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Dokumentenidentifikation DE19816199A1 18.02.1999
Titel Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung und darin verwendete Lagerungsvorrichtung
Anmelder Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder Iwasaki, Junji, Tokio/Tokyo, JP;
Katsube, Junichi, Tokio/Tokyo, JP;
Itami, Yasushi, Tokio/Tokyo, JP
Vertreter Prüfer und Kollegen, 81545 München
DE-Anmeldedatum 09.04.1998
DE-Aktenzeichen 19816199
Offenlegungstag 18.02.1999
Veröffentlichungstag im Patentblatt 18.02.1999
IPC-Hauptklasse B65G 49/07
IPC-Nebenklasse B65G 1/02   G05D 1/02   G06F 17/60   H01L 21/66   
Zusammenfassung Eine Lagerungsvorrichtung (36), die in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung (30), die eine hohe Transportfähigkeit für Halbleiterwaferkassetten (40) aufweist, verwendet wird, verhindert das Eindringen von Fremdkörpern in die Lagerungsvorrichtung (36). Die Lagerungsvorrichtung (36) weist eine äußere Abschirmtür einer auf eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogenen Pforte auf der Seite der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42) auf. Außerdem weist die Lagerungsvorrichtung (36) eine äußere Abschirmtür für jeweils eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Auslaßlieferungspforte und eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Einlaßlieferungspforte auf der Seite des automatischen Transportierers (38) auf. Die Lagerungsvorrichtung (36) weist weiter eine äußere Abschirmtür für jeweils eine auf eine manuelle Eingabe bezogene Einlaßpforte und eine auf eine manuelle Ausgabe bezogene Auslaßpforte auf der Bedienerseite auf.

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung und auf eine Lagerungsvorrichtung, die in einer solchen Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung verwendet wird.

Genauer gesagt bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung zum Verbessern einer Transportfähigkeit für Halbleiterwaferkassetten und auf eine Lagerungsvorrichtung, die in der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung verwendet wird.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 15 und 16, eine herkömmliche Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 weist Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, die Halbleiterwafer in Einheiten einer Kassette 232, d. h. in einer Einheitsanzahl, die in einer entsprechenden Kassette 232 aufgenommen ist, zum Anwenden eines Herstellungsprozesses auf eine integrierte Halbleiterschaltung, eine Lagerungsvorrichtung 234 zum Speichern beziehungsweise Lagern einer Mehrzahl von Kassetten 232, einen automatischen Transportierer 38 zum Ausführen einer Transportaufgabe, d. h. eines Transportablaufs, für eine Kassette 232 zwischen einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und einer Lagerungsvorrichtung 234 und eine Transportvorrichtung 42 für einen Transport zwischen verschiedenen Lagerungsvorrichtungen (im folgenden Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42) zum Befördern einer Kassette 232 zwischen einer Mehrzahl von Lagerungsvorrichtungen 234, die entlang der Herstellungsprozeßlinie angeordnet sind, auf.

Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet die Lagerungsvorrichtung 234 als einen Lagerplatz für eine Halbleiterwaferkassette 232 vor und nach dem Herstellungsprozeß. Zwei automatische Transportierer 38 sind mit der Transportaufgabe (dem Transport) für eine Kassette 232 beziehungsweise die Kassetten 232 zwischen der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und der Lagerungsvorrichtung 234 beschäftigt. Zum Zwecke der Bequemlichkeit und Vereinfachung ist die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 in der Zeichnung in einer abgeschnittenen Weise dargestellt. Tatsächlich ist die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 in einer umlaufenden Weise angeordnet, wobei eine Mehrzahl der Lagerungsvorrichtungen 234 benachbart zu dieser angeordnet sind. Entsprechende Gruppen von Prozeßvorrichtungen 32, 34 und automatischen Transportierern 38 entsprechen jeder der anderen Lagerungsvorrichtungen 234.

Unter Bezugnahme auf insbesondere Fig. 16, die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 weist weiter einen Hostcomputer (Hauptrechner) 50 zum Steuern der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, der Lagerungsvorrichtungen 234, der automatischen Transportierer 38, und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42, und ein Kommunikationskabel 58 zum Liefern der Verbindung zwischen den verschiedenen Vorrichtungen und dem Hostcomputer 50 auf.

Der Hostcomputer 50 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 52 zum Ausführen eines Berechnungsprozesses, ein Terminal 54 zum Eingeben von Fabrikationsstandarddaten eines Produktes und eine Mehrzahl von Bedienerterminals 56, die an der Linie vorgesehen sind, auf.

Eine Lagerungsvorrichtungsteuerung 64, die ein Element der Lagerungsvorrichtung 234 ist, steuert (treibt) die anderen Strukturelemente der Lagerungsvorrichtung 234 zum Ausführen einer vorbestimmten Aufgabe (Ablauf) entsprechend einer Aufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 an. Eine Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die ein Element des automatischen Transportierers 38 ist, steuert (treibt) die anderen Strukturelemente des automatischen Transportierers 38 zum Ausführen einer vorbestimmten Aufgabe (Ablauf) entsprechend einer Aufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 an. Die Kommunikation zwischen der Steuerung 60 für den automatischen Transportierer und dem automatischen Transportierer 38 wird mittels Funk über eine Steuerstationskommunikationseinheit 62 ausgeführt. Eine Steuerung 66 für die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung, die ein Element der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 ist, steuert (treibt) ein Strukturelement der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und außerdem ein Strukturelement der Lagerungsvorrichtung 234 über das Kommunikationskabel 58 zum Ausführen einer vorbestimmten Aufgabe (Ablauf) entsprechend einer Aufgabenanweisung, die von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt wurde, an.

Ein Halbleiterwafer 70 und eine Halbleiterwaferkassette 232, die durch die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 übertragen beziehungsweise transportiert wird, und eine herkömmliche ID-Karte 240, die an der Halbleiterwaferkassette 232 angebracht ist, werden im folgenden unter Bezugnahme auf die Fig. 17A bis 17C beschrieben. Eine Mehrzahl der integrierten Halbleiterschaltungen (nicht gezeigt) werden auf einem Halbleiterwafer (im folgenden als "Wafer" bezeichnet) 70 produziert beziehungsweise ausgebildet. Die Halbleiterwaferkassette (im folgenden als "Kassette" bezeichnet) 232 ist die Minimaleinheit des Lagerns und Transportierens einer Mehrzahl von Wafern 70. Eine ID-Karte 240 ist an der Kassette 232 angebracht. Die ID-Karte 240 enthält Information, die mit der Kassette 232 und den darin gelagerten Wafern 70 verbunden ist. Einiges der Information derselben kann auf einer Anzeigeeinheit 74 geliefert beziehungsweise angezeigt werden. In der ID-Karte 240 kann die Information teilweise über eine Kommunikationseinheit 76 durch ein externes Steuersystem, das später beschrieben wird, überschrieben werden. Außerdem kann die gespeicherte Information in einer kontaktlosen Weise übertragen werden. Die Kommunikationseinheit 76 ist an der Vorderseite der ID-Karte 240 angebracht. Die Fig. 17A und 17B zeigen eine transversale Orientierung beziehungsweise eine vertikale Orientierung der Kassette 232, an der die ID-Karte 240 angebracht ist. Genauer gesagt sind in der transversalen Orientierung die Wafer 70 derart gelagert, daß die Scheibenfläche in einer senkrechten Ebene liegt. In der senkrechten Orientierung sind die Wafer 70 derart gelagert, daß die Scheibenfläche in einer horizontalen Ebene liegt. Die Fig. 17C zeigt die ID-Karte 240 im Detail.

Die Details der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, der Lagerungsvorrichtung 234, das automatischen Transportierers 38 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 werden im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.

Unter Bezugnahme auf Fig. 10, die Bearbeitungsvorrichtung 32 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 170 zum Anwenden eines Herstellungsprozesses für integrierte Halbleiterschaltungen auf jeden Wafer aus einer Mehrzahl von Wafern 70, zwei Kassettenständer 172, die eine Kassette 232, die in der Einheit einer Kassette zu bearbeiten ist, empfangen, und eine an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den Zustand des Kassettenstands 172 in Richtung des automatischen Transportierers 38, um zu bestätigen, irgendeine nicht korrekte Kassette 232 auf dem Kassettenstand 172 plaziert ist, bevor der automatische Transportierer 38 eine Kassette 232, die noch nicht bearbeitet ist, auf dem Kassettenstand 172 plaziert, oder ob die Kassette 232, die einer Bearbeitung unterworfen wurde, korrekt auf dem Kassenstand 172 plaziert ist, bevor diese Kassette 232 weggenommen wird, auf.

Unter Bezugnahme auf Fig. 11, die Bearbeitungsvorrichtung 34 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 180 zum Anwenden eines Herstellungsprozesses für eine integrierte Halbleiterschaltung auf jeden Wafer aus einer Mehrzahl von Wafern 70, zwei Kassettenständer 182, die Kassetten 232, die in der Einheit von zwei Kassetten zu bearbeiten sind, empfangen, und eine an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den Zustand des Kassettenstands 182 in Richtung des automatischen Transportierers 38, um zu bestätigen, ob irgendeine nicht korrekte Kassette 232 auf dem Kassettenstand 182 plaziert ist, bevor der automatische Transportierer eine Kassette 232, die zu bearbeiten ist, auf dem Kassettenstand 182 plaziert, oder ob die Kassette 232, die einer Bearbeitung unterworfen worden ist, korrekt auf dem Kassettenstand 182 plaziert ist, bevor diese Kassette 232 weggenommen wird, auf.

Die Lagerungsvorrichtung 234 wird unter Bezugnahme auf die Fig. 18 bis 20 beschrieben. Die bezüglich des automatischen Transportierers 38 betriebsseitige Seite der Lagerungsvorrichtung 234 und die diesbezüglich gegenüberliegende Seite sind entsprechend in den Fig. 18 und 19 gezeigt. Die Fig. 20 zeigt im Detail eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 260 zur manuellen Eingabe, gesehen von dem Pfeil A in Fig. 19. Diese Figuren sind mit einer Lagerungsvorrichtungswand 94, die die Außenwand ist, gezeichnet, die teilweise weggeschnitten beziehungsweise weggelassen ist, so daß das Innere gezeigt werden kann. Die Lagerungsvorrichtung 234 weist eine Lagerungsvorrichtungsplatte (Lagerungsvorrichtungsregalplatte) 96, auf der eine Mehrzahl von Kassetten 232 in Transversalorientierung montiert beziehungsweise plaziert werden kann, auf. Ein Lagerplatz für eine große Anzahl von Kassetten 232 wird erhalten durch Stapeln einer Mehrzahl von Kassetten 232 auf entsprechenden Lagerungsvorrichtungsplatten 96 in der senkrechten Richtung. Die Lagerungsvorrichtung 234 weist eine Pforte (Abschnitt) 98, die ein Abschnitt der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und für den Eintritt oder Austritt einer Kassette 232, die durch die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 befördert wird, vorgesehen ist, eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 260, die ein Abschnitt der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und für einen Bediener (nicht gezeigt) zum Einbringen einer Kassette 232 vorgesehen ist, eine Auslaßpforte (Auslaßabschnitt) 262, die ein Abschnitt der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und für einen Bediener zum Wegnehmen einer Kassette 232 vorgesehen ist, eine Auslaßpforte (Auslaßabschnitt) 252 für den automatischen Transportierer 38, damit dieser eine Kassette 232 empfangen kann, eine Auslaßlieferungspforte (Auslaßlieferungsabschnitt) 100, die ein Abschnitt der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ist, für einen Transfer beziehungsweise eine Übertragung einer Kassette 232 zu der Auslaßpforte 252, eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 254, durch welche eine Kassette 232 von dem automatischen Transportierer 38 eingegeben wird, eine Einlaßlieferpforte (Einlaßlieferabschnitt) 104, die Abschnitt einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ist und auf der eine Kassette 232 von der Einlaßpforte 254 plaziert wird, einen Lagerungsvorrichtungskran (Lagerungsvorrichtungshubvorrichtung) 80, der zwischen den Lagerungsvorrichtungsplatten 96 angeordnet ist für die Transportaufgabe des Transportierens einer Kassette 232 zwischen einem Kassettenlagerungsplatz auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und entsprechenden Pforten der Lagerungsvorrichtungsplatte 96, eine Übertragungsvorrichtung 82 zum Empfangen einer Kassette 232 von dem Wagen der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und zum Plazieren derselben auf der Pforte 98 oder zum Liefern einer Kassette 232 von der Pforte 98 auf einen leeren Wagen der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42, und eine Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 zum Übertragen beziehungsweise Transferieren einer Kassette 232 von der Pforte 100 zu der Pforte 252 oder von der Pforte 254 zu der Pforte 104, auf.

Der Lagerungsvorrichtungskran 80, die Übertragungsvorrichtung 82 und die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 führen eine Transportaufgabe in der Einheit von einer Kassette, zwei Kassetten beziehungsweise einer Kassette aus. Die Anzahl der Kassetten, die auf der Pforte 98, der Einlaßpforte 260, der Auslaßpforte 262, der Auslaßlieferpforte 100, der Einlaßlieferpforte 104, der Auslaßpforte 252 und der Einlaßpforte 254 montiert werden können, ist zwei Kassetten, eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette, beziehungsweise eine Kassette. Zwei Vorwärtsbewegungsvorrichtungen 250 sind vorgesehen. Dementsprechend sind zwei Auslaßpforten 252, zwei Einlaßpforten 254, zwei Auslaßlieferpforten 100 und zwei Einlaßlieferpforten 104 vorgesehen. Außerdem sind zwei Einlaßpforten 260 und zwei Einlaßpforten 262 für eine manuelle Eingabe/Ausgabe vorgesehen.

Wie in Fig. 20 gezeigt ist, ein ID-Karten-Leser/Schreiber 270 ist an jeder Einlaßpforte 260 angebracht. Da die ID-Karten-Kommunikationseinheit 76 an der Vorderseite der ID-Karte 240 positioniert ist, muß der ID-Karten-Leser/Schreiber 270 entsprechend zu der Vorderseite der ID-Karte 240 vorgesehen sein. Falls der ID-Karten-Leser/Schreiber 270 so angeordnet ist, daß die Vorderseite der ID-Karte 240 zu der Betriebsseite des Bedieners gerichtet ist, kann die Kassette 232 aufgrund des Hindernisses des ID-Karten-Lesers/Schreibers 270 nicht leicht herausgenommen werden. Darum ist die Kassette 232 auf der Einlaßpforte 260 für eine manuelle Eingabe so orientiert, daß die Vorderseite der ID-Karte 240, die an der Kassette 232 angebracht ist, um 90° nach rechts bezüglich der Betriebsseite des Bedieners gerichtet ist.

Der Lagerungsvorrichtungskran 80 kann die Orientierung der Kassette 232 beim Plazieren der Kassette 232 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 nicht frei ändern. Die Kassette 232, die über die Einlaßpforte 260 eingegeben wird, wird auf der Seite der Einlaßpforte 260 der Lagerungsvorrichtungsplatte bzw. des Lagerungsvorrichtungsregals 96 aufgenommen. Die Orientierung der Kassette 232 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ist identisch zu derjenigen auf der Einlaßpforte 260. Beim Ausgeben der Kassette 232, die auf der Seite der Einlaßpforte 260 der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 plaziert ist, über die Auslaßpforte 252 greift der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 232 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 mit seinem eigenen Arm und dreht seinen Arm um 180° zum Plazieren der Kassette 232 auf der Auslaßlieferungspforte 100. Die Orientierung der Kassette 232 wird durch diesen Transport um 180° gedreht. Die Kassette 232 auf der Auslaßlieferungspforte 100 ist so plaziert, daß die ID-Karte 240, die an der Kassette 232 angebracht ist, bezüglich der Aufgabenebene des automatischen Transportierers 38 um 90° gedreht ist. Die Kassette 232, die über die Auslaßpforte 252 ausgegeben wird, muß so orientiert sein, daß die angebrachte ID-Karte 240 der Aufgabenebene für den automatischen Transportierer 38 gegenüberliegt, um den Transferbetrieb durch den automatischen Transportierer 38 zu erleichtern. Darum muß die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 die Orientierung der Kassette 232 um -90° während des Transfers der Kassette 232 ändern.

Ähnlich wird die Orientierung der Kassette 232, die auf der Einlaßpforte 254 plaziert ist, um 90 Grad durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 geändert. Dann wird die Kassette 232 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte (in dem Lagerungsvorrichtungsregal) 96, die auf der Seite der Einlaßpforte 254 vorgesehen ist, durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 mit derselben Orientierung aufgenommen. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 greift die Kassette 232 mit seinem eigenen Arm zum Plazieren der Kassette 232 auf der Auslaßpforte 262. Durch diesen Transport wird die Orientierung der Kassette 232 um 180° gedreht.

Die Lagerungsvorrichtung 234 weist außerdem eine Bedienungstafel 121, die durch den Bediener während des Eintritts/Austritts der Kassette 232 durch die Einlaßpforte 260/Auslaßpforte 262 benutzt wird, auf.

Unter Bezugnahme auf Fig. 8, der automatische Transportierer 38 weist einen Wagen 140, der entsprechend der Führung eines Führungsbandes 126, das auf dem Boden befestigt ist, läuft, eine Transportiererkommunikationseinheit 142 zum Übertragen von Information an die und von der Steuerstationskommunikationseinheit 62 der Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, einen Arm 144, eine Hand 146, und eine Handklaue 148 zum Ausführen einer Transportaufgabe für die Kassette 232, vier Transferhalterungen 150 zum Halten der Kassette 40, 232, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 oder von der Lagerungsvorrichtung 234 übernommen worden ist, während des Transports in der vertikalen Orientierung, eine Bedienungstafel 152 zum Übertragen von Information an den und von dem Bediener, und einen Stoßfänger 154 zum Detektieren eines Hindernisses beziehungsweise einer Störung zum Unterbrechen der momentanen Aufgabe auf.

Unter Bezugnahme auf Fig. 9, die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 weist eine Verfahrschiene 160, die eine Schleife bildet, einen Wagen 162, der sich in einer konstanten Richtung auf der Verfahrschiene 160 bewegt, zum Transportieren beziehungsweise Befördern von nicht mehr als zwei Kassetten 40, 232, und eine Hängevorrichtung 164 zum Aufhängen der Verfahrschiene 160 an dem entsprechenden Dach beziehungsweise Herabhängen lassen der Verfahrschiene 160 von einer entsprechenden Halterung.

Ein herkömmliches Verfahren zum Steuern der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 wird im folgenden beschrieben. Zuerst wird (1) das Steuerverfahren für eine von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitete Kassette 232, die durch den automatischen Transportierer 38 in die Lagerungsvorrichtung 234 befördert wird, und die dann durch die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 zu der nächsten Lagerungsvorrichtung 234 befördert wird, beschrieben. Dann wird (2) das Steuerverfahren für eine Kassette 232, die zu bearbeiten ist, die von einer Lagerungsvorrichtung 234 der vorhergehenden Stufe in eine Lagerungsvorrichtung 234 transportiert und dann aus dieser entsprechend einer Anforderung von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entnommen wird, um zu dieser durch den automatischen Transportierer 38 transportiert zu werden, beschrieben. Letztlich wird (3) das Steuerverfahren für einen Eintritt durch die Einlaßpforte 260 für eine manuelle Eingabe und für einen Austritt durch die Auslaßpforte 262 für eine manuelle Ausgabe beschrieben.

Steuerverfahren (1)

Die auf den automatischen Transportierer bezogene Einlaßpforte 254 und die auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogene Pforte 98 sind beide leer, wenn der Strom für die Lagerungsvorrichtung 234 angeschaltet ist und die Initialisierung vervollständigt ist. Ein Bericht wird über das Kommunikationskabel 58 an den Hostcomputer 50 geliefert, daß jede Pforte eine Kassette empfangen kann. Auf das Empfangen der Pfortenverfügbarkeitsinformation hin bestimmt der Hostcomputer 50, ob die Transportaufgabe für einen Transport einer Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 unter Verwendung des automatischen Transportierers 38 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 möglich ist oder nicht, über die empfangene Information über die Verfügbarkeit der Pforten ohne Detektion des Lagerungsstatus der Kassette 232 in der Lagerungsvorrichtung 234.

In dem obigen Zustand sendet die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 eine Übergabeanfrage für die bearbeitete Kassette 232, die dem Herstellungsprozeß für die integrierte Halbleiterschaltung unterworfen wird beziehungsweise worden ist. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 fordert an, daß die Kassette beziehungsweise die Kassetten in der Einheit von einer Kassette oder in der Einheit einer Mehrzahl von Kassetten zu übergeben sind. Als Reaktion auf diese Übergabeanfrage liefert der Hostcomputer 50 sofort einen Transportaufgabenbefehl über das Kommunikationskabel 58 an den automatischen Transportierer 38, da die Verfügbarkeitsinformation über die Einlaßpforte 254 für den automatischen Transportierer 58 von der Lagerungsvorrichtung 234 im voraus geliefert worden ist. Die verfügbare Einlaßpforte 254 wird entsprechend jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 bestimmt. Die Daten derselben werden an den Hostcomputer 50 im voraus über den Terminal 54 geliefert. Der Hostcomputer 50 muß einen Transportaufgabenbefehl in der Einheit von 1 Kassette an den automatischen Transportierer 38 senden, selbst falls eine Übergabeanfrage in der Einheit von 2 Kassetten von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 geliefert wird, da der Eintritt einer Kassette über beziehungsweise durch die Einlaßpforte 254 nur in der Einheit von 1 Kassette auf einmal ausgeführt wird beziehungsweise werden kann.

Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die den Transportaufgabenbefehl für eine Kassette von dem Hostcomputer 50 empfängt, weist die Aufgabe dem geeignetsten automatischen Transportierer aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38, damit dieser die Transportaufgabe ausführt, durch Kommunikation mit dem Hauptteil über Funk mittels der Steuerstationskommunikationseinheit 62 und der Transportiererkommunikationseinheit 142 zu. Diese Transportaufgabe, das heißt der entsprechende Transportablauf, wird im folgenden beschrieben. Zuerst bewegt sich der Wagen 140 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, aus der eine Kassette zu entladen ist, d. h. zu der Quelle des Transport (im folgenden als "Quelle" bezeichnet), entsprechend des Führungsbandes 156, das an dem Boden des Standbyplatzes (Bereitschaftsplatzes) befestigt ist. An dem Ort der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bestätigt der automatische Transportierer 38 über die an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174, ob eine Kassette 232 an dem relevanten Kassettenstand 172, 182 vorhanden ist. Dann werden der Arm 144, die Hand 146 und die Handklaue 148 zum Aufnehmen einer relevanten Kassette 232 von dem Kassettenstand 172, 182 und zum Plazieren derselben auf der Transferhalterung 150 angesteuert. Dieser Halteaufgabe folgend bewegt sich der Wagen 140 von dem Ort der Quellen-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in Richtung einer bezeichneten Einlaßpforte 254 einer Lagerungsvorrichtung 234, in die eine Kassette zu laden ist, das heißt zu dem Bestimmungsort des Transports (im folgenden als "Bestimmung" bezeichnet).

Nach der Ankunft an der Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung 234 plaziert der automatische Transportierer 38 die Kassette 232 von der Übertragungshalterung 150 auf der Einlaßpforte 254 in einer Abfolge, die entgegengesetzt zu derjenigen ist, die oben beschrieben wurde. Vor dem Plazieren der Kassette 232 auf der bezeichneten Einlaßpforte 254 bestätigt der automatische Transportierer 38 über die an den Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 102, ob es eine nicht korrekte Kassette 232 auf der Einlaßpforte 254 (d. h. eine fälschlich auf der Einlaßpforte 254 plazierte Kassette 232) gibt, und gibt sofort einen Fehler beziehungsweise eine Fehlermeldung aus, wenn es eine dicht korrekte Kassette 232 gibt. Diese Fehlermeldung basiert auf der Bestimmung, daß eine andere Kassette 232 auf derselben Pforte einen abnormalen Zustand impliziert, da die Kassette 232 entsprechend der Information von der Lagerungsvorrichtung 234, daß die Einlaßpforte 254 leer ist, transportiert wurde. Wenn alle bezeichneten Aufgaben vervollständigt sind, sendet die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer einen Vervollständigungsbericht an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.

Auf das Empfangen eines Berichtes, daß die Aufgabe vervollständigt ist, von dem automatischen Transportierer 38 hin sendet der Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 234 eine Anweisung, die Kassette 232 durch die Einlaßpforte 254 aufzunehmen (Eintrittsaufgabenanweisung). Als Reaktion auf diese Eintrittsaufgabenanweisung, die über das Kommunikationskabel 58 gesendet worden ist, ermittelt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Lagerplatz auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und initiiert dann die Aufgabe. Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt werden kann, wartet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 auf das Freiwerden eines Lagerplatzes ohne Initiierung der Aufgabe. Die Lagerungsvorrichtung 234, die das Abarbeiten einer Eintrittsaufgabe beginnt, steuert die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 zum Drehen der Kassette 232 um 90° an, die dann von der Einlaßpforte 254 zu der Einlaßlieferungspforte 104 bewegt wird. Wenn diese Übertragungsaufgabe vervollständigt ist, wird der Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Befördern der Kassette 232 auf der Einlaßlieferungspforte 104 zu einem Speicherplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96, die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 ermittelt worden ist, betätigt. Derart ist die Abfolge von Schritten einer Eintrittsaufgabe vervollständigt. Auf die Vervollständigung dieser Aufgabe hin liefert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58. Wenn die Einlaßpforte 254 während der Übertragungsaufgabe von der Einlaßpforte 254 zu der Einlaßlieferungspforte 104 frei wird, liefert die Lagerungsvorrichtung 234 diese Information, daß die Pforte leer ist, an den Hostcomputer 50, analog zu Zeitpunkt der Initialisierung, um sich für die nächste Transportaufgabe unter Verwendung des automatischen Transportierers 38 vorzubereiten.

Der Hostcomputer 50, der einen Bericht, daß die Eintrittsaufgabe vervollständigt ist, von der Lagerungsvorrichtung 234 empfängt, bestimmt die Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 für diese Kassette 232. Außerdem wird eine Bestätigung ausgeführt, ob die Pforte 98 für die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 leer ist oder nicht. Diese Information, daß die Pforte leer ist, wird an den Hostcomputer 50 gesendet, wenn die Initialisierung beim Anschalten der Lagerungsvorrichtung 234 vervollständigt ist, oder wenn die relevante Pforte verfügbar wird. Wenn die Pforte 98 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 leer ist, sendet der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung für die Kassette 232, die mit der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 in Verbindung steht, d. h. eine Transportaufgabenanweisung, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 über das Kommunikationskabel 58. Als Reaktion liefert die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine Anfrage zum Transferieren der Kassette 232 von dem Lagerplatz in Richtung der Pforte 98 in der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234, d. h. eine Transferaufgabenanfrage, über das Kommunikationskabel 58. Die Lagerungsvorrichtung 234, die der Transferaufgabe zugeordnet ist, bewegt die Kassette 232 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt. Als Reaktion sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 einen leeren Wagen 162 zu einer Station, die der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 entspricht. Nach dieser Bewegung liefert die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine Anfrage an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 234, daß die relevante Kassette 232 auf der Pforte 98 in Richtung des leeren Wagens 162 bewegt wird. Die Lagerungsvorrichtung 234, die dieser Anfrage zugeordnet ist, bewegt die Kassette 232 mittels der Übertragungsvorrichtung 82. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt. Die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66, die diesen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, empfängt, bewegt den Wagen 162 zu der Station, die der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 entspricht. Derart wird eine Kassette 232, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet worden ist, befördert und in die Lagerungsvorrichtung 234 durch den automatischen Transportierer 38 eingebracht, und dann wird sie ausgegeben, um an die nächste Lagerungsvorrichtung 234 durch die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesandt zu werden, während die Transportaufgabe zwischen den Lagerungsvorrichtungen fortgesetzt wird.

