 16 und der ebenfalls rohrförmige Austritt 17 münden direkt in den von den Kühlkörpern 1, 2 und dem inneren Isoliergehäuse 8 begrenzten Innenraum der Isolierkühldose. Der Kühlflüssigkeitsstrom ist mit Pfeilen gekennzeichnet.

In Fig. 3 ist zu erkennen, daß das innere Isoliergehäuse 8 den Eintritt 16 sowie den Austritt 17 bildet, die teilweise vom äußeren Isoliergehäuse 12 umhüllt sind, was zum Schutz gegen Beschädigungen und zur Festigkeit beiträgt. Zum hydraulischen Anschluß der Isolierkühldose werden Anschlußrohre 19 oder Adapter jeweils auf die mittels der inneren Isoliergehäuse 8 gebildeten Stutzen von Eintritt 16 und Austritt 17 geschoben, wobei einer oder mehrere hydraulische Dichtringe 20, 21 zwischen Stutzen und Anschlußrohr 19 vorgesehen sind.

Aus der vorstehenden Beschreibung ergibt sich, daß eine elektrisch leitfähige Kühlflüssigkeit, insbesondere Brauchwasser, auch dann verwendet werden kann, wenn die Stromführungsbleche 14, 15 mit potentialbehafteten Halbleiterbauelementen kontaktiert werden. Durch die Keramikscheiben 5, 6 und das innere Isoliergehäuse 8 wird eine lückenlose elektrische Isolation gewährleistet. Durch die in sehr hohem Maße wasserdampfundurchlässigen hydraulischen Dichtungen 9 und das innere Isoliergehäuse wird unter anderem sichergestellt, daß die Kühlflüssigkeit nicht zu den potentialbehafteten Stromführungsblechen 14, 15 gelangen kann. Da die elektrischen Dichtungen 10 wasserdampfdurchlässig sind, wird verhindert, daß sich dennoch eingedrungene Kühlflüssigkeit im Bereich zwischen den Dichtungen 9, 10 und dem inneren Isoliergehäuse 8 ansammeln kann. Die zwischen innerem Isoliergehäuse 8, äußerem Isoliergehäuse 12 und Keramikscheiben 5, 6 eindringende Kühlflüssigkeit kann durch die elektrische Dichtung 10 und die Grenzflächen zwischen äußerem Isoliergehäuse 12 und Keramikscheiben 5, 6 nach außen "ausdunsten".

Auch wenn die Keramikscheiben 5, 6 Risse aufweisen sollten, ist die elektrische Isolation zuverlässig gewährleistet. Da zwischen jeder Keramikscheibe und der Kühlflüssigkeit ein Kühlkörper bzw. die hydraulische Dichtung 9 angeordnet sind, kann auch bei einem Riß in der Keramikscheibe keine Kühlflüssigkeit zum Stromführungsblech hin gelangen. Die Stärke a einer Keramikscheibe ist in Abhängigkeit des zwischen einem Stromführungsblech und der Kühlflüssigkeit anstehenden elektrischen Potentials derart zu bemessen, daß die elektrische Feldstärke im durch einen Riß gebildeten Luftspalt unterhalb der kritischen Feldstärke bleibt, bei der ein "Glimmen" möglich ist und bei der die Gefahr eines elektrischen Durchschlages zwischen Stromführungsblech und Kühlkörper besteht. Bei einem Potential von z. B. 3000 V und einer Stärke a der Keramikscheibe von z. B. 0,4 cm beträgt die Feldstärke im Luftspalt 7,5 kV/cm und liegt damit wesentlich unter der kritischen Feldstärke von 18 . . . 20 kV/cm, bei der ein "Glimmen" beginnt.

Um einen guten Wärmeübergang von den Keramikscheiben 5, 6 zu den Kühlkörpern 1, 2 zu ermöglichen, sollte die Keramikscheibe mit einer relativ hohen Kraft gegen die Kühlkörper drücken, wie vorstehend bereits erwähnt ist. Dabei ist es von Vorteil, wenn die als Weichrohling gepreßten und anschließend gesinterten Keramikscheiben absolut planeben geschliffen werden. Die Anfasungen 7 erleichtern dabei vorteilhaft den Schleifvorgang, da sie die Fixierung und Anpressung der Keramikscheibe an die Schleifeinrichtung erleichtern. Durch den Schleifvorgang werden feine Unebenheiten der Keramikscheiben beseitigt, wodurch hohe, punktförmige mechanische Spannungen vermieden werden, die bei Einsatz einer ungeschliffenen Keramikscheibe im Spannverband der Isolierkühldose mit Halbleiterbauelementen entstehen können. Dies wirkt sich günstig auf die Wärmeübertragung, die Rüttelfestigkeit und Langzeitfestigkeit der Isolierkühldose aus.

