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Dokumentenidentifikation DE69315616T2 30.04.1998
EP-Veröffentlichungsnummer 0569771
Titel Magnetischer Aufzeichnungsträger mit dünnem Metallfilm
Anmelder Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma, Osaka, JP
Erfinder Murai, Mikio, Hirakata-shi, Osaka-fu, JP;
Takahashi, Kiyoshi, Ibaraki-shi, Osaka-fu, JP;
Odagiri, Masaru, Kawanishi-shi, Hyogo-ken, JP;
Ueda, Hideyuki, Takatsuki-shi, Osaka-fu, JP;
Ohchi, Yukikazu, Kadoma-shi, Osaka-fu, JP
Vertreter Eisenführ, Speiser & Partner, 28195 Bremen
DE-Aktenzeichen 69315616
Vertragsstaaten DE, FR, GB
Sprache des Dokument En
EP-Anmeldetag 27.04.1993
EP-Aktenzeichen 931067771
EP-Offenlegungsdatum 18.11.1993
EP date of grant 10.12.1997
Veröffentlichungstag im Patentblatt 30.04.1998
IPC-Hauptklasse G11B 5/72

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines magnetischen Aufzeichnungsmediums mit Metalldünnschicht. Das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhaltene Aufzeichnungsmedium mit Metalldünnschicht ist insbesondere für digitale Videorecorder oder Videorecorder hoher Auflösung geeignet.

Bei magnetischen Aufzeichnungsmedien mit ferromagnetischer Metalldünnschicht als Magnetaufzeichnungsschicht sind verschiedentlich Bemühungen unternommen worden, ihre Korrosionsbeständigkeit, ihre Standbildhaltbarkeit, ihre Abspulfestigkeit und dergleichen zu verbessern. Es ist beispielsweise vorgeschlagen worden, die ferromagnetische Metalldünnschicht mit einer Carbonsäure oder Phosphorsäureschmiermittelschicht zu versehen oder die ferromagnetische Metalldünnschicht mit einer Schutzschicht aus einem nichtmagnetischen Metall oder einem Oxid (z.B. Siliciumoxid) zu versehen.

Das vor kurzem erteilte US-Patent 4 713 288 offenbart eine kohlenstoffhaltige Schutzschicht auf der ferromagnetischen Metalldünnschicht, und das US-Patent 4 717 622 offenbart die Bildung einer Hartkohlenstoffschicht auf der ferromagnetischen Metalldünnschicht durch Zersetzen eines Kohlenwasserstoffs mit dem Plasma-CVD-Verfahren.

Ferner offenbart das US-Patent 4 755 426 amorphen Kohlenstoff als Schutzschicht für die Magnetschicht.

Zwar kann die Hartkohlenstoffschicht, wie oben erläutert, mittels vieler Verfahren auf der ferromagnetischen Metalldünnschicht gebildet werden, jedoch ist die Abscheidungsgeschwindigkeit der Kohlenstoffschicht sehr gering, so daß es äußerst wünschenswert ist, die Abscheidungsgeschwindigkeit der Kohlenstoffschicht zu erhöhen. Das Problem der geringen Abscheidungsgeschwindigkeit der Kohlenstoffschutzschicht wurde jedoch weder beim Kathodenzerstäubungsverfahren noch beim Plasma-CVD-Verfahren gelöst; es ist ein sehr schwerwiegendes Problem bei der Herstellung von magnetischen Aufzeichnungsmedien wie Magnetbändern.

Das US-Patent 4833 031 offenbart eine weitere Verbesserung durch Bildung einer Hartkohlenstoffschicht auf der ferromagnetischen Metalldünnschicht mittels des Plasma-CVD-Verfahrens und einer Schmiermittelschicht auf der Hartkohlenstoff schicht zur Erhöhung der Haltbarkeit.

