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Dokumentenidentifikation EP0815565 12.02.1998
EP-Veröffentlichungsnummer 0815565
Titel VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR MIKROBEARBEITUNG MITTELS RÖNTGENSTRAHLEN
Anmelder Wisconsin Alumni Research Foundation, Madison, Wis., US;
Associated Universities, Inc., New York, N.Y., US
Erfinder SIDDONS, David, P., Shoreham, NY 11786, US;
JOHNSON, Erik, D., Ridge, NY 11961, US;
GUCKEL, Henry, Madison, WI 53705, US;
KLEIN, Jonathan, L., Madison, WI 53715, US
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten DE, FR, GB, IT
Sprache des Dokument En
EP-Anmeldetag 07.03.1996
EP-Aktenzeichen 969152958
WO-Anmeldetag 07.03.1996
PCT-Aktenzeichen US9603169
WO-Veröffentlichungsnummer 9628829
WO-Veröffentlichungsdatum 19.09.1996
EP-Offenlegungsdatum 07.01.1998
Veröffentlichungstag im Patentblatt 12.02.1998
IPC-Hauptklasse G21K 5/00
IPC-Nebenklasse G03B 27/52   B23P 17/00   H01L 21/304   C25D 5/02   G03C 5/00   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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