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Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Positionierung eines Werkzeugs innerhalb eines vorgegebenen Arbeitsbereichs gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1.

Der Begriff "Werkzeug ist" dabei im allgemeinsten Sinne zu verstehen und bezeichnet jedes Element, das geeignet ist, an der vorgegebenen Position eine Funktion mechanischer oder nicht mechanischer Art auszuüben, z. B. einen Greifer oder einen Sensor.

In der Regel werden zweidimensionale Positioniersysteme als T- oder H-Aufbau realisiert. Dabei wird ein Portal durch einen Motor oder auch zwei Motore in einer X-Richtung bewegt, und ein auf dem Portal beweglich angeordneter, das Werkzeug tragender Schlitten wird von einem weiteren Motor in einer Y- Richtung positioniert. Dabei sind relativ große Massen zu bewegen Die erzielbaren Beschleunigungen sind vergleichsweise gering, so daß entsprechend auch die Arbeitsgeschwindigkeit eines solchen Systems relativ gering ist.

Bei der automatischen Bestückung von Leiterplatten mit Bauelementen beispielsweise muß das Werkzeug in Form eines Bestückkopfes mit großer Geschwindigkeit über dem Arbeitsbereich bewegt werden. Positioniersysteme der vorstehenden genannten Art können die Wünsche nach höheren Produktionsgeschwindigkeiten nicht mehr erfüllen.

Es kommt hinzu, daß zusätzlich zu den beiden Koordinatenrichtungen X und Y auch noch eine Hubbewegung des Werkzeugs in Richtung einer dritten Koordinatenrichtung Z und eine Drehung um diese Achse um einen Winkel φ benötigt werden kann, weshalb diese beiden Funktionen durch zusätzliche Baugruppen integriert werden müssen, was die bewegten Massen weiter erhöht und den Arbeitsbereich gegebenenfalls beeinträchtigt, der bei dem T- oder H-Aufbau ohnehin kleiner ist als der Baubereich.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung nach dem beschriebenen, bekannten Ständ der Technik so weiterzuentwickeln, daß sie alle gegebenenfalls benötigten Funktionen, nämlich Positionierung in einem dreidimensionalen Koordinatensystem und Winkelverstellung um eine Achse ohne Zusatzbaugruppen ausüben kann und dabei eine möglichst geringe bewegte Masse aufweist, während andererseits der Arbeitsbereich in Relation zum Baubereich möglichst groß ist.

Diese Aufgabe wird durch die Erfindung gemäß Anspruch 1 gelöst.

Die Erfindung greift dabei den älteren Vorschlag eines Fünfgelenkgetriebes auf, das aus zwei Führungsschlitten besteht; die längs paralleler, beiderseits des Arbeitsbereichs verlaufender Führungen verstellbar und durch eine Koppel verbunden sind, die aus zwei Koppelgliedern besteht, die durch drei Drehgelenke mit parallelen Achsen mit den Führungsschlitten und miteinander verbunden sind. Als zusätzliches Merkmal wird im Bereich des die Koppelglieder verbindenden Drehgelenks eine Hubdrehspindel angeordnet, die das Werkzeug trägt. Diese Konstruktion läßt sich mit einer relativ geringen bewegten Masse realisieren, und durch die Anordnung einer Hubdrehspindel im Bereich der dritten Gelenkachse kann für die Bewegung des Werkzeugs in Richtung der Z-Achse und seiner Drehung um diese Achse auf den Anbau massereicher Zusatzbaugruppen verzichtet werden. Der die Koppelglieder verbindende Gelenkpunkt kann in Längsrichtung der Führungen nach beiden Seiten ausgeschwungen werden, so daß der Arbeitsbereich nach der einen oder anderen Seite über den Baubereich hinausgreifen kann.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Die Ausgestaltung nach Anspruch 2 ermöglicht es, die Koppelglieder über den Bereich der Führungen in Y-Richtung nach außen zu schwingen und damit den Arbeitsbereich gegenüber dem Baubereich der Vorrichtung beiderseits zu vergrößern. Zweckmäßigerweise werden die Koppelglieder mit gleicher Länge ausgeführt.