Alternativ dazu offenbart das US-Patent 5 11 0 676 die Herstellung einer Schmierschicht auf einer zusätzlichen, 2 bis 5 nm (20 bis 50 Å) dicken Kohlenstoffschicht auf dem harten Kohlenstoff, die mit dem Plasma-CVD-Verfahren gebildet wird. Bezüglich magnetischer Aufzeichnungsmedien wie Magnetbänder, bei denen eine hohe Schichtbildungsgeschwindigkeit erforderlich ist, offenbart das US-Patent 5 182 132, das der EP A 0 432 536 entspricht, die stabile Bildung einer Hartkohlenstoffschicht mit dem Plasma-CVD-Verfahren unter Verwendung eines Kohlenwasserstoffs wie 2,3-Dimethyl-1,3-butadien, Benzol, oder Toluol, wobei das Überlagerungsverhältnis eines Wechselstroms und eines Gleichstroms gesteuert wird. Die Schichtabscheidungsgeschwindigkeit erreicht jedoch nur 18 nm/s (180 Å/s) und ist nicht zufriedenstellend. Bei diesem Verfahren kann die übermäßige Entladung, d.h. ein plötzlicher Stromanstieg, weitgehend unterdrückt, jedoch nicht auf Null gebracht werden.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung, ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit Metalldünnschicht zur Verfügung zu stellen, das eine Hartkohlenstoffschicht aufweist, die mittels eines Plasma-CVD-Verfahrens mit hoher Abscheidungsgeschwindigkeit von bis zu 30 nm/s (300 Å/s) bei niedriger Spannung gebildet werden kann.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen dieses Verfahrens sind in den Unteransprüchen definiert.

Fig. 1 ist ein schematischer Querschnitt eines Beispiels für ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit Metalldünnschicht.

Fig. 2 ist eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Bildung der Hartkohlenstoffschicht auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium mit Metalldünnschicht.

Fig. 3 ist eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen der Dichte der Magnetschicht und der Standbildhaltbarkeit des magnetischen Aufzeichnungsmediums mit Metalldünnschicht.

Fig. 4 ist eine graphische Darstellung der Abscheidungsgeschwindigkeiten von Hartkohlenstoffschichten bei Verwendung von Kohlenwasserstoffen nach dem Stand der Technik und erfindungsgemäßen Kohlenwasserstoffen.

Fig. 5 ist eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen der Standbildhaltbarkeit und der Abscheidungsgeschwindigkeit bei den Proben Nr. 9 bis 18.

Fig. 6 ist eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen der Anzahl abnormer Entladungen und der Abscheidungsgeschwindigkeit, und

Fig. 7 ist eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen der Standbildhaltbarkeit und der Vickers-Härte bei den Proben Nr. 19 bis 24.

Im folgenden wird die Erfindung ausführlich unter Bezug auf die beigefügten Abbildungen erläutert.

Fig. 1 zeigt einen schematischen Querschnitt des magnetischen Aufzeichnungsmediums mit Metalldünnschicht, das einen nichtmagnetischen Träger 4, eine ferromagnetische Metalldünnschicht 3, eine Hartkohlenstoffschicht 2, eine Schmiermittelschicht 1 und eine Rückenbeschichtung 5 umfaßt.

Die Schmiermittelschicht 1 kann eine Fluor enthaltende Carbonsäure enthalten und 3 bis 5 nm (30 bis 50 Å) dick sein. Die Fluor enthaltende Carbonsäure kann allein oder in einem Gemisch mit einem Ester der Fluor enthaltenden Carbonsäure verwendet werden. Bevorzugte Beispiele für die Fluor enthaltende Carbonsäure oder ihre Ester sind C&sub5;F&sub1;&sub1; (CH&sub2;)&sub1;&sub0;COOH, C&sub6;F&sub5;CH&sub2;-CH(OH)-(CH&sub2;)&sub1;&sub4;COOH, C&sub1;&sub6;H&sub3;&sub3;- CH(OCOC&sub8;F&sub1;&sub7;)-COOH, C&sub5;F&sub1;&sub1;(CH&sub2;)&sub1;&sub0;COOC&sub8;H&sub1;&sub7;, C&sub6;F&sub1;&sub1;OC&sub6;H&sub4;(CH&sub2;)&sub1;&sub1;COCO&sub1;&sub0;H&sub2;&sub1; und (C&sub6;F&sub5;)&sub2;CH(CH&sub2;)&sub1;&sub5;-CH(CH&sub3;)-COOC&sub6;H&sub1;&sub3; und dergleichen. Auch andere herkömmliche Schmiermittel können verwendet werden.