Steuerverfahren (2)

Durch Senden der Information, daß die Pforte 98 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 leer ist, von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 wird eine neue Kassette 232, die zu bearbeiten ist, auf dem Wagen 162 plaziert, um zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 234 transferiert beziehungsweise befördert zu werden. Bei der Ankunft des Wagens 162 sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 über das Kommunikationskabel 58 eine Anforderung an die Lagervorrichtungsteuerung 64, daß die Kassette 232 auf dem Wagen 162 auf der Pforte 98 plaziert werden soll. Die Lagerungsvorrichtung 234, die dieser Anforderung zugewiesen ist, führt die Aufgabe unter Verwendung der Übertragungsvorrichtung 82 aus. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt.

Als Reaktion sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 66 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist. Der Hostcomputer 50, der diesen Bericht empfängt, sendet eine Anweisung an die Bestimmungslagerungsvorrichtung 234, die Kassette 232 auf der Pforte 98 aufzunehmen. Entsprechend dieser Anweisung für die Aufgabe zur Aufnahme (Eintrittsaufgabenanweisung), die über das Kommunikationskabel 58 gesendet worden ist, ermittelt die Lagerungsvorrichtungsteuerung 64 einen Lagerplatz auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und initiiert dann die Aufgabe beziehungsweise beginnt mit deren Abarbeitung. Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt werden kann, wird die Steuerung 64 die Aufgabe nicht initiieren und darauf warten, daß ein Lagerplatz frei wird. Die Lagerungsvorrichtung 234, die mit der Eintrittsaufgabe beginnt, bewegt die Kassette 232 auf der Pforte 98 zu dem ermittelten Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Wenn die angewiesene Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 234 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50. Die Kassette 232, die zu bearbeiten ist, die in der Lagerungsvorrichtung 234 gelagert ist, wird dort gelassen, um darauf zu warten, daß der Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 für die nachfolgende Bearbeitung verfügbar wird.

Eine Kassettenladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 wird an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 in einem Zustand gesandt, in dem die Kassette 232, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 234 gelagert ist. Der Hostcomputer 50 identifiziert, ob es eine zu bearbeitende Kassette 232 in der Lagerungsvorrichtung 234 gibt und schreitet zu einer Austrittsaufgabe fort, wenn es eine geeignete Kassette gibt. Wenn es keine Kassette 232 gibt, wartet der Hostcomputer 50 darauf, daß eine geeignete Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 eintritt beziehungsweise in diese eingebracht wird. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 kann eine Ladeanfrage für eine Mehrzahl von Kassetten 232 auf einmal senden, entsprechend des Typs derselben. Da nur eine Kassette 232 auf der Auslaßpforte 252 plaziert werden kann, werden die Austrittsaufgabe aus der Lagerungsvorrichtung 234 und die Transportaufgabe von der Lagerungsvorrichtung 234 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die einer Anfrage für eine Mehrzahl von Kassetten entsprechen, wiederholt für die Anzahl der Kassetten ausführt.

Der Hostcomputer 50 wählt in der Phase der Austrittsaufgabe eine aus der Mehrzahl der Austrittspforten 252 entsprechend der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Eintrittsanforderung senden, aus. Außerdem wird eine Anweisung für eine Aufgabe zum Ausgeben einer Kassette 232, d. h. eine Austrittsaufgabenanweisung, an diese über das Kommunikationskabel 58 an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 gesandt. Die verfügbare Auslaßpforte 252 wird entsprechend jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, ähnlich zu der Einlaßpforte 254, bestimmt. Die Daten derselben werden an den Hostcomputer 50 im voraus über das Terminal 54 angelegt. Die Lagerungsvorrichtung 234, die die Austrittsaufgabenanweisung empfängt, transferiert die relevante Kassette 232 zu der Auslaßlieferungspforte 100 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Dann steuert die Lagerungsvorrichtung 234 die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 zum Ausgeben der Kassette 232 auf der Auslaßlieferungspforte 100 an die Auslaßpforte 252 an. Desweiteren wird die Kassette 232 zum Erleichtern des Betriebes des automatischen Transportierers 38 um 90° gedreht. Derart wird die Aufgabe zum Ausgeben an der Auslaßpforte 252(Austrittsaufgabe) vervollständigt. Die Lagerungsvorrichtung 234 sendet einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50.

Der Hostcomputer 50, der den Bericht, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist, von der Lagerungsvorrichtung 234 empfängt, sendet eine Anweisung an den automatischen Transportierer 38 über das Kommunikationskabel 58, so daß die Kassette 232 auf der Auslaßpforte 252 zu dem Kassettenständer 172, 182 der Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 transportiert wird. Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die diese Anweisung empfängt, ordnet dem geeignetsten Transportierer aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38 diese Transportaufgabe, wodurch dieser automatische Transportierer 38 eine Transportaufgabe für die Kassette 232 ausführt, durch Kommunikation mit dem Hauptteil über Funk unter Verwendung der Steuerstationskommunikationseinheit 62 und der Transportiererkommunikationseinheit 142 zu.

Diese Transportaufgabe wird im folgenden beschrieben. Der Wagen 140 des automatischen Transportierers 38 an dem Standbyplatz bewegt sich in Richtung der Auslaßpforte 252 der Lagerungsvorrichtung 234 entsprechend des Führungsbandes 156, das am Boden befestigt ist. Wenn er an der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 ankommt, bestätigt der automatische Transportierer 38 ob es eine Kassette 232 an der Auslaßpforte 252 gibt, über die an den Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 102. Dann steuert der automatische Transportierer 38 den Arm 144, die Hand 146 und die Handklaue 148 zum Holen der Kassette 232 von der Auslaßpforte 252 und zum Plazieren dieser auf der Transferhalterung 150 an. Wenn die Kassette 232 als ein Ergebnis der Bestätigung fehlt, wird sofort ein Fehler beziehungsweise eine Fehlermeldung ausgegeben. Der Halteaufgabe folgend bewegt sich der Wagen 140 der Lagerungsvorrichtung 234 zu der Vorderseite eines bezeichneten Kassettenstands 172, 182 der Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34. Der automatische Transportierer 38 plaziert die Kassette 232 auf dem Kassettenstand 172, 182 aus der Halterung 150 entsprechend einer Prozedur, die entgegengesetzt zu der obigen Abfolge ist. Vor dem Plazieren der Kassette 232 auf dem bezeichneten Kassettenstand 172, 182 bestätigt der automatische Transportierer, ob es eine nicht korrekte Kassette 232 auf dem Kassettenstand 172, 182 gibt, über die an den Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174. Ein Fehler wird sofort ausgegeben, wenn es eine nicht korrekte Kassette 232 gibt. Dieser Fehler beziehungsweise diese Fehlermeldung basiert auf der Bestimmung, daß ein andere Kassette 232 auf dem relevanten Kassettenstand einen nicht korrekten Zustand impliziert, da die Kassette 232 entsprechend der Information von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, daß der Kassettenstand 172, 182 leer ist, ausgeführt wurde. Wenn alle bezeichneten Aufgaben vervollständigt sind, liefert die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.

Der Aufgabe, die Kassette 232 durch den automatischen Transportierer 38 in die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu laden (Ladeaufgabe), folgend sendet der Hostcomputer 50 eine vorbestimmte Bearbeitungsinitiierungsanweisung an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 über das Kommunikationskabel 58.

Steuerverfahren (3)

Wenn die Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 in manueller Weise einzubringen ist, plaziert der Bediener zuerst die Kassette 232 auf der Einlaßpforte 260 und bedient die Bedienungstafel 121, die integral mit der Lagerungsvorrichtung 234 vorgesehen ist. Die Bedienung der Tafel 121 erlaubt es der Lagerungsvorrichtung 234 zu detektieren, daß die Kassette 232 an der Einlaßpforte 260 plaziert worden ist. Die Information auf der ID-Karte 240 dieser Kassette 232 wird durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 270 gelesen. Die ausgelesenen Daten werden an Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50 hält durch diesen Bericht Kenntnis, daß der Bediener eine Kassette 232 plaziert hat. Der Hostcomputer 50 sendet eine Anweisung für eine Aufgabe zum Aufnehmen der Kassette 232 in die Lagerungsvorrichtung 234 (Eintrittsaufgabenanweisung) ohne überprüfen des Lagerungsstatus der Kassetten 232 in der Lagerungsvorrichtung 234. Die verfügbare Einlaßpforte 260 wird entsprechend der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 bestimmt. Die Daten derselben werden im voraus an den Hostcomputer 50 über den Terminal 54 angelegt. Entsprechend der Eintrittsaufgabenanweisung, die über das Kommunikationskabel 58 geliefert wird, ermittelt die Lagerungsvorrichtungsteuerung 64 einen Lagerplatz auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und initiiert dann die Aufgabe. Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt werden kann, wird die Lagerungsvorrichtungsteuerung 64 die Aufgabe nicht initiieren und darauf warten, daß ein Lagerplatz verfügbar wird. Die Lagerungsvorrichtung 234, die die Eintrittsaufgabenanweisung initiiert, transferiert die Kassette 232 auf der Einlaßpforte 260 auf den Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Wenn diese Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 234 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird die Eintrittsaufgabe von einem Bediener vervollständigt.

Das Verfahren des Entladens einer Kassette 232, die in der Lagerungsvorrichtung 234 gespeichert ist, über die Auslaßpforte 262 für einen Bediener wird im folgenden beschrieben. Es wird der Fall angenommen, in dem eine Kassette in eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 aus der Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 zu laden ist, wenn ein automatischer Transportierer 38 nicht vorgesehen ist. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet eine Kassettenladeanforderung an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58. Der Hostcomputer 50 identifiziert, ob es eine Kassette 232, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 234 gibt. Wenn es eine zu bearbeitende Kassette gibt, schreitet der Hostcomputer 50 mit der Austrittsaufgabenphase fort. Wenn es keine Kassette gibt, wartet der Computer 50 darauf, daß eine relevante Kassette, die zu bearbeiten ist, in die Lagerungsvorrichtung 234 eintritt beziehungsweise eingegeben wird. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 kann eine Ladeanfrage für eine Mehrzahl von Kassetten 232 auf einmal senden, entsprechend des Typs derselben. Wenn eine Anforderung für eine Mehrzahl von Kassetten geliefert wird, wird die Austrittsaufgabe aus der Lagerungsvorrichtung 234, die nachfolgend beschrieben wird, wiederholt für eine Anzahl von Malen ausgeführt, die der Anzahl der angeforderte Kassetten entspricht.

Der Hostcomputer 50 in der Austrittsaufgabenphase selektiert irgendeine aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 262 entsprechend der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34, die Ladeanfrage liefern. Eine Austrittsaufgabenanweisung, die mit der ausgewählten Auslaßpforte 262 verbunden ist, wird an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 234 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Die verfügbare Auslaßpforte 262 für die manuelle Ausgabe wird abhängig von jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 bestimmt, ähnlich zu der Auslaßpforte 252 für den automatischen Transportierer. Die Daten werden an den Hostcomputer 50 im voraus über das Terminal 54 angelegt. Die relevante Lagerungsvorrichtung 234 überträgt die Kassette 232 an die Auslaßpforte 262 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Außerdem wird eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 234 geliefert, die dem Bediener erlaubt, die Kassette 232 auf der Auslaßpforte 262 wegzunehmen. Als Reaktion auf diese Anzeige nimmt der Bediener die Kassette 232 von der Auslaßpforte 262 und meldet, daß die Entnahmeaufgabe vervollständigt ist, an die Lagerungsvorrichtung 234 über die Bedienungstafel 121. Als Reaktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 234, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist. Ein Vervollständigungsbericht darüber wird an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Bediener, der die Kassette 232 entnimmt, muß diese Kassette zu dem Kassettenstand 172, 182 der geeigneten Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Ladeanfrage ausgegeben hat, befördern. Jedoch weiß der Bediener nicht, welche Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 diese Anforderung ausgegeben hat. Der Bediener muß den Bedienerterminal 56 des Hostcomputers 50 benutzen, um die geeignete Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu identifizieren. Dann befördert der Bediener die Kassette 232 zu der identifizierten, geeigneten Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und plaziert sie auf dem Kassettenstand 172, 182.

Die oben beschriebene herkömmliche Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230 weist Probleme auf, wie sie im folgenden erläutert werden.

Wenn die Anzahl der Kassetten, von der von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gefordert wird, daß sie übergeben werden, größer als die Anzahl der Kassetten ist, die auf der auf den automatischen Transportierer bezogenen Einlaßpforte 254 montiert bzw. plaziert werden können, werden die verbleibenden bearbeiteten Kassetten, die die plazierbare Anzahl von Kassetten überschreiten, auf dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zurückbleiben. Der Zeitraum, in dem die Kassette 232 auf Kassettenstand 172, 182 in dem Standby-Zustand für eine Transportaufgabe verbleibt, wird erhöht. Außerdem wird das Freiwerden des Kassettenstandes 172, 182 verzögert. Dieses bedeutet, daß die Zeit, die zum Liefern einer zu bearbeitenden Kassette an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benötigt wird, erhöht wird.

Die Lagerungsvorrichtung 234 kommuniziert mit der sie umgebenden Umwelt über die auf den automatischen Transportierer bezogene Einlaßlieferungspforte 104, die auf den automatischen Transportierer bezogene Auslaßlieferungspforte 100, die auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogenen Pforte 98, die Einlaßpforte 260 für eine manuelle Eingabe und die Auslaßpforte 262 für eine manuelle Ausgabe. Es gibt eine Möglichkeit, daß Staub und Dunst in die Lagerungsvorrichtung 234 durch diese Pforten eintreten bzw. eindringen, so daß sie an einem Wafer 70 in der Kassette 232 anhaften. Der Wafer 70 kann durch den Staub und Dunst nachteilig beeinflußt werden.

Die Orientierung der Kassette 232 auf der Einlaßpforte 254 in der Lagerungsvorrichtung 234 unterscheidet sich von der Orientierung der Kassette 232 auf der Einlaßlieferungspforte 104 um 90°. Darum muß die Kassette 232 während der Aufgabe, die durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 ausgeführt wird, gedreht werden.

Wenn die Anzahl der Kassetten, von der durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gefordert worden ist, daß sie geladen werden, größer als die Anzahl der Kassetten ist, die auf der Auslaßpforte 252 montiert bzw. plaziert werden können, wird jede Kassette 232, die die plazierbare Anzahl von Kassetten überschreitet, für eine nachfolgende Transportaufgabe zurückgestellt werden. Darum kann die vorhergehende Kassette 232, die bereits an dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angekommen ist, durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 nicht bearbeitet werden und muß warten, bis eine nachfolgende Kassette 232 ankommt.

Die Orientierung der Kassette 232 auf der Auslaßpforte 252 unterschiedet sich um 90° von der Orientierung der Kassette 232 auf der Auslaßlieferungspforte 100. Darum muß die Kassette 232 während der Aufgabe, die durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 250 ausgeführt wird, gedreht werden.

Die ID-Karte 240 der Kassette 232, die auf der Einlaßpforte 260 und der Auslaßpforte 262 plaziert ist, liegt der Seite der Betriebsebene des Bedieners nicht gegenüber bzw. blickt diese nicht an. Der Bediener hat Schwierigkeiten darin, die Kassette, die auf der Pforte 260, 262 plaziert ist, zu bestätigen bzw. zu überprüfen.

Die Einlaßpforte 260 für eine manuelle Eingabe, die verwendet werden kann, ist entsprechend jeder Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bestimmt. Wenn es eine Mehrzahl von Einlaßpforten 260 gibt, wird es eine Variation in der Verwendung und der Belegung der Einlaßpforten 260 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und dem Betriebszustand von jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 geben.

Wenn die Anzahl der Kassetten, von der durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gefordert worden ist, daß sie geladen werden, größer als die Anzahl der Kassetten ist, die auf der Auslaßpforte 262 montiert bzw. plaziert werden können, wird jede Kassette, die die Anzahl der plazierbaren Kassetten überschreitet, für eine nachfolgende Austrittsaufgabe zurückgestellt werden. Darum wird die Fähigkeit des Bedieners, zu arbeiten, verschlechtert bzw. behindert.

Der Bediener weiß nicht, zu welcher Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 die Kassette 232, die manuell von der Auslaßpforte 262 weggenommen wird, zu befördern ist. Der Bediener muß sich dem Terminal 56 des Hostcomputers so nähern, um die Information zur Identifizierung der entsprechenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu erhalten. Darum wird die Zeit, die für die Aufgabe bzw. die Abarbeitung der Aufgabe benötigt wird, erhöht.

Angesichts des vorhergehenden ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung und eine Lagerungsvorrichtung, die diese Probleme überwinden und ihre Verwendung vereinfachen, anzugeben.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung nach Anspruch 1 bzw. eine Lagerungsvorrichtung nach Anspruch 5.

Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Es wird eine Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung angegeben, die die Fähigkeit eines Bedieners, zu arbeiten, in bevorzugter Weise ermöglicht und ausnutzt.

Es wird eine Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung ohne Variation in der Verwendung und der Belegung einer Einlaßpforte für eine manuelle Eingabe angegeben.

Weiterhin wird die Bedienbarkeit und die Fähigkeit zum Arbeiten für eine Bearbeitungsvorrichtung verbessert.

Abermals weiterhin wird die Halbleiterwaferkassettenlagerungsumgebung in einer Lagerungsvorrichtung verbessert.

Abermals weiterhin wird der Eintrittsmechanismus für eine Halbleiterwaferkassette in eine Lagerungsvorrichtung vereinfacht.

Abermals weiterhin wird der Austrittsmechanismus für eine Halbleiterwaferkassette aus einer Lagerungsvorrichtung vereinfacht.

Abermals weiterhin wird es einem Bediener ermöglicht, den Typ einer Halbleiterwaferkassette, die auf einer auf eine manuelle Eingabe bezogenen Einlaßpforte und/oder auf einer auf eine manuelle Ausgabe bezogenen Auslaßpforte plaziert ist, leichter zu bestätigen bzw. zu erfassen.

Die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung weist eine Lagerungsvorrichtung zum Lagern einer Mehrzahl von Halbleiterwaferkassetten, eine Bearbeitungsvorrichtung zum Anwenden eines Prozesses auf eine Halbleiterwaferkassette bzw. die Wafer in einer Halbleiterwaferkassette, einen automatischen Transportierer zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport einer Halbleiterwaferkassette zwischen einer Lagerungsvorrichtung und einer Bearbeitungsvorrichtung, eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport einer Halbleiterwaferkassette zwischen einer Quellen-Lagerungsvorrichtung und einer Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung, und einen Hostcomputer zum Liefern einer Steuerung der Lagerungsvorrichtung, der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung, des automatischen Transportierers und der Bearbeitungsvorrichtung auf. Die Lagerungsvorrichtung weist eine Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe bzw. Entnahme einer Halbleiterwaferkassette durch einen Bediener auf. Die Anzahl der Halbleiterwaferkassetten, die auf der auf die manuelle Ausgabe bezogenen Auslaßpforte montiert bzw. plaziert werden können, ist entsprechend der Beziehung zu der Anzahl der Halbleiterwaferkassetten, die auf einmal durch die Bearbeitungsvorrichtung angefordert werden bzw. werden können, bestimmt.

Darum kann eine Anzahl von Halbleiterwaferkassetten, von der durch die Bearbeitungsvorrichtung gefordert ist, daß sie auf einmal transportiert werden, durch den Bediener auf einmal transportiert werden. Darum wird die Fähigkeit des Bedieners, zu arbeiten, verbessert.

Bevorzugterweise weist die Lagerungsvorrichtung eine Einlaßpforte für eine manuelle Eingabe einer Halbleiterwaferkassette durch einen Bediener auf. Die Anzahl der Halbleiterwaferkassetten, die auf der auf die manuelle Eingabe bezogenen Einlaßpforte montiert bzw. plaziert werden können, ist gleich 2.

Bei der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung der vorliegenden Erfindung können zwei Kassetten auf der auf die manuelle Eingabe bezogenen Einlaßpforte plaziert werden, wobei die Arbeits- bzw. Transportfähigkeit des Bedieners, berücksichtigt wird. Darum wird die Bearbeitbarkeit einer Eintrittsaufgabe in eine Lagerungsvorrichtung verbessert. Dementsprechend tritt eine Variation in der Verwendung und der Belegung der auf die manuelle Eingabe bezogenen Einlaßpforte nicht auf.

Bevorzugterweise muß eine Entsprechung zwischen einer auf eine manuelle Eingabe bezogenen Einlaßpforte und einer Bearbeitungsvorrichtung nicht etabliert werden.

Bei der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung kann eine durch eine Bearbeitungsvorrichtung bearbeitete Kassette über irgendeine auf eine manuelle Eingabe bezogene Einlaßpforte eingegeben werden. Darum tritt keine Variation bei der Verwendung und der Belegung der auf die manuelle Eingabe bezogenen Einlaßpforten auf.

Bevorzugterweise weist die Lagerungsvorrichtung weiterhin eine Einlaßpforte für die Eingabe einer Halbleiterwaferkassette durch einen automatischen Transportierer und eine Auslaßpforte für eine Ausgabe einer Halbleiterwaferkassette an einen automatischen Transportierer auf. Die Anzahl der Halbleiterwaferkassetten, die auf der auf den automatischen Transportierer bezogenen Einlaßpforte plaziert werden können, ist entsprechend der Beziehung mit der Anzahl der Halbleiterwaferkassetten, von der durch die Bearbeitungsvorrichtung gefordert werden kann, daß sie auf einmal entladen werden, bestimmt. Außerdem ist die Anzahl der Halbleiterwaferkassetten, die auf einmal zusammen durch einen automatischen Transportierer transportiert werden können, entsprechend der Beziehung zu der Anzahl der Halbleiterwaferkassetten, die auf der auf den automatischen Transportierer bezogenen Einlaßpforte und der auf den automatischen Transportierer bezogenen Auslaßpforte plaziert werden können, bestimmt.

Bei der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung etabliert die Anzahl der Halbleiterwaferkassetten, von der durch eine Bearbeitungsvorrichtung gefordert werden kann, daß sie geladen wird, und die Anzahl der Kassetten, die auf der auf den automatischen Transportierer bezogenen Auslaßpforte plaziert werden kann, eine vorbestimmte Beziehung. Darum wird die Transportaufgabe durch einen automatischen Transportierer effizient ausgeführt. Dementsprechend wird die Fähigkeit der Bearbeitungsvorrichtung zu arbeiten, verbessert.

Die Lagerungsvorrichtung wird in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung verwendet, die eine Lagerungsvorrichtung zum Lagern einer Mehrzahl von Halbleiterwaferkassetten, eine Bearbeitungsvorrichtung zum Anwenden eines Prozesses auf eine Halbleiterwaferkassette bzw. die darin aufgenommenen Wafer, einen automatischen Transportierer zum Ausführen einer Transportaufgabe zum Transport einer Halbleiterwaferkassette zwischen einer Lagerungsvorrichtung und einer Bearbeitungsvorrichtung, eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport einer Halbleiterwaferkassette zwischen einer Quellen-Lagerungsvorrichtung und einer Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung, und einen Hostcomputer zum Liefern einer Steuerung der Lagerungsvorrichtung, der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung des automatischen Transportierers und der Bearbeitungsvorrichtung auf. Die Lagerungsvorrichtung weist eine Pforte zur Eingabe/Ausgabe (Eintritt/Austritt) einer Halbleiterwaferkassette durch/zu der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung, eine Einlaßpforte für eine Eingabe (Eintritt) einer Halbleiterwaferkassette durch den automatischen Transportierer, eine Auslaßpforte für eine Ausgabe (Austritt) einer Halbleiterwaferkassette an den automatischen Transportierer, eine Pforte für eine manuelle Eingabe/Ausgabe (Eintritt/Austritt) einer Halbleiterwaferkassette durch/an einen Bediener, eine erste Abschirmtür, die an der auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogenen Pforte vorgesehen ist, eine zweite Abschirmtür, die an der auf den automatischen Transportierer bezogenen Einlaßpforte vorgesehen ist, eine dritte Abschirmtür, die an der auf den automatischen Transportierer bezogenen Auslaßpforte vorgesehen ist, und eine vierte Abschirmtür, die an der Pforte für eine manuelle Eingabe/Ausgabe vorgesehen ist, auf.

Bei der Lagerungsvorrichtung ist eine Abschirmtür vorgesehen, um das Eindringen von Staub und Dunst in die Lagerungsvorrichtung verhindern. Die Halbleiterwaferkassettenlagerungsumgebung in der Lagerungsvorrichtung kann verbessert werden.

Eine Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung weist eine Lagerungsvorrichtung zur Lagerung einer Mehrzahl von Halbleiterwaferkassetten, eine Bearbeitungsvorrichtung zum Anwenden eines Prozesses auf eine Halbleiterwaferkassette bzw. die darin aufgenommenen Wafer, einen automatischen Transportierer zum Ausführen einer Transportaufgabe zum Transport einer Halbleiterwaferkassette zwischen einer Lagerungsvorrichtung und einer Bearbeitungsvorrichtung, eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung zum Ausführen einer Transportaufgabe zum Transport einer Halbleiterwaferkassette zwischen einer Quellen-Lagerungsvorrichtung und einer Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung, und einen Hostcomputer zum Liefern einer Steuerung der Lagerungsvorrichtung, der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung, des automatischen Transportierers und der Bearbeitungsvorrichtung auf. Eine ID-Karte zum Speichern von Daten ist mit der Halbleiterwaferkassette verbunden. Die ID-Karte weist eine Sender- und -Empfänger-Einheit auf, die an der Unterseite zum Übertragen und Empfangen von Daten angeordnet ist. Die Lagerungsvorrichtung enthält eine Pforte für eine manuelle Eingabe/Ausgabe einer Halbleiterwaferkassette durch einen Bediener, und einen ID-Karten-Leser/Schreiber, der der ID-Karte gegenüberliegend angeordnet ist, zum Übertragen und Empfangen von Daten.