In Fig. 4 ist ein Spannverband dargestellt, bestehend aus drei Isolierkühldosen 23 und drei Halbleiterbauelementen 24. Die schematisch gezeigten Kühlflüssigkeits-Eintritte sind mit 16 bezeichnet und können z. B. aus einem gemeinsamen Behälter (Wasserverteiler) oder einer gemeinsamen Rohrzuführung gespeist werden. Die beispielsweise jeweils nach einer Seite geführten Stromzuführungsbleche 14, 15 sind frei zugänglich. Da die einzelnen Isolierkühldosen 23 die elektrische Isolierung zwischen den Stromzuführungsblechen 14, 15 und zur Kühlflüssigkeit hin gewährleisten, können die Stromzuführungsbleche 14, 15 jeweils unterschiedliche Potentiale aufweisen. Die den Spannverband zusammenpressende, nicht dargestellte Spannvorrichtung ist, wie üblich, unter Einsatz von Spannstäben und Federelementen aufgebaut. In Fig. 4 ist desweiteren skizziert, wie eine in der Mitte eines Stromführungsbleches 15 angeordnete Zentrierschubstanzung 30 in eine entsprechende Ausnehmung 31 eines Halbleiterbauelementes 24 eingreift.

In Fig. 5 ist eine alternative Anordnung des Kühlflüssigkeits-Eintritts und -Austritts dargestellt. Eintritt 16 und Austritt 17 der Isolierkühldose 23 weisen V-förmig zur gleichen Seite hin. Je nach konstruktiver Gestaltung der externen Kühlflüssigkeitsführung (Rohrleitungen, Wasserverteiler) sind weitere alternative Ausgestaltungen möglich.

In Fig. 6 ist eine alternative Ausbildung eines Kühlflüssigkeits-Eintritts oder -Austritts dargestellt. Der gezeigte Austritt 17 ist dabei als Flansch ausgebildet und eignet sich deshalb besonders zum Anschluß an einen Wasserverteiler. Das innere Isoliergehäuse 8 ist einstückig mit einer Flanschplatte 25 verbunden. Zur Abdichtung weist die Flanschplatte 25 eine umlaufende Nut auf, in die eine Dichtung 26 eingelegt ist. Bohrungen 27 in der Flanschplatte 25 dienen zur Befestigung. Zur Erhöhung der Stabilität des Flansches (Rüttelfestigkeit) sind vorteilhaft Verstärkungsrippen 28 vorgesehen.

In Fig. 7 ist eine alternative Ausbildung des äußeren Isoliergehäuses dargestellt. Es ist zu erkennen, daß das äußere Isoliergehäuse 12 mit umlaufenden Rippen 29 versehen ist. Durch diese Rippen 29 wird der Kriechweg zwischen den Stromführungsblechen 14, 15 verlängert und die Potentialdifferenz zwischen beiden Stromführungsblechen kann bis 4000 V betragen. Somit eignet sich die Isolierkühldose auch zum Einsatz bei einer fortgeschrittenen GTO-Technik mit integrierten Dioden oder bei direkter phasenweiser Aneinanderschaltung der einzelnen Halbleiterbauelemente. Hierdurch ergeben sich vorteilhaft wesentlich kürzere Spannverbände und es werden zusätzlich Isolatoren eingespart.

In Fig. 8 ist eine alternative Ausbildung der Kühlkörper dargestellt. Dabei sind die Oberflächen der mit den Keramikscheiben 5, 6 kontaktierten Kühlkörper 1, 2 (= nach außen gerichtete Flächen der Kreisscheibe 2 gemäß Fig. 2) mit schmalen Nuten 32 versehen, in die vor der Kontaktierung mit den Keramikscheiben ein Isolieröl - vorzugsweise ein Dielektrika-Öl für Kondensatoren - eingebracht wird. Falls während des Betriebes der Isolierkühldose Haarrisse in den Keramikscheiben auftreten sollten, tritt das Isolieröl aufgrund seiner guten "Kriecheigenschaften" in derartige Haarrisse ein, wodurch eine "selbstheilende" Wirkung erzielt wird. Zusätzlich verbessert das Isolieröl den Wärmeübergang zwischen Keramikscheiben und Kühlkörpern, da es eventuelle feine Unebenheiten der Kontaktflächen ausfüllt und damit ausgleicht. Die schmalen Nuten 32 sind vorzugsweise als konzentrische Ringe angeordnet, können jedoch auch in Form anderer Strukturen ausgeführt sein.


