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Dokumentenidentifikation DE3587771T2 16.06.1994
EP-Veröffentlichungsnummer 0177973
Titel Aufnahme- und Wiedergabeverfahren von erzeugten Bildern mittels eines Elektronenmikroskops.
Anmelder Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-ashigara, Kanagawa, JP
Erfinder Hosoi, Yuichi Fuji Photo Film Co. Ltd., Ashigarakami-gun Kanagawa-ken, JP;
Miyahara, Junji Fuji Photo Film Co. Ltd., Ashigarakami-gun Kanagawa-ken, JP;
Mori, Nobufumi Fuji Photo Film Co. Ltd., Ashigarakami-gun Kanagawa-ken, JP;
Takahashi, Kenji Fuji Photo Film Co. Ltd., Ashigarakami-gun Kanagawa-ken, JP
Vertreter Kador, U., Dipl.-Chem. Dr.rer.nat., Pat.-Anw., 80469 München
DE-Aktenzeichen 3587771
Vertragsstaaten DE, FR, NL
Sprache des Dokument En
EP-Anmeldetag 11.10.1985
EP-Aktenzeichen 851129387
EP-Offenlegungsdatum 16.04.1986
EP date of grant 09.03.1994
Veröffentlichungstag im Patentblatt 16.06.1994
IPC-Hauptklasse H01J 37/22
IPC-Nebenklasse G01N 23/04   G03B 35/14   

Beschreibung[de]
HINTERGRUND DER ERFINDUNG Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Bildern, die von einem Elektronenmikroskop erzeugt werden, und insbesondere auf ein Verfahren zum Aufzeichnen von Elektronenmikroskop-Bildern mit hoher Empfindlichkeit und zum Wiedergeben der aufgezeichneten Elektronenmikroskop-Bilder in Form von elektrischen Signalen, um eine Verarbeitung der Bilder auf verschiedene Arten zu erlauben.

Beschreibung des Standes der Technik

Es sind Elektronenmikroskope bekannt, mit denen ein vergrößertes Bild einer Probe durch Ablenken eines durch die Probe geschickten Elektronenstrahls mittels eines elektrischen oder eines magnetischen Feldes erhalten wird. Wie wohlbekannt ist, bildet der Elektronenstrahl, der durch die Probe gegangen ist, auf der hinteren Brennebene der Objektivlinse ein Beugungsmuster, wobei die gebeugten Strahlen erneut miteinander interferieren, um das vergrößerte Bild der Probe zu erzeugen. Das vergrößerte Bild der Probe kann als Streulicht-Bild durch Projektion des Bildes auf einen Schirm mittels einer Projektionslinse beobachtet werden. Alternativ kann die hintere Brennebene der Objektivlinse projiziert werden, um den Benutzer in die Lage zu versetzen, das vergrößerte Beugungsmuster des Bildes zu beobachten. Wenn zwischen der Objektivlinse und der Projektionslinse eine Zwischenlinse angeordnet ist, kann wahlweise je nach Wunsch das vergrößerte Streulicht- Bild oder das Beugungsmuster erzeugt werden, indem die Brennweite der Zwischenlinse eingestellt wird.

Das vergrößerte Bild oder das Beugungsmuster (die im folgenden zusammenfassend als "Bild des durchgelassenen Elektronenstrahls" bezeichnet werden) kann auf verschiedene Arten beobachtet werden. Beispielsweise ist es eine allgemeine Praxis gewesen, einen photographischen Film in der Abbildungsebene anzuordnen, um ihn mit dem Bild des durchgelassenen Elektronenstrahls zu belichten. Gemäß einem weiteren Entwurf wird ein Bildverstärker dazu verwendet, das Bild des durchgelassenen Elektronenstrahls für die Projektion zu verstärken. Die Verwendung von photographischen Filmen ist jedoch insofern nachteilig, als deren Empfindlichkeit für Elektronenstrahlen gering ist und der Entwicklungsprozeß der Filme komplex ist. Der Bildverstärker besitzt ebenfalls Nachteile, nämlich daß die damit erzeugten Bilder eine geringe Schärfe besitzen und wahrscheinlich verzerrt werden.

Bilder des durchgelassenen Elektronenstrahls werden oftmals verarbeitet, damit sie leichter sichtbar sind. Insbesondere sind die Bilder des durchgelassenen Elektronenstrahls Gegenstand verschiedener Signalverarbeitungs-Betriebsarten wie etwa der Tonverarbeitung, der Frequenzhervorhebung, der Dichteverarbeitung, der Subtraktionsverarbeitung und der Additionsverarbeitung. Die Bilder werden außerdem so verarbeitet, daß mittels einer Fourier-Analyse dreidimensionale Bilder rekonstruiert werden, die Bilder digitalisiert werden und Teilchendurchmesser gemessen werden. Die Beugungsmuster werden ebenfalls verarbeitet, um die Kristallinformation zu analysieren und Gitterkonstanten, Versetzungen und Gitterfehler zu finden. Für eine solche Bild- und Beugungsmusterverarbeitung ist es üblich gewesen, das Elektronenmikroskop-Bild auf einem entwickelten photographischen Film mittels eines Mikrophotometers in ein elektrisches Signal umzuwandeln, das elektrische Signal in ein digitales Signal umzuwandeln und dann das digitale Signal mit einem Computer zu verarbeiten. Dieser Prozeß hat sich als nicht zufriedenstellend erwiesen, da er sehr komplex ist.

In der EP-A-77677 ist eine Strahlungsbild-Ausleseeinheit offenbart, die eine als Bildsensor dienende stimulierbare Leuchtstoffplatte enthält.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Angesichts der obenerwähnten Probleme der herkömmlichen Aufzeichnungseinrichtungen für Elektronenmikroskop-Bilder ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zu schaffen zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Elektronenmikroskop-Bildern mit hoher Empfindlichkeit und Qualität und zum Aufzeichnen von Elektronenmikroskop-Bildern auf eine Art, mit der direkt elektrische Signale erzeugt werden können, die in der nachfolgenden Stufe der Bildwiedergabe die Bilder darstellen.

Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Elektronenmikroskop-Bildern für die Feldsuche und/oder die Fokussierung ohne Beschädigung der mit dem Elektronenmikroskop beobachteten Probe zu schaffen.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben eines von einem Elektronenmikroskop erzeugten Bildes geschaffen, das die Schritte umfaßt: Belichten einer zweidimensionalen stimulierbaren Leuchtstoffplatte unter Vakuum mit einem Elektronenstrahl, der durch eine Probe gegangen ist, um wenigstens ein erstes vergrößertes Bild der Probe auf den Bildsensor aufzuzeichnen, Beaufschlagen der Leuchtstoffplatte mit Stimulationsenergie, um hieraus Entladungslicht zu erzeugen, das das erste vergrößerte Bild darstellt, photoelektrisches Erfassen des Entladungslichts von der Leuchtstoffplatte, um ein erstes elektrisches Signal zu erzeugen, und Verarbeiten des ersten elektrischen Signals, um ein erstes vergrößertes Bild zu erzeugen, das beobachtet werden kann, um eine gewünschte Fokussierungsbedingung und/oder ein gewünschtes Feld im Elektronenmikroskop zu erhalten, anschließend Beaufschlagen derselben oder einer weiteren zweidimensionalen, stimulierbaren Leuchtstoffplatte unter Vakuum mit einem Elektronenstrahl, der durch die Probe gegangen ist, um ein zweites vergrößertes Bild der Probe auf der Leuchtstoffplatte aufzuzeichnen, Beaufschlagen der Leuchtstoffplatte mit Stimulationsenergie, um hieraus Entladungslicht zu erzeugen, das das zweite vergrößerte Bild darstellt, und photoelektrisches Erfassen des Entladungslichts von der Leuchtstoffplatte, um ein zweites elektrisches Signal zu erzeugen, und Verarbeiten des zweiten elektrischen Signals, um das zweite vergrößerte Bild als endgültiges Bild unter der gewünschten Fokussierungsbedingung und/oder mit dem gewünschten Feld zu erzeugen.

Das von der Leuchtstoffplatte abgegebene Licht wird photoelektrisch erfaßt, wobei die Leuchtstoffplatte im Vakuum angeordnet ist. Jede der zweidimensionalen, stimulierbaren Leuchtstoffplatten kann bei Beaufschlagung mit der Stimulationsenergie Lumineszenzlicht abgeben. Die Stimulationsenergie ist Licht oder Wärme. Das erste vergrößerte Bild ist Teil des zweiten vergrößerten Bildes oder ist aus Bildelementen zusammengesetzt, die größer als diejenigen des zweiten vergrößerten Bildes sind.

Es werden nacheinander mehrere erste vergrößerte Bilder der Probe erzeugt, die beobachtet werden können, um verschiedene Fokussierungsbedingungen und/oder verschiedene Felder zu erhalten, wobei das zweite vergrößerte Bild als endgültiges Bild unter einer gewählten Fokussierungsbedingung von verschiedenen Fokussierungsbedingungen oder mit einem gewählten Gesichtsfeld von verschiedenen Gesichtsfeldern erzeugt wird.

Die Stärke des Elektronenstrahls für die Aufzeichnung des ersten vergrößerten Bildes auf der Leuchtstoffplatte ist vorzugsweise kleiner als die Stärke des Elektronenstrahls für die Aufzeichnung des zweiten vergrößerten Bildes auf der Leuchtstoffplatte.

In diesem Fall ist die Stimulationsenergie, mit der die Leuchtstoffplatte beaufschlagt wird, damit diese Licht abgibt, welches das erste vergrößerte Bild darstellt, höher als die Stimulationsenergie, mit der die Leuchtstoffplatte beaufschlagt wird, damit diese Licht abgibt, welches das zweite vergrößerte Bild darstellt.

Alternativ oder zusätzlich können verschiedene zweidimensionale, stimulierbare Leuchtstoffplatten verwendet werden. In einem solchen Fall besitzt die an erster Stelle erwähnte zweidimensionale, stimulierbare Leuchtstoffplatte eine höhere Empfindlichkeit als die an zweiter Stelle erwähnte.

Ferner kann die Auslesegeschwindigkeit zum Auslesen des ersten vergrößerten Bildes höher als die Auslesegeschwindigkeit zum Auslesen des zweiten vergrößerten Bildes sein.

Das Verfahren enthält ferner den Schritt des Ableitens von Auslesebedingungen und/oder Bildverarbeitungsbedingungen aus dem ersten elektrischen Signal, wobei das zweite vergrößerte Bild als endgültiges Bild auch unter den Auslesebedingungen und/oder der Bildverarbeitungsbedingung erzeugt wird. Die Auslesebedingungen sind ein Auslese-Verstärkungsfaktor und ein Normierungsfaktor.

Die stimulierbare Leuchtstoffplatte ist aus einem Material hergestellt, das wenigstens einen Teil der Energie des Elektronenstrahls speichern kann, wenn sie mit einem solchen Elektronenstrahl beaufschlagt wird, und das dann, wenn es einer äußeren Stimulation unterworfen wird, wenigstens einen Teil der gespeicherten Elektronenstrahl- Energie in erfaßbarer Form, wie beispielsweise in Form von Licht, in Form von elektrischer Energie oder in Form von Schall abgibt.

Die Verwendung einer solchen Platte als Bildsensor in einem Elektronenmikroskop ist in unserer vorher eingereichten EP-85/09059 (EP-A-168.838) vorgesehen.