Da die Sender- und -Empfänger-Einheit an der Bodenfläche der ID-Karte bei der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung vorgesehen ist, kann der ID-Karten-Leser/Schreiber in der Lagerungsvorrichtung eingebettet sein. Darum wird der ID-Karten-Leser/Schreiber kein Hindernis für die manuelle Eingabe/Ausgabe einer Halbleiterwaferkassette über die Pforte sein oder werden. Darum kann der Eintrittsmechanismus, d. h. die Art und Weise des Eingebens, einer Halbleiterwaferkassette in eine Lagerungsvorrichtung vereinfacht werden. Außerdem kann der Austrittsmechanismus, d. h. die Art und Weise des Ausgebens, einer Halbleiterwaferkassette aus einer Lagerungsvorrichtung vereinfacht werden. Darüber hinaus kann der Bediener leicht den Typ der Halbleiterwaferkassette bestätigen bzw. erfassen, die auf der auf die manuelle Eingabe/Ausgabe bezogenen Pforte plaziert ist.

Das vorhergehende und andere Merkmale und Zweckmäßigkeiten ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figuren. Von den Figuren zeigen:

Fig. 1 und 2 Ansichten aus der Vogelperspektive einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230;

Fig. 3A, 3B und 3C Darstellungen zum Beschreiben einer Halbleiterwaferkassette 40 und einer ID-Karte 72;

Fig. 4 eine Lagerungsvorrichtung 36, die von der Seite der automatischen Transportvorrichtung gesehen wird;

Fig. 5 eine Lagerungsvorrichtung 36, die von der Seite des Bedieners gesehen wird;

Fig. 6 eine Darstellung zum Beschreiben einer Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe aus der Lagerungsvorrichtung 36;

Fig. 7A und 7B Darstellungen zum Beschreiben eines Kassettenlagerungsplatzes in einer Lagerungsvorrichtung, die von der Seite des automatischen Transportierer beziehungsweise von der Seite des Bedieners gesehen sind;

Fig. 8 ein Aussehen eines automatischen Transportierers 38;

Fig. 9 ein Aussehen einer Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42;

Fig. 10 ein Aussehen einer Bearbeitungsvorrichtung 32;

Fig. 11 ein Aussehen einer Bearbeitungsvorrichtung 34;

Fig. 12 und 13 eine Lagerungsvorrichtung 190, die von der Seite eines automatischen Transportierers beziehungsweise von der Seite eines Bedieners gesehen ist;

Fig. 14 eine Darstellung zum Beschreiben einer Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe der Lagerungsvorrichtung 190;

Fig. 15 und 16 Ansichten aus der Vogelperspektive einer herkömmlichen Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 230;

Fig. 17A, 17B und 17C Darstellungen zum Beschreiben einer Halbleiterwaferkassette 230 und einer ID-Karte 240;

Fig. 18 und 19 eine Lagerungsvorrichtung 230, die von der Seite eines automatischen Transportierers beziehungsweise von der Seite eines Bedieners gesehen ist; und

Fig. 20 eine Darstellung zum Beschreiben einer Auslaßpforte für eine manuelle Ausgabe.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2, eine Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist die herkömmlichen Bearbeitungsvorrichtung 32 und 34, eine neue Lagerungsvorrichtung 36, einen herkömmlichen automatischen Transportierer 38 und eine herkömmliche Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 auf. Die Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 sind mit einer gewissen Lagerungsvorrichtung 36 als der Lagerplatz beziehungsweise die Lagerstätte für eine Kassette 40, vor und nachdem die Kassette einer Bearbeitung unterworfen wird bzw. wurde, vorgesehen bzw. verbunden. Zwei automatische Transportierer 38 sind mit der Transportaufgabe zwischen diesen befaßt bzw. in der Transportaufgabe engagiert. Zum Zwecke der Bequemlichkeit ist die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 in der Zeichnung in einer abgeschnittenen Weise gezeigt. Tatsächlich ist die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 in einer umlaufenden Weise angeordnet, wobei eine Mehrzahl von Lagerungsvorrichtungen 36 in der Nähe derselben angeordnet ist. Die Gruppe aus der Bearbeitungsvorrichtung bzw. den Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 und dem automatischen Transportierer bzw. den automatischen Transportierern 38 entspricht jeder der anderen Lagerungsvorrichtungen 36 bzw. ist für jede dieser anderen Lagerungsvorrichtungen 36 vorgesehen.

Die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 weist weiter einen herkömmlichen Hostcomputer 50, einen Hauptkörper (Hauptteil) 52 desselben, ein Terminal 54, ein Bedienerterminal 56, ein Kommunikationskabel 58, das entsprechend mit dem Hostcomputer 50, den Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34, der Lagerungsvorrichtung 36 und dem automatischen Transportierer 38 verbunden ist, zum Liefern einer Verbindung zwischen der Lagerungsvorrichtung 36 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42, eine Lagerungsvorrichtungssteuerung 64, eine Steuerung 60 für den automatischen Transportierer und eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 auf. Obwohl die Kommunikation zwischen der Steuerung 60 für den automatischen Transportierer und dem automatischen Transportierer 38 mittels Funk über eine steuerstationsseitige Kommunikationseinheit 62 ausgeführt wird, kann die Kommunikation zwischen diesen über Draht ausgeführt werden.

Unter Bezugnahme auf Fig. 3, ein Halbleiterwafer 70 und eine Kassette 40 sind vergleichbar bzw. identisch zu den herkömmlichen. Eine ID-Karte 72 enthält eine Anzeigeeinheit 74 und eine Kommunikationseinheit 76 vergleichbar bzw. identisch zu den herkömmlichen. Es ist zu bemerken, daß die Kommunikationseinheit 76 an dem Boden und nicht an der Vorderseite der ID-Karte 72 der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung angebracht ist.

Die strukturellen Elemente der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform werden im Detail unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.

Eine Lagerungsvorrichtung 36 wird unter Bezugnahme auf die Fig. 4 bis 6 beschrieben. In den Fig. 4 und 5 ist eine Lagerungsvorrichtungswand 94 gezeigt, wobei ein Abschnitt derselben weggeschnitten beziehungsweise weggelassen ist, so daß das Innere der Lagerungsvorrichtung 36 gezeigt wird.

Die Lagerungsvorrichtung 36 weist eine Lagerungsvorrichtungsplatte beziehungsweise Lagerungsvorrichtungsregalplatte 96, eine Pforte (Einlaß- und Auslaßabschnitt) 98 für die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung, eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 116 für eine manuelle Eingabe, eine Auslaßpforte (Auslaßabschnitt) 118 für eine manuelle Ausgabe, eine Auslaßpforte (Auslaßabschnitt) 86 für einen automatischen Transportierer, eine Auslaßlieferpforte (Auslaßabschnitt) 100 für einen automatischen Transportierer, eine Einlaßpforte (Einlaßabschnitt) 88 für einen automatischen Transportierer, eine Einlaßlieferpforte (Einlaßlieferungsabschnitt) 104 für einen automatischen Transportierer, einen Lagerungsvorrichtungskran (Lagerungsvorrichtungshubvorrichtung) 80, eine Übertragungsvorrichtung (Transfervorrichtung) 82, eine Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 und eine an einen automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 102 auf.

Der Lagerungsvorrichtungskran 80, die Übertragungsvorrichtung 82 und die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 führen eine Transportaufgabe in der Einheit von einer Kassette, zwei Kassetten bzw. einer Kassette aus. Die Anzahl der Kassetten, die in der auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogenen Pforte 98, der Einlaßpforte 116 für eine manuelle Eingabe, der Auslaßpforte 118 für eine manuelle Ausgabe, der auf den automatischen Transportierer bezogenen Auslaßlieferungspforte 100, der auf den automatischen Transportierer bezogenen Einlaßlieferungspforte 104, der auf den automatischen Transportierer bezogenen Auslaßpforte 86 und der auf den automatischen Transportierer bezogenen Einlaßpforte 88 montiert beziehungsweise gehalten werden kann, ist zwei Kassetten, zwei Kassetten, eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette, eine Kassette bzw. eine Kassette.

Zwei Vorwärtsbewegungsvorrichtungen 84 sind wie bei dem herkömmlichen Fall vorgesehen. Dementsprechend sind zwei auf den automatischen Transportierer bezogene Auslaßpforten 86, zwei auf den automatischen Transportierer bezogene Einlaßpforten 88, zwei auf den automatischen Transportierer bezogene Auslaßlieferpforten 100 und zwei auf den automatischen Transportierer bezogene Einlaßlieferpforten 104 vorgesehen. Es gibt zwei Einlaßpforten 118 für eine manuelle Ausgabe, wohingegen es nur eine Einlaßpforte 116 für eine manuelle Eingabe gibt.

Wie in Fig. 6 gezeigt ist, ein ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ist an der Auslaßpforte 118 für eine manuelle Ausgabe angebracht. Der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ist außerdem an der Einlaßpforte 116 für eine manuelle Eingabe wie in dem herkömmlichen Fall angebracht. In der Lagerungsvorrichtung 36 sind vier ID-Karten-Leser/Schreiber 120 vorgesehen. Die Richtung des Anbringens derselben unterscheidet sich von der herkömmlichen. Da die ID-Karten-Kommunikationseinheit 76 an der Unterseite der ID-Karte 72 angebracht ist, kann der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 unter einem Kassettenempfänger 130 vorgesehen sein. Es ist daher möglich, daß die Vorderseite der ID-Karte 72 so angeordnet ist, daß sie der Seite der Arbeitsebene des Bedieners gegenüberliegt.

Wie in dem herkömmlichen Fall kann der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Richtung der Kassette 40 beim Plazieren der Kassette auf der Lagerungsvorrichtungsplatte beziehungsweise in dem Lagerungsvorrichtungsregal 96 nicht frei ändern. Die Kassette 40, die über die Einlaßpforte 116 eingegeben wird, wird auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 auf der Seite der Einlaßpforte 116 plaziert. Die Orientierung der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ist identisch zu der Orientierung der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116. Beim Ausgeben der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 über die Auslaßpforte 86 greift der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 mit seinem eigenen Arm und dreht seinen Arm um 180° zum Plazieren der Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 100. Die Orientierung der Kassette 40 wird durch diesen Transport um 180° gedreht. Die Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 100 ist so orientiert, daß die ID-Karte 72, die an der Kassette 40 angebracht ist, der Seite der Betriebsebene des automatischen Transportierers 38 gegenüberliegt. Darum muß die Orientierung der Kassette 40 nicht geändert werden, wenn die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 zum Ausgeben der Kassette 40 an die Auslaßpforte 86 arbeitet.

In ähnlicher Weise wird die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte (bzw. dem Lagerungsvorrichtungsregal) 96 auf der Seite der Einlaßpforte 88 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 plaziert, ohne daß ihre Orientierung durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 gedreht wird. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 greift die Kassette 40 mit seinem eigenen Arm, wie in dem herkömmlichen Fall, zum Plazieren der Kassette 40 auf der Auslaßpforte 118. Die Orientierung der Kassette 40 wird durch diesen Betrieb um 180° gedreht.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 4 und 5, die Lagerungsvorrichtung 36 weist weiter eine äußere Abschirmtür 90 für die auf den automatischen Transportierer bezogene Pforte zum Halten der Luftdichtheit, die in der senkrechten Richtung bewegbar ist und an der Außenseite der Auslaßlieferungspforte 100 und der Einlaßlieferungspforte 104 angeordnet ist, und eine innere Abschirmtür 92 für die auf den automatischen Transportierer bezogene Pforte zum Beibehalten der Luftdichtheit, die in der senkrechten Richtung bewegbar und an der Innenseite der Auslaßlieferungspforte 100 und der Einlaßlieferungspforte 104, die weiter innerhalb der Lagerungsvorrichtung 36 liegt, angeordnet ist, auf.

Obwohl die Zeichnung nur die innere und die äußere Abschirmtür 92 und 90, die auf beiden Seiten eines Paares aus Auslaßlieferungspforte 100 und Einlaßlieferungspforte 104 vorgesehen sind, gezeigt sind, sind die innere und die äußere Abschirmtür 92 und 90 ebenfalls an den beiden Seiten der anderen Auslaßlieferungspforte 100 und der anderen Einlaßlieferungspforte 104 vorgesehen.

Die Lagerungsvorrichtung 36 weist weiter eine äußere Abschirmtür 114 und eine innere Abschirmtür 112 entsprechend der Pforte für die manuelle Eingabe/Ausgabe auf. Die äußere Abschirmtür 110 und die innere Abschirmtür 112 können in der senkrechten Richtung Zweck des Beibehaltens der Luftdichtheit der Lagerungsvorrichtung 36 bewegt werden. Die äußere Abschirmtür 114 ist außerhalb der Einlaßpforte 116 oder der Auslaßpforte 118 angeordnet. Die innere Abschirmtür 112 ist innerhalb der Einlaßpforte 116 oder der Auslaßpforte 118 angeordnet.

Obwohl nur die Abschirmtüren für die Einlaßpforte 116 gezeigt sind, sind ähnliche Abschirmtüren ebenfalls für die beiden Auslaßpforten 118 vorgesehen.

Die Lagerungsvorrichtung 36 weist weiter eine äußere Abschirmtür 122, die an der Außenseite der auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogenen Pforte 98 angeordnet ist, und eine innere Abschirmtür 110 auf. Die äußere und die innere Abschirmtür 122 und 110 arbeiten beide zum Beibehalten der Luftdichtheit der Lagerungsvorrichtung 36. Die innere Abschirmtür 110 ist auf einer Seite der Pforte 98 vorgesehen, die innerhalb der Lagerungsvorrichtung 36 liegt.

Die Pforte 98 kann bei geöffneter äußerer Abschirmtür 122 mittels einer Hubvorrichtung 124 angehoben oder abgesenkt werden. Die äußere Abschirmtür 122 wird horizontal verschoben, und die innere Abschirmtür 110 wird vertikal bewegt. Die Übertragungsvorrichtung 82 führt eine Aufgabe bezüglich der Pforte 98, die einer durch die Hubvorrichtung 124 angehobenen Position angeordnet ist, aus, wohingegen der Lagerungsvorrichtungskran 80 eine Aufgabe bezüglich der Pforte 98, die in einer durch die Hubvorrichtung 124 abgesenkten Position angeordnet ist, ausführt.

Die Fig. 7A und 7B zeigen den Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36, wenn er von der Seite der Betriebsebene des automatischen Transportierers 38 bzw. von der Seite der Betriebsebene des Bedieners gesehen wird. Die Kennungen STK01 bis STK04 bezeichnen die Lagerungsvorrichtungseinheitsnummer, welche Unterteilungen des Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung 36 zum Erleichtern der Verwaltung des Lagerplatzes sind. Die Kennungen T01 bis T07 bezeichnen die Plattennummer (Regalplattennummer) der Lagerungsvorrichtungsplatte 96, was die Position der lateralen Zeile, d. h. die Position der sich seitlich erstreckenden Zeile, anzeigt. Die Kennungen P01 bis P04 zeigen die Positionsnummer an, die der vertikalen Zeile (der sich in senkrechter Richtung erstreckenden Zeile) für jede Lagerungsvorrichtungseinheit entsprechen.

Unter Bezugnahme auf Fig. 8, der automatische Transportierer 38 weist einen Wagen 140, der entlang eines Führungsbandes 156, das an dem Boden befestigt ist, läuft, eine Transportiererkommunikationseinheit 142 zum Übertragen von Information an die und von der Steuerstationskommunikationseinheit 62 der Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, einen Arm 144, eine Hand 146 und eine Handklaue 148 zum Ausführen einer Aufgabe zum Transferieren (Transferaufgabe) einer Kassette 40, vier Transferhalterungen 150 zum Halten der Kassette 40, die aus der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 oder der Lagerungsvorrichtung 36 entladen worden ist, während des Transportes in der vertikalen Orientierung, eine Bedienungstafel 152 zum Übertragen von Information an einen und von einem Bediener, und einen Stoßfänger 154 zum Detektieren eines Hindernisses zum Unterbrechen der momentan ausgeführten Aufgabe auf.

Obwohl der automatische Transportierer 38 ein Roboter ist, der durch das Führungsband 156 geführt und nicht an ein Gleis gebunden ist, kann anstelle dessen ein Roboter vom Gleis-Typ verwendet werden. Außerdem kann ein Roboter eines Typs verwendet werden, der die Kassette 40 mittels der Handklaue 148 fortlaufend ergreift, so daß die Transferhalterung 150 verzichtbar ist. Desweiteren kann eine Hand 146, die eine Mehrzahl von Kassetten 40 zusammen auf einmal transferieren kann, vorgesehen sein.

Unter Bezugnahme auf Fig. 9, die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 weist eine Schiene 160, die eine Schleife bildet, einen Wagen 162, der sich in eine Richtung (in der Richtung des Pfeiles) auf der Schiene 160 bewegt, zum Befördern von höchstens zwei Kassetten und eine Hängevorrichtung 164 Aufhängen der Schiene 160 an der Decke auf.

Unter Bezugnahme auf Fig. 10, die Bearbeitungsvorrichtung 32 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 170 zum Anwenden eines Herstellungsprozesses für eine integrierte Halbleiterschaltung auf Wafer 70 in Einheiten von einer oder einer Mehrzahl von Wafern, zwei Kassettenstände 172 zum Empfangen von Kassetten 40, die eine nach der anderen zu bearbeiten sind, und eine an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den Zustand des Kassettenstands 172 an den automatischen Transportierer 38 zum Bestätigen, ob eine nicht korrekte Kassette auf dem Kassettenstand 172 plaziert ist, bevor der automatische Transportierer 38 eine Kassette 40, die bearbeiten ist, auf dem Kassettenstand 172 plaziert, oder ob eine Kassette 40, die bearbeitet worden ist, korrekt auf dem Kassettenstand 172 vor dem Entladen plaziert ist, auf.

Unter Bezugnahme auf Fig. 11, eine Bearbeitungsvorrichtung 34 weist einen Hauptkörper (Hauptteil) 180 zum Anwenden eines Herstellungsprozesses für eine integrierte Halbleiterschaltung auf Wafer 70 für jeweils einen oder eine Mehrzahl von Wafern, zwei Kassettenstände 182 zum Empfangen von Kassetten 40, die in der Einheit von zwei Kassetten zu bearbeiten sind, und eine an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174 zum Liefern von Information über den Zustand des Kassettenstands 182 an den automatischen Transportierer, um zu bestätigen, ob eine nicht korrekte Kassette 40 auf dem Kassettenstand 182 plaziert ist, bevor der automatische Transportierer 38 eine zu bearbeitende Kassette 40 auf dem Kassettenstand 182 plaziert, oder ob eine bearbeitete Kassette 40 korrekt auf dem Kassettenstand 182 plaziert ist, bevor sie entladen wird, auf.

Das Verfahren zum Steuern des Eintritts (Eintrittssteuerverfahren) der Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 in der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 wird im folgenden beschrieben, das hauptsächlich in (1) die Aufgabe des Lagerns einer bearbeiteten Kassette 40 von den Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 in der Lagerungsvorrichtung 36, (2) die Aufgabe des Beförderns der Kassette 40 von einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu einer Bestimmungslagerungsvorrichtung 36, und (3) die Aufgabe des Einbringens der Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 durch die Einlaßpforte 116 für eine manuelle Eingabe unterteilt ist.

Eintrittssteuerverfahren für Aufgabe (1)

Der Hostcomputer 50 hat die im voraus gespeicherte Information über die Lagerungsvorrichtungskapazität, d. h. die maximale Anzahl von Kassetten 40, die auf den Lagerungsvorrichtungsplatten 96 in jeder Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert werden können. Diese Information über die Lagerkapazität wird über der Terminal 54 eingegeben. Wenn eine Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 zu speichern ist, bestimmt der Hostcomputer 50, ob es einen verfügbaren Raum in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, in dem die Anzahl der Kassetten, die zu speichern ist, von dem vorbestimmten Wert der Lagerungsvorrichtungskapazität abgezogen wird. Da der Hostcomputer 50 eine Steuerung beziehungsweise Kontrolle des verfügbaren Raums in der Lagerungsvorrichtung 36 liefert, muß die Lagerungsvorrichtung 36 keinen Bericht über eine leere Einlaßpforte 88, die sich auf einen automatischen Transportierer bezieht, und eine leere Pforte 98, die sich auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezieht, an den Hostcomputer 50 liefern.

In einer herkömmlichen Weise liefert die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 eine Anforderung an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58, daß die bearbeitete Kassette 40 übergeben werden soll. Wie in den Fig. 10 und 11 gezeigt ist, liefert die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 eine Übergabeanfrage für eine Kassette oder eine Mehrzahl von Kassetten entsprechend des jeweiligen Typs derselben. Der Hostcomputer 50, der die Übergabeanfrage empfängt, zieht die Anzahl der angefragten Kassetten von dem Wert der (noch verfügbaren) Speicherungskapazität ab und schreitet zu der Phase der Transportaufgabe unter Verwendung des automatischen Transportierers 38 fort. Wenn das Subtraktionsergebnis eine negative Zahl ergibt, bestimmt der Hostcomputer 50, daß die Kassette 40 nicht gelagert werden kann. Darum wird der Hostcomputer 50 nicht zu der Phase der Transportaufgabe unter Verwendung des automatischen Transportierers 38 fortschreiten. Wie in dem herkömmlichen Fall ist eine Einlaßpforte 88 entsprechend jeder aus der Mehrzahl der Bearbeitungsvorrichtung 32 und 34 zugeordnet. Die Zuordnungsinformation derselben ist in dem Hostcomputer 50 vorher gespeichert. Selbst wenn die Übergabeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entsprechend jeweils zwei Kassetten geliefert wird, muß der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung für eine Kassette auf einmal an den automatischen Transportierer 38 senden, da es nur die Kapazität für eine Kassette an der Einlaßpforte 88 gibt.

Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die eine Transportaufgabenanweisung für eine Kassette von dem Hostcomputer 50 empfängt, sendet eine Anweisung, so daß die Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 transportiert wird, wie in dem herkömmlichen Fall. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.

Auf das Empfangen des Berichtes, daß die Aufgabe vervollständigt ist, hin sendet der Hostcomputer 50 eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64, so daß die Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 über die Einlaßpforte 88 eingegeben beziehungsweise in diese aufgenommen wird. Entsprechend dieser Eintrittsaufgabenanweisung, die über das Kommunikationskabel 58 gesandt worden ist, beginnt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die Eintrittsaufgabe nach Ermittlung eines Lagerplatzes auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96. Nur in einem Fehlerzustand wird der Lagerplatz nicht ermittelt. Dieses ist so, da der Hostcomputer 50 einen verfügbaren Raum in der Lagerungsvorrichtung 36 vor dem Initiieren der Transportaufgabe, die durch den automatischen Transportierer 38 ausgeführt worden ist, bestätigt hat. Die Lagerungsvorrichtung 36, die die Eintrittsaufgabe ohne ein Problem beginnt, transferiert die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 zu dem entsprechenden Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96. Dabei muß die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 die Kassette 40 nicht um 90° während der Transferaufgabe drehen, da die Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßpforte 88 identisch zu der Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßlieferungspforte 104 ist. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, wird die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58. Derart wird eine bearbeitete Kassette 40, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet worden ist, in der Lagerungsvorrichtung 36 aufgenommen.

Eintrittssteuerverfahren für Aufgabe (2)

Wenn die Kassette 40, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet worden ist, in der Lagerungsvorrichtung 36 aufgenommen ist, setzt der Hostcomputer 50 diese Lagerungsvorrichtung 36 als die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 und bestimmt eine Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 entsprechend einer nachfolgenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die aus der gespeicherten Information in der Kassette 40 in der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 identifiziert wird. Dann zieht der Hostcomputer 50 die Anzahl der Kassetten, die zu lagern sind, von dem Wert der Kassettenkapazität (der momentanen Anzahl von Kassetten, die in der relevanten Lagerungsvorrichtung gelagert werden können) in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 ab. Die Steuerung schreitet dann zu der Transportaufgabe unter Verwendung der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 fort. Der Hostcomputer 50 bestimmt, daß die Kassette nicht gelagert werden kann, wenn das Subtraktionsergebnis eine negative Zahl zeigt. In diesem Fall schreitet die Steuerung nicht zu der Transportaufgabe unter Verwendung der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 fort.

Der Hostcomputer 50 in einer Phase einer Transportaufgabe sendet eine Transportaufgabenanweisung an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 über das Kommunikationskabel 58 wie in dem herkömmlichen Fall. Die Bestimmung, die durch diese Anweisung gesetzt wird, ist der Lagerplatz der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36, nicht die herkömmlicherweise gesetzte Pforte 98, die auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogen ist. Die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66, die die Transportaufgabenanweisung empfängt, sendet eine Anfrage an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58, so daß die Kassette 40 von dem Lagerplatz zu der Pforte 98 transferiert wird. Die Lagerungsvorrichtung 36, die die Anforderung empfängt, führt eine vorbestimmte Aufgabe für die relevante Kassette 40 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80 aus. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt. Auf das Empfangen des Berichtes, daß die Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 einen leeren Wagen 162 zu der Station, die der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 entspricht.

Auf die Vervollständigung dieser Bewegung hin sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine Anforderung an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36, so daß die relevante Kassette 40 auf der Pforte 98 an den leeren Wagen 162 transferiert wird. Die Lagerungsvorrichtung 36, die diese Anforderung empfängt, transferiert die Kassette 40 unter Verwendung der Übertragungsvorrichtung 82. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt. Auf das Empfangen dieses Berichtes, daß die Aufgabe vervollständigt ist, hin bewegt die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 den Wagen 162 zu der Station, die der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 entspricht.

Wenn diese Bewegung vervollständigt ist, sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine Anforderung an die Steuerung 64 für die Bestimmungslagerungsvorrichtung über das Kommunikationskabel 58, so daß die Kassette 40 auf dem Wagen 162 über die Pforte 98 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 gespeichert beziehungsweise gelagert wird. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 steuert die Übertragungsvorrichtung 82 zum Bewegen der Kassette 40 auf der Pforte 98 an. Dann wird die Kassette 40 auf der Pforte 98 zu dem ermittelten Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 mittels des Lagerungsvorrichtungskrans 80 transferiert. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 wird nur in dem Fall eines Fehlers während (der Abarbeitung) der Aufgabe zum Speichern der Kassette 40 nicht in der Lage sein, einen Speicherplatz zu ermitteln. Dieses ist so, da der Hostcomputer 50 vor dem Initiieren der Transportaufgabe einen verfügbaren Raum in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 bestätigt hat.

Auf die Vervollständigung der Aufgabe hin berichtet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66, daß die Aufgabe vervollständigt ist. Als Reaktion sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird eine Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) einer Kassette von einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu einer Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 vervollständigt.

Eintrittssteuerverfahren für Aufgabe (3)

Wenn ein Bediener (nicht gezeigt) eine Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 eingibt, plaziert der Bediener zuerst die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116. Dann manipuliert der Bediener die Bedienungstafel 121, die an der Lagerungsvorrichtung 36 vorgesehen ist, wodurch die Lagerungsvorrichtung 36 identifiziert, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert worden ist. Die Information, die in der ID-Karte 72 der Kassette 40 gespeichert ist, wird durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 gelesen. Die gelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt.