Durch die Ausgestaltungen nach den Patentansprüchen 3 und 4 besteht die Möglichkeit, einen weiteren Beitrag zur Reduzierung der bewegen Massen zu leisten.

Die Weiterbildung der Erfindung durch das Merkmal des Anspruchs 5 setzt die Getriebeverbindung zwischen dem zur Erzeugung der Werkzeugdrehung dienenden zweiten Stellmotor und der Hubdrehspindel zugleich zur Parallelführung des Werkzeugs ein.

Die Verwendung von Linearmotoren nach den Patentansprüchen 9 und 10 läßt sich die bewegte Masse weiter reduzieren und die Arbeitsgeschwindigkeit verbessern.

Im folgenden wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels der Erfindung erläutert.

Fig. 1a stellt eine schematische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung bei einer ersten Ausgangsstellung der Koppelglieder und einer Zwischenposition dar;

Fig. 1b zeigt eine zweite Ausgangsstellung mit durchgeschwungenen Koppelgliedern; und

Fig. 2 zeigt eine perspektivische, teilweise aufgebrochene Ansicht einer solchen Vorrichtung,

Fig. 3 eine schematische Ansicht von zwei unterschiedlichen Arbeitskonfigurationen der erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 4a und 4b schematische Ansichten von jeweils zwei Übergangskonfigurationen der erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 5a und 5b eine schematische Ansichten der erfindungsgemäßen Vorrichtung an jeweils zwei unterschiedlichen Singularitäten eines ersten Typs und

Fig. 6 eine schematische Ansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung an zwei unterschiedlichen Singularitäten eines zweiten Typs.

Eine Positioniervorrichtung 1 weist einem Arbeitsbereich 2 zugeordnet zwei zueinander parallele, horizontale, in einer ersten Koordinatenrichtung X verlaufende Führungen 3 und 4 auf. Längs jeder dieser Führungen 3 und 4 ist ein Führungsschlitten 5 bzw. 6 (Fig. 2) bewegbar. Diese Führungsschlitten 5 und 6 können unabhängig voneinander in der X-Richtung verstellt werden, wozu beispielsweise ein Riementrieb 7 bzw. 8 dient, der über einen Stellmotor 9 bzw. 10 antreibbar ist. Beide Führungsschlitten 5 und 6 sind durch eine den Arbeitsbereich 2 überquerende und ein symbolisch dargestelltes und mit 11 bezeichnetes Werkzeug, z. B. einen Bestückkopf zum Bestücken von Leiterplatten mit Bauelementen, tragende, insgesamt mit 12 bezeichnete Tragkonstruktion verbunden, die geeignet ist, in Abhängigkeit von der Verstellung der Führungsschlitten 5 und 6 das Werkzeug 11 in eine durch seine horizontalen X- und Y-Koordinaten bestimmte Position zu überführen.

Die Tragkonstruktion 12 ist am Führungsschlitten 5 über eine vertikale, parallel zu der Z-Koordinate verlaufende, erste Gelenkachse 13 und am Führungsschlitten 6 um eine dazu parallele zweite Gelenkachse 14 verschwenkbar gelagert. Die Tragkonstruktion 12 besteht aus zwei Koppelgliedern 15 und 16, die miteinander über eine zu den beiden anderen Gelenkachsen 13 und 14 parallele dritte Gelenkachse 17 beweglich miteinander verbunden sind. Die Länge der Koppelglieder 15 und 16 ist gleich und so bemessen, daß die dritte Gelenkachse 17 über die gesamte Breite des Arbeitsbereichs 2 bewegt werden kann. Da die Bewegungsebene der Koppelglieder 15 und 16 in vertikaler Richtung gegenüber dem von den Führungen 3 und 4 beanspruchten Raum mit Abstand versetzt ist, können die Koppelglieder über die Führungen 3 und 4 nach außen geschwenkt werden und damit den Arbeitsbereich in Y-Richtung erweitern. Diese Situation ist in Fig. 1a in unterbrochenen Linien dargestellt, wobei angenommen ist, das die Gelenkachsen 13 und 14 in die neuen Positionen 13' und 14' verstellt worden sind.