Die Hartkohlenstoffschicht 2 hat eine Vickers-Härte von 1000 bis 5000 und verhindert zusammen mit der Schmiermittelschicht 1 eine Beschädigung des magnetischen Aufzeichnungsmediums. Die Dicke der Hartkohlenstoffschicht beträgt vorzugsweise 8 bis 20 nm (80 bis 200 Å) und mehr bevorzugt 8 bis 12 nm (80 bis 120 Å) im Hinblick auf den Ausgleich zwischen Zuverlässigkeit und Leistung.

Die ferromagnetische Metalldünnschicht 3 kann aus einem der üblicherweise verwendeten ferromagnetischen Metalle wie Co-Ni-0, Co-O, Co-Cr und dergleichen gebildet werden. Die Dicke der ferromagnetischen Dünnschicht beträgt normalerweise 150 bis 300 nm (1500 bis 3000 Å) und vorzugsweise 150 bis 200 nm (1500 bis 2000 Å).

Der nichtmagnetische Träger 4 kann aus einem der üblicherweise verwendeten nichtmagnetischen Stoffe wie Polyethylenterephthalat, Polyethylennaphthalat, Polyamid, Polyimid und dergleichen bestehen. Im Hinblick auf die Herstellungskosten ist Polyethylenterephthalat bevorzugt. Im Hinblick auf die Erzielung von sowohl Zuverlässigkeit als auch hoher Leistung weist die Oberfläche des Trägers, auf der die Magnetschicht gebildet wird, vorzugsweise Erhebungen auf, die eine Höhe von 10 bis 30 nm (100 bis 300 Å) und einen Durchmesser von 50 bis 200 nm (500 bis 2000 Å) haben.

Die Rückenbeschichtung 5 ist ebenfalls aus einem herkömmlichen Material gebildet, beispielsweise aus einer Rückenbeschichtungszusammensetzung, die ein Bindemittelharz (z.B. Polyurethan, Nitrocellulose, Polyester usw.) und einen Füllstoff (z.B. Ruß, Calciumcarbonat usw.) enthält. Die Dicke der Rückenbeschichtung beträgt vorzugsweise bis zu 500 nm (5000 Å).

Fig. 2 zeigt in schematischer Form eine Vorrichtung zur Bildung der Hartkohlenstoffschicht auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium mit Metalldünnschicht. Die Vorrichtung besitzt eine Vakuumkammer 6, deren Innendruck im Bereich zwischen 0,013 und 0,13 Pa (10&supmin;&sup4; und 10&supmin;³ Torr) reduziert werden kann, indem im Inneren vorhandenes Gas mittels einer Vakuumpumpe (nicht abgebildet) durch eine Abzugsöffnung 7 abgezogen wird.

In der Kammer 6 gibt es eine Entladungsröhre 8 zur Bildung der Hartkohlenstoffschicht, und eine Elektrode in der Entladungsröhre 8 wird mit Wechselstrom und Gleichstrom gespeist. Über entsprechende Zuleitungen werden ein inertes Gas, vorzugsweise Argon, und das Kohlenwasserstoffgas in die Entladungsröhre geleitet. Der Abstand zwischen der Entladungsröhre 8 und einer Walze 9 wird zwischen 0,5 und 0,3 mm eingestellt, wodurch der Druckunterschied zwischen dem Inneren der Entladungsröhre und der Vakuumkammer gesteuert wird. Die Entladungsröhre 8 ist vorzugsweise aus einem technischen Kunststoff gefertigt.