Die stimulierbare Leuchtstoffplatte ist vorzugsweise so beschaffen, wie beispielsweise in den japanischen ungeprüften Patentveröffentlichungen Nrn. 55-12429, 55- 116340, 55-163472, 56-11395 und 56-104645 offenbart ist. Wenn ein bestimmter Leuchtstoff mit Strahlung wie etwa mit einem Elektronenstrahl beaufschlagt wird, speichert er einen Teil der Strahlungsenergie. Wenn der Leuchtstoff, der mit der Strahlung beaufschlagt wird, mit Stimulationsstrahlen wie etwa mit sichtbarem Licht beaufschlagt wird, emittiert der Leuchtstoff Licht (stimulierte Emission) im Verhältnis zur gespeicherten Strahlungsenergie. Ein solcher Leuchtstoff wird stimulierbarer Leuchtstoff genannt, wobei die stimulierbare Leuchtstoffplatte im allgemeinen aus einem Träger und aus einer auf dem Träger angeordneten stimulierbaren Leuchtstoffplatte aufgebaut ist. Die stimulierbare Leuchtstoffplatte kann durch feines Verteilen des stimulierbaren Leuchtstoffs in einem geeigneten Bindemittel gebildet werden. Die stimulierbare Leuchtstoffplatte kann jedoch selbst eine stimulierbare Leuchtstoffplatte sein, wenn sie selbsttragend ist.

Sie kann auch die Form einer thermolumineszenten Leuchtstoffplatte haben, wie sie beispielsweise in den japanischen Patentveröffentlichungen Nrn. 55-47719 und 55-47720 offenbart ist. Die thermolumineszente Leuchtstoffplatte emittiert gespeicherte Strahlungsenergie als Thermolumineszenz, wenn die Platte mit Wärme beaufschlagt wird. Die thermolumineszente Leuchtstoffplatte kann auf die gleiche Weise wie die stimulierbare Leuchtstoffplatte aufgebaut sein.

Die stimulierbare Leuchtstoffplatte wird auf der Abbildungsebene des Elektronenmikroskops angeordnet, dann wird das Elektronenmikroskop-Bild auf dem zweidimensionalen Sensor mittels des von der Probe durchgelassenen Elektronenstrahls aufgezeichnet. Anschließend wird die Leuchtstoffplatte, auf der das Elektronenmikroskop-Bild gespeichert ist, mit Stimulationsstrahlen wie etwa sichtbarem Licht beaufschlagt, um sie in die Lage zu versetzen, die gespeicherte Elektronenstrahlenergie als Licht zu emittieren. Dann wird das emittierte Licht photoelektrisch gelesen, um ein elektrisches Signal zu erzeugen, das das Bild des durchgelassenen Elektronenstrahls angibt. Das auf diese Weise erzeugte elektrische Bildsignal kann dazu verwendet werden, das Elektronenmikroskop-Bild auf einer Anzeigeeinheit wie etwa einer CRT anzuzeigen, das Elektronenmikroskop-Bild als Hartkopie permanent aufzuzeichnen oder das Elektronenmikroskop-Bild in einem Aufzeichnungsmedium wie etwa einem Magnetband, einer Magnetplatte oder dergleichen zu speichern.

Die Elektronenmikroskop-Bilder können mit hoher Empfindlichkeit durch den zweidimensionalen Sensor des obenbeschriebenen Typs aufgezeichnet werden. Jede unerwünschte Beschädigung der Probe kann verringert werden, da die Stärke des Elektronenstrahls, mit dem die Probe beaufschlagt wird, gering ist. Die elektrischen Bildsignale, die von der stimulierbaren Leuchtstoffplatte erzeugt werden, können auf verschiedene Arten wie beispielsweise durch Tonverarbeitung und Frequenzhervorhebung verarbeitet werden. Die Verarbeitung der Beugungsmuster sowie die Bildanalyse wie etwa die Wiederherstellung von dreidimensionalen Bildern und die Bilddigitalisierung können einfach und schnell durch Eingeben des elektrischen Signals in einen Computer ausgeführt werden.

Angesichts der Tatsache, daß ein zu Feldsuch- und/oder Fokussierungszwecken erzeugtes Bild wie oben beschrieben von der stimulierbaren Leuchtstoffplatte wiedergegeben wird, kann der Betrag der Elektronenenergie, mit der die Probe beaufschlagt wird, für die Feldsuche und/oder die Fokussierung des Elektronenmikroskops reduziert werden.

Die stimulierbare Leuchtstoffplatte gemäß der vorliegenden Erfindung kann Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgenden Zusammensetzungsformeln gegeben werden: SrS:Ce, Sm; SrS:Eu, Sm; ThO&sub2;:Er; und La&sub2;O&sub2;S:Eu, Sm, wie in dem US-Patent Nr. 3, 859,527 offenbart ist.

Sie kann außerdem Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgenden Zusammensetzungsformeln gegeben sind: ZnS:Cu, Pb;BaO·xAl&sub2;O&sub3;:Eu [wobei 0,8 ≤ x ≤ 10]; und MIIO·xSiO&sub2;:A [wobei MII für Mg, Ca, Sr, Zn, Cd oder Ba steht; A für Ce, Tb, Eu, Tm, Pb, Tl, Bi oder Mx steht; und 0,5 ≤ x ≤ 2,5 ist], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 55(1980)-12142 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die Zusammensetzungsformel gegeben ist: (Ba1-x-y' Mgx, Cay)FX:aEu²&spplus; [wobei X für Cl und/oder Br steht; 0 < x + y ≤ 0,6, xy ≠ 0 und 10&supmin;&sup6; ≤ a ≤ 5·10&supmin;²], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 55(1980)- 12143 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: LnOX:xA [wobei Ln wenigstens eines von La, Y, Gd und Lu ist; X wenigstens eines von Cl und Br ist; A wenigstens eines von Ce und Tb ist; und 0 < x < 0,1], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 55(1980)-12144 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: (Ba1-x, MI- Ix)FX:yA [wobei MII wenigstens eines von Mg, Ca, Sr, Zn und Cd, X wenigstens eines von Cl, Br und I; A wenigstens eines von Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb und Er; 0 ≤ x ≤ 0,6 und 0 ≤ y ≤ 0,2], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 55(1980)-12145 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: MIIFX·xA:yLn [wobei MII wenigstens eines von Ba, Ca, Sr, Mg, Zn und Cd ist; A wenigstens eines von BeO, MgO, CaO, SrO, BaO, ZnO, Al&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3;, In&sub2;O&sub3;, SiO&sub2;, TlO&sub2;, ZrO&sub2;, GeO&sub2;, SnO&sub2;, Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5; und ThO&sub2; ist; LN wenigstens eines von Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Sm und Gd ist; X wenigstens eines von Cl, Br und I ist; 5·10&supmin;&sup5; < x < 0,5 und 0 < y < 0,2], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 55(1980)-160078 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: (Ba1-x, MI- Ix)F&sub2;·aBaX&sub2;:yEu²&spplus;, zA [wobei MII wenigstens eines von Beryllium, Magnesium, Calcium, Strontium, Zink und Cadmium ist; X wenigstens eines von Chlor, Brom und Iod ist; A wenigstens eines von Zirkonium und Scandium ist; 0,5 ≤ a ≤ 1,25, 0 ≤ x ≤ 1, 10&supmin;&sup6; ≤ y ≤ 2·10&supmin;¹ und 0 < z ≤ 10&supmin;² ist], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 56(1981)-116777 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: (Ba1-x, MI- Ix)F&sub2;·aBaX&sub2;:yEu²&spplus;, zB [wobei MII wenigstens eines von Beryllium, Magnesium, Calcium, Strontium, Zink und Cadmium ist; X wenigstens eines von Chlor, Brom und Iod ist; 0,5 ≤ a ≤ 1,25, 0 ≤ x ≤ 1, 10&supmin;&sup6; ≤ y ≤ 2·10&supmin;¹ und 0 < z ≤ 10-1 ist], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 57(1982)-23673 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: (Ba1-x, MI- Ix)F&sub2;·aBaX&sub2;:yEu, zA [wobei MII wenigstens eines von Beryllium, Magnesium, Calcium, Strontium, Zink und Cadmium ist; X wenigstens eines von Chlor, Brom und Iod ist; A wenigstens eines von Arsen und Silicium ist; 0,5 ≤ a ≤ 1,25, 0 ≤ x ≤ 1, 10&supmin;&sup6; ≤ y ≤ 2·10&supmin;¹ und 0 < z ≤ 5·10&supmin;¹ ist], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 57(1982)-23675 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: (Ba1-xMx/2Lx/2 FX:yEu²&spplus; [wobei M wenigstens ein Alkalimetall aus der Gruppe von Li, Na, K, Rb und Cs ist; L wenigstens ein dreiwertiges Metall aus der Gruppe von Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Al, Ga, In und Tl ist; X wenigstens ein Halogen aus der Gruppe von Cl, Br und I ist; 10&supmin;² ≤ x ≤ 0,5 und 0 < y ≤ 0,1 ist], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 59(1983)-206678 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: BaFX·xA :yEu²&spplus; [wobei X wenigstens ein Halogen aus der Gruppe von Cl, Br und I ist; A eine kalzinierte Tetrafluoroborsäure- Verbindung ist; 10&supmin;&sup6; ≤ x ≤ 0,1 und 0 < y ≤ 0,1], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 59(1984)-27980 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: BaFX·xA :yEu²&spplus; [wobei X wenigstens ein Halogen aus der Gruppe von Cl, Br und I ist; A wenigstens eine kalzinierte Verbindung aus der Gruppe von Salzen von einwertigen oder zweiwertigen Metallen der Hexafluorokieselsäure, der Hexafluorotitansäure und der Hexafluorozirkonsäure ist; 10&supmin;&sup6; ≤ x ≤ 0,1 und 0 < y ≤ 0,1], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 59(1984)-47289 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: BaFX·xNaX': aEu²&spplus; [wobei sowohl X als auch X' wenigstens eines von Cl, Br und I ist; 0 < x ≤ 2 und 0 < a ≤ 0,2], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 59(1984)-56479 offenbart ist.

Der stimulierbare Leuchtstoff kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: MIIFX·xNaX':yEu²&spplus; [wobei MII wenigstens ein Erdalkalimetall aus der Gruppe von Ba, Sr und Ca ist; sowohl X als auch X' wenigstens ein Halogen aus der Gruppe von Cl, Br und I ist; A wenigstens ein Übergangsmetall aus der Gruppe von V, Cr, Mn, Fe, Co und Ni ist; 0 < x ≤ 2, 0 < y ≤ 0,2 und 0 < z ≤ 10&supmin;²], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 59(1984)-56480 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: MIIFX·aMIX' ·bM'IIX''&sub2;·cMIIIX'''&sub3;·xA:YEu²&spplus; [wobei MII wenigstens ein Erdalkalimetall aus der Gruppe von Ba, Sr und Ca ist; MI wenigstens ein Alkalimetall aus der Gruppe von Li, Na, K, Rb und Cs ist; M'II wenigstens ein zweiwertiges Metall aus der Gruppe von Be und Mg ist; MIII wenigstens ein dreiwertiges Metall aus der Gruppe von Al, Ga, In und Tl ist; A ein Metalloxid ist; X wenigstens ein Halogen aus der Gruppe von Cl, Br und I ist; X', X'' und X''' wenigstens ein Halogen aus der Gruppe von F, Cl, Br und I ist; 0 ≤ a ≤ 2, 0 ≤ b ≤ 10&supmin;², 0 ≤ c ≤ 10&supmin;² und a + b + c ≥ 10&supmin;&sup6;; 0 < x ≤ 0,5 und 0 < y ≤ 0,2], wie in der vom vorliegenden Anmelder eingereichten japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 59(1984)-75200 offenbart ist.