Wie in Fig. 1b gezeigt ist, können Gelenkachsen 13, 14 über die in Fig. 1a gezeigten Positionen 13', 14' hinaus bewegt und damit die Koppelglieder 15 und 16 durchgeschwungen werden, wodurch der Arbeitsbereich in X-Richtung - statt wie in Fig. 1 gezeigt nach links - auch nach rechts verlagert ist, so daß insgesamt mit der Vorrichtung ein großer Arbeitsbereich in Relation zum Baubereich der Vorrichtung ermöglicht wird. In Fig. 1b sind die veränderten Positionen der Gelenkachsen 13 und 14 mit 13" und 14" bezeichnet.

Die erfindungsgemäße Positioniervorrichtung 1 ist beispielsweise kinematisch gesehen ein Fünfgelenk-Getriebe mit zwei Führungsschlitten 5 und 6 sowie drei Drehachsen 13, 14 und 17. Die Führungsschlitten 5 und 6 sind jeweils angetrieben und stellfest an einem nicht gezeigten Gestell gelagert. Die Hubdrehspindel 18 oder eine statt der Hubdrehspindel 18 angeordnete Arbeitsplattform ist an einem der beiden Koppelglieder 15 oder 16 befestigt. Steuerungstechnisch am einfachsten ist es, die Arbeitsplattform bzw. die Hubdrehspindel 18 so auszuführen, daß der Greifer genau auf der Drehachse 17 zwischen den Koppelgliedern 15 und 16 angeordnet ist.

Zur Steuerung der erfindungsgemäßen Positioniervorrichtung 1 können mathematische Gleichungen verwendet werden. Hierbei tritt zum einen ein inverses kinematisches Problem (IKP) auf, welches zwei Wurzelterme beinhaltet. Ferner tritt ein direktes kinematisches Problem (DKP) auf, welches einen Wurzelterm in der mathematischen Gleichung beinhaltet. Somit ergeben sich vier Lösungen für das IKP und zwei Lösungen für das DKP der jeweiligen mathematischen Gleichungen. Da jeweils zwei Lösungen des IKP eindeutig mit einer der Lösungen des DKP korrelieren, wie zum Beispiel die beiden in Fig. 3 schematisch gezeigten Anordnungen der einzelnen Elemente 13 bis 17 der erfindungsgemäßen Positioniervorrichtung 1 sowie deren Arbeitsräume, und nur die verbleibenden zwei Lösungen des IKP in Teillösungen mit unterschiedlichen DKP-Lösungen aufgeteilt werden müssen, wie sie in den Fig. 4a und 4b als Übergangskonfigurationen der erfindungsgemäßen Positioniervorrichtung 1 dargestellt sind, ergeben sich schließlich sechs mögliche Konfigurationen für die Struktur der erfindungsgemäßen Positioniervorrichtung 1. Die veränderten Positionen der Gelenkachsen 13, 14 und 17 in den jeweiligen Arbeits- oder Übergangskonfigurationen sind in den Fig. 3 bis 6 mit 13, 14, 17; 13', 14', 17'; 13", 14", 17" bzw. 13''', 14''', 17''' bezeichnet.

Unterschieden werden muß daher zwischen den Übergängen von einer Lösung des IKP in eine zweite Lösung des IKP (IKP- Wechsel), das heißt, das Wechseln von einer Arbeitskonfiguration in eine Übergangskonfiguration, von welchen vier möglich sind, wie aus der Fig. 5 ersichtlich. Andererseits bestehen Übergänge zwischen zwei Übergangskonfigurationen, d. h. das Wechseln von einer Lösung des DKP in eine andere Lösung des DKP (DKP-Wechsel), von welchen zwei möglich sind, wie aus der Fig. 6 ersichtlich.