In der Vakuumkammer ist ferner eine Stromzuführwalze 10 vorhanden, deren spezifischer Oberflächenwiderstand vorzugsweise zwischen 10³ und 10&sup5; Ω eingestellt wird, um die Bildung von Nadelstichporen durch thermische Abnutzung zu verhindern, die durch die Konzentration elektrischer Ströme verursacht wird, selbst wenn eine Polyethylenterephthalatfolie als nichtmagnetischer Träger verwendet wird.

Die Erfindung einschließlich der Herstellungsbedingungen wird anhand von speziellen Ausführungsformen näher beschrieben.

Beispiel 1

Auf einer Oberfläche eines nichtmagnetischen Trägers 4 aus Polyethylenterephthalatfolie, auf der nach STM-Analyse Erhebungen mit einer Höhe von 30 nm (300 Å) und einem Durchmesser von 200 nm (2000 Å) in einer Dichte zwischen 10&sup5;/mm² und 10&sup9;/mm² gebildet waren, wurde nach einem Vakuumschrägabscheidungsverfahren unter Zufuhr von Sauerstoffgas eine ferromagnetische Metalldünnschicht 3 aus Co-O mit einer Dicke von 180 nm (1800 Å) gebildet. Durch Steuerung des Einspritzwinkels des Co-Dampfes wurden die Proben Nr. 1 bis 8 hergestellt, bei denen die Metalldünnschicht eine Dichte von jeweils 2,0, 2,9, 3,0, 4,0, 5,0, 6,0, 6,2 bzw. 7,0 g/cm³ hatte. Zur Erzielung einer geringen Dichte wurde die Menge an Co-Dampf, der unter einem großen Winkel eingespritzt wurde, erhöht, und die Menge des zugeführten Sauerstoffgases wurde während der Vakuumabscheidung ebenfalls erhöht, während zur Erzielung einer hohen Dichte die Menge an Co-Dampf, der unter einem kleinen Winkel eingespritzt wurde, erhöht und die Menge des zugeführten Sauerstoffgases verringert wurde.

Auf die andere Oberfläche der einzelnen nichtmagnetischen Träger 4 wurde mit einem gegenläufigen Walzenstreicher eine Rückenbeschichtungsfarbe, die Polyurethan, Nitrocellulose, Ruß und ein Lösungsmittelgemisch aus Methylethylketon, Toiuol und Cyclohexanon enthielt und einen Feststoffgehalt von 30 % aufwies, aufgebracht, so daß sich im trockenen Zustand eine Dicke von 500 nm (5000 Å) ergab, und zur Bildung einer Rückenbeschichtung getrocknet.

Auf der Metalldünnschicht der Proben 1 bis 8 wurde mit der Vorrichtung von Fig. 2 die Hartkohlenstoffschicht 2 in einer Dicke von 13 nm (130 Å) gebildet, wobei der p-Xylol-Druck 27 Pa (0,20 Torr) und der Argondruck 9,3 Pa (0,07 Torr) betrug und ein Gleichstrom von +800 V sowie ein Wechselstrom von 20 kHz bei einer Effektivspannung von 800 V angelegt wurden.

Dann wurde auf die Metalldünnschicht mit einer Beschichtungsvorrichtung eine 1- prozentige Lösung von C&sub5;F&sub1;&sub1;(CH&sub2;)&sub1;&sub0;COOH in Methylethylketon aufgebracht, sodaß sich im trockenen Zustand eine Dicke von 3 nm (30 Å) ergab, und die beschichtete Schicht wurde in einer Breite von 8 mm eingeschnitten.

Um den Einfluß der Dichte der Magnetschicht auf die Zuverlässigkeit des Magnetaufzeichnungsbandes zu bewerten, wurde bei jedem Band die Standbildhaltbarkeit mit einem 8-mm-Videorecorder bei 23 ºC und 10 % rel. Feuchte gemessen. Die Ergebnisse sind in Fig. 3 wiedergegeben.