Als Reaktion beziehungsweise als Ergebnis wird dem Hostcomputer 50 mitgeteilt, daß ein Bediener eine Kassette 40 geladen hat. Der Hostcomputer 50 zieht die Anzahl der Kassetten, die eintreten sollen beziehungsweise eingegeben werden sollen, von dem Wert der Kassettenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 36 ab. Die Steuerung schreitet zu der Transportaufgabe unter Verwendung der Lagerungsvorrichtung 36 fort. Wenn das Subtraktionsergebnis eine negative Zahl zeigt, bestimmt der Hostcomputer 50, daß die Kassette 40 nicht gespeichert werden kann. Darum schreitet die Steuerung nicht zu der Eintrittsaufgabe fort. Wenn der Hostcomputer 50 in die Phase der Eintrittsaufgabe eintritt, wird eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Entsprechend der übertragenen Eintrittsaufgabenanweisung initiiert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die Aufgabe, nachdem ein Lagerplatz für die Kassette 40 auf einer Lagerungsvorrichtungsplatte 96 ermittelt ist. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 wird während der Speicherung beziehungsweise Lagerung der Kassette 40 nur in dem Fall eines Fehlers nicht in der Lage sein, einen Lagerplatz zu ermitteln. Dieses ist so, da der Hostcomputer 50 einen verfügbaren Raum in der Lagerungsvorrichtung 36 bestätigt hat, bevor diese Transportaufgabe initiiert wurde.

Die Lagerungsvorrichtung 36 steuert den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zu einem Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird die Eintrittsaufgabe für eine Eingabe durch einen Bediener vervollständigt.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahrens für die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 ist in den Hostcomputer 50 die Lagerkapazität für die maximale Anzahl von Kassetten, die in jeder Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert werden können, im voraus durch den Terminal 54 eingegeben. Beim Speichern einer Kassette wird ein Lagerplatz ermittelt über die Information, die durch Subtrahieren der Anzahl der zu speichernden Kassetten von dem Wert der Lagerkapazität erhalten wird. Dementsprechend kann die Aufgabe zum Speichern (Speicheraufgabe) einer Kassette von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in der Lagerungsvorrichtung 36 oder die Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) einer Kassette zwischen Lagerungsvorrichtungen ohne die Anforderungen an eine leere Einlaßpforte 88, die sich auf einen automatischen Transportierer bezieht, oder eine leere Pforte 98, die sich auf die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezieht, ausgeführt werden.

Der automatische Transportierer 38 wird nicht länger am Beginnen der Aufgabe des Transportierens (Transportaufgabe) einer bearbeiteten Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gehindert, bis es keine vorhergehende Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 gibt. Darum ist das Problem der bearbeiteten Kassette 40, die für eine lange Zeit bei der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 belassen wird, eliminiert. Außerdem ist das Problem, daß die vorbestimmte Transportfähigkeit nicht gezeigt beziehungsweise erreicht wird, unabhängig von einer niedrigen Betriebsrate des automatischen Transportierers 38 eliminiert.

Der Fall, in dem die Transportaufgabe für die Kassette von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Lagerungsvorrichtung 36 nur unter Bedingung einer leeren Einlaßpforte 88 der Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt wird, und der Fall, in dem der Lagerstatus des Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung 36 nicht bestätigt wird, wird nicht länger angetroffen. Darum ist das Problem, daß eine Kassette 40 eine lange Zeit auf der Einlaßpforte 88 verbleibt, selbst nachdem eine Eintrittsaufgabenanweisung von Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt worden ist, da es keinen verfügbaren Raum in dem Lagerplatz gibt, gelöst.

Der Fall, daß die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 an der Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) einer nachfolgenden Kassette 40 in der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 gehindert wird, bis keine Kassette 40 auf der Pforte 98 vorhanden ist, wird nicht länger angetroffen. Darum ist das Problem, daß eine nachfolgende Kassette 40 für eine lange Zeit in der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 verbleibt, gelöst. Außerdem ist das Problem, daß die vorbestimmte Transportfähigkeit nicht erreicht beziehungsweise erfüllt wird, trotz einer niedrigen Betriebsrate gelöst.

Desweiteren wird der Fall, daß die Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) der Kassette 40 von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 nur unter der Bedingung einer leeren Pforte 98 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 ohne Bestätigung des Lagerstatus des Lagerplatzes in der Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt wird, nicht länger angetroffen. Darum wird das Problem der Kassette 40, die auf der Pforte 98 für eine lange Zeit verbleibt, selbst nachdem eine Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36, der Transportaufgabe zu der Pforte 98 folgend, gesandt worden ist, da kein verfügbarer Raum zur Lagerung vorhanden ist, nicht länger angetroffen.

Desweiteren wird das Problem der Kassette 40, die auf der Einlaßpforte 116 für eine lange Zeit verbleibt, selbst nachdem eine Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt worden ist, da kein Speicherplatz verfügbar ist, nicht länger angetroffen.

Die Aufgabe zum Transportieren (Transportaufgabe) der Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 oder von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 kann initiiert werden, solange ein Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 für eine nachfolgende Kassette 40 ermittelt worden ist, selbst falls es eine Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 oder der Pforte 98 gibt. Die Kassette 40 wird nicht für eine extra Zeit an der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 oder der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 belassen. Außerdem wird die Kassette 40, die an der Einlaßpforte 88, der Pforte 98 und der Einlaßpforte 116 ankommt, nicht für eine Leerlaufzeit verbleiben, da der Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 in der Lagerungsvorrichtung 36 ermittelt ist.

Das Austrittssteuerverfahren für die Ausgabe der Kassette 40 aus der Lagerungsvorrichtung 36 in der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung 30 wird im folgenden beschrieben, das hauptsächlich in (4) die Aufgabe des Entladens des automatischen Transportierers 38 durch die Auslaßpforte 86, (5) die Aufgabe des Entladens zu der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 durch die Pforte 98, und (6) die Aufgabe des Entladens an einen Bediener durch die Auslaßpforte 118 unterteilt ist.

Austrittssteuerverfahren für Aufgabe (4)

Wie in einem herkömmlichen Fall sucht, wenn eine Kassettenladeanfrage von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt wird, der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36. Die Steuerung schreitet zu der Austrittsaufgabe fort, wenn es eine solche Kassette 40 gibt. Der Hostcomputer 50, der in die Phase der Austrittsaufgabe eintritt, sendet an die Lagerungsvorrichtung 36 an eine Anweisung für die Aufgabe zum Ausgeben (Austrittsaufgabenanweisung) der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an die Auslaßpforte 86, die für die entsprechende der Verarbeitungsvorrichtungen 32 und 34 vorbestimmt ist. Auf das Empfangen der Austrittsaufgabenanweisung hin steuert die Lagerungsvorrichtung 36 den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der relevanten Kassette 40 zu der Auslaßlieferungspforte 100 an. Dann wird die Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 100 an die Auslaßpforte 86 durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 geliefert. Die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 muß die Orientierung der Kassette 40 während dieser Aufgabe nicht um 90° drehen.

Auf die Vervollständigung der Austrittsaufgabe an die Auslaßpforte 86 hin sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50. Während dieser Abfolge von Schritten der Aufgabe der Lagerungsvorrichtung 36 wird die Information des Entladens der Kassette 40 aus dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gesendet. Der Hostcomputer 50, der diese Information empfängt, addiert, im Gegensatz zu dem Subtrahieren bei der Eintrittsaufgabe, diese Anzahl der entladenen Kassetten zu dem Wert der Kassettenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 34. Die Kassette 40, die an der Auslaßpforte 86 entladen worden ist, wird durch den automatischen Transportierer 38 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 transportiert, die die Ladeanfrage ausgegeben hat.

Austrittssteuerverfahren für Aufgabe (5)

Der Hostcomputer 50, der einen Bericht, daß die Eintrittsaufgabe vervollständigt ist, von der Lagerungsvorrichtung 36 empfängt, bestimmt eine geeignete Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 entsprechend einer nachfolgenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die durch die gespeicherte Information in der Kassette 40 identifiziert wird beziehungsweise ist. Eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung wird über das Kommunikationskabel 58 an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesendet. Die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66, die die Transportanweisung empfängt, sendet zuerst eine Anfrage an die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58 zum Ausführen einer Übertragungsaufgabe für die Kassette 40 von dem Lagerplatz zu der Pforte 98. Die Lagerungsvorrichtung 36, die die Anfrage empfängt, transferiert die geeignete Kassette 40 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Dann wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 gesandt.

Wenn der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von dem Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entlädt, sendet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 diese Information an Hostcomputer 50 über die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66. Alternativ wird die Information direkt an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50, der diese Information empfängt, addiert die Anzahl der entladenen Kassetten zu der Anzahl der Kassettenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 36. Die Kassette 40, die aus der Pforte 98 entladen worden ist, wird zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 entsprechend der Aufgabe (2), in der die Kassette 40 von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 befördert wird, transportiert.

Austrittssteuerverfahren für Aufgabe (6)

Der Fall, in dem der automatische Transportierer 38 nicht installiert ist, wird nun betrachtet. Als Reaktion darauf, daß die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 eine Kassettenladeanfrage an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 sendet, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36.

Wenn es eine Kassette 40 gibt, schreitet der Hostcomputer 50 mit einer Phase der Austrittsaufgabe fort. Der Hostcomputer 50 sendet an die Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58 eine Transportaufgabenanweisung, d. h. die Anweisung für die Aufgabe zum Transport, der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an die Auslaßpforte 118, die für die jeweilige Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 vorbestimmt ist, wie in dem Fall der Auslaßpforte 86. Als Reaktion transferiert die Lagerungsvorrichtung 36 die Kassette 40 zu der Auslaßpforte 118 mittels des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Dann wird eine Anzeige, die eine Ausgabe beziehungsweise Entnahme durch die Auslaßpforte 118 erlaubt, auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36 geliefert.

Der Bediener, der die Nachricht des Erlaubens des Entladens liest, nimmt die Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 und manipuliert die Bedienungstafel 121, um der Lagerungsvorrichtung 36 mitzuteilen, daß die Entladeaufgabe vervollständigt ist. Als Reaktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 36, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist. Ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, wird an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesendet. Wenn der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entlädt, liefert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 diese Information an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58. Der Hostcomputer 50, der diese Information empfängt, addiert die Anzahl der entladenen Kassetten zu dem Wert der Kassettenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 36. Der Bediener, der die Kassette 40 entlädt, nähert sich dem Terminal 56 des Hostcomputers 50, um die Verarbeitungsvorrichtung 32, 34 zu identifizieren, die die Ladeanfrage ausgegeben hat. Dann transportiert der Bediener die Kassette 40 zu den Kassettenständern 172, 182 der geeigneten Bearbeitungsvorrichtung 32, 34.

Bei dem obigen Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerungsverfahren addiert der Hostcomputer 50 die Anzahl der entladenen Kassetten entsprechend der Information, die von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 berichtet wird, wenn die Kassette 40 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen wird, zu dem Wert der Kassettenkapazität in der Lagerungsvorrichtung 36, im Gegensatz zu der Subtraktion, die bei der Eintrittsaufgabe in die Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt wird. Dementsprechend identifiziert der Hostcomputer 50 einen verfügbaren Raum des Lagerplatzes. Als ein Ergebnis kann der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabe zu dem Transport von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Lagerungsvorrichtung 36 oder zwischen den Lagerungsvorrichtungen 36 schneller als in dem Fall initiieren, in dem die Transportaufgabe durch die Information einer leeren Einlaßpforte 88 bzw. einer leeren Pforte 98 getriggert wird.

Derart wird der Fall des automatischen Transportierers 38, der am Initiieren einer Transportaufgabe für einen Transport einer bearbeiteten Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gehindert wird, bis es keine vorhergehende Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 mehr gibt, nicht länger angetroffen. Darum ist das Problem, daß eine bearbeitete Kassette für eine lange Zeit bei der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verbleibt, gelöst. Außerdem ist das Problem, daß die vorbestimmte Transportfähigkeit nicht erreicht werden kann, obwohl die Betriebsrate des automatischen Transportierers 38 niedrig ist, gelöst.

Außerdem wird der Fall der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42, die am Initiieren einer Transportaufgabe zum Transportieren einer nachfolgenden Kassette 40 aus der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 gehindert wird, bis es keine vorhergehende Kassette 40 auf der Pforte 98 mehr gibt, nicht länger angetroffen. Darum ist das Problem, daß eine nachfolgende Kassette 40 bei der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 verbleibt, eliminiert. Außerdem ist das Problem gelöst, daß eine vorbestimmte Transportfähigkeit nicht erreicht beziehungsweise gezeigt wird, obwohl die Betriebsrate der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung niedrig ist.

Daher wird die Transportaufgabe zum Transport von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 und von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 sofort initiiert, wenn es physisch einen verfügbaren Raum in beziehungsweise auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 der Lagerungsvorrichtung 36 gibt. Es gibt einen Vorteil dahingehend, daß die Standbyzeit für die Kassette 40 bei der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 reduziert werden kann.

Der Hostcomputer 50 hält die Information über den Lager- bzw. Speicherplatz jeder Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 nicht. Die Verwaltung derselben ist der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 überlassen. Darum identifiziert der Hostcomputer 50 in den Speicher- bzw. Lagerplatz auf der Basis eines numerischen Wertes. In anderen Worten, der Speicher- bzw. Lagerplatz wird geregelt entsprechend eines Wertes, der erhalten wird durch Subtrahieren der geeigneten Anzahl von Kassetten von der Lagerungsvorrichtungskapazität, d. h. der maximalen Anzahl von Kassetten, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert werden kann. Ein anderes Verfahren des Erkennens des Lagerplatzes wird im folgenden beschrieben.

Der Hostcomputer 50 empfängt Informationen, die sich auf den mit Kennungen versehen Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36, wie es in den Fig. 7A und 7B gezeigt ist, bezieht, über den Terminal 54 und einen Bericht über den einer relevanten Kennung entsprechenden Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36, wenn eine Speicher- beziehungsweise Lagerungsaufgabe für eine Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtung 36 vervollständigt ist. Durch diese Informationen kann der Hostcomputer 50 identifizieren, daß es einen verfügbaren Raum in dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, wenn es keine Kassette 40 in diesem Lagerplatz gibt, d. h. in diesem mit der entsprechenden Kennung versehenen Teil des Lagerplatzes.

Der Hostcomputer 50 bezeichnet der Lagerungsvorrichtung 36 bei der Eintrittsaufgabe den Lagerplatz für die Kassette 40 nicht. Der Lagerplatz wird durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 bestimmt. Es kann eine Näherung in Betracht gezogen werden, bei der der Hostcomputer 50 den Lagerplatz der Lagerungsvorrichtung 36 selbst vor einer Eintrittsaufgabe bestimmt und die Anweisung an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 sendet. In diesem Fall wird die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den Lagerplatz nicht bestimmen und speichert beziehungsweise lagert eine geeignete Kassette 40 an dem Lagerplatz, der durch den Hostcomputer 50 bezeichnet ist. Der Hostcomputer 50 kann identifizieren, daß es einen verfügbaren Raum in dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, wenn es keine Kassette 40 an dem Lagerplatz gibt.

Der Hostcomputer 50 kann durch den Terminal 54 eine Mehrzahl von Einlaßpforten 88 spezifizieren, die durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benutzt werden können. Außerdem kann die Verwendungsabfolge der Einlaßpforten 88 zusammen damit spezifiziert werden. Zum Beispiel wird in dem Fall, der in Fig. 1 gezeigt ist, zum Beispiel die Anzahl der Einlaßpforten 88, die einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entsprechen, auf 2 gesetzt, und die Verwendungsabfolge derselben wird spezifiziert. Wenn eine Übergabeanfrage für die Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32 an den Hostcomputer 50 gesandt wird, bestimmt der Hostcomputer 50 eine entsprechende Einlaßpforte aus der Mehrzahl der Einlaßpforten 88, die der zuvor verwendeten Einlaßpforte 88 nachfolgend ist, oder die erste Einlaßpforte 88 der spezifizierten Verwendungssequenz, wenn es keine weitere Einlaßpforte 88 in der Sequenz gibt, die für die Transportaufgabe der Kassette 40 zu verwenden ist.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungseintrittssteuerverfahrens kann eine Mehrzahl von Einlaßpforten 88 für einen automatischen Transportierer einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden. Durch Zuordnen von Einlaßpforten 88 mit einer vorbestimmten Reihenfolge, können die Einlaßpforten 88 im wesentlichen gleich benutzt werden.

Desweiteren kann der Hostcomputer 50 bevorzugterweise eine Mehrzahl von Einlaßpforten 88 durch den Terminal 54 spezifizieren, die für eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benutzt werden können. Außerdem kann der Hostcomputer 50 einen Datenbereich enthalten, in dem die Anzahl der Transportaufgaben, die aus den Transportaufgabenanweisungen, die an den automatischen Transportierer 38 bezüglich jeder Pforte 88 ausgegeben worden sind, noch nicht vervollständigt sind, gespeichert werden können. Wenn der Hostcomputer 50 eine Übergabeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 empfängt, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Einlaßpforte 88, die für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar ist. Wenn es eine Mehrzahl von Einlaßpforten 88 gibt, die benutzt werden können, vergleicht der Hostcomputer 50 die Anzahl der Transportanweisungen, die in dem Datenbereich entsprechend der entsprechenden Pforte 88 gespeichert sind, um die Einlaßpforte 88 auszuwählen, die einen niedrigeren Wert zeigt. Der Hostcomputer 50 addiert 1 zu dem Wert in diesem Datenbereich, der mit der ausgewählten Pforte 88 in Beziehung steht, und sendet eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38. Wenn eine Aufgabe vervollständigt ist, wird der Wert in dem Datenbereich um eins erniedrigt. Wenn es eine Mehrzahl von Pforten 88 gibt, die dieselbe Anzahl noch nicht vervollständigten Transportaufgaben zeigen, dann wählt der Hostcomputer 50 eine willkürliche beziehungsweise frei wählbare Pforte 88 aus diesen aus.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahrens kann eine Mehrzahl von Einlaßpforten 88 einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden. Eine Transportaufgabenanweisung kann an einen anderen automatischen Transportierer 38 gesandt werden, so daß die Anzahl der Aufgaben, die noch nicht vervollständigt sind, ausgeglichen werden kann. Darum kann die Verwendungsfrequenz der Pforten 88 im wesentliche ausgeglichen werden.

Darum wird das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der Einlaßpforten 88 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 aufgrund der Bestimmung der Anzahl der Einlaßpforten 88, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benutzt werden können, auf eins, obwohl es eine Mehrzahl derselben gibt, gelöst.

Selbst falls die Bearbeitungsfähigkeit und der Betriebszustand der entsprechenden Bearbeitungsvorrichtungen 32 und 34 unterschiedlich sind, kann die Mehrzahl der Einlaßpforten 88 bezüglich der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 im wesentlichen gleich verwendet werden, so daß das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der Einlaßpforten 88 eliminiert wird.

Wenn es eine Übergabeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gibt und ein Lagerplatz in der geeigneten Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar ist, wählt der Hostcomputer 50 eine aus der Mehrzahl der Einlaßpforten 88 aus, so daß die Einlaßpforten 88 gleichmäßig benutzt werden, und sendet eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38. Darum kann in dem Fall, in dem die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84, die zum Transferieren der Kassette 40 an der Einlaßpforte 88 zu der Einlaßlieferungspforte 104 arbeitet, defekt ist, der Hostcomputer 50 nicht die Fehlfunktion derselben detektieren, so daß eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 zu der Einlaßpforte 88 an den automatischen Transportierer 38 gesandt wird.

Um dieses Problem zu vermeiden, kann der Hostcomputer 50 einen Datenbereich halten beziehungsweise aufweisen, in dem die Anzahl der Aufgaben, die durch den automatischen Transportierer 38 noch nicht vervollständigt sind, entsprechend jeder aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 88, die durch den Terminal 54 eingegeben worden sind, gespeichert ist. Ein oberer Grenzwert derselben kann ebenfalls spezifiziert werden. Beim Senden einer Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 unterdrückt der Computer 50 die Verwendung einer gewissen Einlaßpforte 88, wenn der Wert in dem Datenbereich, der dieser Pforte entspricht, an dem oberen Grenzwert angekommen ist. Der Hostcomputer 50 sucht nach einer anderen Einlaßpforte 88 als Kandidaten. Wenn es keine geeignete Pforte gibt, wird ein Warten auf die Vervollständigung einer Transportaufgabe zu der Einlaßpforte 88 ausgeführt.

Der Hostcomputer 50 kann einen oberen Grenzwert für jede Einlaßpforte 88 setzen. Beim Senden einer Transportaufgabenanweisung, die mit der Einlaßpforte 88 in Verbindung steht, wird der Hostcomputer 50 nicht länger einer Anweisung senden, die einer Einlaßpforte 88 entspricht, deren Anzahl von noch nicht vervollständigten Aufgaben den oberen Grenzwert überschreitet. Der Fall, in dem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen aufgrund einer Fehlfunktion der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 bei der automatischen Transportvorrichtung 38 angesammelt wird, wird nicht angetroffen.

Desweiteren ist es zu bevorzugen, daß der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusdaten, die Verfügbarkeit/Nicht-Verfügbarkeit jeder Einlaßpforte 88 anzeigen, halten beziehungsweise speichern kann. Die Daten können über den Bedienerterminal 56 geändert werden. Wenn der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 bezüglich einer Einlaßpforte 88 sendet, überprüft der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusdaten, um die Verwendung einer gewissen Pforte zu unterdrücken, wenn die Daten eine Nicht-Verfügbarkeit anzeigen, und er sucht nach der nächsten möglichen Einlaßpforte 88 als Kandidat. Wenn es keine geeignete Pforte 88 gibt, wartet der Hostcomputer 50 darauf, daß die Vorrichtungsstatusdaten für die Einlaßpforte 88 auf "verfügbar" geändert werden.

Die Vorrichtungsstatusdaten, die in dem Hostcomputer 50 anzeigen, ob die jeweilige Einlaßpforte 88 verfügbar ist oder nicht, können über den Bedienerterminal 56 in "nicht verfügbar" modifiziert werden, wenn die Einlaßpforte 88 defekt ist. Der Hostcomputer 50 kann die defekte Einlaßpforte 88 detektieren, um die Übertragung einer Transportaufgabenanweisung bezüglich der defekten Pforte 88 an den automatischen Transportierer 38 zu unterbinden beziehungsweise zu sperren. Der Fall, in dem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen bei einem automatischen Transportierer 38 aufgrund einer Fehlfunktion der defekten Einlaßpforte 88 und ähnlichem angesammelt wird, wird nicht länger angetroffen.

Der automatische Transportierer 38 initiiert eine Transportaufgabe auf das Empfangen einer Transportaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 hin, die mit der Einlaßpforte 88 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in Verbindung steht. Der automatische Transportierer 38 entlädt die Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum Plazieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88. Der automatische Transportierer 38 bestätigt, ob keine Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 verblieben ist, bevor er eine beziehungsweise die Kassette 40 dort plaziert. Die Bestimmung eines Fehlers wird gemacht, wenn eine andere Kassette 40 verblieben ist, und der Fehler wird sofort an den Hostcomputer 50 berichtet. Es gibt eine Möglichkeit, daß eine Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 verblieben ist. Darum kann die Transportaufgabe häufig entsprechend des Fehlerstatus, der durch den automatischen Transportierer 38 berichtet wird, unterbrochen werden.

Dieses Problem kann vermieden werden, wie es im folgenden erläutert wird. Wenn der automatische Transportierer 38 eine Kassette 40 auf einer Einlaßpforte 88 in dem Fall zu plazieren hat, in bereits eine andere Kassette 40 darauf plaziert ist, wartet der automatische Transportierer 38 eine vorbestimmte Zeit darauf, daß die vorhergehende Kassette 40 entladen wird, ohne einen Fehler beziehungsweise eine Fehlermeldung auszugeben. Der automatische Transportierer 38 kann sofort mit der Aufgabe des Transferierens der Kassette 40 auf der Transferhalterung 150 des automatischen Transportierers 38 zu der Einlaßpforte 88 beginnen, wenn die vorhergehende Kassette 40 weggenommen ist. Wenn die vorhergehende Kassette 40 selbst nach einem Ablauf der vorbestimmten Zeit nicht entladen wird, d. h. wenn die vorhergehende Kassette 40 nicht zu der Einlaßlieferungspforte 104 durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 transferiert wird, wird die Bestimmung, daß ein Fehlerstatus vorliegt, gemacht. Dann kann ein Fehlerbericht an den Hostcomputer 50 gesandt werden.

Derart kann der Hostcomputer 50 an den automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung bezüglich einer gewissen Einlaßpforte 88 senden, ohne bestätigen zu müssen, ob diese Pforte verfügbar ist oder nicht. Außerdem kann die Standbyzeit der Kassette 40, die von den Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 zu entladen ist, reduziert werden.

Herkömmlicherweise gibt der Hostcomputer 50 an den automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung zum Transport der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 der Lagerungsvorrichtung 36 aus, nachdem er bestätigt hat, ob diese Einlaßpforte 88 verfügbar ist. Darum ist die Transportaufgabenanweisung, die an den automatischen Transportierer 38 durch den Hostcomputer 50 gesandt werden kann, auf die Anzahl der Pforten 88 beschränkt. Der Hostcomputer 50 wird eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 senden solange eine Lagerplatz für die Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 ermittelt ist. Darum gibt es eine Möglichkeit, daß eine große Anzahl von Transportaufgabenanweisungen, die der Anzahl der Kassettenstände 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entspricht, an den automatischen Transportierer 38 gesandt wird. Selbst falls eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen von dem Hostcomputer 50 an den automatischen Transportierer 38 gesandt wird, ist die Aufgabe, die ausgeführt wird, im wesentlichen auf die Transportfähigkeit des automatischen Transportierers 38 begrenzt. Dieses bedeutet, daß eine Mehrzahl von Kassetten 40 verbleibt, die aufeinanderfolgend durch den automatischen Transportierer 38 zu bearbeiten beziehungsweise zu transportieren sind. Es ist daher wertlos, eine Mehrzahl von Aufgabenanweisungen, die diese Begrenzung überschreiten, zu senden. Desweiteren ist der automatische Transportierer 38 in seiner Zuverlässigkeit niedriger als der Hostcomputer 50. Es gab ein Problem dahingehend, daß, wenn der automatische Transportierer 38, der einer Mehrzahl von Aufgabenanweisungen entspricht, defekt wird, die Erholungszeit beziehungsweise Reparaturzeit desselben eine signifikante lange Zeit in Anspruch nimmt.

