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Dokumentenidentifikation DE69901399T2 12.12.2002
EP-Veröffentlichungsnummer 1109232
Titel Piezoelektrischer Schrittantrieb
Anmelder C.R.F. Società Consortile per Azioni, Orbassano, IT
Erfinder Perlo, Piero, 10043 Orbassano (Torino), IT;
Pizzi, Marco, 10043 Orbassano (Torino), IT;
Sinesi, Sabino, 10043 Orbassano (Torino), IT;
Lambertini, Vito, 10043 Orbassano (Torino), IT;
Pullini, Daniele, 10043 Orbassano (Torino), IT
Vertreter Becker, Kurig, Straus, 80336 München
DE-Aktenzeichen 69901399
Vertragsstaaten DE, ES, FR, GB, SE
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 25.11.1999
EP-Aktenzeichen 998307243
EP-Offenlegungsdatum 20.06.2001
EP date of grant 02.05.2002
Veröffentlichungstag im Patentblatt 12.12.2002
IPC-Hauptklasse H01L 41/09

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung betrifft im Allgemeinen elektrostatische Motoren mit geringer Leistung und kleinen Abmessungen, die zur Verwendung als Aktuatoren in mikroelektronischen Technologieanwendungen, zum Betätigen von mechanischen Vorrichtungen und dergleichen in Bedingungen, bei denen Vibrationen auftreten, wie im Autobereich, angepasst sind.

In solchen Anwendungen wurden piezoelektrische, elektrostatische Motor-Aktuatoren vorgeschlagen, in denen die Umwandlung von der elektrischen mechanischen Energie auf umgekehrten piezoelektrischen Effekten basiert. Diese Motoren weisen verschiedene Nachteile auf, wie relativ hohe Herstellungskosten und schlechte Zuverlässigkeit, sie erfordern eher hohe Netzspannungen und weisen einen ungenügend hohen Wirkungsgrad auf. Dementsprechend ist die Verwendung von diesen piezoelektrischen Motoren im Allgemeinen für die vorstehend erwähnten Verwendungen, insbesondere an Bord von Kraftfahrzeugen, nicht zufriedenstellend.

Es sind ebenfalls elektrostatische Schrittaktuatoren bekannt, die einen ebenen Stator, ein bewegliches ebenes Element, das parallel zu dem Stator bei einer vorbestimmten Distanz davon geführt wird, mindestens eine Elektrode, die mit dem beweglichen Element verbunden ist, eine Vielzahl von ablenkbaren Blättern oder Wimpern, die elektrisch leitend sind, wobei jedes bzw. jede ein Ende, das mit dem Stator verbunden ist, und das gegenüberliegende Ende angrenzend zu dem beweglichen Element aufweist, und elektrische Zuführungsmittel enthalten, um Spannungsimpulse zwischen den Wimpern und der Elektrode anzulegen, die mit dem beweglichen Element verbunden ist, um die Wimpern zu veranlassen, an dem beweglichen Element während jedem Spannungsimpuls durch elektrostatische Effekte zu haften. In diesen Vorrichtungen verursacht die Aktivierung der Wimpern ebenfalls eine elastische Verformung des Letzteren, was einen Translationsschritt des beweglichen Elements parallel zu dem Stator erzeugt, wobei die Wimpern zu ihrer Ausgangskonfiguration zurückkehren, wenn der Spannungsimpuls unterbrochen wird.

Ein Aktuator des vorstehend angedeuteten Typs ist zum Beispiel in Dyatlov V. L., Konyaskin V. V., Potapov B. S. und Pyankov Yu. A. "Prospects of the Employment of Synchroton Radiation in Film Electrostatic Actuator Technology", Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, A359 (1995), Seiten 394-395 beschrieben.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines neuen Schrittaktuators, der in der Lage ist, sowohl die piezoelektrischen Effekte als auch die elektrostatische Haftung der Wimpern des vorstehend angedeuteten Typs in der bestmöglichen Weise zu nutzen.

