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Dokumentenidentifikation EP1214718 25.07.2002
EP-Veröffentlichungsnummer 1214718
Titel EXTREM-ULTRAVIOLETT WEICHE-ROENTCHENSTRAHLUNGEN LITHOGRAPHISCHES PROJEKTIONSVERFAHREN- UND VORRICHTUNG UND LITHOGRAPHISCHE ELEMENTE
Anmelder Corning Incorporated, Corning, N.Y., US
Erfinder DAVIS, L., Claude, Painted Post, US;
HRDINA, E., Kenneth, Horseheads, US
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 10.07.2000
EP-Aktenzeichen 009486093
WO-Anmeldetag 10.07.2000
PCT-Aktenzeichen PCT/US00/18798
WO-Veröffentlichungsnummer 0000108163
WO-Veröffentlichungsdatum 01.02.2001
EP-Offenlegungsdatum 19.06.2002
Veröffentlichungstag im Patentblatt 25.07.2002
IPC-Hauptklasse G21K 5/00
IPC-Nebenklasse C23C 14/02   C23C 28/00   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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