Um das obige Problem zu vermeiden, kann der Hostcomputer 50 über ein Terminal 54 einen vorbestimmten Grenzwert für die Anzahl von Transportaufgaben, die momentan durch den automatischen Transportierer 38 ausgeführt wird, spezifizieren. Der Hostcomputer 50 kann außerdem einen Datenbereich halten beziehungsweise speichern, in dem die Anzahl der momentan ausgeführten Aufgaben gespeichert wird. Beim Senden einer Transportaufgabenanwelsung an den automatischen Transportierer 38 bestätigt der Hostcomputer 50, ob die Anzahl der momentan ausgeführten Aufgaben, die in dem Datenbereich gespeichert ist, niedriger als der spezifizierte Grenzwert ist. Wenn die Anzahl der momentanen Aufgaben kleiner als der Grenzwert ist, addiert der Hostcomputer 50 zu dem Wert in diesem Datenbereich 1 hinzu. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, erniedrigt der Hostcomputer 50 den Wert in dem Datenbereich um 1. Wenn der Wert in dem Datenbereich gleich zu dem vorbestimmten Grenzwert ist oder diesen überschreitet wird die Übertragung einer Transportaufgabenanweisung zurückgestellt bis der Wert in dem Datenbereich kleiner als der Grenzwert wird.

Der Hostcomputer 50 wird keine überflüssigen Transportaufgabenanweisungen an den automatischen Transportierer 38 senden. Darum wird der Fall, indem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen bei einer Steuerung 60 für einen automatischen Transportierer aufgrund einer Fehlfunktion des automatischen Transportierers 38 angesammelt wird, nicht länger angetroffen.

Entsprechend des Eintrittssteuerverfahrens für das Eingeben der Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 plaziert der Bediener die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 und manipuliert die Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36. Die Lagerungsvorrichtung 36 kann durch diesen Betrieb detektieren, daß eine Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert worden ist. Dementsprechend wird die Information, die in der ID-Karte 72 dieser Kassette 40 gespeichert ist, durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ausgelesen. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50 erhält Kenntnis, daß die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 vorhanden ist und ermittelt einen Lagerplatz für die Kassette 40. Wenn eine Bestimmung gemacht wird, daß die Kassette 40 nicht gelagert werden kann, sendet der Hostcomputer 50 keine Aufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 und wartet darauf, daß ein Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar wird. Genauer gesagt wird die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 belassen, bis ein Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar wird. Der Bediener muß die Eintrittsaufgabe für die Kassette 40 nicht ausführen, falls er/sie weiß, daß es keinen verfügbaren Lagerplatz gibt. In dem Fall, in dem nur eine Pforte, die als Einlaßpforte 116 und als Auslaßpforte 118 fungiert, vorgesehen ist, gibt es eine Möglichkeit, daß die Austrittsaufgabe unterdrückt wird, da es eine Kassette 40 an der Pforte gibt, die einzugeben ist.

Der Hostcomputer 50 sucht nach einem Lagerplatz für die Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 auf das Empfangen eines Berichtes von der Lagerungsvorrichtung 36, daß eine Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 angekommen ist. Wenn ein Lagerplatz nicht ermittelt werden kann, kann der Hostcomputer 50 den Bericht über das Ankommen vernachlässigen. In diesem Fall kann die Lagerungsvorrichtung 36 dem Bediener auf ihrer eigenen Bedienungstafel 121 eine Nachricht präsentieren, daß ein Lagerplatz nicht ermittelt werden kann, um auf die weitere Tätigkeit des Bedieners zu warten. Der Bediener, der die Nachricht auf der Bedienungstafel 121 liest, nimmt die Kassette 40 von der Einlaßpforte 116 weg. Dieses Wegnehmen der Kassette 40 wird an die Lagerungsvorrichtung 36 durch Betätigen der Bedienungstafel 121 berichtet. Die Lagerungsvorrichtung 36 identifiziert, daß die Kassette 40 weggenommen worden ist, und kehrt zu dem Zustand vor dem Plazieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zurück.

Wenn ein Lagerplatz für die Kassette 40, die an der Einlaßpforte 116 plaziert ist, nicht ermittelt werden kann, kann der Hostcomputer 50 dieses dem Bediener über die Lagerungsvorrichtung 36 mitteilen. Damit kann der Bediener einen anderen Vorgang bezüglich der Kassette 40 ausführen. Außerdem kann das Problem, daß eine Kassette, die die eine Pforte, die als sowohl die Einlaßpforte 116 als auch die Auslaßpforte 118 dient, belegt, in einem vergleichbaren Status die Ausführung einer Austrittsaufgabe verhindert, eliminiert werden.

Der Hostcomputer 50 wird an den automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport einer Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu einer Einlaßpforte 88 auf das Empfangen einer Übergabeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 senden, solange ein Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 vorhanden ist. Außerdem wird eine Transportaufgabenanweisung für den Transport einer Kassette 40, die in einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, zu einer Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesandt, solange es einen verfügbaren Lagerplatz in der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 gibt. Wenn ein Bericht von der Lagerungsvorrichtung 36 über die Ankunft der Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 geliefert wird, wird eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt, falls es einen verfügbaren Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt. Desweiteren wird der Hostcomputer 50 eine Austrittsaufgabenanweisung an eine Lagerungsvorrichtung 36 auf das Empfangen einer Ladeanfrage für eine Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 hin ausgeben, falls die Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert ist. Falls die Lagerungsvorrichtung 36, der automatische Transportierer 38 oder die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 defekt ist, wird eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen von dem Hostcomputer 50 gesandt, selbst falls die Aufgabe tatsächlich nicht ausgeführt werden kann. Es gab ein Problem dahingehend, daß das Zurückkehren zu der vorhergehenden Bedingung beziehungsweise dem vorherigen Zustand, d. h. das Erholen von einer Fehlfunktion der defekten Vorrichtung und außerdem das Neusenden der Transportaufgabenanweisung, zeitraubend ist.

Wenn die Aufgabe des Lagerns einer Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in einer Lagerungsvorrichtung 36, des Transportierens einer Kassette 40 von einer Lagerungsvorrichtung 36 zu einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 oder zwischen den Lagerungsvorrichtungen 36 ausgeführt wird, hat der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusinformation nicht oder wird der Hostcomputer 50 nicht vor der Übertragung die Vorrichtungsstatusinformation bestätigen, die anzeigt, ob die relevante Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, der automatische Transportierer 38, die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und/oder die Lagerungsvorrichtung 36, die mit der Aufgabe in Beziehung stehen, verfügbar sind. Dieses wird der Grund des Problems, daß die Transportaufgabe für die Kassette 40 aufgrund eines Ausfalls der diesbezüglichen Vorrichtung unterbrochen wird, nachdem die Aufgabe initiiert worden ist.

In ähnlicher Weise hat der Hostcomputer 50 beim Initiieren einer Eintrittsaufgabe über die Einlaßpforte 116 oder einer Austrittsaufgabe über die Auslaßpforte 118 die Vorrichtungsstatusinformation nicht und wird der Hostcomputer 50 nicht vor dem Senden der Aufgabenanweisung die Vorrichtungsstatusinformation bestätigen, die anzeigt, ob die Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar ist oder nicht. Dieses wird der Grund des Problems, daß die Aufgabe, die auf die Kassette 40 bezogen ist, aufgrund eines Ausfalls der Lagerungsvorrichtung 36 unterbrochen wird, nachdem die Aufgabe initiiert worden ist.

Das obige Problem kann gelöst werden, wie es im folgenden beschrieben ist. Bei dem Lagerungsvorrichtungseintritts-/-austrittsaufgabensteuerverfahren kann der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusdaten halten beziehungsweise speichern, die anzeigen, ob die Lagerungsvorrichtung 36, der automatische Transportierer 38 und/oder die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 verfügbar sind oder nicht. Die Vorrichtungsstatusdaten können über den Bedienerterminal 56 modifiziert werden. Wenn eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu einer Einlaßpforte 88 an einen automatischen Transportierer 38 zu senden ist, bestätigt der Hostcomputer 50, ob dieser automatische Transportierer 38 und die Lagerungsvorrichtung 36 beide verfügbar sind, mittels der Vorrichtungsstatusdaten, und er sendet dann die Transportaufgabenanweisung. Wenn eine Transportaufgabenanweisung zum Transport einer Kassette 40 von einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 zu einer Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 zu senden ist, bestätigt der Hostcomputer 50, daß die Quellen-Lagerungsvorrichtung 36, die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und die Bestimmungslagerungsvorrichtung 36 verfügbar sind, mittels der Vorrichtungsstatusdaten und sendet dann die Transportaufgabenanweisung. Wenn eine Aufgabenanweisung, die mit einer Einlaßpforte 116 in Verbindung steht, an eine Lagerungsvorrichtung 36 zu senden ist, bestätigt der Hostcomputer 50, ob die Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar ist, mittels der Vorrichtungsstatusdaten und sendet dann eine Eintrittsaufgabenanweisung Falls es als Ergebnis der Bestätigung der Vorrichtungsstatusdaten mindestens eine Vorrichtung gibt, die nicht verfügbar ist, wartet der Hostcomputer 50 darauf, daß die Vorrichtung verfügbar wird. Ähnlich sendet bei der Austrittsaufgabe der Hostcomputer 50 eine Austrittsaufgabenanweisung, die mit einer Auslaßpforte 86 zu einer Lagerungsvorrichtung 36 verbunden ist, nachdem er bestätigt hat, daß die Lagerungsvorrichtung 36 und der automatische Transportierer 38 bei der Beförderungsaufgabe zum Befördern der Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar sind. Desweiteren wird eine Austrittsaufgabenanweisung, die mit einer Auslaßpforte 118 verbunden ist, an die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt, nachdem bestätigt ist, daß die Lagerungsvorrichtung 36 verfügbar ist.

Die Anweisung für eine Transportaufgabe wird an die Lagerungsvorrichtung 36, den automatischen Transportierer 38 oder die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 gesandt, nachdem bestätigt ist, daß alle Vorrichtungen, die mit der Transportaufgabe für den Transport zu dem Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36, der der letztendliche Bestimmungsort ist, oder eine relevante Vorrichtung verfügbar sind beziehungsweise ist. Darum wird der Fall, indem eine Mehrzahl von Transportaufgabenanweisungen bei einer Transportvorrichtung angesammelt wird, die aufgrund einer Fehlfunktion nicht arbeitet, eliminiert. Außerdem wird die Aufgabe nicht während des Betriebes unterdrückt.

Entsprechend dieses Lagerungsvorrichtungseintrittsaufgabensteuerverfahrens, bei dem eine Transportaufgabenanweisung nach der Bestätigung, daß alle die Vorrichtungen, die mit der Transportaufgabe in Beziehung stehen, verfügbar sind, gesandt wird, wird Standbyzustand beim Einbringen einer Kassette 40 durch eine Einlaßpforte 116 erhalten werden, wenn die Vorrichtungsstatusdaten für die Lagerungsvorrichtung 36 anzeigen, daß sie nicht verfügbar ist. Es gibt ein Problem dahingehend, daß der Bediener die Eintrittsaufgabe für diese Kassette 40 nicht löschen beziehungsweise stornieren kann.

Das obige Problem kann eliminiert werden, wie es nachfolgend beschrieben ist. Wenn der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusdaten für die Lagerungsvorrichtung 36 auf das Empfangen eines Ankunftsberichts der Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 von der Lagerungsvorrichtung 36 bestätigt, so daß ihm kenntlich wird, daß die Lagerungsvorrichtung 36 nicht verfügbar ist, kann der Hostcomputer 50 der Lagerungsvorrichtung 36 mitteilen, daß sie nicht verfügbar ist und den Bericht der Ankunft der Kassette 40 vernachlässigen. Die Lagerungsvorrichtung 36, die den Bericht empfängt, kann dem Bediener eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 liefern, daß eine Lagerung nicht ausgeführt werden kann, um auf eine Tätigkeit des Bedieners zu warten. Der Bediener, der die Anzeige auf der Bedienungstafel 121 liest, nimmt die Kassette 40 von der Einlaßpforte 116 weg und teilt der Lagerungsvorrichtung 36 durch Betätigen der Bedienungstafel 121 mit, daß die Kassette 40 weggenommen worden ist. Als Reaktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 36, daß die Kassette 40 weggenommen worden ist. Ein Zustand, der dem vorherigen Zustand vor dem Plazieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 entspricht, wird erreicht.

Wenn die Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 nicht gelagert werden kann, da die Vorrichtungsstatusdaten für die Lagerungsvorrichtung 36 anzeigen, daß sie nicht verfügbar ist, teilt der Hostcomputer 50 dieses dem Bediener entsprechend über die Lagerungsvorrichtung 36 mit. Der Zustand vor dem Plazieren der Kassette 40 an der Einlaßpforte 116 kann erreicht werden. Darum kann der Bediener einen unterschiedliche Vorgang beziehungsweise eine unterschiedliche Verfahrensweise für die Kassette 40 anwenden.

Die Einlaßpforte 116 der Lagerungsvorrichtung 36 kann unabhängig von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden. Es ist nicht notwendig, wie in dem herkömmlichen Fall Daten über eine verfügbare Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die diesem entspricht, über den Terminal 54 zu liefern. Desweiteren können zwei Kassetten 40 zusammen auf einmal plaziert werden, was unter Berücksichtigung der vorzüglichen Fähigkeit des Bedieners, zu arbeiten, bestimmt worden ist.

Wenn der Bediener eine Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 lagern will, wird zuerst die maximale Anzahl von zwei Kassetten 40 an der Einlaßpforte 116 plaziert. Dann wird die Bedienungstafel 121, die integral mit der Lagerungsvorrichtung 36 vorgesehen ist, manipuliert. Der Bediener kann die Kassette 40 an derselben Pforte ungeachtet der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Bearbeitung der Kassette 40 vervollständigen wird, oder der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die nächste Behandlung vornehmen wird, plazieren. Die Lagerungsvorrichtung 36, der durch diesen Betrieb mitgeteilt worden ist, daß die Kassette 40 der Einlaßpforte 116 plaziert ist, liest die Information, die der ID-Karte 72 der Kassette 40 gespeichert ist, durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt.

Der Hostcomputer 50 wird nicht bestätigen, ob die Kassette 40 über die Pforte eingegeben werden kann, wie bei der herkömmlichen Vorrichtung, und sendet eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 nach dem Ermitteln des Lagerplatzes. Entsprechend der Eintrittsaufgabenanweisung, die über das Kommunikationskabel 58 gesandt wird, initiiert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die Aufgabe nach dem Bestätigen eines Lagerplatzes auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96.

Die Lagerungsvorrichtung 36, die die Eintrittsaufgabe initiiert, befördert die erste und die zweite Kassette 40, die an der Einlaßpforte 116 plaziert sind, zu dem Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 mittels der Lagerungsvorrichtungskrans 80. Wenn die bezeichnete Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50. Derart wird die Eintrittsaufgabe für eine Eingabe durch einen Bediener vervollständigt.

Die Anzahl der Kassetten 40, die an der Einlaßpforte 116 der Lagerungsvorrichtung 36 plaziert werden können, kann auf 2 eingestellt werden. Zwei Kassetten sind die geeignete Anzahl, wenn die Fähigkeit des Bedieners, zu arbeiten, in Betracht gezogen wird. Es ist nicht notwendig, die verfügbare Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 für die jeweilige Pforte 116 über den Hostcomputer 50 einzustellen beziehungsweise zu setzen. Derart wird die Fähigkeit zum Ausführen der Eintrittsaufgabe zum Eingeben der Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 durch den Bediener verbessert.

Das Problem der Variation beim Gebrauch und der Belegung der Einlaßpforte 116 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in dem Fall, in dem eine Mehrzahl von Einlaßpforten 116 vorhanden ist und die Anzahl der Einlaßpforten 116, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden können, auf 1 begrenzt ist, kann gelöst werden.

Derart kann die verfügbare Einlaßpforte 116 entsprechend einer frei wählbaren Auswahl durch dem Bediener verwendet werden.

Der Hostcomputer 50 hat die Information, die den Lagerplatz für jede Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 betrifft, nicht. Die Verwaltung des Lagerplatzes wird der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 überlassen. Der Lagerplatz wurde identifiziert durch Hinzufügen der Anzahl der ausgegebenen Kassetten 40 zu dem Wert der Lagerungsvorrichtungskapazität und durch Subtrahieren der eingegebenen Anzahl von Kassetten 40 von dem Wert der Lagerungsvorrichtungskapazität auf der Basis der maximalen Anzahl der Kassetten, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert werden können.

Die Information, die dem mit Kennungen versehenen Lagerplatz einer Lagerungsvorrichtung 36 zugeordnet ist, wie sie in den Fig. 7A und 7B gezeigt ist, wird im voraus über den Terminal 54 an den Hostcomputer 50 angelegt. Der Hostcomputer 50 empfängt einen Bericht über den Lagerplatz, wenn eine Lagerungsaufgabe für eine Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtung 36 vervollständigt ist. Entsprechend der Information, die von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 berichtet wird, wenn die Kassette 40 auf den Lagerungsvorrichtungskran 80 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen wird, kann der Hostcomputer 50 detektieren, daß der Lagerplatz, an dem die entladene Kassette 40 gelagert war, nun verfügbar ist.

Der Hostcomputer 50 kann über den Terminal 54 eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 zum Gebrauch durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 spezifizieren beziehungsweise spezifiziert bekommen. Außerdem kann die Verwendungssequenz eingestellt werden. Zum Beispiel können in dem Fall aus Fig. 1 zwei Auslaßpforten 86 als für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar eingestellt werden. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58. Der Hostcomputer 50 bestimmt eine Auslaßpforte 86, die in der Reihenfolge nachfolgend zu der Auslaßpforte 86 ist, die zuvor verwendet worden ist, oder die erste Auslaßpforte 86, wenn es keine Auslaßpforte 86 einer nachfolgenden Rangfolge aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 86 gibt, als die Auslaßpforte, die für die Transportaufgabe für den Transport der Kassette 40 zu verwenden ist.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahrens kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden. Die Verwendungsfrequenz für die Auslaßpforten 86 kann durch Verwendung der Pforten 86 in der vorbestimmten Reihenfolge ausgeglichen werden. Derart kann das folgende Problem, das in den herkömmlichen Fällen angetroffen wird, gelöst werden.

Genauer gesagt gab es ein Problem dahingehend, daß eine Variation bei der Verwendung und Belegung der Auslaßpforten 86 für einen automatischen Transportierer abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und der Betriebsrate der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 auftrat, wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 gibt und die Anzahl der Auslaßpforten 86, die durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden können, auf eins begrenzt war. Dieses Problem wird in der vorliegenden Anmeldung gelöst. Selbst wenn die Bearbeitungsfähigkeit und der Betriebszustand jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 unterschiedlich ist, kann die Verwendung der Mehrzahl von Auslaßpforten 86 durch die Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 ausgeglichen werden, um so das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforten 86 zu vermeiden.

Bevorzugterweise kann der Hostcomputer eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86, die durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benutzt werden können, über das Terminal 54 spezifizieren. Der Hostcomputer 50 kann einen Datenbereich enthalten, in dem die Anzahl der Austrittsaufgabenanwelsungen, die von einer Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben werden, die noch nicht vervollständigt sind, entsprechend für jede Pforte 86 gespeichert werden. Auf das Empfangen einer Kassettenladeanfrage von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sucht der Hostcomputer 50 nach einer Auslaßpforte 86 für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die verfügbar ist. Wenn es als Ergebnis der Suche eine Mehrzahl von verfügbaren Auslaßpforten 86 gibt, vergleicht der Hostcomputer 50 den Wert in dem Datenbereich, der mit der jeweiligen Pforte Verbindung steht, um eine spezifische Auslaßpforte 86 mit dem kleineren Wert auszuwählen. Der Wert in dem Datenbereich, der mit der ausgewählten Pforte 86 in Verbindung steht, wird um 1 erhöht, und eine Transportaufgabenanweisung wird an einen automatischen Transportierer 38 gesandt. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, wird der Wert in dem Datenbereich, der dieser Pforte 86 entspricht, um 1 erniedrigt. Wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 gibt, die demselben Wert entsprechen beziehungsweise diesen aufweisen, wählt der Hostcomputer 50 eine willkürliche Pforte aus der Mehrzahl der Pforten 86 und sendet eine Transportaufgabenanweisung an einen automatischen Transportierer 38.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahrens kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden. Eine Austrittsaufgabenanweisung wird an eine andere Lagerungsvorrichtung 36 gesandt, so daß die Anzahl der Aufgaben, die bezüglich einer Pforte 86 noch nicht vervollständigt sind, gleich ist. Derart kann die Verwendungsfrequenz der Pforten 86 im wesentlichen ausgeglichen werden.

Das Problem der Variation der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforten 86 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 86 gibt und die Anzahl der Auslaßpforten 86, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden kann, auf 1 begrenzt ist, kann eliminiert werden.

Selbst wenn die Bearbeitungsfähigkeit und der Betriebsstatus der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sich unterscheiden, kann die Mehrzahl der Auslaßpforten 86 im wesentlichen mit einer gleichen Häufigkeit bezüglich der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden. Derart kann das Problem der Variation im Gebrauch und der Belegung der Auslaßpforten 86 eliminiert werden.

Wenn es eine Ladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 für eine Kassette 40 in dem oben beschriebenen Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahren gibt, wählt der Hostcomputer 50 eine Auslaßpforte 86 aus der Mehrzahl der Auslaßpforten 86 in einer gleichen Weise aus, wenn es mindestens eine Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, und sendet eine Austrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36. Darum kann in dem Fall, in dem die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84, die die Kassette 40 von der Auslaßlieferungspforte 100 an die Auslaßpforte 86 transferiert, defekt ist, der Hostcomputer 50 die Fehlfunktion nicht detektieren und wird eine Austrittsaufgabenanweisung für die Kassette 40, die sich auf die Auslaßpforte 86 bezieht, an einen automatischen Transportierer 38 senden.

Um dieses Problem zu vermeiden, kann der Hostcomputer 50 einen Datenbereich zum Speichern der Anzahl von Austrittsaufgaben, die durch die Lagerungsvorrichtung 36 noch nicht vervollständigt sind, bezüglich jeder der Auslaßpforten 86 halten und den oberen Grenzwert für die Anzahl der Aufgaben über den Terminal 54 setzen bzw. gesetzt erhalten.

In der Phase des Sendens einer Austrittsaufgabenanweisung, die sich auf die Auslaßpforte 86 bezieht, löscht beziehungsweise annulliert der Hostcomputer 50 die Verwendung dieser Auslaßpforte 86, wenn der Wert in dem Datenbereich, der sich auf diese Auslaßpforte bezieht, an dem spezifischen oberen Grenzwert angekommen ist, und versucht die nächste mögliche Auslaßpforte 86 zu verwenden. Wenn es keine geeignete Auslaßpforte gibt, wird ein Warten auf die Vervollständigung einer Transportaufgabe, die mit einer verfügbaren Auslaßpforte in Verbindung steht, ausgeführt.

Der Hostcomputer 50 kann den oberen Grenzwert für die Anzahl der Aufgaben, die noch nicht vervollständigt sind, für jede Auslaßpforte 86 einstellen. Darum wird der Fall, in dem die Anzahl der Aufgaben, die noch nicht vervollständigt sind, den oberen Grenzwert überschreiten, in der Phase des Sendens einer Austrittsaufgabenanweisung, die mit einer Auslaßpforte 86 in Verbindung steht, nicht auftreten. Außerdem wird der Fall, in dem eine Mehrzahl von Austrittsaufgabenanwelsungen bei einer Lagerungsvorrichtung 36 aufgrund einer Fehlfunktion der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 angesammelt werden, nicht länger auftreten.

Bevorzugterweise hält der Hostcomputer 50 Vorrichtungsstatusdaten, die anzeigen, ob die jeweilige Auslaßpforte 86 verfügbar ist oder nicht. Die Daten können über den Terminal 56 geändert werden. In der Phase des Sendens einer Transportaufgabenanweisung, die mit einer Auslaßpforte 86 in Verbindung steht, an eine Lagerungsvorrichtung 36 überprüft der Hostcomputer 50 die Vorrichtungsstatusdaten, um eine Verwendung der entsprechenden Auslaßpforte 86 zu streichen beziehungsweise zu annullieren, wenn die Daten anzeigen, daß sie nicht verfügbar ist. Die Verwendung der nächsten möglichen Auslaßpforte 86 wird als der Kandidat, das heißt als die nächste Möglichkeit, genommen. Wenn es keine verfügbare Auslaßpforte 86 gibt, wird ein Warten ausgeführt, bis die Vorrichtungsstatusdaten für die nicht verfügbare Auslaßpforte 86 in Daten geändert sind, die "verfügbar" anzeigen.

Da der Hostcomputer 50 Vorrichtungsstatusdaten hält, die anzeigen, ob die jeweilige Auslaßpforte 86 verfügbar ist oder nicht, können die Daten einer Auslaßpforte 86, wenn sie defekt ist, in "nicht verfügbar" durch einen Bediener über den Terminal 56 geändert werden. Darum kann der Hostcomputer 50 eine defekte Auslaßpforte 86 detektieren und die Übertragung einer Austrittsaufgabenanweisung, die mit dieser Pforte in Verbindung steht, an die Lagerungsvorrichtung 36 annullieren beziehungsweise sperren. Desweiteren kann der Umstand, bei dem eine Mehrzahl von Austrittsaufgabenanweisungen bei einer Lagerungsvorrichtung 36 aufgrund einer Fehlfunktion der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 angesammelt wird, nicht länger angetroffen werden.

Während der Phase der Eintrittsaufgabe bezüglich der Lagerungsvorrichtung 36 als Reaktion auf eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 kann der Hostcomputer 50 an einen automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die mit der Auslaßpforte 86 in Verbindung steht, selbst dann senden, falls die Austrittsaufgabe noch nicht vervollständigt ist, entsprechend der Information, die den Aufgabenfortschritt, d. h. den Fortschritt des Abarbeitens der Aufgabe, anzeigt, die von der Lagerungsvorrichtung 36 während der Aufgabe beziehungsweise des Abarbeitens der Aufgabe berichtet wird, d. h. von dem Beginn bis zu dem Ende der Aufgabe.

Der Hostcomputer 50 empfängt eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, um eine Austrittsaufgabenanweisung, die mit einer Auslaßpforte 86 in Verbindung steht, an eine Lagerungsvorrichtung 36 zu senden. Der Hostcomputer 50 kann auch eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 für einen Transport der momentanen Kassette 40 an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die mit einer Auslaßpforte 86 in Verbindung steht, senden, bevor die Austrittsaufgabe vervollständigt ist. Dieses bedeutet, daß eine Vorwärtsaufgabe für den automatischen Transportierer 38, d. h. eine Aufgabe zum Verschieben des automatischen Transportierers 38 von der Standbyposition zu der Quelle des Transportes, parallel zu der durch die Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführten Austrittsaufgabe ausgeführt werden kann.

Wenn die Austrittsaufgabe bezüglich der Auslaßpforte 86 vervollständigt ist, wird die Transportaufgabenanweisung, die mit derselben Pforte 86 in Verbindung steht, für einen Transport zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den automatischen Transportierer 38 gesendet. Darum kann das Problem einer Kassette 40, die auf der Auslaßpforte 86 verbleibt, während der Bewegung des automatischen Transportierers 38 von der Standbyposition zu dieser Pforte 86 vermieden werden.