Im Hinblick auf eine Verwirklichung dieser Aufgabe, stellt die Erfindung einen Schrittaktuator bereit, enthaltend

einen ebenen Stator,

ein ebenes, bewegliches Element, das parallel zu dem Stator mit einer vorbestimmten Distanz dazu geführt wird,

mindestens eine Elektrode, die mit dem beweglichen Element verbunden ist,

eine Vielzahl von ablenkbaren Blättern oder Wimpern, die elektrisch leitend sind, wobei jedes bzw. jede ein Ende, das mit dem Stator verbunden ist, und das gegenüberliegende Ende angrenzend zu dem beweglichen Element aufweist, und

elektrische Zuführungsmittel, um Spannungsimpulse zwischen den Wimpern und der Elektrode anzulegen, die mit dem beweglichen Element verbunden ist, um die Wimpern zu veranlassen, an dem beweglichen Element während jedem Spannungsimpuls durch elektrostatische Effekte zu haften,

dadurch gekennzeichnet, dass die Wimpern mit dem Stator durch Dazwischenschalten von piezolelektrischen Mitteln verbunden sind, die durch Anlegen von Spannungsimpulsen aktiviert werden können, um zyklisch eine erste Konfiguration, bei der die Wimpern mit dem beweglichen Element in Kontakt kommen, so dass sie durch die elektrostatischen Effekte daran haften, und eine zweite Konfiguration anzunehmen, bei der die Wimpern sich von dem beweglichen Element weg bewegen, während sie jedoch ihre Enden damit verbunden halten, so dass diese Enden eine Bewegung durchführten, die eine Komponente in der Bewegungsrichtung des beweglichen Elements aufweist, um einen Schritt des beweglichen Elements in die Richtung hervorzurufen.

In einer ersten Ausführungsform der Erfindung werden die vorstehend erwähnten Wimpern durch den Stator durch einen ersten piezoelektrischen Aktuator getragen, der unter den Wimpern angeordnet ist und der aktiviert werden kann, um den Wimpern eine hin- und hergehende Bewegung zu und weg von dem beweglichen Element zu erteilen bzw. zu vermitteln. Es ist auch benachbart zu den Wimpern zwischen dem Stator und dem beweglichen Element ein Abstandselement eingeschoben, das an dem Stator gesichert ist und sich in verschiebbaren Kontakt mit dem beweglichen Element befindet. Unter dem Abstandselement ist ein zweiter piezoelektrischer Aktuator angeordnet, der aktiviert werden kann, um eine hin- und hergehende Bewegung des Abstandselements zu und weg von dem beweglichen Element mit einer entgegengesetzten Phase zu der des ersten piezoelektrischen Aktuators zu erteilen bzw. zu vermitteln. Vorzugsweise wird zudem eine Vielzahl von ersten und zweiten piezolelektrischen Aktuatoren des vorstehend angedeutenden Typs bereitgestellt, die abwechselnd zueinander angeordnet sind, wobei jeder erste piezoelektrische Aktuator die Wimpern und jeder zweite piezoelektrische Aktuator ein Abstandselement trägt.

In einer zweiten Ausführungsform der Erfindung werden die Wimpern durch den Stator mittels eines ablenkbaren Blattes parallel zu dem beweglichen Element getragen, das in einer freitragenden Weise durch den Stator getragen wird und die Wimpern auf seinem freien Ende trägt, wobei das Blatt piezoelektrische Mittel umfasst, die aktiviert werden können, um eine zyklische Ablenkung des Blatts zu und weg von dem beweglichen Element hervorzurufen.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden aus der Beschreibung klar werden, die unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen folgt, die ausschließlich auf dem Weg eines nicht-einschränkenden Beispiels gegeben sind, in denen:

Fig. 1 eine schematische Ansicht im Querschnitt einer ersten Ausführungsform des Aktuators gemäß der Erfindung ist,

Fig. 2 bis 5 den gleichen Querschnitt von Fig. 1 in vier unterschiedlichen Betriebszuständen des Aktuators gemäß der Erfindung zeigen,

Fig. 6 Diagramme bezüglich Veränderungen der elektrischen Spannung zeigt, die den verschiedenen Anschlüssen des Aktuators von Fig. 1 zugeführt wird,

Fig. 7 eine schematische Ansicht im Querschnitt einer zweiten Ausführungsform des Aktuators gemäß der Erfindung zeigt,

Fig. 8 eine Variante von Fig. 7 ist,

Fig. 9 eine schematische perspektivische Ansicht der Variante von Fig. 8 ist,

Fig. 10 bis 13 vier unterschiedliche Betriebszustände des Aktuators von Fig. 7 zeigen,

Fig. 14 zwei schematische Zeichnungen bezüglich des Betriebs des Aktuators von Fig. 7 zeigt, und

Fig. 15 eine Variante von Fig. 14 ist.

