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Dokumentenidentifikation EP0947291 11.11.1999
EP-Veröffentlichungsnummer 0947291
Titel Aufschlämmungsrückfluss-Vorrichtung und Verfahren in einer chemisch-mechanischen Poliervorrichtung
Anmelder Speedfam Co., Ltd., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder Iida, Shinya, Kanagawa-ken, JP;
Yoshida, Akitoshi, Kanagawa-ken, JP
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE
Sprache des Dokument En
EP-Anmeldetag 08.02.1999
EP-Aktenzeichen 991016932
EP-Offenlegungsdatum 06.10.1999
Veröffentlichungstag im Patentblatt 11.11.1999
IPC-Hauptklasse B24B 57/02
IPC-Nebenklasse B24B 37/04   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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