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Dokumentenidentifikation DE19916474A1 26.10.2000
Titel Bestrahlungsgerät
Anmelder IST METZ GmbH, 72622 Nürtingen, DE
Erfinder Schwarz, Bernd, 72622 Nürtingen, DE;
Weiß, Gustav, 72657 Altenriet, DE;
Fuchs, Günter, 72644 Oberboihingen, DE;
Ebinger, Klaus, 73257 Köngen, DE;
Jung, Joachim, 72622 Nürtingen, DE
Vertreter Wolf & Lutz, 70193 Stuttgart
DE-Anmeldedatum 13.04.1999
DE-Aktenzeichen 19916474
Offenlegungstag 26.10.2000
Veröffentlichungstag im Patentblatt 26.10.2000
IPC-Hauptklasse G21K 5/00
IPC-Nebenklasse B01J 19/08   B41F 23/04   
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft ein Bestrahlungsgerät insbesondere zur UV-Bestrahlung von mit einer UV-härtbaren Beschichtung versehenen Substraten, mit einer in einem Gehäuse (10) zwischen einem Reflektor (18) und einer auf das zu bestrahlende Objekt (16) ausrichtbaren Gehäuseöffnung (14) angeordneten, vorzugsweise als röhrenförmige Quecksilberlampe ausgebildeten langgestreckten Strahlungsquelle (12) für ultraviolette und/oder sichtbare elektromagnetische Strahlung und einem Kühlsystem (20) zur Abfuhr der durch die Strahlungsquelle (12) erzeugten Überschußwärme. Um einen kompakten, modularen Aufbau und gegebenenfalls eine sauerstoffreduzierte Bestrahlungszone zu schaffen, wird vorgeschlagen, daß das Kühlsystem (20) einen innerhalb des Gehäuses (10) angeordneten Kühlkreislauf (26) zur Umlaufkühlung der Strahlungsquelle (12) durch einen zwangsgeförderten, gegebenenfalls sauerstoffreduzierten Kühlgasstrom (28) aufweist.

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft ein Bestrahlungsgerät insbesondere zur UV-Bestrahlung von Objekten wie mit einer UV- härtbaren Beschichtung versehenen Substraten, mit einem Gehäuse, einer in dem Gehäuse zwischen einem Reflektor und einer auf das zu bestrahlende Objekt ausrichtbaren Gehäuseöffnung angeordneten, vorzugsweise als röhrenförmige Quecksilberlampe ausgebildeten langgestreckten Strahlungsquelle für ultraviolette und/oder sichtbare elektromagnetische Strahlung und einem Kühlsystem zur Abfuhr der durch die Strahlungsquelle erzeugten Überschußwärme.

Vorrichtungen dieser Art werden zur photochemischen Beeinflussung von Bestrahlungsobjekten in vielfältigen Anwendungen eingesetzt, insbesondere zum Vernetzen bzw. Härten von Beschichtungen, Druckfarben und Lacken auf zumeist flächigen Substraten wie Bedruckstoffen, aber auch zur Beaufschlagung von räumlichen Werkstücken und Formteilen. Vor allem beim Einbau in Druckmaschinen steht häufig nur geringer Bauraum zur Verfügung, und bei schnellem Durchlauf in der Drucklinie bzw. kurzen Taktzeiten muß mit hoher Lampenleistung von bis zu einigen 10 kW pro Geräteeinheit gearbeitet werden. Die somit erforderlichen Kühlsysteme beruhen bisher darauf, daß zumindest ein Teil der überschüssigen Wärme über einen extern erzeugten, linear durch das Gerät hindurchgeleiteten Umgebungsluftstrom abgeführt wird. Neben klimatechnischen Problemen im Arbeitsraum aufgrund des Luftwechsels und der begrenzten Kühllast ergeben sich Schwierigkeiten beim Härten von UV-vernetzbaren Beschichtungsmaterialien, wo Sauerstoff in der Bestrahlungszone zu einer Inhibierung der Radikalkettenpolymerisation führt. In diesem Zusammenhang wurde bereits vorgeschlagen, die Bestrahlungszone am Objekt durch eine UV-lichtdurchlässige Quarzscheibe von dem durch das Aggregat geführten Kühlluftstrom zu trennen und im Objektbereich eine sauerstoffreduzierte Atmosphäre zu erzeugen. Als nachteilig hat sich dabei neben dem erheblichen Bauaufwand herausgestellt, daß an der Quarzscheibe Verschmutzungs- und Absorptionsproblemen auftreten und der Abstand zwischen Strahlungsquelle und Objekt unverhältnismäßig erhöht wird.

