| Dokumentenidentifikation |
DE4294247T1 13.01.1994 |
| Titel |
Zwei-Schichten-Ätzprozess |
| Anmelder |
Digital Equipment Corp., Maynard, Mass., US |
| Erfinder |
Sidman, Alan L., Wellesley, Mass., US |
| Vertreter |
Betten, J., Dipl.-Ing.; Resch, M., Dipl.-Phys., Pat.-Anwälte, 80469 München |
| DE-Aktenzeichen |
4294247 |
| Vertragsstaaten |
DE, GB, JP |
| Sprache des Dokument |
EN |
| WO-Anmeldetag |
24.11.1992 |
| PCT-Aktenzeichen |
US9210306 |
| WO-Veröffentlichungsnummer |
9311532 |
| WO-Veröffentlichungsdatum |
10.06.1993 |
| Date of publication of WO application in German translation |
13.01.1994 |
| Veröffentlichungstag im Patentblatt |
13.01.1994 |
| IPC-Hauptklasse |
C23F 1/44
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| IPC-Nebenklasse |
G11B 5/31
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