Aus den Ergebnissen von Fig. 3 ist zu ersehen, daß die Dichte der Magnetschicht großen Einfluß auf die Zuverlässigkeit des magnetischen Aufzeichnungsmediums hat und daß die Standbildhaltbarkeit von langer Dauer und stabil ist, wenn die Dichte der Magnetschicht zwischen 3,0 und 6,0 g/cm³ beträgt.

Beträgt die Dichte der Magnetschicht weniger als 3,0 g/cm³, nimmt die Deformation der Magnetschicht zu, so daß die Magnetschicht beschädigt wird und die Standbildhaltbarkeit sich verschlechtert. Übersteigt die Dichte der Magnetschicht 6,0, wird die Magnetschicht nicht wesentlich deformiert, und der Flächendruck nimmt zu, so daß die Standbildhaltbarkeit schlechter wird.

Beispiel 2

Auf der Metalldünnschicht von Probe 4 wurde mit der Vorrichtung von Fig. 2 eine Hartkohlenstoffschicht 2 mit einer Dicke von 12 nm (120 Å) wie folgt gebildet: Einer 400 mm langen Elektrode der Entladungsröhre 8 wurden bei einer Effektivspannung von 1000 V ein Gleichstrom von +800 V und ein Wechselstrom von 20 kHz zugeführt. Der Innendruck der Entladungsröhre 8 wurde auf einen Argongasdruck von 4 Pa (0,03 Torr) und einen Kohlenwasserstoffgasdruck von 27 Pa (0,20 Torr) eingestellt. Die Proben 9 bis 18 wurden unter Verwendung von Methan, Propan, Benzol, Toluol, p-Xylol, Trimethylbenzol, Cumol, 4-tert.-Butyltoluol, 4-tert.-Butyl-1-pentylbenzol bzw. 4-Heptyl-1-octyl benzol hergestellt. Mit Ausnahme von Methan und Propan wurde der Kohlenwasserstoff durch Erwärmen und Verdampfen des Kohlenwasserstoffs in die Entladungsröhre eingeleitet.

Neben den vorgenannten Kohlenwasserstoffen kann ein beliebiges Mono-, Di- oder Trialkylbenzol mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen in jeder Alkylgruppe (z.B. tert.-Amyibenzol, Propylbenzol usw.) verwendet werden.

Wenn die Alkylgruppe bzw. die Alkylgruppen verzweigt sind, erhöht sich die Härte der Kohlenstoffschicht selbst bei niedriger Entladungsspannung. Folglich kommt es bei Langzeitentladung nicht zu einer abnormen Entladung, d.h. nicht zum sprunghaften Übergang von der Glimmentladung zur Lichtbogenentladung.

Auf der Hartkohlenstoffschicht der einzelnen Proben wurde auf die gleiche Weise wie bei Beispiel 1 die Schmiermittelschicht aus C&sub5;F&sub1;&sub1;(CH&sub2;)&sub1;&sub0;COOH in einer Dicke von 3 nm (30 Å) gebildet, und die beschichtete Schicht wurde in einer Breite von 8 mm eingeschnitten.

Die Abscheidungsgeschwindigkeiten der Hartkohlenstoffschicht 2 bei den Proben 9 bis 18 sind in Fig. 4 wiedergegeben.

Bei den Proben 13 bis 18 betrug die Abscheidungsgeschwindigkeit der Kohlenstoffschicht bei Verwendung von Mono-, Di- oder Tri(C&sub1;-C&sub6;)alkylbenzol mehr als 20 nm/s, was im industriellen Rahmen akzeptabel ist.

Insbesondere bei den Proben 16 und 17 betrug die Abscheidungsgeschwindigkeit mehr als etwa 26 nm/s (260 Å/s).