Anspruch[de]
  1. 1. Isolierkühldose zum Abführen der Verlustwärme von Halbleiterbauelementen unter Verwendung einer elektrisch leitfähigen Kühlflüssigkeit, mit zwei halbschalenförmigen, aus einem gut wärmeleitenden Material bestehenden, von der Kühlflüssigkeit durchströmbaren Kühlkörpern, mit je einer Keramikscheibe an jeder Hauptoberfläche der Kühlkörper und mit einem äußeren Isoliergehäuse im Randbereich der Keramikscheiben, dadurch gekennzeichnet, daß ein in sehr hohem Maß wasserdampfundurchlässiges, elektrisch isolierendes inneres Isoliergehäuse (8) den durch die Außenmantelflächen der Kühlkörper (1, 12), die Randbereiche der Keramikscheiben (5, 6) und das äußere Isoliergehäuse (12) gebildeten und von der Kühlflüssigkeit durchströmten, kreisringförmigen Randbereich auskleidet, daß jeweils in sehr hohem Maß wasserdampfundurchlässige hydraulische Dichtungen (9) an den Berührungsflächen von Kühlkörpern (1, 2), Keramikscheiben (5, 6) und innerem Isoliergehäuse (8) vorgesehen sind, und daß jeweils wasserdampfdurchlässige elektrische Dichtungen (10) an den Berührungsflächen von Keramikscheiben (5, 6), äußerem Isoliergehäuse (12) und innerem Isoliergehäuse (8) vorgesehen sind.
  2. 2. Isolierkühldose nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Dichtungen (10) als Flächendichtungen und die hydraulischen Dichtungen (9) als Fußpunktisolierungen ausgebildet sind.
  3. 3. Isolierkühldose nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Keramikscheiben (5, 6) aus Aluminiumnitrid bestehen.
  4. 4. Isolierkühldose nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Randbereich der Keramikscheiben (5, 6) mit Anfasungen (7) versehen ist, über die das den Sandwich-Aufbau Keramikscheibe (5) - Kühlkörper (1) - Kühlkörper (2) - Keramikscheibe (6) kraftschlüssig zusammenpressende äußere Isoliergehäuse (12) greift.
  5. 5. Isolierkühldose nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das äußere Isoliergehäuse (12) Haltenoppen (13) zur Fixierung von Stromführungsblechen (14, 15) für das zu kontaktierende Halbleiterbauelement (24) aufweist.
  6. 6. Isolierkühldose nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß aus dem inneren Isoliergehäuse (8) gebildete und vom äußeren Isoliergehäuse (12) teilweise ummantelte Kühlflüssigkeits-Eintritte und -Austritte (16,17) vorgesehen sind, die über hydraulische Dichtringe (20, 21) mit externen Anschlußrohren (19) verbindbar sind.
  7. 7. Isolierkühldose nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch eine derartige Bemessung der Stärke (a) einer Keramikscheibe (5, 6), daß unter Beachtung des zwischen Kühlflüssigkeit und Stromführungsblechen (14, 15) anstehenden elektrischen Potentials die bei Rißbildung in der Keramikscheibe (5, 6) auftretende elektrische Feldstärke den ein "Glimmen" ermöglichenden Wert der kritischen Feldstärke unter Einbeziehung eines Sicherheitsfaktors keinesfalls erreicht.
  8. 8. Isolierkühldose nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das äußere Isoliergehäuse (12) mit umlaufenden Rippen (29) versehen ist.
  9. 9. Isolierkühldose nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Kühlflüssigkeits-Eintritte und/oder -Austritte (16, 17) als Flansch mit Flanschplatte (25), Dichtring (26) und Bohrungen (27) zur Befestigung ausgebildet sind.
  10. 10. Isolierkühldose nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlkörper (1, 2) an ihren in Kontakt mit den Keramikscheiben (5, 6) stehenden Flächen mit Nuten (32) versehen sind, in die ein Isolieröl eingefüllt ist.






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