Sie kann auch Leuchtstoffe enthalten, die durch die folgende Zusammensetzungsformel gegeben sind: MIIX&sub2; ·aMIIX'&sub2;:xEu²&spplus; [wobei MII wenigstens ein Erdalkalimetall aus der Gruppe von Ba, Sr und Ca ist; X und X' wenigstens ein Halogen aus der Gruppe von Cl, Br und I, mit X ≠ X' ist; 0,1 ≤ a ≤ 10,0 und 0 < x ≤ 0,1], wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 59(1984)- 193161 offenbart ist.

Die stimulierbare Leuchtstoffplatte, die in der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann, ist jedoch nicht auf die obenerwähnten Leuchtstoffe begrenzt, sondern kann aus jedem Leuchtstoff sein, der bei Belichtung mit Stimulationslicht zu einer stimulierten Emission in der Lage ist, nachdem er mit Strahlung bestrahlt worden ist.

Bevorzugte thermolumineszente, stimulierbare Leuchtstoffplatten, die in der vorliegenden Erfindung verwendet werden können, enthalten Verbindungen, die durch Hinzufügung einer kleinen Menge einem der folgenden Elemente: Mn, Dy und Tm zu Schwefelsäureverbindungen wie etwa Na&sub2;SO&sub4;, Mn- SO&sub4;, CaSO&sub4;, SrSO&sub4; und BaSO&sub4; erzeugt werden.

Die Leuchtstoffplatte kann zusätzlich eine Schutzschicht und eine lichtreflektierende oder eine lichtabsorbierende Unterschicht besitzen. Die Leuchtstoffplatte der Leuchtstoffplatte kann mit einem Pigment oder Farbstoff eingefärbt sein, wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 55(1980)-163500 offenbart ist. Die Leuchtstoffplatte kann jede gewünschte Form wie etwa diejenige einer Rolle, eines Endlosriemens, einer Trommel oder einer Platte haben.

Die obigen und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlicher bei der folgenden Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen, in denen bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung als erläuternde Beispiele gezeigt sind.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist eine vertikale Schnittansicht einer Einrichtung zum Ausführen eines Verfahrens zum Aufzeichnen und Wiedergeben von von einem Elektronenmikroskop erzeugten Bildern gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 ist eine schematische Ansicht eines Elektronenmikroskops, das dazu verwendet werden kann, ein Verfahren gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auszuführen;

Fig. 3 ist eine vertikale Schnittansicht einer Einrichtung zum Ausführen eines Verfahrens zum Aufzeichnen und Wiedergeben von von einem Elektronenmikroskop erzeugten Bildern gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht einer Bildaufzeichnungseinrichtung zum Aufzeichnen eines Elektronenmikroskop-Bildes, das in einer stimulierbaren Leuchtstoffplatte durch die in Fig. 3 gezeigte Einrichtung gespeichert worden ist; und

Fig. 5 bis 11 sind jeweils vertikale Schnittansichten von Einrichtungen zum Ausführen von Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben von von einem Elektronenmikroskop erzeugten Bildern gemäß einer vierten bis zehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

In allen Ansichten sind gleiche oder entsprechende Teile mit den gleichen oder mit entsprechenden Bezugszeichen bezeichnet.

Fig. 1 ist eine Einrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Elektronenmikroskop-Bildern, wobei die Einrichtung dazu verwendet wird, ein Verfahren gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auszuführen. Die Einrichtung besteht aus einem Elektronenmikroskop mit einem Objektivtubus 1a und einer Aufzeichnungs/Ausleseeinheit 1b, die aus einer stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10, die als zweidimensionaler Bildsensor dient, einer Stimulationseinrichtung zum Abtasten der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 mit stimulierendem Licht, wenn die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 im Vakuum angeordnet ist, sowie einer Detektoreinrichtung für die photoelektrische Erfassung von Lumineszenzlicht, das von der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 emittiert wird, aufgebaut ist. Die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 und die Abbildungsebene 9 des Elektronenmikroskops sind in einer Vakuumkammer 1c wenigstens dann angeordnet, wenn die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 mit einem Elektronenstrahl beaufschlagt wird, um darauf ein Bild aufzuzeichnen. Der Innenraum des Objektivtubus 1a und der Innenraum der Vakuumkammer werden durch jede bekannte Einrichtung wie etwa eine Vakuumpumpe unter Vakuum gehalten, wenn das Elektronenmikroskop in Betrieb ist.

Der Objektivtubus 1a nimmt eine Elektronenkanone 3 für die Emission eines Elektronenstrahls 2 mit gleichmäßiger Geschwindigkeit, wenigstens eine Sammellinse 4, die eine magnetische Linse oder eine elektrostatische Linse enthält, um den Elektronenstrahl 2 in Richtung zur Probe 8 zu bündeln, einen Probenträger 5, eine Objektivlinse 5, die mit der Sammellinse 4 identisch ist, sowie eine Projektionslinse 7 auf. Der Elektronenstrahl 2, der durch die auf dem Probenträger 5 angeordnete Probe 8 gegangen ist, wird durch die Objektivlinse 6 abgelenkt, um ein vergrößertes Streulicht-Bild 8a der Probe 8 zu bilden. Das vergrößerte Streulichtbild 8a wird durch die Projektionslinse 7 als Bild 8b auf der Abbildungsebene 9 fokussiert.

Die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 in der Aufzeichnung-/Ausleseeinheit 1b besitzt die Form eines Endlosriemens, der um eine zylindrische Antriebsrolle 101 und eine zylindrische angetriebene Rolle 102 gezogen ist, die in horizontaler Richtung voneinander beabstandet sind. Die Stimulationseinrichtung besitzt eine Stimulationslichtquelle 11 mit einem He-Ne-Laser oder einem Halbleiterlaser für die Emission eines stimulierenden Lichtstrahls 11a sowie einer Lichtablenkeinrichtung 12 wie etwa einem Galvanometerspiegel für die Ablenkung des stimulierenden Lichtstrahls 11a quer zur Platte 10, um dieselbe abzutasten. Die Vakuumkammer 1c ist durch ein Gehäuse 19 definiert, das mit dem Objektivtubus 1a in Verbindung steht und ein lichtdurchlässiges Wandelement 19a besitzt, das aus Bleiglas hergestellt ist und durch das der stimulierende Lichtstrahl 11a von der Lichtablenkeinrichtung 12 zur Platte 10 verläuft. Die Detektoreinrichtung enthält einen Lichtsammelkörper 14 zum Sammeln des von der Platte 10 emittierten Lumineszenzlichts sowie einen photoelektrischen Meßwertaufnehmer 15 wie etwa einen Photoelektronenvervielfacher, der mit dem Austrittsende des Lichtsammelkörpers 14 gekoppelt ist, um das emittierte Lumineszenzlicht durch ein das stimulierende Licht beseitigendes Filter zu erfassen, um ein entsprechendes elektrisches Signal zu erzeugen. Die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 ist aus einem flexiblen Endlosriemen-Träger und aus einer Schicht aus einem stimulierbaren Leuchtstoff, die an der Außenfläche des Endlosriemen-Trägers aufgebracht ist, aufgebaut. Die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 in Form des Endlosriemens wird so angetrieben, daß sie sich in Richtung des Pfeils A bewegt, wenn die Antriebsrolle 101 von einer Antriebseinheit wie etwa einem Motor gedreht wird.

Die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 in Form des Endlosriemens, die Antriebsrolle 101, die angetriebene Rolle 102, der Lichtsammelkörper 14 und der photoelektrische Meßwertaufnehmer 15 sind in der Vakuumkammer 1c angeordnet. Das Austrittsende des Lichtsammelkörpers 14 kann jedoch aus dem Gehäuse 19 hervorstehen, so daß der photoelektrische Meßwertaufnehmer 15 außerhalb der Vakuumkammer 1 angeordnet werden kann.

Im Betrieb wird eine (nicht gezeigte) Verschlußklappe, die zwischen dem Elektronenmikroskop und der Aufzeichnungs-/Ausleseeinheit 1b angeordnet ist, geöffnet, um den Bereich der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10, der sich in der Abbildungsebene 9 befindet, mit einem Elektronenstrahl zu beaufschlagen, der das Streulicht-Bild 8b der Probe 8 mit sich führt, um dadurch die Elektronenstrahlenergie in der Platte 10 zu speichern. Dann wird die Antriebsrolle 101 gedreht, um den beaufschlagten Bereich der Platte 10 zum Ausleseabschnitt zu bewegen. Der beaufschlagte Bereich der Platte 10 wird durch den stimulierenden Lichtstrahl 11a, der von der Lichtablenkeinrichtung 12 abgelenkt und durch das lichtdurchlässige Wandelement 19a durchgelassen wird, in Querrichtung abgetastet (primäre Abtastung), wobei die Platte 10 gleichzeitig kontinuierlich in Richtung des Pfeils A bewegt wird, so daß die Platte 10 in Längsrichtung abgetastet wird (sekundäre Abtastung) Daher wird die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 durch den stimulierenden Lichtstrahl 11a zweidimensional abgetastet. Das Licht, das von der Platte 10 bei Beaufschlagung mit dem stimulierenden Lichtstrahl 11a emittiert wird, tritt in den Lichtsammelkörper 14 durch dessen Einfallsende ein und bewegt sich durch diesen hindurch, wobei es einer Totalreflexion unterworfen wird. Dann wird das Licht vom photoelektrischen Meßwertaufnehmer 15 erfaßt, der die Lichtmenge auf photoelektrischem Weg in ein elektrisches Signal umwandelt.

Das vom photoelektrischen Meßwertaufnehmer 15 erzeugte elektrische Signal wird von einem Bildsignalprozessor 16 verarbeitet, anschließend wird das verarbeitete Signal an eine Bildwiedergabeeinrichtung 17 wie etwa eine CRT-Anzeige geliefert. Daher kann das vergrößerte Streulicht- Bild 9b, das durch das von der Platte 10 emittierte Licht geschaffen wird, wiedergegeben werden.

Das auf diese Weise erhaltene wiedergegebene Bild des vergrößerten Streulicht-Bildes 8b wird von der Bedienungsperson dazu verwendet, das vergrößerte Streulicht- Bild 8b auf der Abbildungsebene 9 scharf zu fokussieren.

Genauer steuert die Bedienungsperson bei der Beobachtung des wiedergegebenen Bildes des vergrößerten Streulicht- Bildes 8b auf der CRT-Anzeige 17 einen Fokussierungssteuerknopf 30, um das elektrische oder das magnetische Feld der Objektivlinse 6 zu verändern, um deren Brennweite zu ändern und dadurch die Fokussierungsbedingung des vergrößerten Streulicht-Bildes 8b einzustellen.

Nachdem das Bild 8b fokussiert worden ist, wird das vergrößerte Streulichtbild 8b in einem neuen, nicht beaufschlagten Bereich der Platte 10 im gleichen Prozeß wie oben beschrieben aufgezeichnet. Das erneut auf der Platte 10 aufgezeichnete vergrößerte Streulicht-Bild 8b wird ausgelesen und auf der CRT-Anzeige 17 auf die gleiche Weise wie oben beschrieben wiedergegeben. Das Bild 8b, das in diesem Zeitpunkt wiedergegeben wird, ist daher besser als das vorher aufgezeichnete Bild 8b fokussiert. Falls die Fokussierungsbedingung des zweiten Bildes 8b für die Bedienungsperson annehmbar ist, wird das wiedergegebene Bild als endgültiges Bild verwendet, das direkt auf der CRT-Anzeige 17 wiedergegeben werden kann. Alternativ kann das das Bild 8b darstellende elektrische Signal in einem Aufzeichnungsmedium 18 wie etwa einem Magnetband gespeichert werden.