In Fig. 1 kennzeichnet Bezugszeichen 1 im Allgemeinen einen Schrittaktuator, der einen ebenen Stator S und ein ebenes, bewegliches Element R enthält, das parallel zu dem Stator S mit einer vorbestimmten Distanz dazu geführt ist. In dem veranschaulichten Beispiel enthält der Stator S ein Basisblatt 2, wie zum Beispiel Aluminiumoxid oder Stahl, auf dem eine leitfähige Schicht, die in eine Vielzahl von getrennten Elektroden 3, 4 unterteilt ist, und ein oder mehrere piezoelektrische Schichten 5 wie zum Beispiel durch Siebdruck, Tauchen, Spincoating oder durch Galvanisieren aufgebracht sind. Über der piezoelektrischen Schicht 5 ist eine weitere leitfähige Schicht aufgebracht, die in getrennte Elektroden 6, 7 unterteilt ist, die dann mittels einer dielektrischen oder piezoelektrischen Schicht 8 isoliert wird.

Die Gesamtdicke der Struktur von Stator S erstreckt sich vorzugsweise zwischen wenigen Mikrometern und einigen Hunderten Mikrometern. Die gegenüberliegenden Paare von Elektroden 3, 6 und 4, 7 definieren zusammen mit der piezoelektrischen Schicht 5 eine Vielzahl von piezoelektrischen Aktuatoren, die jeweils in Fig. 1 durch A und B gekennzeichnet sind. Über jedem piezoelektrischen Aktuator A sind elektrostatische Metallwimpern (oder Speichen bzw. Blumenblätter) aufgebracht, wobei jede ein an der dielektrischen Schicht 8 des Stators S gesichertes Ende und das gegenüberliegende Ende aufweist, das frei und benachbart zu dem beweglichen Element R ist. Die Wimpern weisen vorzugsweise eine Dicke von 0,5-3 Mikrometer und eine Länge von wenigen Mikrometern auf. In Entsprechung mit den piezoelektrischen Aktuatoren B ist über der dielektrischen Schicht 8 ein Abstandselement 10 aufgebracht, das durch eine Schicht aus reibungswiderstandsfähigem Material mit einem niedrigen Reibungskoeffizienten, mit einer Dicke von etwa 1/10 der Länge von Wimpern 9 gebildet ist. Jedes Abstandselement 10 ist in verschiebbaren Kontakt mit dem beweglichen Element R gesichert.

Das bewegliche Element ist durch ein Blatt 11 aus Metallmaterial gebildet. Alternativ kann das Blatt 11 aus Kunststoffmaterial sein und mittels einer Schicht leitfähig gemacht werden, die durch Bedampfen (von Aluminium oder anderen leitfähigen Materialien wie Silber, Nickel, Gold, ITO (Indiumzinnoxid), Kupferlegierungen) mit einer Dicke von wenigen Zehn oder Hunderten Nanometern oder durch Siebdruck zusammen mit einem geeigneten leitfähigen Film aufgebracht ist. Auf der leitfähigen Schicht ist eine dielektrische oder ferroelektrische Isolationsschicht 12 mit einer Dicke zwischen 1/10 Mikrometern und wenigen Zehn Mikrometern in Abhängigkeit von den dielektrischen Eigenschaften des Materials und den Erfordernissen siebgedruckt.

Fig. 2-6 zeigen das Betriebsprinzip des Aktuators von Fig. 1.