Derart kann die Zeit, die für die Transportaufgabe für den Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benötigt wird, verkürzt werden.

Herkömmlicherweise initiiert der automatische Transportierer 38 auf das Empfangen einer Transportaufgabenanweisung für den Transport einer Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 von dem Hostcomputer 50 hin die Aufgabe, um sich von der Standbyposition zu der Position vor der Auslaßpforte 86 der spezifizierten Lagerungsvorrichtung 36 zu bewegen. Dann beginnt der automatische Transportierer 38 den Betrieb des Entladens der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 86. Der automatische Transportierer 38 bestätigt vor dieser Entladeoperation, ob die Kassette 40 auf der Auslaßpforte 86 plaziert ist. Die Bestimmung eines Fehlerstatus wird gemacht, wenn es keine Kassette 40 auf der Auslaßpforte 86 gibt. Ein Fehler wird sofort an den Hostcomputer 50 gemeldet.

Es wird der Fall angenommen, in dem der Hostcomputer 50 eine Aufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 vor der Vervollständigung der Austrittsaufgabe für die Ausgabe der Kassette 40 über die Auslaßpforte 86 sendet. Es gibt eine Möglichkeit, daß die Kassette 40 nicht auf der Auslaßpforte 86 plaziert ist, wenn der automatische Transportierer 38 an der Auslaßpforte 86 ankommt. In einem solchen Fall wird der automatische Transportierer 38 eine Fehlermeldung ausgeben, so daß die Transportaufgabe häufig unterbrochen wird.

Dieses Problem wird vermieden, wie es im folgenden erläutert wird. Der automatische Transportierer 38 empfängt von dem Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung für den Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 der Lagerungsvorrichtung 36 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und initiiert dann die Transportaufgabe. In der Phase, in der sich der automatische Transportierer 38 von der Standbyposition zu der Auslaßpforte der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 bewegt, um die Kassette 40 auf der Auslaßpforte 36 zu entladen, kann der automatische Transportierer 38 die Ausgabe einer Fehlermeldung unterdrücken, selbst falls die relevante Kassette 40 fehlt, und auf die Kassette 40 für eine vorbestimmte Zeit warten. Wenn die Kassette 40 innerhalb der vorbestimmten Zeit an die Auslaßpforte 86 geliefert wird, initiiert der automatische Transportierer 38 sofort den Betrieb des Entladens der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 auf eine Transferhalterung 150 des automatischen Transportierers 38. Wenn die relevante Kassette bei Ablauf der vorbestimmten Zeit nicht auf der Pforte 86 plaziert ist, d. h. wenn die Kassette 40 nicht von der Auslaßlieferungspforte 100 durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 transferiert wird, wird die Bestimmung gemacht, daß ein Fehler vorliegt, und eine Fehlermeldung wird an den Hostcomputer 50 gesendet.

Mittels des oben beschriebenen Mechanismus beziehungsweise der oben beschriebenen Vorgehensweise kann der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 für einen Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 senden, bevor die Austrittsaufgabe für die Ausgabe der Kassette 40 an die Auslaßpforte 86 vervollständigt ist. Darum kann die Standbyzeit für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Ladeanfrage ausgegeben hat, reduziert werden.

Der Hostcomputer 50 sendet an den automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport einer Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu einer Einlaßpforte 88. Der automatische Transportierer 38, der die Aufgabenanweisung empfängt, initiiert die Transportaufgabe und entlädt die Kassette 40 von dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und transportiert die Kassette 40 zu der Einlaßpforte 88 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 36. Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 an den Hostcomputer 50, wenn die vorhergehende Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 durch den automatischen Transportierer 38 entladen, d. h. von dort entfernt, worden ist.

Als Reaktion auf diese Ladeanfrage sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36. Eine Austrittsaufgabe zur Ausgabe einer Kassette 40 an die Auslaßpforte 86 wird durch die Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt. Dann wird eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an einen automatischen Transportierer 38 gesandt. Wie unter Bezugnahme auf Fig. 8 beschreiben worden ist, der automatische Transportierer 38 enthält mindestens zwei Kassettentransferhalterungen 150. Der automatische Transportierer 38 bewegt sich zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 mit einer Kassette 40 auf einer Transferhalterung 150 und plaziert eine Kassette 40 auf einem Kassettenstand 172, 182, für die angefordert wurde, daß sie übergeben wird, auf einer Kassettentransferhalterung 150. Der automatische Transportierer 38 kann außerdem die transportierte Kassette 40 auf der Kassettentransferhalterung 150 zu dem nun leeren Kassettenstand 172, 182 transferieren. Jedoch sendet der Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport einer Kassette von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu einer Einlaßpforte 88 und eine Transportaufgabenanweisung einer Kassette 40 von einer Auslaßpforte 86 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 individuell an einen automatischen Transportierer 38, wodurch die Kassetten 40 entsprechend transferiert werden.

Um diesen Nachteil zu verbessern, kann der Hostcomputer 50 eine Steuerung liefern, wie sie im folgenden erläutert wird. Wenn der Hostcomputer 50 eine Übergabeanfrage für eine Kassette 40 von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 empfängt, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40, die zu bearbeiten ist, in der Lagerungsvorrichtung 36. Der Hostcomputer 50 wird keine einzelne Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 für einen Transport von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu einer Einlaßpforte 88 senden. Zuerst sendet der Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36 eine Austrittsaufgabenanweisung für eine Ausgabe einer Kassette 40, die bearbeitet werden kann, über eine Auslaßpforte 86. Auf das Empfangen des Berichtes, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist, sendet der Hostcomputer 50 an den automatischen Transportierer 38 eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40, die zu übergeben ist, von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 und eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 als eine Transportaufgabenanweisung.

Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die die Transportaufgabe empfängt, die den beiden Transportaufgaben entspricht, liefert eine Steuerung derart, daß der automatische Transportierer sich in Richtung der Auslaßpforte 86 der Lagerungsvorrichtung 36 bewegt. Der automatische Transportierer 38 plaziert die Kassette 40, die sich auf der Auslaßpforte 86 befindet, auf der Transferhalterung 150 unter Verwendung des Armes 144, der Hand 146 und der Handklaue 148. Dann bewegt sich der automatische Transportierer 38 in Richtung der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34. An der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angekommen plaziert der automatische Transportierer 38 zuerst die Kassette 40, die sich auf dem Kassettenstand 172, 182 befindet, auf seiner leeren Transferhalterung 150 unter Verwendung des Armes 144, der Hand 146 und der Handklaue 148 wie in dem vorherigen Fall, wobei die transportierte Kassette 40 auf der Transferhalterung 150 verbleibt. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, wird die Kassette 40, die von der Auslaßpforte 86 geholt worden und auf der Transferhalterung 150 plaziert worden ist, auf den Kassettenstand 172, 182 entladen. Dann liefert die Steuerung 60 für automatischen Transportierer eine Steuerung derart, daß der Wagen 140 sich der Einlaßpforte 88 der Lagerungsvorrichtung 36 nähert. Wenn der Wagen 140 an der Einlaßpforte 88 ankommt, wird die Kassette 40 auf der Transferhalterung 150 an die Einlaßpforte 88 entladen, um die Abfolge der Aufgabe beziehungsweise der Schritte der Aufgabe zu vervollständigen.

Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer sendet einen geeigneten Bericht an den Hostcomputer 50, wenn die Kassette 40 auf der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 plaziert ist. Dem Hostcomputer 50 wird durch diesen Bericht mitgeteilt, daß die Kassette 40 an der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angekommen ist. Dann sendet der Hostcomputer 50 eine Bearbeitungsstartaufgabenanweisung an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 über das Kommunikationskabel 58.

Als Reaktion auf eine Übergabeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette, die zu bearbeiten ist und in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, und sendet eine Transportaufgabenanweisung an 1 automatischen Transportierer 38 mit 2 Kassetten 40 als einem Paar, das heißt die zwei Kassetten 40 betrifft. Der automatische Transportierer 38, der diese Transportaufgabenanweisung empfängt, führt die Reihe von Aufgaben beziehungsweise Aufgabenschritten in der Abfolge der Aufgabe des Holens der Kassette auf der Auslaßpforte 86, der Aufgabe des Holens der Kassette 40 auf der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, der Aufgabe des Entladens der Kassette 40 von der Transferhalterung 150 an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 und der Aufgabe des Entladens der bearbeiteten Kassette 40 von der Transferhalterung 150 zu der Einlaßpforte 88 aus. Im Vergleich mit dem Fall, in dem die Transportaufgabe für einen Transport der Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 und die Transportaufgabe für einen Transport der Kassette 40 von der Auslaßpforte 86 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 separat durch den automatischen Transportierer 38 ausgeführt werden, kann die Zeit, die für die Transportaufgaben benötigt wird, reduziert werden. Darum kann die Betriebsrate des automatischen Transportierers 38 reduziert werden und die Kassette 40 kann der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 schnell geliefert werden.

Dem Hostcomputer 50 kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118, die bezüglich 1 Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden können, über den Terminal 54 spezifiziert werden. Außerdem kann zusammen damit die Verwendungsabfolge derselben spezifiziert werden. Zwei Auslaßpforten 118 können zugeordnet werden, um mit einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet zu werden. Wenn eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 übertragen wird, wählt der Hostcomputer 50 die Auslaßpforte 118, die in der Reihenfolge der zuvor verwendeten Auslaßpforte 118 nachfolgend ist, oder die erste Auslaßpforte 118, wenn keine Auslaßpforte mit einer nachfolgenden Rangfolge spezifiziert ist, aus. Die ausgewählte Auslaßpforte 118 wird dazu bestimmt, für diese Transportaufgabe für die Kassette 40 verwendet zu werden.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahrens kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zugeordnet werden. Es ist daher möglich, die Verwendungshäufigkeit der Auslaßpforten 118 entsprechend einer vorbestimmten Reihenfolge gleich einzustellen.

Es wird das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforten 118 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 gibt und die Anzahl der Auslaßpforten 118, die für eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden können, begrenzt ist, gelöst.

Darum können, selbst falls die Bearbeitungsfähigkeit und der Betriebsstatus der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 differieren, die Auslaßpforten 118 mit einer im wesentlichen gleichen Häufigkeit durch jede beziehungsweise die jeweiligen Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 verwendet werden. Das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforten 118 wird eliminiert.

Bevorzugterweise können dem Hostcomputer 50 eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118, die durch eine Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden können, über den Terminal 54 spezifiziert werden. Außerdem kann der Hostcomputer 50 einen Datenbereich aufweisen beziehungsweise halten, in dem die Anzahl der Austrittsaufgabenanweisungen, die noch nicht vervollständigt sind, aus der Mehrzahl der Austrittsaufgabenanweisungen, die von einer Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben werden, bezüglich jeder Auslaßpforte 118 gespeichert wird.

Auf das Empfangen einer Kassettenladeanfrage von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sucht der Hostcomputer 50 nach einer Einlaßpforte 118, die für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verfügbar ist. Wenn es eine Mehrzahl von verfügbaren Auslaßpforten 118 gibt, vergleicht der Hostcomputer 50 den Wert, der für jede Pforte 118 in dem Datenbereich gespeichert ist, und wählt die Auslaßpforte 118 aus, die dem kleinsten Wert entspricht. Der Hostcomputer 50 addiert 1 zu dem Wert in dem Datenbereich, der der ausgewählten Pforte 118 zugeordnet ist, und sendet eine Austrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36. Wenn die Aufgabe vervollständigt ist, subtrahiert der Hostcomputer 50 von dem Wert in dem Datenbereich 1. Wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 gibt, die dem kleinsten Wert entsprechen, wählt der Hostcomputer 50 eine willkürliche Pforte aus den Pforten aus, die dem kleinsten Wert entsprechen.

Entsprechend des Lagerungsvorrichtungsaustrittsaufgabensteuerverfahrens kann eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 durch den Hostcomputer 50 zugeordnet werden. Der Hostcomputer 50 sendet eine Austrittsaufgabenanweisung an eine Lagerungsvorrichtung 36, so daß die Anzahl der Aufgaben, die noch nicht vervollständigt ist, gleich ist. Darum kann die Verwendungshäufigkeit bzw. -frequenz der Auslaßpforte 118 im wesentlichen ausgeglichen werden.

Das Problem der Variation bei der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforte 118 abhängig von der Bearbeitungsfähigkeit und dem Betriebszustand der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, wenn es eine Mehrzahl von Auslaßpforten 118 gibt, wobei die Anzahl der Auslaßpforten 118, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden kann, begrenzt ist, kann gelöst werden.

Selbst wenn die Bearbeitungsfähigkeit und der Betriebszustand jeder der Bearbeitungsvorrichtungen 32, 34 sich unterscheiden, kann die Auslaßpforte 118 im wesentlichen gleich bezüglich der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 verwendet werden. Das Problem der Variation in der Verwendung und der Belegung der Auslaßpforte 118 wird gelöst.

Auf das Empfangen einer Austrittsaufgabenanweisung für eine Kassette, die mit einer Auslaßpforte 86 oder einer Auslaßpforte 118 verbunden ist, von dem Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 kann die Lagerungsvorrichtung 36 die Austrittsaufgabe initiieren und außerdem an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 den Status den Fortschritts, wenn die Aufgabe initiiert ist, wenn die Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 entladen ist, und wenn die Aufgabe vervollständigt ist, berichten. Die Lagerungsvorrichtung 36 kann außerdem einen Bericht über das Kommunikationskabel 58 an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 über den Status des Fortschreitens der Aufgabe, wenn die Aufgabe initiiert ist, wenn die Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 entladen ist, und wenn die Aufgabe vervollständigt ist, senden, als Reaktion auf eine Transferaufgabenanweisung für einen Transfer einer Kassette 40 zu einer Pforte 98 von der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 über das Kommunikationskabel 58.

Die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 sendet einen Bericht über den Status des Fortschreitens der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58. Der Hostcomputer 50 stellt das Senden einer Austrittsaufgabenanweisung oder einer Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 beziehungsweise die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42, die sich auf dieselbe Pforte bezieht, zurück bis ein Bericht über das Fortschreiten der Aufgabe anzeigt, daß der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen hat.

Bezüglich der Aufgabenanweisung, die von dem Hostcomputer 50 an die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 geliefert worden ist, sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht, der anzeigt, daß der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen hat. Außerdem stellt der Hostcomputer 50 das Abs enden einer Austrittsaufgabenanweisung und einer Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42, die sich auf dieselbe Pforte beziehen, zurück bis er einen Bericht über ein Fortschreiten empfängt, der anzeigt, daß der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 von der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 entladen hat. Darum existieren der Vorteil, daß der Hostcomputer 50 keine exzessive Menge von Aufgabenanweisungen an die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 sendet, und der Vorteil, daß die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 nicht unbelegt in einem Standbyzustand für eine Aufgabe verbleiben, zusammen.

Das Problem, daß die angestrebte Anzahl von Aufgaben aufgrund der Unterdrückung einer Aufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 ungeachtet der ausreichenden Transportkapazität der Lagerungsvorrichtung 36 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 nicht ausgeführt werden kann, kann gelöst werden. Außerdem wird das Problem gelöst, daß der Hostcomputer 50 eine zu große Anzahl von Aufgabenanweisungen ungeachtet des Fortschreitens der Aufgabe bei der Lagerungsvorrichtung 36 und der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 sendet, so daß eine Erholung beziehungsweise eine Rückkehr zu einem korrekten Zustand verzögert wird, wenn die Lagerungsvorrichtung 36 und die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 defekt sind.

Der Hostcomputer 50 hält Daten, die den Status des momentanen Fortschreitens der Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 anzeigen, um einen verfügbaren Lagerplatz in dieser zu identifizieren. Jedoch gibt es eine Möglichkeit, daß sich diese Daten von den tatsächlichen Daten über den momentanen Fortschritt der Kassette 40, die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gehalten werden, aufgrund eines Kommunikationsleitungsfehlers zwischen dem Hostcomputer 50 und der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 oder aufgrund eines Datenverlustes aufgrund eines Systemfehlers des Hostcomputers 50 unterscheiden. In einem solche Fall wird der Hostcomputer 50 fehlerhafterweise annehmen, daß es einen verfügbaren Platz zur Lagerung einer Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt. Darum antwortet der Hostcomputer 50 auf eine Übergabeanfrage für Kassetten 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 damit, daß ein automatischer Transportierer 38 eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 88 befördert. Wenn diese Aufgabe vervollständigt ist, sendet der Hostcomputer 50 eine Eintrittsaufgabenanweisung für diese Kassette 40 an die Lagerungsvorrichtung 36. Jedoch kann die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 nicht gelagert werden, da es tatsächlich keinen verfügbaren Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, was in einer Unterbrechung der Aufgabe beziehungsweise der Abarbeitung der Aufgabe resultiert. Ein ähnlicher Fall kann für die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportaufgabe für eine Kassette 40 erwartet werden. In diesem Fall kann die Kassette 40, die an der Pforte 98 ankommt, nicht gelagert werden, da es keinen Speicherplatz gibt, was in einer Unterbrechung der Aufgabe resultiert. In dem Fall, in dem eine Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 vorhanden ist, wird der Hostcomputer 50 annehmen, daß es einen verfügbaren Raum in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt und eine Eintrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 senden. Jedoch wird die Aufgabe unterbrochen werden, da es tatsächlich keinen leeren Raum beziehungsweise Platz gibt. Es gibt außerdem eine Möglichkeit, daß der Hostcomputer 50 annehmen wird, daß die Lagerungsvorrichtung 36 mit Kassetten 40 aufgefüllt ist, obwohl es einen verfügbaren Platz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, so daß die Initiierung einer Aufgabe, die mit einem Eintritt beziehungsweise einer Eingabe einer Kassette verbunden ist, zurückgestellt wird.

Es ist unabdingbar, den Unterschied zwischen den momentanen Daten über den Fortschritt einer Kassette in der Lagerungsvorrichtung 36 unter der Verwaltung durch den Hostcomputer 50 und den momentanen Daten über den Fortschritt unter der Verwaltung durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 zu identifizieren, um die Unterbrechungszeit für die Aufgabe, die mit der in Rede stehenden Lagerungsvorrichtung 36 verbunden ist, zu reduzieren.

Das Problem wird gelöst, wie es im folgenden erläutert ist. Als Reaktion auf eine Anweisung von einem Bediener über den Terminal 56 weist der Hostcomputer 50 bezüglich der spezifizierten Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 an, daß die ID-Daten von allen Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert sind, zu berichten sind. Diese Anweisung wird an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 über das Kommunikationskabel 58 übertragen. Als Reaktion sendet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Bericht über alle Daten über den momentanen Fortschritt der Kassetten 40 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58. Der Hostcomputer 50 vergleicht seine eigenen ID-Daten über die Kassetten 40, die in der relevanten Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert sind, mit den Daten über den momentanen Fortschritt von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64. Irgendein Unterschied wird auf der Anzeige des Terminals 56 angezeigt, um ihn dem Bediener mitzuteilen.

In dem Fall, in dem eine Kassette 40 an der Einlaßpforte 88, der Pforte 98, oder der Einlaßpforte 116 verblieben ist, so daß die Ausführungseintrittsaufgabe verhindert wird, oder in dem eine Eintrittsaufgabe nicht initiiert wird, obwohl es einen verfügbaren Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 36 gibt, vergleicht der Hostcomputer 50 seine eigenen ID-Daten über die Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert sind, mit den ID-Daten über die Kassetten 40, die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gehalten werden, entsprechend einer Anweisung von dem Bediener über das Terminal 56. Die Differenz, die sich als ein Ergebnis des Vergleichs ergibt, kann auf die Anzeige des Terminals 56 geliefert werden, um den Bediener zu informieren, das Problem liegt. Der Bediener kann unter Bezugnahme auf die ID-Daten über die gelagerten Kassetten 40, die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden, und diejenigen, die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gehalten werden, geeignete Maßnahmen treffen, um aus dem unterbrochenen Zustand wieder heraus zu kommen.

Wenn der Hostcomputer 50 die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 befragt, kann eine Abfrage über alle die ID-Daten für eine Lagerungsvorrichtung zusammen auf einmal durchgeführt werden. Wenn jedoch die Datenmenge groß ist, ist es möglich, eine Abfrage entsprechend der Lagerungsvorrichtungseinheiten von STK01 bis STK04, wie sie in den Fig. 7A und 7B gezeigt sind, auszuführen.

Entsprechend einer Anweisung, die durch den Bediener über den Terminal 56 eingegeben wird, fragt der Hostcomputer 50 die Lagerungssteuerung 64 über die ID-Daten der Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert sind, ab. Diese ID-Daten werden mit den ID-Daten, die in dem Hostcomputer 50 bezüglich der Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert sind, gehalten werden, verglichen. Ein Unterschied in den ID-Daten als ein Ergebnis dieses Vergleichs kann durch Diskrepanz verursacht werden, wobei der Hostcomputer 50 annimmt, daß es eine Kassette 40 gibt, wohingegen die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 annimmt, daß es keine Kassette 40 gibt, oder umgekehrt. Der Hostcomputer 50 liefert eine Anzeige der Differenz in den ID-Daten auf dem Terminal 56 ohne Unterscheidung zwischen diesen.

Wenn die Daten der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 korrekt sind, fügt der Bediener den Daten des Hostcomputers 50 über den Terminal 56 die Daten für die Kassette oder Kassetten 40 hinzu, von denen durch den Hostcomputer 50 angenommen wurde, daß sie nicht vorhanden sind. Andererseits löscht der Bediener aus den Daten des Hostcomputers 50 über den Terminal 56 die Daten der Kassette oder Kassetten 40, von denen der Hostcomputer 50 angenommen hat, daß sie vorhanden sind. Dieser Vorgang ist ohne Beachtung der beiden Gründe, die sich voneinander unterscheiden, auszuführen. Jedoch wird der Hostcomputer 50 auf dem Terminal 56 kein Ergebnis liefern, daß sich entsprechend der beiden Gründe unterscheiden wird. Daher gab es ein Problem dahingehend, daß die Erholung beziehungsweise Aktualisierung der ID-Daten des Hostcomputers 50 durch den Bediener zeitraubend war.

Diese Schwierigkeit kann beseitigt werden, wie es im folgenden ausgeführt ist. In der Phase des Vergleichens der Daten, die von der Lagerungsvorrichtung 36 berichtet werden, über die Kassette 40, die darin gelagert ist, mit den ID-Daten, die in dem Hostcomputer 50 gehalten sind, kann der Hostcomputer 50 auf dem Terminal 56 die Unterscheidung zwischen den ID-Daten über die Kassette 40, von der durch den Hostcomputer 50 angenommen wird, daß sie vorhanden ist, und von der durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 angenommen wird, daß sie nicht vorhanden ist, und den ID-Daten über die Kassette 40, von der durch den Hostcomputer 50 angenommen wird, daß sie abwesend ist, und von der durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 angenommen wird, daß sie vorhanden ist, geliefert werden.

Durch Liefern der obigen Unterscheidung auf dem Terminal 56 kann der Bediener klar die Inhalte für die Wiedergewinnungsaufgabe identifizieren, um die dafür benötigte Zeit zu reduzieren.

Der oben beschriebene Hostcomputer 50 reagiert auf eine Anweisung von dem Bediener über den Terminal 56 zum Befragen der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 nach ID-Daten einer Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, wobei die ID-Daten über die Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden, mit denjenigen der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 verglichen werden. Die als ein Ergebnis des Vergleichs unterschiedlichen Daten werden direkt auf dem Terminal 56 geliefert. Darum muß der Bediener sich dem Terminal 56 nähern, um die Daten, die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden, zu modifizieren.

Diese Schwierigkeit kann eliminiert werden, wie es im folgenden ausgeführt ist. Zusätzlich zu dem Liefern des Vergleichsergebnisses auf dem Terminal 56 kann der Hostcomputer 50 alle ID-Daten bezüglich der Kassette(n) 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist (sind), die in ihm gehalten werden, mit den ID-Daten, die in dem Bericht enthalten sind, der von der Lagerungsvorrichtung 64 gesandt wird, auf die Genehmigung von dem Bediener über den Terminal 56 hin, überschreiben.

Dementsprechend kann der Bediener auf einmal die Aufgabe des Hinzufügens oder Löschens von ID-Daten für eine Kassette 40 beziehungsweise die Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist beziehungsweise sind, für den Hostcomputer 50 ausführen. Die Erholungszeit für beziehungsweise nach einer Störung kann signifikant reduziert werden.

Entsprechend einer Anweisung von dem Bediener über den Terminal 56 fragt der Hostcomputer 50 die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 nach den Daten über den momentanen Fortschritt der Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert ist. Der Hostcomputer 50 vergleicht seine eigenen Daten über den momentanen Fortschritt mit den Daten über den momentanen Fortschritt der Kassette 40, die durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gehalten werden. Hier werden nur die ID-Daten der Kassette(n) 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gespeichert ist(sind), verglichen. Darum wird in dem Fall, in dem der Hostcomputer 50 auch den Lagerplatz der Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 verwaltet, der Unterschied zwischen dem Lagerplatz der Kassette 40, der von der Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 angenommen wird, und dem Lagerplatz der Kassette 40, der durch den Hostcomputer 50 angenommen wird, falls ein solcher vorhanden ist, keine fehlende Übereinstimmung als Ergebnis des Vergleichs durch den Hostcomputer 50 verursachen. Dieser Unterschied wird nicht auf der Anzeige auf dem Terminal 56 geliefert.

Diese Schwierigkeit kann vermieden werden, wie es im folgenden ausgeführt ist. Als Reaktion auf die Befragung über die Daten über den momentanen Fortschritt der Kassette 40 von dem Hostcomputer 50 hin gibt die Lagerungsvorrichtung 36 einen Bericht über die ID-Daten der Kassette 40 und die Lagerungsvorrichtungseinheitsnummer, die Regalplattennummer und die Positionsnummer, die den Lagerplatz identifizieren, an den Hostcomputer 50. Der Hostcomputer 50 vergleicht die empfangen Daten mit seinen eigenen Daten, d. h. den ID-Daten über die Kassette 40, welche die Daten über den momentanen Fortschritt der Lagerungsvorrichtung 36 sind, und die Lagerungsvorrichtungseinheitsnummer, die Regalplattennummer und die Positionsnummer, die den Lagerplatz anzeigen, die durch den Hostcomputer 50 gehalten werden, um zu bestätigen, ob es eine Differenz in den Lagerplatzdaten zusätzlich zu einer Differenz in den ID-Daten gibt. Der Hostcomputer liefert eine Anzeige auf dem Terminal 56 für jedweden Unterschied zwischen den Daten.

Mittels des obigen Mechanismus kann der Unterschied zwischen den Daten über den momentanen Fortschritt der Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, zwischen dem Hostcomputer 50 und der Lagerungsvorrichtung 64 auf der Basis des Lagerplatzes identifiziert werden. Desweiteren ist es möglich, eine in Frage stehende Kassette 40 selbst in einer Lagerungsvorrichtung 36 mit einer großen Kapazität zu erfassen beziehungsweise aufzufinden.