Wenn sich das zweite wiedergegebene Bild 8b noch immer nicht im Brennpunkt befindet, kann der Fokussierungssteuerknopf 30 erneut eingestellt werden, um die Fokussierungsbedingung zu korrigieren, anschließend kann ein drittes Bild 8b wie auf die vorangehende Weise aufgezeichnet, ausgelesen und wiedergegeben werden. Ein solcher Fokussierungszyklus kann so oft wie gewünscht wiederholt werden, um ein wiedergegebenes Bild zu erhalten, das scharf fokussiert ist. Da das vergrößerte Streulicht- Bild 8b auf der CRT-Anzeige 17 schnell wiedergegeben werden kann, sollte das zum Zwecke der Fokussierung wiedergegebene Bild um einer höheren Effizienz willen vorzugsweise auf der CRT-Anzeige 17 angezeigt werden, selbst wenn eine Hartkopie des Bildes erzeugt werden soll.

Nachdem das Bild von der Platte 10 gelesen worden ist, wird deren beaufschlagter Bereich in eine Löschzone 20 befördert, in der Löschlicht, das von einer Löschlichtquelle 21 wie etwa einer außerhalb des Gehäuses 19 angeordneten Fluoreszenzlampe emittiert wird, durch ein lichtdurchlässiges Wandelement 19b, das im Gehäuse 19 unterstützt ist, auf die Platte 10 gestrahlt wird. Das Löschlicht liegt im selben Wellenlängenbereich wie das stimulierende Licht für die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10. Daher kann bei Beaufschlagung mit dem Löschlicht von der Löschlichtquelle 21 jedes in der Leuchtstoffplatte 10 gespeicherte Restbild sowie jegliches Rauschen, das durch ein radioaktives Element wie etwa ²²&sup6;Ra bedingt ist, das als Verunreinigung in der Leuchtstoffplatte enthalten ist, aus der Platte 10 entfernt werden. Die Löschlichtquelle 21 kann eine Wolframlampe, eine Halogenlampe, eine Infrarotlampe, eine Xenonblitzlampe oder eine Laserquelle enthalten, wie in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 56(1981)-11392 offenbart ist.

Zwischen der Abbildungsebene 9 oder einer Aufzeichnungsfläche und der Detektoreinrichtung 14, 15 oder einer Lesefläche kann eine geeignete lichtabschirmende Verschlußklappe angeordnet sein, um gleichzeitig zu ermöglichen, daß ein fokussiertes Bild und ein nächstes Bild von der Platte 10 gelesen bzw. auf die Platte 10 aufgezeichnet wird. Anstelle der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 in Form des Endlosriemens kann eine einzelne stimulierbare Leuchtstoffplatte zwischen den Aufzeichnungs- und Ausleseflächen vorwärts und rückwärts bewegt werden, um abwechselnd Bilder aufzuzeichnen und auszulesen. Alternativ können eine oder mehrere geeignete Leuchtstoffplatten auf dem Endlosriemen befestigt und zyklisch verwendet werden, um Bilder aufzunehmen und auszulesen.

Das zu Fokussierungszwecken erzeugte Bild braucht nicht dieselbe Größe wie das endgültige Bild besitzen, sondern kann als Bereich des Bildes erhalten werden, indem stimulierendes Licht nur auf einen Teil des gesamten Bildrahmens gestrahlt und nur das von diesem Teil emittierte Licht erfaßt wird. Dadurch wird die für die Wiedergabe des fokussierten Bildes erforderliche Zeit abgekürzt, weshalb der Fokussierungsprozeß effizienter ausgeführt werden kann. Alternativ kann für eine größere Effizienz ein fokussiertes Bild mit größeren Bildelementen als diejenigen eines endgültigen Bildes ausgelesen werden.

Nachdem ein fokussiertes Bild von der Platte 10 ausgelesen worden ist, ist es nicht notwendig, die Platte 10 mit dem Löschlicht zu beaufschlagen, falls auf die Platte 10 ein nächstes fokussiertes Bild aufgezeichnet werden soll. Genauer wird das durch das Auslesen des ersten fokussierten Bildes erzeugte Signal in einem Speicher gespeichert, woraufhin das zweite fokussierte Bild auf die Platte 10 über dem Schichtbereich, in dem das erste fokussierte Bild aufgezeichnet worden ist, aufgezeichnet wird. In dem nächsten Bildlesezyklus wird das gespeicherte Signal des ersten fokussierten Bildes von dem insgesamt gelesenen Signal subtrahiert, um nur das Signal des zweiten fokussierten Bildes zu erhalten.

Das für Fokussierungszwecke erzeugte Bild kann für die Bestimmung eines gewünschten Feldes des endgültigen Bildes verwendet werden. Das heißt, daß die Feldsuche durch Bewegen der Probe 8 oder durch Ändern der Positionen der Abtastfläche des Elektronenstrahls 2 in kleinen Schritten ausgeführt werden kann, wie dies beim herkömmlichen Elektronenmikroskop der Fall ist.

Zwischen der Probe 8 und der Elektronenkanone 3 kann eine Verschlußklappe angeordnet werden, um zu verhindern, daß der Elektronenstrahl die Probe erreicht und folglich diese zerstört, wenn das Bild nicht aufgezeichnet werden soll.

Die Prinzipien der vorliegenden Erfindung können für die Aufzeichnung und die Wiedergabe des Beugungsmusters einer Probe verwendet werden. Fig. 2 erläutert ein Verfahren einer zweiten Ausführungsform zum Aufzeichnen und Wiedergeben eines solchen Beugungsmusters 8c. Das Elektronenmikroskop, das allgemein mit 40 bezeichnet ist, besitzt eine Zwischenlinse 41, die zwischen der Objektivlinse 6 und der Projektionslinse 7 angeordnet ist. Das Beugungsmuster 8c der Probe 8, das auf der hinteren Brennebene der Objektivlinse 7 gebildet wird, wird durch die Zwischenlinse 102 und die Projektionslinse 7, die ihre Brennpunkte auf der hinteren Brennebene der Objektivlinse 7 besitzen, vergrößert und auf die Abbildungsebene 9 projiziert. Durch Anordnen der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 in der Bildebene 9 kann das vergrößerte Bild des Beugungsmusters 8c durch den Elektronenstrahl 2 auf der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 aufgezeichnet werden. Das aufgezeichnete Beugungsmuster 8c kann auf die gleiche Weise, wie mit Bezug auf Fig. 1 beschrieben worden ist, gelesen werden, wobei das gelesene Bild auf der CRT angezeigt oder als Hartkopie gedruckt werden kann.

Ein aufgezeichnetes Muster oder eine aufgezeichnete Information wird durch die aufgezeichnete Bedingung eines auf der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 aufgezeichneten Bildes des durchgelassenen Elektronenstrahls, durch die Natur der Probe 8 und durch die Weise der Aufzeichnung des Bildes bestimmt. Zur Beseitigung von nachteiligen Wirkungen, die aus veränderlichen Aufzeichnungsbedingungen hervorgehen, und zur Gewinnung eines Elektronenmikroskop-Bildes, das deutlich beobachtet werden kann, sollte eine derartige aufgezeichnete Information vor der Wiedergabe eines sichtbaren Bildes, anhand dessen die Probe beobachtet werden kann, erhalten werden. Die Ausleseverstärkung (Auslesebedingung) sollte eingestellt werden oder das bildabhängige Signal sollte durch die erhaltene aufgezeichnete Information verarbeitet werden. Ferner erfordert die Erzeugung eines wiedergegebenen Bildes, das effektiv beobachtet werden kann, daß ein Normierungsfaktor (Belichtungsspielraum: Auslesebedingung) bestimmt wird, um die Auflösung des wiedergegebenen Bildes in Abhängigkeit vom Kontrast des aufgezeichneten Musters zu optimieren.

Eine Weise der Gewinnung der auf der Platte 10 aufgezeichneten Information vor der Erzeugung eines sichtbaren Bildes für die Beobachtung der Probe 8 ist in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 58(1983)- 89245 offenbart. Genauer wird vor der Erzeugung eines sichtbaren Bildes die Beobachtung der Probe 8 (Hauptlesebetriebsart) die in der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 gespeicherte aufgezeichnete Information mit stimulierendem Licht, das eine niedrigere Energie als das in der Hauptlesebetriebsart zu verwendende stimulierende Licht besitzt, ausgelesen (Vorauslesebetriebsart)

Auf der Grundlage der so erhaltenen aufgezeichneten Information wird die Ausleseverstärkung geeignet eingestellt oder wird der Normierungsfaktor für die Hauptlesebetriebsart bestimmt oder wird das in der Hauptlesebetriebsart erzeugte Signal verarbeitet.

Alternativ kann das zu Fokussierungszwecken erzeugte Bild auf der CRT-Anzeige 17 wiedergegeben werden, wobei die Bedienungsperson eine geeignete Ausleseverstärkung, einen geeigneten Normierungsfaktor oder geeignete Signalverarbeitungsbedingungen bestimmt, während sie das auf der CRT-Anzeige 17 angezeigte fokussierte Bild beobachtet. Dann kann entsprechend der bestimmten Ausleseverstärkung oder des bestimmten Normierungsfaktors das endgültige Bild ausgelesen werden oder es kann das Bildsignal unter den bestimmten Verarbeitungsbedingungen verarbeitet werden.

Die photoelektrische Detektoreinrichtung 14, 15 kann anstelle des Photoelektronenvervielfachers einen photoelektrischen Festkörper-Meßwertaufnehmer enthalten (siehe die japanischen ungeprüften Patentanmeldungen Nrn. 58(1983)- 86226, 58(1983)-86227, 58(1983)-219313 und 58(1983)- 219314 und die japanischen ungeprüfte Patentveröffentlichung Nr. 58(1983)-121874). Es können in gegenseitig überdeckender Beziehung auf der gesamten Fläche der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 mehrere photoelektrische Festkörper-Meßwertaufnehmerelemente angeordnet werden, alternativ können sie in der Nähe der Platte 10 angeordnet werden. Die photoelektrische Detektoreinrichtung kann außerdem einen Zeilensensor, der aus einer Reihenanordnung von photoelektrischen Festkörper-Meßwertaufnehmerelementen aufgebaut ist, oder ein einziges photoelektrisches Festkörper-Meßwertaufnehmerelement, das einem Bildelement entspricht und beweglich ist, um die gesamte Oberfläche der Platte 10 abzutasten, umfassen.

Die Quelle 11 für stimulierendes Licht kann eine Reihenanordnung von lichtemittierenden Dioden oder von Halbleiterlasern umfassen, um einen Verlust des von der Platte 10 emittierten Lichts zu verhindern und um der Detektoreinrichtung zu ermöglichen, das emittierte Licht für ein erhöhtes S/R-Verhältnis in einem größeren Winkel zu erfassen. Das von der Detektoreinrichtung erzeugte elektrische Signal kann mit hoher Geschwindigkeit ausgelesen werden, da die Zeitabhängigkeit des Signals durch die elektrische Verarbeitung in der Detektoreinrichtung und nicht durch die zeitabhängige Anwendung des stimulierenden Lichts bestimmt wird.