Ausgehend hiervon liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Gerät der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, daß ein einfacher und kompakter Aufbau ermöglicht wird, die Umgebung durch den Betrieb nicht beeinträchtigt wird und vielfältige Einsatzmöglichkeiten insbesondere bei UV-Härtungen eröffnet werden.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird die im Patentanspruch 1 angegebene Merkmalskombination vorgeschlagen. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.

Die Erfindung geht von dem Gedanken aus, weitgehend autark und modular einsetzbare Einheiten dadurch zu schaffen, daß der Kühlgasstrom innerhalb des Gerätegehäuses erzeugt und geführt wird. Demgemäß wird vorgeschlagen, daß das Kühlsystem einen innerhalb des Gehäuses angeordneten Kühlkreislauf zur Umlaufkühlung der Strahlungsquelle durch einen zwangsgeförderten Kühlgasstrom aufweist. Damit wird ein platzsparender kompakter Aufbau frei von Zu- und Abluftkanälen und ohne Beeinträchtigung der Umgebungsatmosphäre erzielt.

Vorteilhafterweise weist der Kühlkreislauf ein in dem Gehäuse angeordnetes Gebläse zur Erzeugung des Kühlgasstromes auf. Dabei kann eine an die Wärmeerzeugung einfach anpaßbare gleichmäßige Kühlung dadurch realisiert werden, daß das Gebläse durch mindestens einen mit seiner Saugseite der Strahlungsquelle längsseitig zugewandten Lüfter gebildet ist. Hinsichtlich eines modularen Geräteaufbaus ist es von Vorteil, wenn das Gebläse durch mehrere über die Länge der Strahlungsquelle verteilt angeordnete Lüfter, vorzugsweise Radiallüfter gebildet ist.

Um die Kühlleistung den Betriebsbedingungen der jeweils ausgeführten Anlage gut anpassen zu können, ist es von. Vorteil, wenn die Fördermenge des Gebläses nach Maßgabe des Ausgangssignals eines in dem Gehäuse angeordneten Temperaturfühlers vorzugsweise durch Drehzahlsteuerung der Lüfter selbsttätig einstellbar ist.

Eine optimale, großvolumige Umlaufströmung kann vorteilhaft dadurch erreicht werden, daß der Kühlgasstrom im wesentlichen senkrecht zur Längsrichtung der Strahlungsquelle zirkulierend und über deren Länge sich räumlich erstreckend geführt ist.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist der Kühlkreislauf einen durch die Gehäusewandung nach außen begrenzten, von dem Gebläse mit Druck beaufschlagten Mantelraum auf. Durch diese Maßnahme wirken sich eventuelle Undichtigkeiten nicht negativ aus. Eine weitere Verbesserung in dieser Hinsicht kann dadurch erreicht werden, daß der Kühlkreislauf eine saugseitig mit dem Gebläse verbundene Ansaugkammer aufweist, deren Wandung gegenüber der Gehäusewandung einen auf der Druckseite des Gebläses angeordneten Mantelraum als Rückströmkanal für das Kühlgas begrenzt. Damit ist es auch möglich, großflächig laminare Strömungsbedingungen bei der Gasrückführung durch die Bestrahlungszone einzuhalten.