Ein IKP-Wechsel führt durch eine Singularität des ersten Typs, d. h. durch eine Strukturstellung der erfindungsgemäßen Positioniervorrichtung 1, bei welcher ein Antrieb bewegt werden kann, ohne daß die Arbeitsplattform bzw. Drehhubspindel 18 sich bewegt. Da die Struktur der Positioniervorrichtung 1 bei einem IKP-Wechsel zu jedem Zeitpunkt kinematisch bestimmt bleibt, ist es lediglich notwendig für die Steuerung der Antriebe der Positioniervorrichtung 1 geänderte mathematische Gleichungen, d. h. beispielsweise, Gleichungen mit anderen Vorzeichen, für die Lösung des IKP zu verwenden und in einem Bereich um die Singularität des ersten Typs herum nur die Antriebe 9 und 10 zu steuern, ohne das IKP zu berechnen.

Dem gegenüber führt ein DKP-Wechsel durch eine Singularität des zweiten Typs, d. h. durch eine Strukturstellung der Positioniervorrichtung 1, bei welcher die Arbeitsplattform oder die Drehhubspindel 18 bewegt werden kann, ohne daß ein Antrieb, d. h. einer der Stellmotoren 9 oder 10 eine Bewegung verursacht. In dieser Stellung ist die Positioniervorrichtung 1 kinematisch unterbestimmt und es müssen sowohl Steuerungsmaßnahmen, wie auch konstruktive Maßnahmen getroffen werden, um diese kinematisch unterbestimmten Stellen sicher und mit einer eindeutigen Bewegung durchfahren zu können.

Es ist auch möglich, einen DKP-Wechsel dynamisch zu durchfahren, ohne konstruktive Maßnahmen an der Positioniervorrichtung 1 vorzunehmen. Hierbei ist aber ein sicherer Betrieb nicht immer gewährleistet. Um auch hierzu einen sicheren Betrieb zu gewährleisten, muß mindestens ein Sensor (nicht gezeigt) vorgesehen werden, dessen Signal von einer Steuereinrichtung ausgewertet werden kann und aus welchem Signal sich ermitteln läßt, in welcher Konfiguration sich die Positioniervorrichtung 1 aktuell befindet.

Als konstruktive Lösung des DKP-Wechsels sind mindestens vier Ansätze möglich.

Zum einen kann auf einer der - bislang passiven - Gelenkachsen 13, 14 und 17 ein zusätzlicher Antrieb vorgesehen werden, welcher im Normalbetrieb im Leerlauf mitbewegt wird. Im Bereich eines DKP-Wechsels, d. h. beim Durchgang durch eine Singularität des zweiten Typs wird einer der Antriebe 9 bzw. 10 eines Führungsschlittens 5 bzw. 6 in den Leerlauf geschaltet und der zusätzliche Antrieb (nicht gezeigt) bewegt die Positioniervorrichtung 1 durch die Singularität des zweiten Typs. Für diese kleine und langsame Bewegung kann der zusätzliche Antrieb entsprechend klein dimensioniert werden, was die zusätzlichen Massen reduziert.

Andererseits kann jedes Getriebe um Zweischläge erweitert werden, ohne daß die Bewegungen der restlichen Glieder beeinflußt werden. Eine Erweiterung um einen Zweischlag macht aus dem Fünfgelenk-Getriebe ein Siebengelenk-Getriebe. Wird jedoch eines der zusätzlichen Gelenke zum Beispiel über eine Bremse blockiert, entsteht ein Sechsgelenk-Getriebe, zu dessen definierter Bewegung nur ein einziger Antrieb benötigt wird. Eine konstruktive Realisierung eines Zweischlags ist beispielsweise ein umlaufender Riemen. Wird dieser oder eine von zwei Umlenkrollen, welche den umlaufenden Riemen führen, gebremst, kann die Positioniervorrichtung unter Verwendung von nur einem eznzigen Antrieb durch den DKP-Wechsel bewegt werden.