Die stimulierbare Leuchtstoffplatte kann eine thermofluoreszierende Leuchtstoffplatte enthalten. Für die Abgabe der in der thermofluoreszierenden Leuchtstoffplatte gespeicherten Energie kann die Platte durch thermische Bestrahlung, die von einer Heizquelle, wie etwa einer CO&sub2;- Laserquelle emittiert wird, abgetastet werden. Für mehr Einzelheiten sollte auf die japanische Patentveröffentlichung Nr. 55(1980)-47720 Bezug genommen werden.

Nachdem das Bild auf der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 aufgezeichnet worden ist, kann das Vakuum in der Vakuumkammer 10 beseitigt werden, kann die Platte 10 aus der Vakuumkammer 1c entnommen werden und kann das darin gespeicherte Bild mittels eines Bildlesers getrennt vom Elektronenmikroskop 1a gelesen werden. Wenn jedoch die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 wie erläutert wiederholt in der Vakuumkammer 1c verwendet wird, können eine Anzahl von Bildern nacheinander aufgezeichnet und wiedergegeben werden, ohne die stimulierbaren Leuchtstoffplatten zu ändern.

Fig. 3 zeigt eine Anordnung zum Ausführen eines Verfahrens gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Gemäß dem dritten Verfahren werden nacheinander mehrere Bilder der Probe 8 zu Fokussierungszwecken auf der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 aufgezeichnet, wobei der Fokussierungssteuerknopf 30 von der Bedienungsperson nacheinander leicht gedreht wird. Daher werden die aufgezeichneten Bilder für Fokussierungszwecke etwas unterschiedlich auf der Platte 10 fokussiert. Zu diesem Zeitpunkt werden die Einstellungen (Fokussierungsbedingungen) der Fokussierungssteuerknopfes 30 für die jeweiligen fokussierten Bilder aufgezeichnet oder gespeichert. Es ist nicht notwendig, zu Fokussierungszwecken die gesamten fokussierten Bilder auf der Platte 10 aufzuzeichnen, vielmehr ist es ausreichend, nur einen Teil eines jeden der fokussierten Bilder auf der Platte 10 aufzuzeichnen, indem die (nicht gezeigte) Verschlußklappe zwischen dem Elektronenmikroskop 1a und der Aufzeichnungs-/Ausleseeinheit 1b teilweise geöffnet wird. Daher kann die Zeit, die für die Erzeugung der erforderlichen fokussierten Bilder notwendig ist, abgekürzt werden.

Dann werden die fokussierten Bilder auf der CRT-Anzeige 17 angezeigt oder von einer Bildaufzeichnungseinrichtung 50 aufgezeichnet. Wie in Fig. 4 gezeigt, enthält die Aufzeichnungseinrichtung 50 einen Laser 31 für die Erzeugung eines Laserstrahls, der mittels eines akustooptischen Modulators 33 moduliert wird, der mit einem Bildsignal von einer Bildsignalversorgungsschaltung 34 versorgt wird. Der modulierte Laserstrahl 32 wird von einer Lichtablenkeinrichtung 35 abgelenkt, um eine lichtempfindliche Platte 36 in den Richtungen des Pfeils X abzutasten (primäre Abtastung), während die lichtempfindliche Platte 36 in Richtung des Pfeils Y bewegt wird (sekundäre Abtastung). Die Bildsignal-Versorgungsschaltung 34 wird mit dem Signal vom Bildsignalprozessor 16 versorgt (Fig. 3) . Das auf der lichtempfindlichen Platte 36 aufgezeichnete sichtbare Bild ist größer als die Abbildungsebene 6 oder die Fläche der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10, wo das Bild aufgezeichnet wird. Daher wird das vergrößerte Streulicht-Bild 8b auf der lichtempfindlichen Platte 36 größer als in der Abbildungsebene 9 wiedergegeben. Da das vergrößerte Streulicht-Bild 8b durch Verwendung der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 mit größerer Schärfe wiedergegeben wird, ist das vergrößerte Bild auf der lichtempfindlichen Platte 36 für die Bedienungsperson scharf genug, daß sie zu Prüfzwecken die Fokussierungsbedingung beobachten kann. Daher kann die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 eine kleine Größe besitzen, weshalb auch der photoelektrische Meßwertaufnehmer 15 klein dimensioniert sein kann.

Bei der Erzeugung des Bildes, das durch die in Fig. 4 gezeigte Bildaufzeichnungseinrichtung vergrößert worden ist, kann die Dichte der Abtastzeilen über der lichtempfindlichen Platte 36 geringer als diejenige der für die Gewinnung der Bildinformation von der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 verwendeten Abtastzeilen sein. Die Dichte der Abtastzeilen für die Erzeugung einer ausreichenden Bildinformation von der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10 sollte höher als 10 Bildelemente/mm und vorzugsweise im Bereich von 15 Bildelemente/mm bis 100 Bildelemente/mm liegen. Die Dichte der Abtastzeilen für die Aufzeichnung des Bildes in der Bildaufzeichnungseinrichtung von Fig. 4 sollte jedoch geringer sein, vorzugsweise im Bereich von 5 Bildelemente/mm bis 20 Bildelemente/mm, um das vergrößerte Bild ohne Qualitätsverschlechterung zu erzeugen.

Die unterschiedlich fokussierten Bilder werden somit nacheinander auf der CRT-Anzeige 17 angezeigt oder auf entsprechenden lichtempfindlichen Platten 36 oder auf einer lichtempfindlichen Platte 36 in aufeinanderfolgenden Bereichen derselben aufgezeichnet. Die Bedienungsperson vergleicht die angezeigten oder aufgezeichneten Bilder und wählt das am besten fokussierte Bild aus. Wenn das ausgewählte Bild das gesamte, vergrößerte Streulicht- Bild 8b darstellt, wird das gewählte Bild als endgültiges Bild verwendet. Wenn das ausgewählte Bild nur einen Teil des vergrößerten Streulicht-Bildes 8b darstellt, wird das vergrößerte Streulicht-Bild 8b auf die Platte 10 aufgezeichnet und auf der CRT-Anzeige 17 wiedergegeben oder auf die lichtempfindliche Platte 36 oder in das Aufzeichnungsmedium 18 aufgezeichnet. Zu diesem Zeitpunkt wird der Fokussierungssteuerknopf 30 auf die aufgezeichnete oder gespeicherte Fokussierungseinstellung, bei der das am besten fokussierte Bild erzeugt wird, gesetzt. Die Objektivlinse 6 kann automatisch eingestellt werden, um das am besten fokussierte Bild entsprechend der aufgezeichneten oder gespeicherten Fokussierungseinstellung zu erzeugen.

Um ein gewünschtes Feld des endgültigen Bildes zu bestimmen, wird die Probe 8 in kleinen Schritten bewegt oder wird die Position der Abtastfläche des Elektronenstrahls 2 in kleinen Schritten geändert, um das gewünschte Feld zu suchen.

In dem Fall, daß die Fokussierungsbilder auf der CRT-Anzeige 17 angezeigt werden sollen, sollten sie vorzugsweise auf einer Magnetplatte oder dergleichen aufgezeichnet werden, so daß sie auf der CRT-Anzeige 17 in jeder gewünschten Reihenfolge wiederholt angezeigt werden können, um den Fokussierungsvergleich zu erleichtern.

Fig. 5 veranschaulicht eine Anordnung zum Ausführen eines Verfahrens gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Wenn ein Bild der Probe 8 auf die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10 zu Fokussierungszwecken aufgezeichnet wird, wird die Intensität des von der Elektronenkanone 3 emittierten Elektronenstrahls durch einen Einstellschalter 37 so gewählt, daß sie niedriger als diejenige des Elektronenstrahls ist, der für die Aufzeichnung des vergrößerten Streulicht-Bildes 8b als endgültiges Bild emittiert werden muß. Genauer kann der an die Sammellinse 4 gelieferte Strom verändert werden, um die Dichte der auf die Probe 8 gerichteten Elektronen pro Einheitsfläche abzusenken. Alternativ kann der durch den Heizdraht der Elektronenkanone 3 fließende Strom abgesenkt werden, um die Intensität der vom Heizdraht abgegebenen Thermo-Elektronen zu reduzieren, oder es wird die Bewegung der Geschwindigkeit einer (nicht gezeigten) Verschlußklappe, die zwischen der Elektronenkanone 3 und der Probe 8 angeordnet ist, erhöht. Das auf diese Weise in der Platte 10 aufgezeichnete Bild wird anschließend vom dem photoelektrischen Meßwertaufnehmer 15 erfaßt. In diesem Zeitpunkt wird die Energie des stimulierenden Lichts 11a, das vom Laser 11 emittiert wird, durch einen Ausgangs-Einstellschalter 38 auf einen Pegel erhöht, der höher als der Pegel ist, bei dem das endgültige Bild gelesen werden wird. Da das von der Platte 10 emittierte und von dem photoelektrischen Meßwertaufnehmer 15 erfaßte Licht verstärkt wird, kann dessen Energie durch den photoelektrischen Meßwertaufnehmer 15 selbst dann mit hoher Empfindlichkeit erfaßt werden, wenn die Stärke des von der Elektronenkanone 3 emittierten Elektronenstrahls reduziert ist.

Das aus dem Signal vom photoelektrischen Meßwertaufnehmer 15 abgeleitete Bild wird anschließend auf der CRT-Anzeige 17 angezeigt, damit die Bedienungsperson die Fokussierungsbedingung des Bildes beurteilen kann. Wenn das Bild fehlfokussiert ist, stellt die Bedienungsperson den Fokussierungssteuerknopf 30 so ein, daß der Fokussierungszustand des vergrößerten Streulicht-Bildes 8b korrigiert wird. Nachdem die gewünschte Fokussierungsbedingung erreicht worden ist, wird das vergrößerte Streulicht-Bild 8b erneut auf die Platte 10 aufgezeichnet, die in Richtung des Pfeils A bewegt worden ist. Zu diesem Zeitpunkt wird die Intensität des auf die Probe 8 angewendeten Elektronenstrahls durch den Einstellschalter 37 erhöht, ferner wird der Energiepegel des stimulierenden Lichts 11a abgesenkt. Daher wird das vergrößerte Streulicht-Bild 8b mit großer Schärfe aufgezeichnet, um der Bedienungsperson die effiziente Beobachtung desselben zu ermöglichen. Das aufgezeichnete vergrößerte Streulicht-Bild 8b wird dann auf der CRT-Anzeige 17 angezeigt oder in das Aufzeichnungsmedium 18 aufgezeichnet. Der obige Fokussierungsprozeß kann so oft wie gewünscht wiederholt werden, um ein schärfer fokussiertes Bild zu erzeugen.

Wegen der erhöhten Ausleseempfindlichkeit ist das zu Fokussierungszwecken erzeugte Bild weniger scharf als das endgültige Bild. Das weniger scharfe Bild beeinflußt jedoch den Fokussierungsprozeß nicht nachteilig. Die Energie des stimulierenden Lichts 11a kann durch Verwenden einer optischen Einrichtung zum Reduzieren des Durchmessers des Strahls des stimulierenden Lichts 11a oder durch Verringern der Geschwindigkeit der primären und der sekundären Abtastung oder durch Beseitigen des optischen Weges eines ND-Filters, das zur Dämpfung des stimulierenden Lichtstrahls 11a verwendet wird, wenn das endgültige Bild gelesen wird, erhöht werden.