Eine baulich vorteilhafte Ausführung sieht vor, daß die Ansaugkammer durch einen kastenförmigen Gehäuseeinsatz gebildet ist, wobei der Gehäuseeinsatz die Strahlungsquelle längsseitig haubenartig überdeckt und mit einer Durchstrahlöffnung der Gehäuseöffnung zugewandt ist. Dabei ist es für die vorgesehene Strömungsführung günstig, wenn der Gehäuseeinsatz an seiner der Durchstrahlöffnung gegenüberliegenden Stirnseite mindestens einen Auslaß zum saugseitigen Anschluß eines vorzugsweise als Radiallüfter ausgebildeten Lüfters aufweist.

Zur geräteintegrierten Rückkühlung des Kühlgasstromes wird vorgeschlagen, daß in dem Kühlkreislauf ein mit Kühlmittel, vorzugsweise Kühlwasser beaufschlagbarer Wärmeaustauscher angeordnet ist. Ein hinsichtlich der Baulänge variabler Geräteaufbau wird dadurch erreicht, daß der Wärmeaustauscher durch mehrere in dem Gehäuse in Längsrichtung der Strahlungsquelle aneinandergesetzte Wärmeaustauschermodule gebildet ist.

Ozon sowie störende, insbesondere vom Objekt abdampfende Fremdsubstanzen lassen sich dadurch eliminieren, daß in dem Kühlkreislauf ein von dem Kühlgasstrom durchströmbares Aktivkohlefilter angeordnet ist. Dabei ist es weiter von Vorteil, wenn die Strahlungsquelle, der Reflektor, der Wärmeaustauscher und das Aktivkohlefilter in der Ansaugkammer in Reihe nacheinander durchströmbar angeordnet sind.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist es vorgesehen, daß der Kühlkreislauf ein unter den Bestrahlungsbedingungen chemisch reaktionsträges oder reaktionsunfähiges Inertgas als Kühlgas enthält, um so auch bei diffizilen Härtungen optimale Reaktionsbedingungen zu schaffen. Dabei kann der Kühlkreislauf sauerstoffreduzierte Luft oder Stickstoff oder Kohlendioxid als Kühlgas enthalten und vorteilhafterweise über einen in die Ansaugkammer mündenden Gehäuseanschluß mit Kühlgas befüllt werden. Zur Vermeidung von Fremdgaszutritt wird vorgeschlagen, daß das Kühlgas im gesamten Kühlkreislauf unter Überdruck gegen Atmosphäre gehalten ist. Eine weitere Verbesserung wird dadurch erreicht, daß die Bestrahlungszone zwischen dem Rand der Gehäuseöffnung und dem daran vorbeigeführten Objekt durch eine Abschirmvorrichtung gegen Zutritt von Umgebungsluft geschützt ist. Zur Einhaltung vorgegebener Betriebsbedingungen ist ein zur Erfassung des Sauerstoffgehalts des Kühlgasstromes ausgebildeter Sauerstoffsensor vorgesehen, dessen Meßstelle im Bereich der Gehäuseöffnung angeordnet ist.

Im folgenden wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung in schematischer Weise dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Die einzige Figur zeigt einen Vertikalschnitt durch ein Bestrahlungsgerät zur UV-Bestrahlung eines in der gezeigten Anwendung bahnförmigen Substrats als Bestrahlungsobjekt.

Das in der Zeichnung dargestellte Bestrahlungsgerät besteht im wesentlichen aus einem Gehäuse 10, einer in dem Gehäuse 10 angeordneten röhrenförmig-langgestreckten Strahlungsquelle 12 zur UV-Bestrahlung des an einer Gehäuseöffnung 14 vorbeigeführten Substrats 16, einem die Strahlungsquelle 12 halbschalig umgebenden Reflektor 18 sowie einem insgesamt mit 20 bezeichneten Kühlsystem zur Abfuhr der in dem Gehäuse durch den Betrieb der Strahlungsquelle anfallenden Überschußwärme.

