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Dokumentenidentifikation EP1144289 22.11.2001
EP-Veröffentlichungsnummer 1144289
Titel HUBVORRICHTUNG FÜR SUBSTRATE
Anmelder STEAG HamaTech AG, 75447 Sternenfels, DE
Erfinder ABENDSCHÖN, Peter, D-76199 Karlsruhe, DE;
HERRMANN, Stefan, D-75447 Sternenfels, DE
Vertragsstaaten AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE
Sprache des Dokument DE
EP-Anmeldetag 13.01.2000
EP-Aktenzeichen 009015389
WO-Anmeldetag 13.01.2000
PCT-Aktenzeichen EP0000190
WO-Veröffentlichungsnummer 0043305
WO-Veröffentlichungsdatum 27.07.2000
EP-Offenlegungsdatum 17.10.2001
Veröffentlichungstag im Patentblatt 22.11.2001
IPC-Hauptklasse B65H 1/14
IPC-Nebenklasse B23Q 7/10   B23Q 7/00   H01L 21/00   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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