Gemäß einer fünften Ausführungsform, die in Fig. 6 veranschaulicht ist, sind mehrere (zwei in der gezeigten Ausführungsform) stimulierbare Leuchtstoffplatten 10A, 10B an der Außenfläche eines Endlosriemens 10C befestigt, der um die Antriebsrolle 101 und die angetriebene Rolle 102 gezogen ist. Die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10A besitzt eine höhere Empfindlichkeit, um darauf ein Fokussierungsbild aufzuzeichnen, während die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10B eine geringere Empfindlichkeit besitzt, um darauf ein endgültiges Bild aufzuzeichnen. Daher kann die Intensität des Elektronenstrahls, der auf die Probe 8 gerichtet wird, bei der Aufzeichnung des Fokussierungsbildes auf die stimulierbare Leuchtstoffplatte 10A abgesenkt werden. Das endgültige Bild, das auf der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10B aufgezeichnet und hiervon wiedergegeben wird, ist schärfer als das Fokussierungsbild, ferner kann das wiedergegebene vergrößerte Streulicht-Bild 8b mit hoher Effizienz beobachtet werden.

Die Empfindlichkeit der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10A kann durch Vergrößern der Teilchengröße des stimulierbaren Leuchtstoffs für einen höheren Lichtemissionswirkungsgrad, durch Erhöhen der Dicke der stimulierbaren Leuchtstoffplatte unter Verwendung eines stimulierbaren Leuchtstoffs mit einem höheren Lichtemissionswirkungsgrad oder durch Reduzieren der in der stimulierbaren Leuchtstoffplatte enthaltenen Menge eines Pigments oder eines Farbstoffs zur Verhinderung der Streuung des stimulierenden Lichts erhöht werden (siehe die japanische ungeprüfte Patentveröffentlichung Nr. 55(1980)-163500) . Wenn das auf der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 10A aufgezeichnete Fokussierungsbild hiervor ausgelesen werden soll, kann der Energiepegel des stimulierenden Lichts, das hierauf gerichtet wird, erhöht werden.

Fig. 7 dient der Erläuterung eines Verfahrens gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das von dem photoelektrischen Meßwertaufnehmer 15 erzeugte Signal für die Wiedergabe eines Fokussierungsbildes wird von einem Verstärker 40 mit einer festen Ausleseverstärkung a' verstärkt, anschließend wird das verstärkte Signal von einem A/D-Umsetzer 41 mit einem festen Normierungsfaktor b' in ein digitales Signal umgewandelt. Dann wird das digitale Signal von einem Signalprozessor 42 unter einer festen Bildverarbeitungsbedingung c' verarbeitet. Das verarbeitete Signal wird an die CRT-Anzeige 17, in der es angezeigt wird, oder an die Aufzeichnungseinrichtung geliefert, in der es auf eine lichtempfindliche Platte aufgezeichnet wird. Das obige Fokussierungsbild wird aufgezeichnet und wiedergegeben, damit die Bedienungsperson den Fokussierungszustand des Bildes prüfen kann, bevor das vergrößerte Streulicht-Bild 8b als endgültiges Bild wiedergegeben wird. Die feste Ausleseverstärkung a', der feste Normierungsfaktor b' und die feste Bildverarbeitungsbedingung c' sind in einem Speicher 43 gespeichert und werden über eine Steuerschaltung 44 an den Verstärker 40, den A/D-Umsetzer 41 bzw. an den Signalprozessor 42 geliefert. Das digitale Signal, das von A/D-Umsetzer 41 ausgegeben wird, wird ebenfalls an die Steuerschaltung 44 geliefert.

Wenn die Bedienungsperson das Fokussierungsbild beobachtet, stellt sie den Steuerfokussierungsknopf 30 so ein, daß die Fokussierungsbedingung des Bildes korrigiert wird. Wenn die korrigierte Brennweite des Bildes annehmbar ist, wird das vergrößerte Streulicht-Bild 8b erneut auf die Platte 10 aufgezeichnet und auf der CRT-Anzeige 17 wiedergegeben oder auf das Aufzeichnungsmedium 18 aufgezeichnet. Wenn das zweite wiedergegebene Bild noch immer nicht gut fokussiert ist, kann der obige Fokussierungsprozeß erneut so oft wie gewünscht wiederholt werden, um ein gut fokussiertes Bild zu erhalten.

Das von dem A/D-Umsetzer 41 erzeugte digitale Signal, das die in der Platte 10 gespeicherte aufgezeichnete Information angibt und der Erzeugung des ersten Fokussierungsbildes dient, wird in die Steuerschaltung 44 eingegeben. Die Steuerschaltung 44 gibt dann eine Ausleseverstärkung a, einen Normierungsfaktor b sowie eine Verarbeitungsbedingung c in Abhängigheit vom digitalen Signal aus und gibt dieses in den Verstärker 40, in den A/D-Umsetzer 41 bzw. in den Signalprozessor 42 ein. Daher wird das zweite Bild als weiteres Fokussierungsbild oder als endgültiges Bild durch Verstärken des Ausgangssignals vom photoelektrischen Meßwertaufnehmer 15 mit der Ausleseverstärkung a, durch Umwandeln des verstärkten Signals in ein digitales Signal mittels des A/D-Umsetzers 41 mit dem Normierungsfaktor b und durch Verarbeiten des digitalen Signals mit dem Bildsignalprozessor 42 unter der Bildverarbeitungsbedingung c ausgelesen und wiedergegeben. Das digitale Signal vom A/D-Umsetzer 41 kann durch den Bildsignalprozessor 42 in der Frequenzverarbeitungsbetriebsart verarbeitet werden, wie in den US-Patenten Nrn. 4,346,295, 4,315,318 und 4,387,428 offenbart ist, oder in der Tonverarbeitungsbetriebsart, die in den US-Patenten Nrn. 4,302,672, 4,276,473 und 4,310,886 offenbart ist, verarbeitet werden.

Wenn die Bedienungsperson bestätigt hat, daß das Fokussierungsbild gut fokussiert ist, kann die Platte 10 zurück zur Lesefläche bewegt werden, woraufhin das Bild hiervon als endgültiges Bild ausgelesen werden kann. Das von dem photoelektrischen Meßwertaufnehmer 15 erzeugte Bildsignal wird dann mit der Ausleseverstärkung a verstärkt, mit dem Normierungsfaktor b in ein digitales Signal umgewandelt und schließlich unter der Bildverarbeitungsbedingung c verarbeitet. In diesem Zeitpunkt wird das Fokussierungsbild vorzugsweise mit stimulierendem Licht mit einem Energiepegel gelesen, der niedriger als derjenige des stimulierenden Lichts ist, welches für die Erzeugung des endgültigen Lichtes verwendet wird. Der Energiepegel des stimulierenden Lichts kann durch entfernbare Anbringung einer Lichtmengen-Reduziereinrichtung und/oder einer Strahldurchmesser-Erhöhungseinrichtung im optischen Weg des stimulierenden Lichts reduziert werden, wie in den japanischen ungeprüften Patentveröffentlichungen Nrn. 58(1983)-67243 und 58(1983)-67244 offenbart ist.

Mit einer in Fig. 8 gezeigten Einrichtung wird ein Verfahren gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ausgeführt. Die Einrichtung enthält ein Elektronenmikroskop, das mit denjenigen der vorhergehenden Ausführungsformen identisch ist, sowie eine Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheit 45. Die Bildaufzeichnungs/Bildausleseeinheit 45 enthält einen ersten zweidimensionalen Bildsensor 46, der eine in der Abbildungsebene 9 befestigte stimulierbare Leuchtstoffplatte enthält und in einem Gehäuse 47 angeordnet ist, das mit dem Objektivtubus 1a, einer ersten Stimulationseinrichtung, die aus einer Stimulationslichtquelle 48 und einem optischen Abtastsystem 49 aufgebaut ist, mit einem ersten Photoelektronenvervielfacher 50, der durch ein in der Wand des Gehäuses 47 definiertes lichtdurchlässiges Fenster 51 der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 zugewandt ist, sowie mit einer ersten Löschlichtquelle 52 in Verbindung steht.

Die stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 umfaßt eine auf einem durchlässigen Träger aufgebrachte Schicht eines stimulierbaren Leuchtstoffs. Die Stimulationslichtquelle 48 kann einen He-Ne-Laser oder einen Halbleiterlaser umfassen. Das optische Abtastsystem 49 ist aus einer ersten und einer zweiten Lichtablenkeinrichtung 49a, 49b, die außerhalb des Gehäuses 47 angeordnet sind, und einem festen Spiegel 49c, der im Gehäuse 47 angeordnet ist, aufgebaut. Jede der Lichtablenkeinrichtungen 49a, 49b kann die Form eines Galvanometerspiegels, eines Polygonspiegels, einer Hologramm-Abtasteinrichtung oder einer akustooptischen Ablenkeinrichtung besitzen. Ein von der Stimulationslichtquelle 48 emittierter stimulierender Laserstrahl 48a wird von der ersten Lichtablenkeinrichtung 49a in einer ersten Richtung und dann von der zweiten Lichtablenkeinrichtung 49b in einer zur ersten Richtung senkrechten Richtung abgelenkt, wie durch den Pfeil A angezeigt ist. Der abgelenkte Lichtstrahl 48a verläuft durch eine Bleiglasschicht, die in das in der Wand des Gehäuses 47 definierte lichtdurchlässige Fenster 53 eingepaßt ist, und wird durch den festen Spiegel 49c abgelenkt, um auf der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 aufzutreffen. Die stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 wird daher mit dem Laserstrahl 48a zweidimensional abgetastet. Der Laserstrahl 48a wird vorzugsweise durch ein (nicht gezeigtes Filter) geschickt, um den Wellenlängenbereich des von der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 emittierten Lichts zu kappen, anschließend wird der Strahldurchmesser von einer (nicht gezeigten) Strahlerweiterungseinrichtung eingestellt, bevor der Strahl in den Lichtablenkeinrichtungen 49a, 49b abgelenkt wird und schließlich durch eine fR- Linse für einen gleichmäßigen Strahldurchmesser läuft, bevor es auf die stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 angewendet wird.

Die Löschlichtquelle 52 emittiert Licht im selben Wellenlängenbereich wie derjenige des stimulierenden Lichts, das auf die stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 angewendet wird. Ein Spiegel 54 ist so angeordnet, daß er eine Winkelbewegung zwischen einer ersten Position im Weg des Laserstrahls 48a zwischen der zweiten Lichtablenkeinrichtung 49b und dem festen Spiegel 49c und einer zweiten Position außerhalb des Weges des Laserstrahls 48a ausführen kann. Wenn sich der Spiegel 54 in der ersten Position befindet, wird das von der Löschlichtquelle 52 emittierte Löschlicht 52a durch eine Linse 55 gesammelt und von den Spiegeln 54, 49c reflektiert, damit es auf die stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 auf deren gesamte Oberfläche fällt. Eine Verschlußklappe 56, die den Elektronenstrahl 2 sperrt, ist zwischen dem Objektivtubus 1a und dem Gehäuse 47 in Winkelrichtung beweglich angeordnet. Eine Licht-Verschlußklappe 57 ist zwischen der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 und dem ersten Photoelektronenvervielfacher 50 angeordnet. Eine in das Fenster 51 eingepaßte Glasschicht 58 besitzt ein optisches Filter, das dem von der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 emittierten Licht den Durchgang erlaubt, während es den stimulierenden Lichtstrahl 48a kappt. Der Innenraum des Objektivtubus 1a und des Gehäuses 47 wird mittels einer (nicht gezeigten) Vakuumpumpe unter Vakuum gehalten.