Ferner besteht noch die Möglichkeit, über die Einleitung einer Kraft der Positioniervorrichtung 1 beim Durchgang durch eine Singularität des zweiten Typs eine Vorzugsrichtung aufzuprägen. Diese Kraft kann hierbei nicht nur aktiv, sondern auch passiv, beispielsweise über eine Drehfeder in einer der antriebsnahen Gelenkachsen 13, 14 bzw. 17 oder auch über eine Zugfeder zwischen einem der Führungsschlitten 5 oder 6 und dem zugehörigen Koppelglied 15 bzw. 16 eingebracht werden. Der DKP-Wechsel kann hierbei durch Abschalten eines der Antriebe 9 oder 10 initiiert werden. Hierbei ist jedoch die Zeit, welche für den DKP-Wechsel erforderlich ist, nicht eindeutig bestimmbar und vorhersagbar. Insbesondere ist auch der Übergang durch einen DKP-Wechsel aufgrund der gerichteten Federwirkung nur in eine Richtung möglich. Damit sind auch die Übergänge zwischen den Arbeitskonfigurationen nur in eine Richtung möglich.

Eine weitere flexiblere Möglichkeit der eindeutigen Durchfahrung eines DKP-Wechsels ist das dynamische Durchfahren der Singularität des zweiten Typs. Damit die Arbeitsplattform bzw. Drehhubspindel 18 aus einer Bewegung heraus aus einer Übergangskonfiguration in eine zweite Übergangskonfiguration fahren kann, muß aufgrund des Drallsatzes einer der beiden Antriebe 9 oder 10 masselos gehalten werden, d. h., daß die Positioniervorrichtung 1 eine Sensorvorrichtung aufweist, von welcher die Kraft, welche an mindestens eine der antriebsnahen Gelenkachsen 13 oder 14 anliegt; ermittelbar ist. Durch Auswerten des Signals der Sensorvorrichtung wird diese Kraft in einer der beiden Gelenkachsen 13 oder 14 für den Bereich um den DKP-Wechsel auf Null geregelt. Hierdurch ist ein eindeutiges Durchfahren der Singularität des zweiten Typs ohne das Verwenden eines zusätzlichen Antriebs möglich. Ferner kann dieses Durchfahren auch richtungsunabhängig durchgeführt werden.

Damit die Position des Werkzeugs 11 auch in einer dritten Koordinatenrichtung Z und in seiner Winkelstellung φ relativ zu dieser Z-Achse eingestellt werden kann, ist koaxial zur dritten Gelenkachse 17 eine Hubdrehspindel 18 angeordnet, und zwar derart, daß eine Kollision mit den Führungen 3 und 4 ausgeschlossen ist.

Die Bewegung in Z-Richtung kann in der Hubdrehspindel 17 durch eine Konstruktion als an sich bekannte Kugelgewindespindel erzeugt werden, wobei ein mechanischer Antrieb durch einen vom Führungsschlitten 5 getragenen Stellmotor 19 erfolgt, dessen Stellbewegung über eine Getriebeverbindung, z. B. einen Riementrieb, erfolgt, die im Koppelglied 15 vollständig gekapselt und daher nicht sichtbar ist. Man kann aber auch die vertikal bewegliche Spindel und das die Spindel führende Element als Elemente eines Linearmotors ausgestalten, wodurch der Stellmotor 19 und die ihm zugeordnete Getriebe

verbindung entfallen können und lediglich eine Versorgungs- und Steuerleitung für den Linearmotor durch das Koppelglied 15 führen muß.

Der Bewegung der Hubdrehspindel 18 um einen Drehwinkel φ dient ein Stellmotor 21 auf dem Führungsschlitten 6, der über eine Getriebeverbindung, ebenfalls z. B. ein Riementrieb, mit der Hubdrehspindel 18 verbunden ist. Diese Getriebeverbindung ist im Koppelglied 16 gekapselt. Sie ist so gestaltet, daß sie eine Stellbewegung des Stellmotors 21 winkeltreu auf die Hubdrehspindel 18 überträgt. Damit ist sichergestellt, daß während einer Verstellung der Werkzeugposition im dreidimensionalen Koordinatensystem X, Y, Z das Werkzeug 11 stets parallel zu sich selbst verlagert wird, sofern nicht durch den Stellmotor 21 eine zusätzliche Winkelverstellung vorgenommen wird. Bezugszeichen 1 Positioniervorrichtung