Die Strahlungsquelle 12 ist durch eine gegebenenfalls mit Metallhalogeniden dotierte Quecksilberdampf-Gasentladungslampe gebildet, in deren Entladungsröhre durch stromstarke Bogenentladung neben UV-Emission und sichtbarem Licht eine erhebliche Menge an IR-Strahlung bzw. Wärme erzeugt wird. Ein Teil davon dringt durch den für IR-Strahlung durchlässigen Reflektor 18 in ein nachgeordnetes, über die Länge der Strahlungsquelle 12 bzw. des Reflektors 18 sich erstreckendes Absorberprofil 22 ein und wird von dort über von einer Kühlflüssigkeit durchströmte Kühlkanäle 24 abgeleitet.

Zur weiteren Wärmeabfuhr weist das Kühlsystem 20 einen innerhalb des Gehäuses 10 angeordneten, insgesamt mit 26 bezeichneten Kühlkreislauf auf, in welchem ein Kühlgasstrom (Strömungspfeile 28) zur Umlaufkühlung der Strahlungsquelle 12 im Gehäuseinneren mittels Gebläse 30 zwangsweise umgewälzt und dabei über einen stromab von der Strahlungsquelle 12 angeordneten Wärmeaustauscher 32 zur Rückkühlung geleitet wird. Zu diesem Zweck ist der Innenraum des rechteckig-kastenförmigen Gehäuses 10 durch einen haubenartigen Gehäuseeinsatz 34 in zwei gegenläufig durchströmbare Strömungsräume unterteilt. Dabei bildet der Innenraum des Gehäuseeinsatzes 34 eine saugseitig mit dem Gebläse 30 verbundene Ansaugkammer 36, während der durch die Wandung 38 des Gehäuseeinsatzes 34 gegenüber der Gehäusewandung 40 begrenzte Mantelraum 42 als Rückströmkanal mit der Druckseite des Gebläses 30 kommuniziert.

Das Gebläse 30 ist durch mehrere über die Länge der Strahlungsquelle 12 bzw. des Gehäuses 10 verteilt angeordnete Radiallüfter 42 gebildet, deren Lüfterachse 44 senkrecht zur Strahlungsquelle 12 ausgerichtet ist uni die saugseitig über Ringstutzen 46 auf der Oberseite des Gehäuseeinsatzes 34 mit der Ansaugkammer 36 kommunizieren. Auf diese Weise wird der Kühlgasstrom wie durch die Strömungspfeile 28 dargestellt im wesentlichen senkrecht zur Längsrichtung der Strahlungsquelle 12 zirkulierend über deren Länge gleichmäßig umgewälzt. Im Falle einer Änderung der Lampenleistung (z. B. Stand- By-Betrieb) ist es vorgesehen, die Kühlgas-Fördermenge durch Regelung der Lüfterdrehzahl anzupassen, wobei das Ausgangssignal eines von dem Kühlgas oder der Strahlungsquelle beaufschlagten Temperaturfühlers 48 als Regelgröße auf eine nicht gezeigte Regeleinrichtung übertragen wird.

Einlaßseitig kommuniziert die Ansaugkammer 36 über die der rechteckförmigen Gehäuseöffnung 14 zugewandte Öffnung 50 des Gehäuseeinsatzes 34, welche durch einen als Blende wirkenden Profilteil 52 des Absorberprofils 22 längsseitig begrenzt wird. Um das Substrat 16 gegebenenfalls vor übermäßiger Strahlungsbeaufschlagung schützen zu können, ist eine Verschlußvorrichtung 54vorgesehen, welche sich vor der Blende 52 schließen läßt.