Das Gehäuse 47 nimmt einen Schichtbeförderungstisch 59, mehrere längs des Plattenbeförderungstisches 59 angeordnete Plattenbeförderungsrollen 60, einen Lichtsammelkörper 62, einen zweiten Photoelektronenvervielfacher 63, der mit dem Lichtsammelkörper 62 optisch gekoppelt ist, sowie einen zweiten zweidimensionalen Bildsensor 64, der eine auf dem Plattenbeförderungstisch 59 beweglich angeordnete stimulierbare Leuchtstoffplatte enthält, auf. Die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 kann durch Drehen der Plattenbeförderungsrollen 60 in der einen und der anderen Richtung auf dem Plattenbeförderungstisch 59 vorwärts und rückwärts bewegt werden. Eine zweite Stimulationsquelle umfaßt eine Stimulationslichtquelle 65, die mit der Stimulationslichtquelle 48 identisch ist, sowie eine Lichtablenkeinrichtung 66, die mit der Lichtablenkeinrichtung 49a oder 49b identisch ist. Ein von der Stimulationslichtquelle 48 emittierter Stimulationslichtstrahl 65a wird von der Lichtablenkeinrichtung 66 abgelenkt, damit er durch ein lichtdurchlässiges Fenster 67 in der Gehäusewand verläuft, um die stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 in der Richtung abzutasten, die zu der Richtung senkrecht ist, in welcher die stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 auf dem Plattenbeförderungstisch 59 beweglich ist. Der Plattenbeförderungstisch 59 besitzt eine Öffnung 68, die in diesem oberhalb der ersten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 definiert ist. Die erste stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 kann mit dem Elektronenstrahl 2 beaufschlagt werden, wenn die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 aus der Position über der Öffnung 68 nach links (Fig. 8) bewegt wird.

Die Operation der Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheit 45 zum Aufzeichnen und Auslesen eines Elektronenmikroskop-Bildes ist die folgende: Zunächst wird eine Feldsuchbetriebsart ausgeführt. Die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 ist wie gezeigt in einer Entfernung von der Öffnung 68 angeordnet. Wenn die Verschlußklappe 56 wie gezeigt geöffnet ist, wird die erste stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 mit dem Elektronenstrahl 2 beaufschlagt, um die Energie des Elektronenstrahls 2, der das vergrößerte Streulicht-Bild 8b der Probe 8 mit sich führt, zu speichern. Die Licht-Verschlußklappe 57 sollte vorzugsweise geschlossen sein, wenn die erste stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 mit dem Elektronenstrahl 2 beaufschlagt wird. Dann werden die Verschlußklappe 19 geschlossen und die Lichtverschlußklappe 57 geöffnet. Die Stimulationslichtquelle 48 wird angeregt, damit sie den Stimulationslichtstrahl 48a emittiert, der so abgelenkt wird, daß er die erste stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 zweidimensional abtastet. Die erste stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 emittiert nun Licht mit einer Intensität, die mit dem Energiepegel des Elektronenstrahls 2 vergleichbar ist, der auf die Platte 46 gerichtet worden ist. Das auf diese Weise von der Platte 46 emittierte Licht wird von dem ersten Photoelektronenvervielfacher 50 durch die Glasschicht 58 hindurch photoelektrisch erfaßt.

Das vom ersten Photoelektronenvervielfacher 50 erzeugte elektrische Signal wird von einem Bildsignalprozessor 69 verarbeitet, anschließend wird das verarbeitete Signal an eine Überwachungsbild-Wiedergabeeinrichtung 70 wie etwa eine CRT-Anzeige geschickt. Daher kann das vergrößerte Streulicht-Bild 8b aus dem vom ersten stimulierbaren Leuchtstoffsensor 46 emittierten Licht wiedergegeben werden.

Die Bedienungsperson stellt die Position der Probe 8 auf dem Probenträger 5 ein, während sie das vergrößerte Streulicht-Bild 8b auf der CRT-Anzeige 70 beobachtet, so daß das wiedergegebene Bild 8b in einem gewünschten Feld liegt.

Das Überwachungsbild auf der ersten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 wird mit einer Geschwindigkeit ausgelesen, die ausreichend höher als diejenige Geschwindigkeit ist, mit der ein Bild aus der zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 64 (die später beschrieben wird) ausgelesen wird. Für eine solche Hochgeschwindigkeits-Ausleseoperation wird die zweidimensionale Abtastung mit dem Stimulationslichtstrahl 48a mit einer höheren Geschwindigkeit ausgeführt, oder aber das Bild wird aus der ersten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 mit größeren Bildelementen ausgelesen.

Nachdem das Bild aus der ersten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 zum Anzeigen auf der CRT-Anzeige 70 ausgelesen worden ist, wird die Licht-Verschlußklappe 57 geschlossen, woraufhin der Spiegel 54 in die erste Position im optischen Weg des Lichtstrahls 48a geschwenkt wird. Die erste Löschlichtquelle 52 wird angeregt, damit sie die Oberfläche der ersten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 über die Spiegel 54, 49c mit Löschlicht 52a beaufschlagt. Jegliches verbleibende Bild wird nun von der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 beseitigt, so daß diese dann in einen neuen Zyklus eingeführt werden kann. Bei der Beaufschlagung mit dem Löschlicht 52a kann auch das Rauschen beseitigt werden, das durch ein als Verunreinigung im Leuchtstoff der Platte 46 enthaltenes radioaktives Element wie etwa ²²&sup6;Ra entsteht. Die Stimulationslichtquelle 48 kann durch eine Lichtquelle für die Emission des Löschlichts 52a verdoppelt sein.

Die obenerwähnte Feldsuchbetriebsart wird in einem oder in mehreren Zyklen ausgeführt, um das vergrößerte Streulichtbild 8b in einem gewünschten Feld zu erhalten. Dann wird das vergrößerte Streulichtbild 8b aufgezeichnet und in einer Hauptlesebetriebsart gelesen. Zunächst wird die Verschlußklappe 56 geschlossen, anschließend wird die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 durch die Plattenbeförderungsrollen 60 zu der Position über der Öffnung 68 bewegt. Dann wird die Verschlußklappe 56 geöffnet, damit die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 die Energie des Elektronenstrahls 2 speichern kann, die das vergrößerte Streulichtbild 8b darstellt. Die Verschlußklappe 56 wird erneut geschlossen, anschließend wird die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 durch die Plattenbeförderungsrollen 60 mit einer vorgegebenen Geschwindigkeit in der entgegengesetzten Richtung bewegt. Während dieser Zeit wird die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 durch den Stimulationslichtstrahl 65a abgetastet (primäre Abtastung), während die Platte 64 rückwärts bewegt wird (sekundäre Abtastung). Daher wird die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 durch den Stimulationslichtstrahl 65a zweidimensional abgetastet, damit sie Licht emittiert, das in dem Lichtsammelkörper 62 gesammelt und vom zweiten Photoelektronenvervielfacher 63 photoelektrisch erfaßt wird.

Das von den zweiten Photoelektronenvervielfacher 63 erzeugte elektrische Signal wird von einem Bildsignalprozessor 71 verarbeitet, anschließend wird das verarbeitete Signal an eine Bildwiedergabeeinrichtung 72 wie etwa eine CRT-Anzeige oder an eine Bildaufzeichnungseinrichtung geliefert, in der das Bild auf einer lichtempfindlichen Platte aufgezeichnet werden kann, um eine Hartkopie zu erzeugen. Auf diese Weise kann das vergrößerte Streulicht-Bild 8b als endgültiges Bild wiedergegeben werden, das in der vorhergehenden Feldsuchbetriebsart ein gewünschtes Feld erreicht hat. Das endgültige Bild wird aus der zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 64 mit einer Geschwindigkeit ausgelesen, die geringer als die Geschwindigkeit ist, mit der das Bild aus der ersten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 ausgelesen wird, so daß das endgültige Bild eine ausreichend hohe Qualität besitzen kann. Hierzu können die primäre Abtastung und die sekundäre Abtastung der zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 64 mit dem stimulierenden Licht 65a mit einer verhältnismäßig niedrigen Geschwindigkeit ausgeführt werden oder es kann das Bild aus der zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 64 mit kleineren Bildelementen ausgelesen werden.

Nachdem das endgültige Bild aus der zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 64 ausgelesen worden ist, kann die Platte 64 an eine Position unterhalb der Löschlichtquelle 61 geliefert werden. Die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 wird anschließend mit dem von der Löschlichtquelle 61 emittierten Löschlicht beaufschlagt, so daß sie wiederverwendbar ist.

Das Elektronenmikroskop besitzt einen Fokussierungssteuerknopf 30, der mit dem Fokussierungssteuerknopf 30 in den vorhergehenden Ausführungsformen identisch ist und der mit der Objektivlinse 6 elektrisch verbunden ist. Daher kann das vergrößerte Streulicht-Bild 8b in einen geeigneten fokussierten Zustand gebracht werden, indem der Fokussierungssteuerknopf gedreht wird, während das Bild 8b auf der CRT-Anzeige 69 angezeigt wird. Durch Lesen eines Bereichs oder von Bereichen des Bildes mit einer höheren Dichte als in der Feldsuchbetriebsart kann ein Bild erhalten werden, das eine genaue Fokussierung in einer kurzen Zeitperiode erlaubt. Nachdem ein gewünschtes Feld bestimmt worden ist, kann ein fokussierendes Bild von der zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 64 auf der Bildwiedergabeeinrichtung 71 wiedergegeben werden, wobei die Bedienungsperson den Fokussierungssteuerknopf einstellen kann, während sie das Bild auf der Bildwiedergabeeinrichtung 71 beobachtet.

Fig. 9 zeigt eine Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheit 75, die mit dem Elektronenmikroskop kombiniert ist, um ein Verfahren gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auszuführen. Die Bildaufzeichnungs/Bildausleseeinheit 75 besitzt ein Gehäuse 76, das mit dem Objektivtubus 1a verbunden ist und einen Endlosriemen 77 aufnimmt, an dem vier erste flexible stimulierbare Leuchtstoffplatten 46 in gegenseitigen Abständen befestigt sind. Wenn die Verschlußklappe 56 geöffnet ist, wird die Energie des Elektronenstrahls 2 in einer der ersten stimulierbaren Leuchtstoffplatten 46, die unterhalb der Öffnung positioniert ist, gespeichert. Dann wird der Endlosriemen 77 in Richtung des Pfeils 77a bewegt, um die beaufschlagte Platte 46 im unteren Abschnitt derselben zu befördern. Die Platte 46 wird anschließend durch den Stimulationslichtstrahl 48a abgetastet, der von der Stimulationslichtquelle 48 emittiert und von einer Lichtablenkeinrichtung 78 abgelenkt wird. Das von der Platte 46 emittierte Licht wird von einem Lichtsammelkörper 79 gesammelt und von einem ersten Photoelektronenvervielfacher 80 photoelektrisch erfaßt (Vorwärtslesebetriebsart). Das elektrische Ausgangssignal des ersten Photoelektronenvervielfachers 80 wird durch den Bildsignalprozessor 69 zu der CRT-Anzeige 70 geschickt, um einer Feldsuchbetriebsart zu dienen. Nachdem das Bild von der ersten stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 ausgelesen worden ist, wird diese weiterhin von dem Endlosriemen 77 an eine Position oberhalb einer ersten Löschlichtquelle 81 transportiert, welche anschließend jedes verbleibende Bild aus der Platte 46 löscht.