Wenn jedoch die Alkylgruppe am Benzolring mehr als 6 Kohlenstoffatome aufweist, erreichte der Innendruck der Entladungsröhre 8 keinen für die Plasma-CVD ausreichenden Wert, selbst dann nicht, wenn der Kohlenwasserstoff erwärmt und mit Argonblasen versetzt wurde. Dann nahm die Abscheidungsgeschwindigkeit auf 250 Å/s ab. Das bedeutet, daß die Anzahl der Kohlenstoffatome in der Alkylgruppe nicht größer als 6, vorzugsweise nicht größer als 3, sein sollte.

Fig. 5 zeigt die Beziehung zwischen der Standbildhaltbarkeit, gemessen in einem 8-mm-Videorecorder (23 ºC, 10 % rel. Feuchte), und der Abscheidungsgeschwindigkeit bei den Proben 9 bis 18. Aus diesen Ergebnissen ist zu ersehen, daß das Magnetband die gleiche oder eine bessere Standbildhaltbarkeit hat wie ein Magnetband, bei dem die Hartkohlenstoffschicht mit Methan hergestellt wird, wenn die Hartkohlenstoffschicht aus Alkylbenzol mit 1 bis 3 Kohlenstoffatomen in der Alkylgruppe hergestellt wird. Die Probe 18 hatte im wesentlichen die gleiche 0standbildhaltbarkeit wie die Proben 12 bis 17.

Fig. 6 zeigt die Beziehung zwischen der Anzahl abnormer Entladungen, d.h. der Anzahl der sprunghaften Übergänge von der Glimmentladung zur Lichtbogenentladung auf 1000 m Schicht, und der Abscheidungsgeschwindigkeit.

Bei den Proben 12 bis 18 war bei Verwendung von Mono-, Di- und Trialkyl benzol mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen in der Alkylgruppe die Stabilität der Entladung beachtlich verbessert und die Anzahl abnormer Entladungen praktisch gleich Null.

Infolgedessen erhöhte sich die Produktivität für das magnetische Aufzeichnungsmedium beträchtlich. Das Vorhandensein der Hartkohlenstoffschicht verhinderte höhere Ausfälle.

Die Anzahl abnormer Entladungen war bei Probe 18 die gleiche wie bei den Proben 12 bis 17.

Beispiel 3

Auf der Metalldünnschicrit der Probe 5 wurde mit der Vorrichtung gemäß Fig. 2 die Hartkohlenstoffschicht 2 mit einer Dicke von 12 nm (120 Å) gebildet, wobei die an die Elektrode der Entladungsröhre 8 anzulegende Spannung verändert wurde. Der Argondruck betrug 9,3 Pa (0,07 Torr) und der Toluoldruck 27 Pa (0,20 Torr).

Die Vickers-Härte der Kohlenstoffschicht und die Standbildhaltbarkeit der Magnetbänder sind in der Tabelle angegeben. Die Vickers-Härte wurde mit dem Mikro- Vickers-Härtetester (hergestellt von Japan Hightech Kabushikikaisha) gemessen, wobei die Hartkohlenstoffschicht mit einer Dicke von 1,0 µm auf einem Siliciumwafer gebildet wurde.

Die Standbildhaltbarkeit wurde mit einem 8-mm-Videorecorder bei 23 ºC und 10 % rel. Feuchte gemessen, wobei das Magnetband mit einer 3 nm (30 Å) dicken Schmiermitteischicht aus C&sub5;F&sub1;&sub1;(CH&sub2;)&sub1;&sub0;COOH auf der Hartkohlenstoffschicht versehen war.

Tabelle

Die vorstehenden Ergebnisse sind auch in Fig. 7 wiedergegeben. Aus diesen Ergebnissen ist zu ersehen, daß eine Spannung zwischen 300 und 2000 V für den Gleichstrom und eine Effektivspannung zwischen 300 und 3000 V für den Wechselstrom geeignet war. Liegt die Spannung über dem oberen Grenzwert, besteht eine Neigung zur abnormen Entladung, d.h. zur Lichtbogenentladung. Liegt die Spannung unter dem unteren Grenzwert, hat die Kohlenstoffschicht eine nicht ausreichende Härte.