Das in die Ansaugkammer 36 seitlich von dem Mantelraum 42 her einströmende Kühlgas umspült zunächst den Mantel der Entladungsröhre 12 und strömt dann über einen Längsspalt im Scheitelbereich des Reflektors 18 durch das Absorberprofil 22 hindurch in den Wärmeaustauscher 32 ein, wo es über an Gehäusestutzen 58 eingespeistes Kühlwasser im Querstrom rückgekühlt wird. Stromab von dem Wärmeaustauscher 32 wird das Kühlgas durch ein Aktivkohlefilter 60 von Fremdstoffen, insbesondere von Ozon und substratseitig abdampfenden Substanzen gereinigt, bevor es über das Gebläse 30 und den Mantelraum 42 wieder zurückgeleitet wird. Grundsätzlich ist es auch möglich, den vorstehend beschriebenen Kühlkreislauf in umgekehrter Strömungsrichtung zu betreiben, um gereinigtes Kühlgas durch den Reflektor 56 zum Objekt 16 hin zu leiten und somit ein frühzeitiges Beschlagen der Reflektorfläche zu verhindern.

Ein wichtiger Zusatznutzen des Kühlkreislaufes 26 besteht in der Möglichkeit, gegen strahlungsinduzierte Reaktionen inertes Kühlgas einzusetzen, um dadurch im Bereich des Objekts 16 eine Inertisierung der Bestrahlungszone 62 zu erreichen. Zu diesem Zweck kann der Kühlkreislauf 26 über einen in die Ansaugkammer 36 mündenden Gehäuseanschluß 64 beispielsweise mit Stickstoff als Kühlgas befüllt werden. Durch diese Maßnahme kann der Sauerstoffgehalt im Bereich der Strahlungszone 62 reduziert werden, so daß störende Reaktionen durch Ozon vor allem beim Härten von UV-vernetzbaren Beschichtungen verhindert werden. Um die Bestrahlungszone 62 gegen Sauerstoffzutritt von außen abzuschirmen und übermäßige Kühlgasverluste zu vermeiden, ist eine Abschirmvorrichtung vorgesehen, welche zwischen dem Rand der Gehäuseöffnung 14 und der das Substrat 16 führenden wassergekühlten Gegenblende 66 beispielsweise über eine Einlaufrakel 68 und eine Auslaufschleuse 70 gegenüber dem durchlaufenden Substrat 16 abdichtet. Ein Sauerstoffsensor 72 ermöglicht über ein Schnüffelrohr 74 eine Erfassung des Sauerstoffgehalts im Bereich der Gehäuseöffnung 14.

Aufgrund seines kompakten Aufbaus kann das Bestrahlungsgerät auch unter beengten Einbauverhältnisses vielfältig eingesetzt werden. Es eignet sich zur Bestrahlung und Inertisierung nicht nur von bahnförmigen Substraten, sondern gleichwohl auch von strangförmigen und fadenförmigen Gebilden sowie räumlich geformten Werkstücken.