Die Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheit 75 besitzt eine Plattenzufuhreinheit 82 zum Speichern eines Stapels von zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatten 64 sowie eine Plattenaufnahmeeinheit 83 zum Speichern von zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatten 64. Die zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatten 64 können der Plattenzufuhreinheit 82 nacheinander mittels eines Plattenbeförderungsarms 84 entnommen und durch die Plattenbeförderungsrollen 60 auf den Plattenbeförderungstisch 59 nach rechts (Fig. 9) ausgegeben werden. Eine der zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatten 64 wird in diesem Zeitpunkt über der Öffnung 68 angeordnet und mit dem das vergrößerte Streulicht-Bild 8b mit sich führenden Elektronenstrahl 2 beaufschlagt. Die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64, von der das vergrößerte Streulicht-Bild auf diese Weise als endgültiges Bild getragen wird, wird anschließend weiter nach rechts bewegt, damit der photoelektrische Meßwertaufnehmer 63 das Bild von der Platte 64 auslesen kann (Hauptlesebetriebsart) und damit außerdem die Löschlichtquelle 61 jegliches restliche Bild von der Platte 64 löschen kann. Die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64 wird anschließend in die Plattenaufnahmeeinheit 83 ausgegeben. Wenn sämtliche zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatten 64 in der Plattenzufuhreinheit 62 verbraucht worden sind, wird eine Luke 84 der Plattenaufnahmeeinheit 83 geöffnet, um die gestapelten stimulierbaren Leuchtstoffplatten 64 herauszunehmen, außerdem wird eine Luke 85 der Plattenzufuhreinheit 82 geöffnet, um den Stapel von stimulierbaren Leuchtstoffplatten 64 in der Plattenzufuhreinheit 82 anzuordnen. Vorzugsweise wird zwischen dem Objektivtubus 1a und dem Gehäuse 76 ein bekanntes Abschirmungselement angeordnet, um den Innenraum des Objektivtubus 1a selbst dann unter Vakuum zu halten, wenn die Luken 84, 85 geöffnet werden, um den Innenraum des Gehäuses 76 zur Atmosphäre hin zu öffnen. Das restliche Bild und das Rauschen können von den stimulierbaren Leuchtstoffplatten 64 mittels einer getrennten Löscheinrichtung beseitigt werden, nachdem die Platten 64 aus der Plattenaufnahmeeinheit 83 entnommen worden sind.

Fig. 10 zeigt eine Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheit 90 zum Ausführen eines Verfahrens gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheit 90 unterscheidet sich von der Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheit 75 von Fig. 9 dadurch, daß die Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheit 90 keine zweite Löschlichtquelle 61, keinen Lichtsammelkörper 62, keinen zweiten Photoelektronenvervielfacher 63, keine Stimulationslichtquelle 65 sowie keine Lichtablenkeinrichtung 66 besitzt. Die zweite stimulierbare Leuchtstoffplatte 64, die das vergrößerte Streulicht-Bild 8b als endgültiges Bild speichert, wird daher direkt in die Plattenaufnahmeeinheit 83 abgegeben, ohne daß das Bild gelesen wird (Hauptlesebetriebsart) und mit dem Löschlicht beaufschlagt wird. Die gestapelten zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatten 64 in der Plattenaufnahmeeinheit 83 werden anschließend durch Öffnen der Luke 84 entnommen und mittels einer getrennten (nicht gezeigten) Bildleseeinrichtung in der Hauptlesebetriebsart verarbeitet. Diese getrennte Bildleseeinrichtung kann auf die gleiche Weise wie die Leseeinrichtungsabschnitte der Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheiten 45, 75 konstruiert sein.

In den Fig. 8 bis 10 gezeigten Ausführungsformen sind die ersten und die zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatten 46, 64 für die Aufzeichnung von Überwachungsbildern bzw. von endgültigen Bildern voneinander getrennt. Die stimulierbaren Leuchtstoffplatten können jedoch an einer einzigen Umlaufbeförderungseinrichtung wie etwa dem Endlosriemen 77 befestigt sein und können für die Aufzeichnung sowohl der Überwachungsbilder als auch der endgültigen Bilder verwendet werden. Die getrennte Verwendung von ersten und zweiten stimulierbaren Leuchtstoffplatten 46, 64 ist jedoch wirtschaftlicher, da ältere oder minderwertigere stimulierbare Leuchtstoffplatten nur für die Aufzeichnung von Überwachungsbildern verwendet werden können.

Fig. 11 veranschaulicht eine Bildaufzeichnungs/Bildausleseeinheit 95 zum Ausführen eines Verfahrens gemäß einer zehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheit 95 besitzt einen Antrieb 96 zum Antreiben der Spiegel 49a, 49b, um die stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 mit verschiedenen Geschwindigkeit zweidimensional abzutasten, wenn die Überwachungsbilder bzw. die endgültigen Bilder gelesen werden. Die Bildaufzeichnungs-/Bildausleseeinheit 95 besitzt nur eine Bildausleseeinheit zum Lesen sowohl der Überwachungsbilder als auch der endgültigen Bilder. Nachdem das vergrößerte Streulicht-Bild 8b eines gewünschten Feldes auf der Bildwiedergabeeinrichtung 70 in der Feldsuchbetriebsart wiedergegeben worden ist, wird die stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 mit Löschlicht beaufschlagt, das von der Löschlichtquelle 52 emittiert wird. Dann wird die das vergrößerte Streulicht-Bild 8b darstellende Elektronenstrahlenergie als endgültiges Bild auf der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 aufgezeichnet, anschließend wird das endgültige Bild durch Schalten des Antriebs 96, derart, daß die Spiegel 49a, 49b gedreht werden, mit einer Geschwindigkeit zum Auslesen des endgültigen Bildes ausgelesen. Das Überwachungsbild wird aus der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 mit einer höheren Geschwindigkeit oder mit geringerer Stimulationslichtenergie ausgelesen. Daher verbleibt in der stimulierbaren Leuchtstoffplatte 46 ein erfaßbarer Betrag der Elektronenstrahlenergie selbst dann, wenn das Überwachungsbild hieraus ausgelesen worden ist. Falls das vergrößerte Streulicht-Bild 8b eines gewünschten Feldes auf der Bildwiedergabeeinrichtung 70 bestätigt wird, kann der Antrieb 96 zur Hauptlesebetriebsart für das endgültige Bild geschaltet werden, ohne die stimulierbare Leuchtstoffplatte 46 erneut mit dem Elektronenstrahl 2 zu beaufschlagen, um dadurch die stimulierbare Leuchtstoffplatte abzutasten und das endgültige Bild auszulesen.

Obwohl bestimmte bevorzugte Ausführungsformen gezeigt und beschrieben worden sind, sind selbstverständlich viele Änderungen und Abwandlungen möglich, ohne vom Umfang der beigefügten Patentansprüche abzuweichen.


Anspruch[de]

1. Ein Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben eines Bildes, das von einem Elektronenmikroskop erzeugt wird, welches mit Einrichtungen zum Einstellen der Brennweite und des Feldes versehen ist, mit den Schritten:

i) Beaufschlagen einer zweidimensionalen stimulierbaren Leuchtstoffplatte unter Vakuum mit einem durch eine Probe gegangenen Elektronenstrahl, um wenigstens ein vergrößertes Bild der Probe auf der Leuchtstoffplatte aufzuzeichnen;

ii) Beaufschlagen der Leuchtstoffplatte mit Stimulationsenergie, damit diese Licht abgibt, das ein erstes vergrößertes Bild oder erste vergrößerte Bilder darstellt;

iii) photoelektrisches Erfassen des von der Leuchtstoffplatte abgegebenen Lichts, um ein elektrisches Signal zu erzeugen und das erste elektrische Signal zu verarbeiten, um ein erstes vergrößertes Bild oder erste vergrößerte Bilder zu erzeugen;

iv) Einstellen der Brennweite und/oder des Feldes des Elektronenmikroskops aufgrund der Beobachtung des ersten vergrößerten Bildes oder der ersten vergrößerten Bilder;

v) danach Beaufschlagen einer zweidimensionalen stimulierbaren Leuchtstoffplatte unter Vakuum mit einem durch die Probe gegangenen Elektronenstrahl, um auf der Leuchtstoffplatte ein zweites vergrößertes Bild der Probe aufzuzeichnen;

vi) Beaufschlagen der Leuchtstoffplatte mit Stimulationsenergie, damit diese Licht abgibt, das das zweite vergrößerte Bild darstellt;

vii) photoelektrisches Erfassen des von der Leuchtstoffplatte abgegebenen Lichts, um ein zweites elektrisches Signal zu erzeugen und um das zweite elektrische Signal zu verarbeiten, um das zweite vergrößerte Bild als endgültiges Bild zu erzeugen, das mit der eingestellten Brennweite und/oder dem eingestellten Feld erhalten wird.

2. Ein Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem jede der zweidimensionalen stimulierbaren Leuchtstoffplatten bei Beaufschlagung mit der Stimulationsenergie als Licht Lumineszenzlicht abgeben kann.

3. Ein Verfahren gemäß Anspruch 2, bei dem die Stimulationsenergie Licht ist.

4. Ein Verfahren gemäß Anspruch 3, bei dem die Stimulationsenergie Wärme ist.

5. Ein Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem das erste vergrößerte Bild ein Teil des zweiten vergrößerten Bildes ist.

6. Ein Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem das erste vergrößerte Bild aus Bildelementen aufgebaut ist, die größer als diejenigen des zweiten vergrößerten Bildes sind.

7. Ein Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem mehrere der ersten vergrößerten Bilder der Probe nacheinander unter verschiedenen Fokussierungsbedingungen und/oder in verschiedenen Feldern erzeugt werden, wobei das zweite vergrößerte Bild als endgültiges Bild unter einer ausgewählten von mehreren verschiedenen Fokussierungsbedingungen oder in einem ausgewählten von mehreren verschiedenen Feldern erzeugt wird.

8. Ein Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die Stärke des Elektronenstrahls zum Aufzeichnen des ersten vergrößerten Bildes auf dem Bildsensor niedriger als die Stärke des Elektronenstrahls zum Aufzeichnen des zweiten vergrößerten Bildes auf dem Bildsensor ist.

9. Ein Verfahren gemäß Anspruch 8, bei dem die Stimulationsenergie, mit dem der Bildsensor beaufschlagt wird, um Licht abzugeben, das das erste vergrößerte Bild darstellt, einen höheren Pegel besitzt als die Stimulationsenergie, mit der der Bildsensor beaufschlagt wird, um das Licht abzugeben, das das zweite vergrößerte Bild darstellt.

10. Ein Verfahren gemäß Anspruch 8, bei dem der an erster Stelle erwähnte zweidimensionale Bildsensor eine höhere Empfindlichkeit als der an zweiter Stelle erwähnte zweidimensionale Bildsensor besitzt.

11. Ein Verfahren gemäß Anspruch 1, das den Schritt des Ableitens von Auslesebedingungen und/oder einer Bildverarbeitungsbedingung aus dem ersten elektrischen Signal enthält, wobei das zweite vergrößerte Bild als endgültiges Bild ebenfalls unter den Auslesebedingungen und/oder der Bildverarbeitungsbedingung erzeugt wird.

12. Ein Verfahren gemäß Anspruch 11, bei dem die Auslesebedingungen eine Ausleseverstärkung und ein Normierungsfaktor sind.







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