2 Arbeitsbereich

3 Führung

4 Führung

5 Führungsschlitten

6 Führungsschlitten

7 Riementrieb

8 Riementrieb

9 Stellmotor

10 Stellmotor

11 Werkzeug

12 Tragkonstruktion

13 erste Gelenkachse

14 zweite Gelenkachse

15 Koppelglied

16 Koppelglied

17 dritte Gelenkachse

18 Hubdrehspindel

19 Stellmotor

21 Stellmotor

22 Getriebeverbindung


Anspruch[de]
  1. 1. Vorrichtung zur Positionierung eines Werkzeugs (11) innerhalb eines vorgegebenen Arbeitsbereichs (2), mit zwei zueinander parallelen, in einer ersten Koordinatenrichtung (X) verlaufenden Führungen, auf denen jeweils ein Führungsschlitten (5, 6) längsverstellbar gelagert ist, wobei die.Führungsschlitten (5, 6) durch eine das Werkzeug (11) tragende, eine Bewegung des Werkzeugs (11) auch in einer zweiten Koordinatenrichtung (Y) ermöglichenden Tragkonstruktion (12) verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Tragkonstruktion (12) um jeweils eine zu einer dritten Koordinatenrichtung (Z) parallele erste bzw. zweite Gelenkachse (13, 14) beweglich mit den Führungsschlitten (5, 6) verbunden ist und aus zwei Koppelgliedern (15, 16) besteht, die miteinander durch eine zur ersten und zweiten Gelenkachse (13, 14) parallele dritte Gelenkachse (17) verbunden sind, daß koaxial zu dieser dritten Gelenkachse. (17) die Tragkonstruktion (12) mit einer das Werkzeug (11) tragenden Hubdrehspindel (18) versehen ist, die linear in Richtung der dritten Koordinatenrichtung (Z) und unabhängig davon um einen Drehwinkel (φ) um die dritte Gelenkachse (17) verstellbar ist, derart, daß die Hubdrehspindel (18) in Längsrichtung der Führungen nach beiden Seiten ausgeschwungen werden kann, so daß der Arbeitsbereich der Vorrichtung über den Baubereich der Führungen hinaus vergrößert ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsebene der Koppelglieder (15, 16) in vertikaler Richtung (Z) gegenüber dem von den Führungen (3, 4) beanspruchten Raum versetzt ist.
  3. 3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem einen Führungsschlitten (5) ein der Linearbewegung der Hubdrehspindel (18) zugeordneter erster Stellmotor (19) angeordnet ist, dessen Ausgang über eine Getriebeverbindung längs des auf diesem einen Führungsschlitten (5) gelagerten Koppelgliedes (15) mit der Hubdrehspindel (18) verbunden ist.
  4. 4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem anderen Führungsschlitten (6) ein der Winkelbewegung der Hubdrehspindel (18) zugeordneter zweiter Stellmotor (21) angeordnet ist, dessen Ausgang über eine Getriebeverbindung längs des auf diesem anderen Führungsschlitten (6) gelagerten Koppelgliedes (16) mit der Hubdrehspindel (18) verbunden ist.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Getriebeverbindung zwischen dem zweiten Stellmotor (21) und der Hubdrehspindel (18) zur winkeltreuen Bewegungsübertragung geeignet ist.
  6. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5; dadurch gekennzeichnet, daß die Getriebeverbindung ein Riementrieb ist.
  7. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Getriebeverbindung im Koppelglied (15, 16) gekapselt ist.
  8. 8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Hubdrehspindel (18) eine Kugelgewindespindel enthält.
  9. 9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Führungen (3, 4) und der ihr jeweils zugeordnete Führungsschlitten (5, 6) einen Linearmotor bilden.
  10. 10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der vertikal bewegliche Spindelteil der Hubdrehspindel (18) und der ihm zugeordnete Führungsteil einen Linearmotor bilden.
  11. 11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüchen dadurch gekennzeichnet; daß die Koppelglieder (15, 16) gleiche Länge aufweisen.






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