Anspruch[de]
  1. 1. Bestrahlungsgerät insbesondere zur UV-Bestrahlung von Objekten wie mit einer UV-härtbaren Beschichtung versehenen Substraten, mit einem Gehäuse (10), einer in dem Gehäuse (10) zwischen einem Reflektor (18) und einer auf das zu bestrahlende Objekt (16) ausrichtbaren Gehäuseöffnung (14) angeordneten, vorzugsweise als röhrenförmige Quecksilberlampe ausgebildeten langgestreckten Strahlungsquelle (12) für ultraviolette und/oder sichtbare elektromagnetische Strahlung und einem Kühlsystem (20) zur Abfuhr der durch die Strahlungsquelle (12) erzeugten Überschußwärme, dadurch gekennzeichnet, daß das Kühlsystem (20) einen innerhalb des Gehäuses (10) angeordneten Kühlkreislauf (26) zur Umlaufkühlung der Strahlungsquelle (12) durch einen zwangsgeförderten Kühlgasstrom (28) aufweist.
  2. 2. Bestrahlungsgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlkreislauf (26) ein in dem Gehäuse (10) angeordnetes Gebläse (30) zur Erzeugung des Kühlgasstromes (28) aufweist.
  3. 3. Bestrahlungsgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Gebläse (30) durch mindestens einen mit seiner Saugseite der Strahlungsquelle (12) längsseitig zugewandten Lüfter (42) gebildet ist.
  4. 4. Bestrahlungsgerät nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Gebläse (30) durch mehrere über die Länge der Strahlungsquelle (12) verteilt angeordnete Lüfter (42), vorzugsweise Radiallüfter gebildet ist.
  5. 5. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Fördermenge des Gebläses (30) nach Maßgabe des Ausgangssignals eines in dem Gehäuse (10) angeordneten Temperaturfühlers (48) vorzugsweise durch Drehzahlsteuerung der Lüfter (42) selbsttätig einstellbar ist.
  6. 6. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlgasstrom (28) im wesentlichen senkrecht zur Längsrichtung der Strahlungsquelle (12) zirkulierend und über deren Länge sich räumlich erstreckend geführt ist.
  7. 7. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlkreislauf (26) einen durch die Gehäusewandung (40) nach außen begrenzten, von dem Gebläse (30) mit Druck beaufschlagten Mantelraum (42) aufweist.
  8. 8. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlkreislauf (26) eine saugseitig mit dem Gebläse (30) verbundene Ansaugkammer (36) aufweist, deren Wandung (38) gegenüber der Gehäusewandung (40) einen auf der Druckseite des Gebläses (30) angeordneten Mantelraum (42) als Rückströmkanal für das Kühlgas begrenzt.
  9. 9. Bestrahlungsgerät nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansaugkammer (36) durch einen kastenförmigen Gehäuseeinsatz (34) gebildet ist, wobei der Gehäuseeinsatz (34) die Strahlungsquelle (12) längsseitig haubenartig überdeckt und mit einer Durchstrahlöffnung (50) der Gehäuseöffnung (14) zugewandt ist.
  10. 10. Bestrahlungsgerät nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehäuseeinsatz (34) an seiner der Durchstrahlöffnung (50) gegenüberliegenden Stirnseite mindestens einen Auslaß (46) zum saugseitigen Anschluß eines Lüfters, vorzugsweise eines Radiallüfters (42) aufweist.
  11. 11. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Kühlkreislauf (26) ein mit Kühlmittel, vorzugsweise Kühlwasser beaufschlagbarer Wärmeaustauscher (32) zur Rückkühlung des Kühlgasstromes (28) angeordnet ist.
  12. 12. Bestrahlungsgerät nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeaustauscher (32) durch mehrere in dem Gehäuse (10) in Längsrichtung der Strahlungsquelle (12) aneinandergesetzte Wärmeaustauschermodule gebildet ist.
  13. 13. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Kühlkreislauf (26) ein von dem Kühlgasstrom (28) durchströmbares Aktivkohlefilter (60) angeordnet ist.
  14. 14. Bestrahlungsgerät nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle (12), der Reflektor (18), der Wärmeaustauscher (32) und das Aktivkohlefilter (60) in der Ansaugkammer (36) in Reihe nacheinander durchströmbar angeordnet sind.
  15. 15. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlkreislauf (26) ein unter den Bestrahlungsbedingungen chemisch reaktionsträges oder reaktionsunfähiges Inertgas als Kühlgas enthält.
  16. 16. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlkreislauf (26) sauerstoffreduzierte Luft oder Stickstoff oder Kohlendioxid als Kühlgas enthält.
  17. 17. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlkreislauf (26) über einen in die Ansaugkammer (36) mündenden Gehäuseanschluß (64) mit Kühlgas befüllbar ist.
  18. 18. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Kühlgas im gesamten Kühlkreislauf (26) unter Überdruck gegen Atmosphäre gehalten ist.
  19. 19. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestrahlungszone (62) zwischen dem Rand der Gehäuseöffnung (14) und dem daran vorbeigeführten Objekt (16) durch eine Abschirmvorrichtung (68, 70) gegen Zutritt von Umgebungsluft geschützt ist.
  20. 20. Bestrahlungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 19, gekennzeichnet durch einen zur Erfassung des Sauerstoffgehalts des Kühlgasstromes (28) ausgebildeten Sauerstoffsensor (72), dessen Meßstelle im Bereich der Gehäuseöffnung (14) angeordnet ist.






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