Bei Betrieb werden die Elektroden 4, 7 jedes piezoelektrischen Aktuators A mit einer alternierenden Spannung versorgt, wie in dem ersten Diagramm von Fig. 6 gezeigt, so dass sich jeder piezoelektrische Aktuator A im Allgemeinen zwischen einem verlängerten Zustand (siehe Fig. 2, 3) und in einem geschrumpften Zustand (Fig. 4, 5) bewegt, wobei folglich eine hin- und hergehenden Bewegung der Wimper 9 zu und weg von dem beweglichen Element erzeugt wird. In gleicher Weise werden die Elektroden 3, 6 jedes piezoelektrischen Aktuators B mit einer alternierenden Spannung versorgt, wie in dem zweiten Diagramm von oben in Fig. 6 gezeigt ist, mit einer zu der der zu Elektroden 4, 7 gelieferten Spannung entgegengesetzten Phase, so dass ebenfalls die piezoelektrischen Aktuatoren B zyklisch zwischen einer verlängerten Konfiguration und einer geschrumpften Konfiguration bewegt werden, wobei eine hin- und hergehende Bewegung der Abstandselemente 10 zu und weg von dem beweglichen Element erzeugt wird (siehe Fig. 2-5).

Ferner ist während dem Endabschnitt des Verlängerungsstadiums der piezoelektrischen Aktuatoren A und während der gesamten Kontraktionsstadiums von Aktuatoren A, eine elektrische Spannung zwischen Wimpern 9 und beweglichem Element R vorhanden (siehe drittes Diagramm von oben in Fig. 6), die Haftung durch elektrostatische Effekte von Wimpern 9 zu dem beweglichen Element R sicherstellt. Auf diese Weise, wenn die Wimpern 9 in Nähe ihrer höchsten hochgehobenen Position sind (Fig. 2), haften sie an dem beweglichen Element R (Fig. 3) und bleiben während dem Kontraktionsstadium daran haften (siehe Fig. 4). In der verbleibenden Zeitdauer wird elektrische Spannung zwischen den Wimpern 9 und Elektrode 7 angelegt (letztes unterstes Diagramm von Fig. 6), um eine Haftung durch elektrostatische Effekte eines größeren Abschnitts der Wimpern 9 zu der dielektrischen Schicht 8 zu erhalten. Die in Fig. 2, 3, 4 und 5 gezeigten Stadien sind jeweils mit den Buchstaben a, b, c, d in Fig. 6 gekennzeichnet. Das in Fig. 4 gezeigte Stadium c ist das aktive Stadium. Während diesem Stadium führen die oberen Enden der Wimpern 9 eine Bewegung mit einer Komponente entlang der Bewegungsrichtung des beweglichen Elements R aus, so dass das Letztere gezwungen wird, einen Schritt dH auszuführen. In diesem Stadium dienen die Abstandselemente 10, neben dem Erfüllen der Funktion von Beabstanden und Führen des beweglichen Elements R, ebenfalls dazu, die Bewegung des Letzteren zu verstärken. Wenn die unteren Enden der Wimpern 9 abwärts bewegt werden, werden die oberen Enden tatsächlich gezwungen, sich nach rechts zu bewegen (wobei die Länge der Wimpern immer die gleiche ist), weil das bewegliche Element R in einer vertikal feststehenden Position durch die Abstandselemente 10 gehalten wird.