Der spezifische Widerstand der einzelnen Proben 9 bis 18 wurde bei 23 ºC, 50 % rel. Feuchte gemessen. Der spezifische Widerstand lag in allen Fällen im Bereich zwischen 10&sup7; und 10¹¹ Ωxm (10&sup9; und 10¹³ Ωxcm).

Bei den Proben 9 bis 18 wurde die Hartkohlenstoffschicht mittels Röntgenstrukturanalyse und RHEED untersucht. Es wurde gefunden, daß alle Kohlenstoffschichten eine amorphe Struktur aufwiesen.

Bei der FT-IR-Analyse wurde festgestellt, daß die Kohlenstoffschichten Wasserstoffatome enthielten.

Bei der Raman-Spektroskopie ergaben sich zwei Peaks, einer für diamantähnlichen Kohlenstoff und einer für Graphit.


Anspruch[de]

1. Verfahren zum Herstellen eines magnetischen Aufzeichnungsmediums mit Metalldünnschicht, wobei man bei dem Verfahren

auf einer Oberfläche eines nichtmagnetischen Trägers (4) eine ferromagnetische Metalldünnschicht (3) ausbildet, die eine Dichte von 3,0 bis 6,0 g/cm³ hat,

auf der Metalldünnschicht (3) mit einem Plasma-CVD-Verfahren aus einem Gemisch aus einem inerten Gas und mindestens einem Kohlenwasserstoff eine Hartkohlenstoffschicht (2) ausbildet, die eine Vickers-Härte von 1.000 bis 5.000 hat und

auf der Hartkohlenstoffschicht (2) eine Schmiermittelschicht (1) und auf der anderen Oberfläche des nichtmagnetischen Trägers (4) eine Rückenbeschichtung (5) ausbildet,

man den Kohlenwasserstoff auswählt aus der Gruppe der Mono-, Di- und Trialkylbenzole mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen in jeder Alkylgruppe, mit der Maßgabe, daß Toluol ausgeschlossen ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Hartkohlenstoffschicht (2) mit einer Dicke von 8 bis 20 nm ausbildet, das Plasma- CVD-Verfahren mit einer Abscheidungsgeschwindigkeit von größer 20 nm/s ohne abnorme Entladung durchführt, wobei man die Druckdifferenz zwischen einer Walze (9) und einem Entladungsrohr (8) steuert, indem man die Distanz dazwischen einstellt.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Hartkohlenstoffschicht (2) eine eine Diamantstruktur und eine Graphitstruktur enthaltende amorphe Struktur aufweist und Wasserstoffatome enthält.

4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Hartkohlenstoffschicht (2) einen spezifischen Widerstand von 10&sup7; bis 10¹¹ Ωxm aufweist.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die ferromagnetische Metalldünnschicht (3) aus mindestens einem Metallmaterial hergestellt ist, ausgewählt aus der Gruppe Co-Ni-O, Co- O und Co-Cr.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man die Schmiermittelschicht (1) aus einer Fluor enthaltenden Carbonsäure oder einem Gemisch aus einer Fluor enthaltenden Carbonsäure und einem Ester einer Fluor enthaltenden Carbonsäure herstellt.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schmiermittelschicht (1) eine Dicke von 1 bis 5 nm hat.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des nichtmagnetischen Trägers (4), auf der die ferromagnetische Metalldünnschicht (3) ausgebildet wird, Vorstöße mit einer Höhe von 10 bis 30 nm und einem Durchmesser von 50 bis 200 nm aufweist.

9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der nichtmagnetische Träger (4) eine Schicht ist, hergestellt aus mindestens einem Material ausgewählt aus Polyethylenterephthalat, Polyethylennaphthalat, Polyimid und Polyamid.







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