Ein Beispiel einer anderen Struktur der Lagerungsvorrichtung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Fig. 12 bis 14 beschrieben.

Eine Lagerungsvorrichtung 190 weist eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Auslaßpforte 196, die vergleichbar zu der Auslaßpforte 86 der Lagerungsvorrichtung 36 ist, auf. Bei der Lagerungsvorrichtung 190 ist die Anzahl der Kassetten 40, die auf der Pforte 196 montiert beziehungsweise gehalten werden kann, gleich zu der Maximalanzahl von Kassetten eingestellt, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum Laden angefordert werden kann, d. h. der Maximalanzahl von Kassetten, die aus der Auslaßpforte 196 entladen werden. Hier können zwei Kassetten 40 auf der Pforte 196 gehalten werden.

Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 sendet an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 eine Ladeanfrage für Kassetten 40. Hier fordert die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 das Laden von zwei Kassetten 40, was der Bearbeitungseinheit dieser Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 entspricht. Als Reaktion identifiziert der Hostcomputer 50, ob es eine Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 190 gibt, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet werden kann. Wenn es zwei oder mehr Kassetten in der Lagerungsvorrichtung 190 gibt, die bearbeitet werden können, wird die Anzahl der auszugebenden Kassetten auf 2 spezifiziert und eine Austrittsaufgabenanweisung für einen Ausgeben der beiden Kassetten 40 an der Auslaßpforte 196 wird an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gesandt.

Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 transferiert die erste Kassette 40 an eine Auslaßlieferungspforte 192 unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 steuert dann eine Vorwärtsbewegungsvorrichtung 200 so an, daß die Kassette 40 auf der Auslaßlieferungspforte 192 zu der Auslaßpforte 186 bewegt wird. Parallel zu der Austrittsaufgabe für die erste Kassette 40 wird die Austrittsaufgabe für die zweite Kassette 40 entsprechend einer ähnlichen Prozedur an einem unterschiedlichen Haltepunkt ausgeführt. Wenn die beiden Kassetten an die Auslaßpforte 196 ausgegeben sind, sendet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50.

Als Reaktion sendet der Hostcomputer 50 eine Anweisung über das Kommunikationskabel 58 an den automatischen Transportierer 38, daß die zwei Kassetten 40 auf der Auslaßpforte 196 zu dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 transportiert werden sollen. Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die diese Anweisung empfängt, ordnet einen geeigneten aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38 zu, der für die Transportaufgabe am geeignetsten ist. Die Transportaufgabe zum Transport der Kassette 40 wird mittels Funkkommunikation unter Verwendung der steuerstationsseitigen Kommunikationseinheit 62 und der Transportiererkommunikationseinheit 142 übertragen.

Die Transportaufgabe zum Transport der Kassette 40 durch den automatischen Transportierer 38 wird im folgenden beschrieben. Anfänglich bewegt sich der Wagen 140 von dem Bereitschaftsplatz zu der Auslaßpforte 196 der Quellenlagerungsvorrichtung 190 entsprechend des Führungsbandes 156, das an dem Boden befestigt ist. Wenn der Wagen 140 an der Auslaßpforte 196 ankommt, bestätigt der automatische Transportierer 38 über einen an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 102, ob die erste Kassette 40 auf der Auslaßpforte 196 vorhanden ist. Falls die erste Kassette 40 vorhanden ist, steuert der automatische Transportierer 38 den Arm 144, die Hand 146 und die Handklaue 148 zum Holen der ersten Kassette 40, die sich auf der Auslaßpforte 196 befindet, auf seine eigene Transferhalterung 150 an. Eine vergleichbare Prozedur wird für die zweite Kassette 40 ausgeführt. Die zweite Kassette 40 wird auf einer anderen Transferhalterung 150 des automatischen Transportierers 38 plaziert. Wenn diese Halterungsaufgabe vervollständigt ist, bewegt sich der Wagen 140 von der Lagerungsvorrichtung 190 in Richtung des bezeichneten Kassettenstandes 172, 182 der Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34. Wenn der Wagen 140 an dem Kassettenstand 172, 182 ankommt, plaziert der automatische Transportierer 38 aufeinanderfolgend die Kassetten 40 auf den Transferhalterungen 150 auf den bezeichneten Kassettenstand 172, 182 in einer Prozedur, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen ist. Wenn alle spezifizierten Aufgaben vervollständigt sind, sendet die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer an Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist.

Der Hostcomputer 50, der einen Bericht von dem automatischen Transportierer 38 empfängt, daß die Transportaufgabe zum Transport der beiden Kassetten 40 zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 vervollständigt worden ist, sendet eine Anweisung zum Starten des Bearbeitungsprozesses an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 über das Kommunikationskabel 58.

Durch Einstellen der Anzahl der Kassetten 40, die auf der Auslaßpforte 196 in der Lagerungsvorrichtung 190 gehalten beziehungsweise montiert werden können, identisch zu der Anzahl der Kassetten 40, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die mit dieser Auslaßpforte 196 in Verbindung steht, zum Laden angefordert worden sind, kann die Folge der Aufgaben wie die Austrittsaufgabe zum Ausgeben der Kassette 40 von dem Lagerplatz der Lagerungsvorrichtung 190 zu der Auslaßpforte 196 und die Transportaufgabe zum Transportieren der Kassette 40 von der Auslaßpforte 196 zu dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 auf der Basis der Anzahl der Kassetten ausgeführt werden, die durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum Laden angefordert sind.

Die Schwierigkeit, daß in dem Fall, in dem die Einheit von Kassetten, die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zum Laden angefordert worden sind, größer als die Anzahl der Kassetten ist, die auf der Auslaßpforte 196 gehalten werden können, die verbleibende(n) Kassette(n) 40, die die vorbestimmte Anzahl von Kassetten überschreitet beziehungsweise überschreiten, mit einer nachfolgenden Aufgabe transferiert wird/werden, wird vermieden. Das Problem, daß eine Kassette 40, die bereits an dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angekommen ist, nicht durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bearbeitet werden kann, bis eine nachfolgende Kassette 40 ankommt, wird eliminiert.

Die Initiierung des Bearbeitens der Kassette 40, die auf dem Stand 172, 182 befindlich ist, durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 wird nicht länger aufgrund einer verzögerten nachfolgenden Kassette 40 verschoben beziehungsweise verzögert.

Die Lagerungsvorrichtung 190 weist weiter eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Einlaßpforte 198, die ähnlich zu der Einlaßpforte 88 der Lagerungsvorrichtung 36 ist, auf. In der Lagerungsvorrichtung 190 ist die Anzahl der Kassetten, die auf der Einlaßpforte 198 gehalten beziehungsweise montiert werden kann, identisch zu der Maximalanzahl von Kassetten, von denen durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert werden kann, daß sie übergeben werden, eingestellt. Hier können zwei Kassetten 40 auf der Pforte 198 plaziert beziehungsweise gehalten werden.

Die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 führt die Übergabeanfrage für eine Kassette 40 für zwei Kassetten auf einmal aus. Nachdem der Hostcomputer 50 einen Lagerplatz in der Lagerungsvorrichtung 190 für die Kassetten 40 ermittelt hat, wird eine Transportaufgabenanweisung an den automatischen Transportierer 38 auf einmal gesandt. Die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer, die von dem Hostcomputer 50 eine Transportaufgabenanweisung für die Maximalanzahl von zwei Kassetten 40 empfängt, weist die Aufgabe einen aus der Mehrzahl der automatischen Transportierer 38 zu, der am geeignetsten für die Transportaufgabe ist. Eine Transportaufgabe wird durch Radio- beziehungsweise Funkkommunikation unter Verwendung der steuerstationsseitigen Kommunikationseinheit 62 und der Transportiererkommunikationseinheit 142 übertragen.

Der Transport der Kassette 40 durch den automatischen Transportierer 38 wird im folgenden beschrieben. Anfänglich bewegt sich der Wagen 140 von dem Bereitschaftsplatz zu der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, von der die Kassette 40 zu entladen ist, entsprechend des Führungsbandes 156, das an dem Boden befestigt ist. Wenn der Wagen 140 an der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 ankommt, bestätigt der automatische Transportierer 38, ob es eine Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 gibt, über eine an den automatischen Transportierer gerichtete Kommunikationseinheit 174. Falls es eine Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 gibt, steuert der automatische Transportierer 38 den Arm 144, die Hand 146 und die Handklaue 148 zum Holen der ersten Kassette 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 an. Die erste Kassette 40 wird auf der Transferhalterung 150 des automatischen Transportierers 38 plaziert. In einer vergleichbaren Weise wird die Kassette 40 von dem Kassettenstand 172, 182 auf einer anderen Transferhalterung 150 plaziert beziehungsweise gehalten. Wenn die Halterungsaufgabe zum Halten der beiden Kassetten 40 vervollständigt ist, bewegt sich der Wagen 140 von der Quellenbearbeitungsvorrichtung 32, 34 in Richtung der spezifizierten Einlaßpforte 198 der Bestimmungslagerungsvorrichtung 190. Bei der Einlaßpforte 198 angekommen werden die beiden Kassetten 40 aufeinander folgend von der Transferhalterung 150 auf der Einlaßpforte 198 mit einer Prozedur, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen ist, plaziert. Wenn alle spezifizierten Aufgaben vervollständigt sind, sendet die Steuerung 60 für den automatischen Transportierer einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.

Der Hostcomputer 50, der den Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, von dem automatischen Transportierer 38 empfängt, liefert eine Eintrittsaufgabenanweisung zum Aufnehmen von zwei Kassetten 40 über die Einlaßpforte 198 bezüglich der Lagerungsvorrichtung 190. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 antwortet auf diese Eintrittsaufgabenanweisung, die über das Kommunikationskabel 58 gesandt wird, mit dem Ermitteln eines Lagerplatzes für die Kassetten 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 und beginnt mit (dem Abarbeiten) der Eintrittsaufgabe. Die Lagerungsvorrichtung 190 steuert die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 202 zum Transferieren der ersten Kassette 40 von der Einlaßpforte 198 zu der Einlaßlieferungspforte 194 an. Wenn diese Transferaufgabe vervollständigt ist, wird der Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transportieren der Kassette 40 auf der Einlaßlieferungspforte 194 zu dem eingestellten Lagerungsplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96, der durch die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 ermittelt worden ist, betätigt. Die Eintrittsaufgabe zum Aufnehmen der zweiten Kassette 40 wird parallel zu der Eintrittsaufgabe für die erste Kassette 40 an einem unterschiedlichen Haltepunkt entsprechend derselben Prozedur ausgeführt. Die Abfolge der Schritte der Aufgabe ist vervollständigt, wenn die zweite Kassette an dem Lagerplatz auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 gelagert ist. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 sendet einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, über das Kommunikationskabel 58 an den Hostcomputer 50.

Durch Einstellen der Anzahl der Kassetten 40, die auf der Einlaßpforte 198 der Lagerungsvorrichtung 190 plaziert beziehungsweise gehalten werden können, identisch zu der Anzahl der Kassetten 40, bezüglich derer von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die diese Pforte 198 verwenden kann, angefordert werden kann, daß sie übergeben werden, können die Abfolge der Aufgaben wie die Transportaufgabe zum Transport der Kassetten 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu der Einlaßpforte 198 und die Eintrittsaufgabe zum Aufnehmen der Kassetten 40 von der Einlaßpforte 198 auf den Lagerungsplatz in der Lagerungsvorrichtung 190 auf der Basis der Anzahl der Kassetten ausgeführt werden, für die von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert worden ist, daß sie übergeben werden.

Daher kann das Problem, daß, wenn die Einheit der Kassetten, bezüglich derer von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert worden ist, daß sie übergeben werden, größer als die Anzahl der Kassetten ist, die auf der Einlaßpforte 198 gehalten werden können, bearbeitete Kassetten 40, die die Anzahl der Kassetten überschreiten, die auf der Einlaßpforte 198 montiert werden können, an dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zurückgelassen werden, eliminiert werden. Derart wird das Problem einer langen Lieferzeit von zu bearbeitenden Kassetten 40 an die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 aufgrund eines Anstiegs der Standbyzeit der Kassetten 40 für eine Transportaufgabe und der Verzögerung der Verfügbarkeit eines verfügbaren Platzes auf dem Kassettenstand 172, 182 eliminiert.

Es werden nicht länger bearbeitete Kassetten 40 auf dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zurückgelassen. Der Kassettenstand 172, 182 wird nach der Bearbeitung schnell verfügbar, so daß eine neue Kassette 40, die zu bearbeiten ist, von der Lagerungsvorrichtung 190 ohne Verzögerung geliefert wird beziehungsweise geliefert werden kann.

Unter Bezugnahme auf Fig. 13, die Lagerungsvorrichtung 190 weist weiter eine Auslaßpforte 210 für eine manuelle Ausgabe, ähnlich zu der Auslaßpforte 118 der Lagerungsvorrichtung 136, auf. Es ist zu bemerken, daß, bei der Lagerungsvorrichtung 190, die Anzahl der Kassetten 40, die auf der Pforte 210 plaziert beziehungsweise gehalten werden können, identisch zu der Maximalanzahl von Kassetten eingestellt ist, bezüglich derer von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert werden kann, daß sie übergeben werden. Hier können zwei Kassetten auf der Auslaßpforte 210 gehalten beziehungsweise plaziert werden.

Es wird nun der Betrieb der Lagerungsvorrichtung 190 und der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die Kassetten 40, die von der Lagerungsvorrichtung 190 ausgegeben werden, bearbeitet, betrachtet, wenn kein automatischer Transportierer 38 vorgesehen (oder verfügbar) ist. Eine Kassettenladeanfrage wird von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Hier sendet die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 die Ladeanfrage für die Kassette 40 für jeweils zwei Kassetten. Der Hostcomputer 50, der eine Kassettenladeanfrage empfängt, befragt die Lagerungsvorrichtung 190, ob es eine zu bearbeitende Kassette 40 für die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 gibt. Wenn es zwei oder mehr Kassetten, die zu bearbeiten sind, gibt, wird die Anzahl der Kassetten auf 2 eingestellt. Dann wird eine Austrittsaufgabenanweisung für die Kassetten 40, die mit der Auslaßpforte 210 in Verbindung steht, an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 gesandt.

Auf das Empfangen einer Austrittsaufgabenanweisung hin steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum aufeinanderfolgenden Transportieren der Kassetten 40 zu der Auslaßpforte 210, die den beiden Haltepunkten für die Kassetten 40 entspricht, an. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 liefert eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 190, die die Entnahme der Kassetten 40 auf der Auslaßpforte 210 erlaubt. Der Bediener, der diese Nachricht liest, nimmt die beiden Kassetten 40 von der Auslaßpforte 210 und betätigt die Bedienungstafel 121, um der Lagerungsvorrichtung 190 mitzuteilen, daß die Entladeoperation vervollständigt ist. Als Reaktion bestimmt die Lagerungsvorrichtung 190, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist. Ein Bericht, daß die Austrittsaufgabe vervollständigt ist, wird an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Bediener, der die Kassetten 40 entladen hat, nähert sich dem Terminal 56 des Hostcomputers, um die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 herauszufinden, die die Ladeanfrage ausgegeben hat. Auf das Identifizieren der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 hin befördert der Bediener die Kassetten 40 zu dem Kassettenstand 172, 182 der entsprechenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34.

Durch Einstellen der Anzahl der Kassetten 40, die auf der Auslaßpforte 210 plaziert beziehungsweise gehalten werden können, identisch zu der Anzahl der Kassetten 40, bezüglich derer von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert wird, daß sie geladen werden, kann die Abfolge der Aufgaben wie die Austrittsaufgabe zur Ausgabe der Kassetten 40 von dem Lagerungsplatz in der Lagerungsvorrichtung 190 zu der Auslaßpforte 210 und die Transportaufgabe zum Transportieren der Kassette 40 von der Auslaßpforte 210 zu dem Kassettenstand 172, 182 der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in der Einheit der Anzahl von Kassetten 40 ausgeführt werden, bezüglich der von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert wurde, daß sie geladen wird. Darum ist das Problem, daß, wenn die Anzahl der Kassetten, bezüglich derer durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 angefordert worden ist, daß sie geladen werden, größer als die Anzahl der Kassetten ist, die auf der Auslaßpforte 210 plaziert beziehungsweise gehalten werden können, die Anzahl von Kassetten 40, die größer als die Anzahl der Kassetten ist, die gehalten werden können, für eine nachfolgende Austrittsaufgabe zurückgestellt werden, was die Verfügbarkeit des Bedieners verschlechtert, eliminiert.

Derart kann die Bereitschaftszeit des Bedieners reduziert werden. Außerdem kann die Zeit, die zum Liefern von Kassetten 40 an eine geeignete Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 benötigt wird, reduziert werden.

Wie in den Fig. 4 und 5 gezeigt ist, weist die Lagerungsvorrichtung 36 eine äußere Abschirmtür 122 für die Pforte 98 auf der Seite der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und eine Hubvorrichtung 124 zum Anheben/Absenken der Pforte 98 auf. Die Lagerungsvorrichtung 36 weist außerdem eine äußere Abschirmtür 90 für die Auslaßlieferungspforte 192 und die Einlaßlieferungspforte 194 und eine äußere Abschirmtür auf der Bedienerseite bezüglich der Einlaßpforte 116 und der Auslaßpforte 210 auf.

Der Betrieb dieser Abschirmtüren wird im folgenden beschrieben. Es ist zu bemerken, daß alle diese Abschirmtüren geschlossen werden, wenn kein Betrieb der Lagerungsvorrichtung 36 ausgeführt wird.

Der Betrieb der äußeren Abschirmtür 90 für die auf den automatischen Transportierer bezogene Pforte wird zuerst beschrieben. Wenn eine Ladeanfrage für eine Kassette 40 von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 ausgegeben wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus den in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagerten Kassetten 40, die zu bearbeiten ist. Eine Austrittsaufgabenanweisung bezüglich der relevanten Kassette 40 wird an die Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben. Auf das Empfangen einer Austrittsaufgabenanweisung hin steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 zu der Auslaßlieferungspforte 100 an. Dann steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 derart an, daß die Kassette 40 von der Auslaßlieferungspforte 100 zu der Auslaßpforte 86 verschoben wird. Da die äußere Abschirmtür 90 zu diesem Zeitpunkt geschlossen ist, wird die Abschirmtür 90 nach unten zum Öffnen bewegt. Dann wird die Kassette 40 zu der Auslaßpforte 86 transferiert. Nachdem diese Verschiebeaufgabe vervollständigt ist, bringt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 zum Aufsteigen, wodurch die äußere Abschirmtür 90 geschlossen wird. Derart ist die Abfolge der Auslaßaufgabe vervollständigt. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 sendet einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50.

Wenn eine Kassette 40 über eine Einlaßpforte 88 einzugeben beziehungsweise aufzunehmen ist, reagiert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 auf eine Eintrittsaufgabenanweisung von dem Hostcomputer 50 damit, daß sie die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 so antreibt, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 zu der Einlaßlieferungspforte 104 transferiert wird. Da die äußere Abschirmtür 90 zu diesem Zeitpunkt geschlossen ist, wird die Abschirmtür 90 zuerst nach unten bewegt. Dann wird die Kassette 40 auf die Einlaßlieferungspforte 104 transferiert. Wenn diese Verschiebeaufgabe vervollständigt ist, bewegt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 zum Schließen nach oben. Wenn diese Aufgabe vervollständigt ist, steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Lagern der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an. Wenn diese Aufgabe vervollständigt ist, wird ein Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 gesandt.

Der Betrieb der äußeren Abschirmtür 114 wird nun beschrieben. Wenn eine Ladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 ausgegeben wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus den Kassetten 40, die in der relevanten Lagerungsvorrichtung 36 gelagert sind, die zu bearbeiten ist. Dann wird eine Austrittsaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 gesandt. Auf das Empfangen einer Austrittsaufgabenanweisung hin steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Befördern der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 zu der Auslaßpforte 118 an. Dann wird eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36 geliefert, die das Entladen der Kassette von der Auslaßpforte 118 erlaubt.

Der Bediener, der diese Nachricht liest, betätigt die Bedienungstafel 121 zum Öffnen der äußeren Abschirmtür 114. Als Reaktion auf diese Betätigung bewegt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 114 zum Öffnen nach unten. Dann entlädt der Bediener die Kassette 40 aus der Pforte. Dann betätigt der Bediener die Bedienungstafel 121 erneut, um die Abschirmtür 114 zum Schließen anzuheben. Derart ist die Abfolge der Austrittsaufgabe vervollständigt. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 sendet einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.

Wenn der Bediener eine Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 über die Einlaßpforte 116 eingeben will, betätigt der Bediener die Bedienungstafel 121, damit die äußere Abschirmtür 114 zum Öffnen herunter bewegt wird. Die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 liefert eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121, die anzeigt, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert werden kann. Der Bediener, der diese Nachricht liest, lädt die Kassette 40 auf die Pforte 116 und betätigt dann die Bedienungstafel 121 erneut. Als Reaktion auf diese Betätigung detektiert die Lagerungsvorrichtung 36, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert ist, wodurch die äußere Abschirmtür 114 zum Schließen angehoben beziehungsweise hochgefahren wird. Die Information, die in der ID-Karte 72 der relevanten Kassette 40 gespeichert ist, wird durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ausgelesen. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Als Reaktion darauf detektiert der Hostcomputer 50, daß ein Bediener eine Kassette 40 transportiert hat. Der Hostcomputer 50 sendet eine Eintrittsaufgabenanweisung für diese Kassette 40 an die Lagerungsvorrichtung 36. Die Lagerungsvorrichtung 36 steuert den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zu der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an, um die Eintrittsaufgabe zu vervollständigen.

Der Betrieb der äußeren Abschirmtür 122 wird im folgenden beschrieben. Eine Kassette 40 von der Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 wird auf einem Wagen 162 der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 zur Annäherung an die Pforte 98 befördert. Wenn der Wagen 162 an der Pforte 98 ankommt, sendet die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 eine Anfrage an die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 über das Kommunikationskabel 58, daß die Kassette 40 auf dem Wagen 162 auf der Pforte 98 zu plazieren ist.

Die Lagerungsvorrichtung 36, die diese Anforderung empfängt, bewegt die äußere Abschirmtür 122 zum Öffnen seitwärts und steuert dann die Hubvorrichtung 124 zum Anheben der Pforte 98 an. Wenn diese Hubaufgabe vervollständigt ist, steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die Übertragungsvorrichtung 82 derart an, daß die Kassette 40 auf dem Wagen 162 zu der Pforte 98 transferiert wird. Dann steuert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die Hubvorrichtung 124 so an, daß die Pforte 98, auf welcher die Kassette 40 gehalten ist, nach unten bewegt wird. Wenn dieser Schiebebetrieb vervollständigt ist, schließt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 122 und steuert den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der Kassette 40 auf die Lagerungsvorrichtungsplatte 96 an. Wenn diese Abfolge der Aufgabe vervollständigt ist, sendet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 einen Bericht, daß die Aufgabe vervollständigt ist, an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 über das Kommunikationskabel 58. Wenn die Kassette 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert ist, auf einen Wagen 162 zu entladen ist, antwortet die Lagerungsvorrichtung 36 auf eine Anweisung von der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 mit dem Ausführen einer Austrittsaufgabe unter Verwendung des Lagerungsvorrichtungskrans 80, der äußeren Abschirmtür 122 und der Hubvorrichtung 124 und der Übertragungsvorrichtung 82 in einer Abfolge, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen Abfolge ist.

Durch das Vorsehen einer entsprechenden beziehungsweise geeigneten Tür an der äußeren Begrenzung der Lagerungsvorrichtung 36 bezüglich der Einlaßlieferungspforte 104, der Auslaßlieferungspforte 100, der Pforte 98, der Einlaßpforte 116 und der Einlaßpforte 118 zur Abschirmung gegen die äußere Atmosphäre kann das Innere der Lagerungsvorrichtung 36 von dem äußeren getrennt beziehungsweise isoliert werden.

Die herkömmliche Lagerungsvorrichtung 36 war durch die Einlaßlieferungspforte 104, die Auslaßlieferungspforte 100, die Pforte 98, die Einlaßpforte 116 und die Auslaßpforte 118 offen zu der Umgebung. Es gab ein Problem dahingehend, daß Staub und Dunst in die Lagerungsvorrichtung 36 eingebracht wurden, so daß sie daran anhafteten und einen Wafer 70, der in einer Kassette 40 gelagert ist, verschlechterten. Jedoch liefert die Struktur der vorliegenden Erfindung den Vorteil, daß Staub und Dunst nicht in die Lagerungsvorrichtung 36 eintreten und den Wafer 70 in der gelagerten Kassette 40 verschlechtern werden.

Zum Zwecke der Trennung des Inneren von dem Äußeren weist die Lagerungsvorrichtung 36 eine äußere Abschirmtür 122 auf der Seite der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und eine Hubvorrichtung 124 für die Pforte 98, eine äußere Abschirmtür 90 auf der Seite des automatischen Transportierers 38 für die Auslaßlieferungspforte 100 und die Einlaßlieferungspforte 104 und eine äußere Abschirmtür 114 für die Einlaß- und Auslaßpforten 116 und 118 auf. Das Innere der Lagerungsvorrichtung 36 wird mit dem Äußeren kommunizieren beziehungsweise in Verbindung stehen, wenn diese Abschirmtüren geöffnet sind, so daß der abgeschirmte Zustand zerstört wird.

Die Lagerungsvorrichtung 36, die in den Fig. 4 bis 6 gezeigt ist, kompensiert dieses Problem wie es im folgenden ausgeführt wird. Die Lagerungsvorrichtung 36 weist eine innere Abschirmtür 110 auf der Seite des Lagerungsvorrichtungskrans 80 zusätzlich zu der äußeren Abschirmtür 122 und der Hubvorrichtung 124 auf. Die Lagerungsvorrichtung 36 weist außerdem eine innere Abschirmtür 92 an der Seite des Lagerungsvorrichtungskrans 80 zusätzlich zu der äußeren Abschirmtür 90 auf. Desweiteren weist die Lagerungsvorrichtung 36 eine innere Abschirmtür 112 auf der Seite des Lagerungsvorrichtungskrans 80 zusätzlich zu der äußeren Abschirmtür 114 auf.

Der Betrieb dieser Abschirmtüren wird im folgenden kurz beschrieben. Alle diese Abschirmtüren sind geschlossen, wenn die Lagerungsvorrichtung 36 nicht in Betrieb ist.

Der Betrieb der inneren Abschirmtür 92 wird zuerst beschrieben. Wenn eine Ladeanfrage von einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 geliefert wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus den Kassetten 40, die in der relevanten Lagerungsvorrichtung 36 gelagert sind, die zu bearbeiten ist. Dann sendet der Hostcomputer 50 eine Austrittsaufgabenanweisung an die relevante Lagerungsvorrichtung 36. Als Reaktion öffnet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 92 dadurch, daß sie zum Absenken gebracht wird. Dann befördert der Lagerungsvorrichtungskran 80 die Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 zu der Auslaßlieferungspforte 100. Wenn der Betrieb des Lagerungsvorrichtungskrans 80 endet, schließt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 92 dadurch, daß sie zum Anheben gebracht wird. Dann öffnet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 und steuert die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 zum Verschieben der Kassette 40 von der Auslaßlieferungspforte 100 zu der Auslaßpforte 86 an.

Wenn die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 aufzunehmen ist, öffnet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 90 und steuert die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 derart an, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 88 zu der Einlaßlieferungspforte 104 bewegt wird. Wenn dieser Transfer vervollständigt ist, wird die äußere Abschirmtür 90 geschlossen. Dann bewegt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 92 zum Öffnen nach unten. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 transferiert die Kassette 40 auf der Einlaßlieferungspforte 104 zu der Lagerungsvorrichtungsplatte 96. Wenn diese Transferaufgabe vervollständigt ist, schließt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 92 durch Anheben derselben. Derart wird die Abfolge (der Schritte) der Eintrittsaufgaben zum Aufnehmen (einer Kassette) von der Einlaßpforte 88 vervollständigt. Dadurch, daß immer entweder die innere Abschirmtür 92 oder die äußere Abschirmtür 90 geschlossen sind, kann eine Kommunikation zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Lagerungsvorrichtung 36 vollständig unterbunden beziehungsweise verhindert werden.

Der Betrieb der inneren Abschirmtür 112 wird im folgenden beschrieben. Wenn eine Ladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 geliefert wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette 40 aus den Kassetten 40, die in der Lagerungsvorrichtung 36 gelagert sind, die zu bearbeiten ist. Dann wird eine Austrittsaufgabenanweisung an die relevante Lagerungsvorrichtung 36ausgegeben. Auf das Empfangen der Austrittsaufgabenanweisung hin öffnet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 112 dadurch, daß sie sie zum Absenken bringt. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 transferiert die Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96 zu der Auslaßpforte 118. Dann schließt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 112. Als nächstes wird eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36 geliefert, die das Entladen der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 erlaubt. Entsprechend einer Betätigung über die Bedienungstafel 121 öffnet die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die äußere Abschirmtür 114. Der Bediener entlädt dann die Kassette 40 durch beziehungsweise über diese Pforte.

Wenn der Bediener eine Kassette 40 in die Lagerungsvorrichtung 36 über die Einlaßpforte 116 eingibt, reagiert die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 auf eine Betätigung der Bedienungstafel 121 durch den Bediener mit dem Öffnen der äußeren Abschirmtür 114, und es wird die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 plaziert. In dem Zustand, in dem die äußere Abschirmtür 114 geschlossen ist, verursacht die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64, daß die Information, die auf der ID-Karte 72 der Kassette 40, die auf der Einlaßpforte 116 plaziert ist, aufgezeichnet ist, durch den ID-Karten-Leser/Schreiber 120 ausgelesen wird. Die ausgelesenen Daten werden an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt. Der Hostcomputer 50 detektiert, daß eine Kassette 40 durch den Bediener befördert worden ist, entsprechend dieses Berichtes und sendet eine Eintrittsaufgabenanweisung für die Kassette 40 an die Lagerungsvorrichtung 36. Als Reaktion öffnet die Lagerungsvorrichtungssteuerung die innere Abschirmtür 112 dadurch, daß sie dieselbe zum Absenken bringt. Der Lagerungsvorrichtungskran 80 wird zum Transferieren der Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 auf die Lagerungsvorrichtungsplatte 96 angesteuert. Wenn diese Lagerungsaufgabe vervollständigt ist, schließt die Lagerungsvorrichtungssteuerung 64 die innere Abschirmtür 112 durch Anheben derselben. Derart wird die Eintrittsaufgabe über die Einlaßpforte 116 vervollständigt. Dadurch, daß die innere Abschirmtür 112 oder die äußere Abschirmtür 114 immer geschlossen sind, kann eine Kommunikation zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Lagerungsvorrichtung 36 vollständig verhindert beziehungsweise unterbunden werden.

Der Betrieb der inneren Abschirmtür 110 wird im folgenden beschrieben. Eine Kassette 40, die auf einem Wagen 162 der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 von einer Quellen-Lagerungsvorrichtung 36 transportiert worden ist, wird zu der Pforte 98 durch die äußere Abschirmtür 122, die Hubvorrichtung 124 und die Transfervorrichtung 82 befördert. Hier ist die Pforte 98 in der unteren Position angeordnet, und die äußere Abschirmtür 122 ist geschlossen. Die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 öffnet die innere Abschirmtür 110 dadurch, daß sie dieselbe zum Absenken bringt. Die Kassette 40 auf der Pforte 98 wird auf die Lagerungsvorrichtungsplatte 96 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80 transferiert. Wenn diese Lagerungsaufgabe vervollständigt ist, bringt die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtungssteuerung 66 die innere Abschirmtür 110 zum Zurückkehren in ihre vorherige Position, d. h. in den geschlossenen Zustand. Derart wird die Abfolge (der Schritte) der Aufgabe vervollständigt.

Wenn eine Kassette 40 in der Lagerungsvorrichtung 36 auf einen Wagen 162 zu entladen ist, wird die Kassette 40 durch den Lagerungsvorrichtungskran 80, die innere Abschirmtür 110, die äußere Abschirmtür 122, die Hubvorrichtung 124 und die Übertragungsvorrichtung 82 in einer Abfolge, die entgegengesetzt zu der oben beschriebenen Abfolge ist, transferiert. Durch Einstellen, daß eine der beiden Türen, die innere Abschirmtür 110 oder die äußere Abschirmtür 122, immer geschlossen ist, kann eine Kommunikation zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Lagerungsvorrichtung 36 vollständig unterbunden beziehungsweise verhindert werden.

Durch das Vorsehen von Türen an der Außenseite und der Innenseite der Lagerungsvorrichtung bezüglich der Pforte 104, der Auslaßlieferungspforte 100, der Pforte 98, der Einlaßpforte 116 und der Auslaßpforte 118 kann das Innere der Lagerungsvorrichtung 36vollständig von dem Äußeren getrennt beziehungsweise isoliert werden.

Das herkömmliche Problem des Staubs und des Dunstes, die in die Lagerungsvorrichtung 36 aufgrund der Kommunikation mit der Atmosphäre über die Einlaßlieferungspforte 104, die Auslaßlieferungspforte 100, die Pforte 98, die Einlaßpforte 116 und die Auslaßpforte 118 eintreten und einen Wafer 70 in einer gelagerten Kassette 40 verschlechtern, wird eliminiert.

Die Lagerungsvorrichtungen 36 und 190 sind mit einem ID-Karten-Leser/Schreiber 120 an der Auslaßpforte 118 beziehungsweise der Auslaßpforte 210 zum Lesen von Daten auf der ID-Karte 72, die an der Kassette 40 angebracht ist, vorgesehen.

Der ID-Karten-Leser/Schreiber 120, der an der Auslaßpforte 118 angebracht ist, wird im folgenden beschrieben. Es wird der Fall eines Betriebes der Lagerungsvorrichtung 36 und der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die eine Bearbeitung bei einer Kassette 40, die von der Lagerungsvorrichtung 36 ausgegeben worden ist, ausführen wird, wenn ein automatischer Transportierer 38 nicht vorgesehen (oder verfügbar) ist, betrachtet. Wenn eine Kassettenladeanfrage von der Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 geliefert wird, sucht der Hostcomputer 50 nach einer Kassette, die bearbeitet werden kann, in der Lagerungsvorrichtung 36. Die Austrittsaufgabe wird initiiert, wenn es eine Kassette 40 gibt. Der Hostcomputer 50 in der Phase der Austrittsaufgabe sendet eine Transportaufgabenanweisung für einen Transport einer Kassette 40 auf eine Lagerungsvorrichtungsplatte 96 auf die Auslaßpforte 118 an die Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58.

Die Lagerungsvorrichtung 36, die eine Transportaufgabenanweisung empfängt, steuert den Lagerungsvorrichtungskran 80 zum Transferieren der Kassette 40 zu der Auslaßpforte 118 an. Die Lagerungsvorrichtung 36 liest die Daten, die auf der ID-Karte 72 der Kassette 40 aufgezeichnet sind, unter Verwendung des ID-Karten-Leser/Schreibers 120, der an der Auslaßpforte 118 angebracht ist, aus. Die ausgelesen Information wird an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58 gesandt.

Auf das Empfangen dieses Berichtes hin vergleicht der Hostcomputer 50 die auf die Auslaßpforte 118 entladene Kassette 40 mit einer Kassette 40, die einer Austrittsaufgabenanweisung entspricht, um zu bestätigen, ob sie identisch sind. Dann wird eine ID-Karten-Schreibaufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36 über das Kommunikationskabel 58 gesandt, damit der Name der nächsten Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in die ID-Karte 72 eingeschrieben wird.

Die Lagerungsvorrichtung 36, die die ID-Karten-Schreibaufgabenanweisung empfängt, sendet die Information an den ID-Karten-Leser/Schreiber 120, damit der Name der nachfolgenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 in die ID-Karte 72 eingeschrieben wird, die an der Kassette 40 angebracht ist. Die ID-Karte 72, in die der Name der Vorrichtung eingeschrieben ist, liefert eine Anzeige des Namens auf ihrer eigenen Anzeigeneinheit 74. Wenn dieser Schreibbetrieb vervollständigt ist, wird ein Bericht, daß die Schreibaufgabe vervollständigt ist, an den Hostcomputer 50 auf einem Weg, der entgegengesetzt zu dem oben beschriebenen ist, geliefert.

Auf das Empfangen des Berichtes hin sendet der Hostcomputer 50 eine Aufgabenanweisung an die Lagerungsvorrichtung 36, um ein Entladen der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 durch einen Bediener zu erlauben. Auf das Empfangen der Aufgabenanweisung liefert die Lagerungsvorrichtung 36 eine Anzeige auf der Bedienungstafel 121 der Lagerungsvorrichtung 36, die ein Entladen der Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 erlaubt.

Der Bediener, der diese Nachricht liest, entlädt die Kassette 40 aus der Auslaßpforte 118 und betätigt die Bedienungstafel 121, um der Lagerungsvorrichtung 36 mitzuteilen, daß die Entladeaufgabe vervollständigt ist. Als Reaktion sendet die Lagerungsvorrichtung 36 einen Vervollständigungsbericht an den Hostcomputer 50 über das Kommunikationskabel 58.

Der Bediener, der die Kassette 40 entladen hat, muß sich nicht Terminal 56 nähern, um die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu detektieren, die die Ladeanfrage ausgegeben hat, da die Information auf der Anzeigeeinheit 74 der ID-Karte 72 geliefert wird. Der Bediener kann die Kassette 40 direkt zu dem relevanten Kassettenstand 172, 182 der entsprechenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 befördern.

Durch Anbringen des ID-Karten-Lesers/Schreibers 120 an der Auslaßpforte 118 der Lagerungsvorrichtung 36 kann der Hostcomputer 50 den Namen der nachfolgenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34, die die Bestimmung der Kassette 40 ist, auf die Anzeigeeinheit 74 der ID-Karte 72, die an dieser Kassette 40 angebracht ist, schreiben.

Da sich der Bediener nicht dem Terminal 56 des Hostcomputers 50 nähern muß, um die Bestimmungs-Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 zu identifizieren, wird die Zeit für den Aufgabenbetrieb, das heißt für die Aufgabenbearbeitung, ökonomischer genutzt beziehungsweise verkürzt.

Der Bediener kann nun die Kassette 40 direkt zu der entsprechenden Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 befördern, indem er den Namen überprüft, der auf der Anzeigeeinheit 74 der ID-Karte 72, die an der Kassette 40 angebracht ist, geliefert wird.

Die ID-Karte 72 weist eine Kommunikationseinheit 76 auf, die an der Bodenebene derselben angeordnet ist. Durch diese Anordnung kann bei der Lagerungsvorrichtung 36 der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 unter dem Kassettenempfänger 220 entsprechend der Position der Kommunikationseinheit 76 der ID-Karte 72 auf der Einlaßpforte 116 und der Auslaßpforte 118 angeordnet werden beziehungsweise sein. Der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 kommuniziert mit der Kommunikationseinheit 76, die an dem Boden der ID-Karte 72 vorgesehen ist, über ein Kommunikationsfenster 132, daß an dem Kassettenempfänger 130 vorgesehen ist. Die Anordnung des ID-Karten-Lesers/Schreibers 120 unter dem Kassettenempfänger 220 liefert den Vorteil, daß, wenn die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 zu plazieren ist, oder wenn sie von der Auslaßpforte 118 zu entladen ist, so orientiert ist, daß die ID-Karte 72 derselben dem Bediener gegenüberliegt, so daß der ID-Karten-Leser/Schreiber 120 das Laden oder Entladen der Kassette 40 durch den Bediener nicht behindert.

Durch Anordnen des ID-Karten-Lesers/Schreibers 120 an der Einlaßpforte 116 oder der Auslaßpforte 118 unter dem Kassettenempfänger 220 kann die Halterungs- beziehungsweise Plazierungsorientierung der Kassette 40 so eingestellt beziehungsweise festgelegt werden, daß sie dem Bediener gegenüberliegt. Desweiteren können die Halterungsorientierungen der Kassette 40 auf der Lagerungsvorrichtungsplatte 96, der Einlaßlieferungspforte 104, der Auslaßlieferungspforte 100 und der Pforte 98 alle so eingestellt werden, daß sie nach außen gerichtet sind.

Das Problem, daß die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 eine Drehungsaufgabe zum Drehen der Kassette 40 während der Transferaufgabe auszuführen hat, da die Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßpforte 88 sich um 90° von der Orientierung der Kassette 40 an der Einlaßlieferungspforte 104 unterscheidet, wird eliminiert.

Das ähnliche Problem der Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84, die eine Drehungsaufgabe während der Transferaufgabe auszuführen hat, da die Orientierung der Kassette 40 an der Auslaßpforte 86 sich um 90° von der Orientierung der Kassette 40 an der Auslaßlieferungspforte 100 unterscheidet, wird ebenfalls eliminiert.

Das herkömmliche Problem, daß man Schwierigkeiten bei dem Bestätigen dessen, daß die Kassette 40 auf der Einlaßpforte 116 und beziehungsweise oder der Auslaßpforte 118 plaziert ist, hat, da die ID-Karte 72 der Kassette 40 nicht so orientiert ist, daß sie Bediener gegenüberliegt, ist gelöst.

Der Bediener kann nun leicht die Information lesen, die auf der Anzeigeeinheit 74 der ID-Karte 72 der Kassette 40 geliefert wird, die an der Einlaßpforte 116 und beziehungsweise der Auslaßpforte 118 plaziert ist. Durch Einstellen der Halterungsorientierung der Kassette 40 auf der Auslaßlieferpforte 100 identisch zu derjenigen auf der Auslaßpforte 86 und der Halterungsorientierung der Kassette 40 auf der Einlaßlieferungspforte 104 identisch zu derjenigen auf der Einlaßpforte 88 ist es nicht länger notwendig, die Kassette 40 während der Transferaufgabe Transferieren der Kassette 40 zwischen diesen Pforten durch die Vorwärtsbewegungsvorrichtung 84 um 90° zu drehen.

Das Anhaften von Staub, Dunst und ähnlichem auf dem Wafer 70 kann, abhängig von dem Bearbeitungsschritt für die Kassette 40, in der Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung kritisch sein oder nicht. Das bedeutet, daß die Anforderungen, die an die Lagerungsumgebung in der Lagerungsvorrichtung 36 gestellt werden, unterschiedlich sind. Eine Lagerungsvorrichtung 36, die mit einer äußeren Abschirmtür 90 einer inneren Abschirmtür 92, einer äußeren Abschirmtür 114, einer inneren Abschirmtür 112 und einer äußeren Abschirmtür 122 und einer inneren Abschirmtür 110 vorgesehen ist, oder eine Lagerungsvorrichtung 36, die ohne diese Abschirmtüren vorgesehen ist, können beide vorbereitet beziehungsweise hergestellt und entsprechend zur Lagerung einer Kassette 40 verwendet werden, die einem Herstellungsbearbeitungsschritt zu unterwerfen ist, abhängig davon, ob die Anforderungen bezüglich der Lagerungsumgebung hart beziehungsweise eine Abschirmung erfordernd sind oder nicht.

Durch verwenden einer Lagerungsvorrichtung 36 des Typs, der mit einer Abschirmtür vorgesehen ist oder nicht, zum Lagern der Kassette 40 entsprechend des Schrittes, der durch die Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 bei der Kassette 40 auszuführen ist, kann die Anforderung an eine harte beziehungsweise reine Lagerungsumgebung erfüllt werden, während die Verwendung der teuren Lagerungsvorrichtung 36 mit der Abschirmtür minimiert wird.

Bei dem Herstellungsprozeß für eine Halbleitervorrichtung gibt es verschiedene Herstellungsschritte, die einen Zeitraum nach einem gewissen Schritt und vor dem nächsten Schritt benötigen, und außerdem solche, bei denen die Umgebung zwischen den Schritten kritisch zu steuern ist. Die Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung kann beide Typen einer Lagerungsvorrichtung 36, diejenigen mit Abschirmtüren und diejenigen ohne Abschirmtüren, in einer gemischten Art und Weise verwenden. Der Hostcomputer 50 kann so aufgebaut sein, daß er die Information über den Herstellungsprozeß, die sich auf den Zeitraum zwischen dem Ende eines gewissen Prozesses bis zu dem Beginn des nächsten Prozesses bezieht und die sich auf die Umgebung zwischen diesen Prozessen bezieht, über den Terminal 54 erhält. Eine Lagerungsvorrichtung 36 des Typs mit Abschirmtüren kann bei dem Herstellungsprozeß verwendet werden, der unter harter Steuerung steht. Außerdem kann eine Transportsteuerung geliefert werden, bei der der Transportaufgabe zwischen den Lagerungsvorrichtungen unter Verwendung der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und zwischen einer Lagerungsvorrichtung 36 und einer Bearbeitungsvorrichtung 32, 34 unter Verwendung eines automatischen Transportierers 38 eine höhere Priorität zugeordnet wird, so daß sie schneller als andere Herstellungsschritte beziehungsweise Transportaufgaben ausgeführt werden kann.

Derart können Lagerungsvorrichtungen 36 des Typs mit und ohne Abschirmtüren in einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung vorgesehen werden. Der Hostcomputer 50 kann entsprechend eine Lagerungsvorrichtung 36 mit oder ohne Abschirmtüren entsprechend des Herstellungsprozesses verwenden. Außerdem kann eine Transportsteuerung bereitgestellt werden, bei der die Priorität einer Aufgabe entsprechend geändert wird beziehungsweise werden kann. Es ist daher möglich, die Anforderungen bezüglich des harten Zeitraums für die Transportaufgabe und die Aufgabenumgebung, während eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung 42 und ein automatischer Transportierer 38 verwendet werden, ebenso wie in anderen Prozeßschritten zu erfüllen, wobei die Verwendung der teuren Lagerungsvorrichtung 36 mit Abschirmtüren minimiert ist.

Obwohl die vorliegende Erfindung im Detail beschrieben und illustriert worden ist, ist klar zu verstehen, daß das selbe nur zum Zwecke der Illustration und des Beispiels dient und nicht als Begrenzung verstanden werden kann. Der Umfang der vorliegenden Erfindung wird nur durch die Begriffe der anhängenden Ansprüche begrenzt.


Anspruch[de]
  1. 1. Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung (30) mit

    einer Lagerungsvorrichtung (190) zum Lagern einer Mehrzahl von Halbleiterwaferkassetten (40),

    einer Bearbeitungsvorrichtung (32, 34) zum Anwenden eines Prozesses auf eine Halbleiterwaferkassette (40),

    einem automatischen Transportierer (38) zum Ausführen einer Transportaufgabe zum Transport der Halbleiterwaferkassette (40) zwischen der Lagerungsvorrichtung (190) und der Bearbeitungsvorrichtung (32, 34),

    einer Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42) zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport der Halbleiterwaferkassette (40) zwischen einer Quellen-Lagerungsvorrichtung (190) und einer Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung (190), und

    einem Hostcomputer (50) zum Liefern einer Steuerung der Lagerungsvorrichtung (190), der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42), des automatischen Transportierers (38) und der Bearbeitungsvorrichtung (32, 34),

    wobei die Lagerungsvorrichtung (190) eine auf eine manuelle Ausgabe bezogene Auslaßpforte (210) für eine Entnahme der Halbleiterwaferkassette (40) durch einen Bediener aufweist,

    bei der die Anzahl der Halbleiterwaferkassetten (40), die auf der auf eine manuelle Ausgabe bezogenen Auslaßpforte (210) plaziert werden können, entsprechend einer Beziehung zu der Anzahl der Halbleiterwaferkassetten (40), die auf einmal durch die Bearbeitungsvorrichtung (32, 34) angefordert werden können, bestimmt ist.
  2. 2. Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung nach Anspruch 1, bei der

    die Lagerungsvorrichtung (190) weiter eine auf eine manuelle Eingabe bezogene Einlaßpforte (260) für eine Eingabe der Halbleiterwaferkassette (40) durch einen Bediener aufweist,

    bei der die Anzahl der Halbleiterwaferkassetten (40), die auf der auf eine manuelle Eingabe bezogene Einlaßpforte (260) plaziert werden können, gleich 2 ist.
  3. 3. Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung nach Anspruch 2, bei der eine Entsprechung zwischen der auf eine manuelle Eingabe bezogene Einlaßpforte (260) und der Bearbeitungsvorrichtung (32, 34) nicht verwirklicht ist.
  4. 4. Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der

    die Lagerungsvorrichtung (190) weiter eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Einlaßpforte (198) für eine Eingabe der Halbleiterwaferkassette (40) durch automatischen Transportierer (38), und

    eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Auslaßpforte (196) für eine Ausgabe der Halbleiterwaferkassette (40) an den automatischen Transportierer (38) aufweist,

    bei der die Anzahl der Halbleiterwaferkassetten (40), die auf der auf einen automatischen Transportierer bezogenen Einlaßpforte (198) plaziert werden können, entsprechend der Beziehung zu der Anzahl der Halbleiterwaferkassetten (40), von der durch die Bearbeitungsvorrichtung (32, 34) gefordert werden kann, daß sie auf einmal entladen werden, bestimmt ist, und

    bei der die Anzahl der Halbleiterwaferkassetten (40), die auf einmal durch den automatischen Transportierer (38) transportiert werden können, entsprechend der Beziehung zu der Anzahl der Halbleiterwaferkassetten (40), die auf der auf einen automatischen Transportierer bezogenen Einlaßpforte (198) und der auf einen automatischen Transportierer bezogenen Auslaßpforte (196) plaziert werden können, bestimmt ist.
  5. 5. Lagerungsvorrichtung (36), die einer Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung (30), die

    eine Lagerungsvorrichtung (36) zum Lagern einer Mehrzahl von Halbleiterwaferkassetten (30),

    eine Bearbeitungsvorrichtung (32, 34) zum Anwenden eines Prozesses auf eine Halbleiterwaferkassette (40),

    einen automatischen Transportierer (38) zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport der Halbleiterwaferkassette (40) zwischen der Lagerungsvorrichtung (36) und der Bearbeitungsvorrichtung (32, 34),

    eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42) zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport der Halbleiterwaferkassette (40) zwischen einer Quellen-Lagerungsvorrichtung (36) und einer Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung (36), und

    einen Hostcomputer (50) zum Liefern einer Steuerung der Lagerungsvorrichtung (36), der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42), des automatischen Transportierers (38) und der Bearbeitungsvorrichtung (32, 34), aufweist,

    verwendet wird, wobei die Lagerungsvorrichtung (36),

    eine auf eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogene Pforte (98) zur Eingabe/Ausgabe der Halbleiterwaferkassette (40) durch/an die Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42),

    eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Einlaßpforte (88) zur Eingabe der Halbleiterwaferkassette (40) durch den automatischen Transportierer (38),

    eine auf einen automatischen Transportierer bezogene Auslaßpforte (86) zur Ausgabe der Halbleiterwaferkassette (40) an den automatischen Transportierer (38),

    eine Pforte (116, 118) für eine manuelle Eingabe/Ausgabe der Halbleiterwaferkassette (40) durch einen Bediener,

    eine erste Abschirmtür (110, 122), die an der auf eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung bezogenen Pforte (98) vorgesehen ist,

    eine zweite Abschirmtür (90, 92), die an der auf einen automatischen Transportierer bezogenen Einlaßpforte (88) vorgesehen ist,

    eine dritte Abschirmtür (90, 92), die an der auf einen automatischen Transportierer bezogenen Auslaßpforte (86) vorgesehen ist, und

    eine vierte Abschirmtür (112, 114), die an der auf eine manuelle Eingabe/Ausgabe bezogenen Pforte (116, 118) vorgesehen ist,

    aufweist.
  6. 6. Lagerungsvorrichtung nach Anspruch 5, bei der die erste Abschirmtür (110, 122), die zweite Abschirmtür (90, 92), die dritte Abschirmtür (90, 92) und die vierte Abschirmtür (112, 114) entsprechend jeweils eine Doppelabschirmtür sind.
  7. 7. Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung (30), die

    eine Lagerungsvorrichtung (36) zum Lagern einer Mehrzahl von Halbleiterwaferkassetten (40),

    eine Bearbeitungsvorrichtung (32, 34) zum Anwenden eines Prozesses auf die Halbleiterwaferkassette (40),

    einen automatischen Transportierer (38) zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport der Halbleiterwaferkassette (40) zwischen der Lagerungsvorrichtung (36) und der Bearbeitungsvorrichtung (32, 34),

    eine Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42) zum Ausführen einer Transportaufgabe für einen Transport der Halbleiterwaferkassette (40) zwischen einer Quellen-Lagerungsvorrichtung (36) und einer Bestimmungs-Lagerungsvorrichtung (36), und

    einen Hostcomputer (50) zum Liefern einer Steuerung der Lagerungsvorrichtung (36), der Zwischenlagerungsvorrichtungstransportvorrichtung (42), des automatischen Transportierers (38) und der Bearbeitungsvorrichtung (32, 34) aufweist,

    bei der die Halbleiterwaferkassette (40) eine ID-Karte (72), die mit dieser verbunden ist, zur Speicherung von Daten aufweist,

    bei der die ID-Karte (72) ein Sender- und -Empfänger-Mittel (76), das an der Unterseite der ID-Karte (72) angeordnet ist, zum Übertragen und Empfangen von Daten aufweist, und

    bei der die Lagerungsvorrichtung (36)

    eine auf eine manuelle Eingabe/Ausgabe bezogene Pforte (116, 118) zur Eingabe/Ausgabe der Halbleiterwaferkassette (40) durch/an einen Bediener, und

    einen ID-Karten-Leser/Schreiber (120), der der ID-Karte (72) zum Übertragen und Empfangen von Daten gegenüberliegt,

    aufweist.






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