Fig. 7 zeigt eine zweite Ausführungsform der Erfindung. In dieser Figur sind die mit Fig. 1 gemeinsamen Teile durch die gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet. Auch in diesem Fall ist ein bewegliches Element R bereitgestellt, das durch ein Blatt 11 gebildet ist, das aus einem Metallmaterial oder einem Kunststoffmaterial hergestellt ist, das mittels einer Schicht leitfähig gemacht ist, die durch Bedampfen oder Siebdruck, mit einer geeigneten leitfähigen Beschichtung bereitgestellt wird. Auch in diesem Fall ist auf der leitfähigen Schicht eine isolierende dielektrische oder ferroelektrische Schicht 12 mit einer zu der von Fig. 1 ähnlichen Dicke siebgedruckt. Auch in dem Fall von Fig. 1 ist der Stator S auf einer Basis 2 bereitgestellt, die aus Aluminiumoxid oder Stahl hergestellt ist. Auf dieser Basis werden mehrere Schichten durch Siebdrucken, Tauchen, Spincoaten aufgebracht, wobei diese Schichten aus einem reibungswiderstandsfähigem Material mit einem geringen Reibungskoeffizienten hergestellt sind, um Blöcke 13 zu bilden, die sowohl als Abstandshalter, Führungslauf des beweglichen Elements R, als auch als Träger für die ablenkbaren Blätter 14 fungieren, von denen eins in Fig. 7 sichtbar ist. In der Ausführungsform von Fig. 7 ist jedes Blatt 14 tatsächlich durch ein zweiförmiges piezolektrisches Element 14 mit zwei Anschlüssen 15 gebildet. Die Abmessungen des zweiförmigen piezoelektrischen Elements 14 können von wenigen Hundert Mikrometern bis zu einigen Zehn Millimetern in Länge, von wenigen Zehn Mikrometern bis einigen Millimetern in Breite variieren, wobei die Dicke in einem Bereich zwischen wenigen Mikrometern und wenigen Hundert Mikrometern liegt. Das zweiförmige Element, das verwendet wird, kann sowohl von einem seriellen Typ, d. h. aus zwei Schichten 14a, 14b aus piezoelektrischem Material mit entgegengesetzten Polarisationen entlang der Dickenrichtung aufgebaut werden, oder von dem parallelen Typ sein, bei dem die zwei Schichten aus piezoelektrischem Material 14a, 14b in die gleiche Richtung polarisiert sind. Fig. 8, 9 verweisen auf eine Variante, in der eher als ein zweiförmiges piezoelektrisches Element 14 ein Stahlblatt 140 mit einer Dicke von wenigen Zehn Mikrometern verwendet wird, das geeignet geschnitten ist, auf dem eine Schicht aus piezoelektrischem Material 141 durch Siebdruck, Tauchen oder Spincoating mit einer Dicke aufgebracht ist, die in dem Bereich zwischen wenigen Mikrometern und wenigen Hundert Mikrometern liegt. Auf der piezoelektrischen Schicht 141 ist eine Elektrode 142 durch Bedampfen bereitgestellt. In den beiden in Fig. 7, 8, 9 gezeigten Fällen trägt das freie Ende jedes ablenkbaren Blatts 14, 140 eine oder mehrere elektrostatische Wimpern 9 des bereits beschriebenen Typs unter Bezugnahme auf Fig. 1, mit einer Dicke von 0,5-3 Mikrometern und einer Länge von wenigen Mikrometern, die von der Elektrode 142 mittels einer Schicht aus dielektrischem oder ferroelektrischem Material isoliert sind.

Bei Betrieb (Fig. 10-13 und 14) wird das zweiförmige piezoelektrische Element 14 (oder Blatt 140 in dem Fall von Fig. 8) durch Anlegen eines alternierenden elektrischen Impulses zyklisch zu und weg von dem beweglichen Element R abgelenkt, so dass die Wimpern 9 sich zyklisch zu und weg von dem beweglichen Element R bewegen. Die Weg-Bewegung weist eine Komponente in die Bewegungsrichtung des beweglichen Elements R auf, die einen Schritt dH des beweglichen Elements erzeugt, weil während dem Endannäherungsstadium eine elektrische Spannung zwischen den Wimpern 9 und dem beweglichen Element R vorhanden ist, die Haftung der Wimpern an der Oberfläche des beweglichen Elements auch während dem Ausgangsstadium der Weg-Bewegung des zweiförmigen piezoelektrischen Elements oder des Blatts von der Oberfläche sichert. Die Wimpern werden an der Oberfläche des beweglichen Elements durch elektrostatische Effekte haftend und wenn das piezoelektrische zweiförmige Element oder das Blatt beginnt, sich von der Oberfläche wegzubewegen, treiben sie das bewegliche Element durch einen Schritt dH an. Während dem Endstadium der Weg-Bewegung ist die Spannung zwischen Wimpern und beweglichem Element aufgehoben, um die Trennung der Wimpern von dem beweglichen Element zu sichern (Fig. 13). Um die Trennung der Wimpern von dem beweglichen Element zu begünstigen, kann eine Spannung zwischen die Wimpern und die Elektrode des piezoelektrischen Elements angelegt werden, wie in der Variante von Fig. 15 gezeigt ist. Auf diese Weise kann das ganze Stadium der Weg-Bewegung des piezoelektrischen Elements verwendet werden, um das bewegliche Element zu bewegen (Fig. 15). In Fig. 14, 15 entsprechen die durch a, b, c bzw. d gezeigten Stadien den in Fig. 10, 11, 12 und 13 gezeigten Zuständen.

Während das Prinzip der Erfindung das gleiche bleibt, können die Konstruktionsdetails und die Ausführungsformen natürlich in Bezug auf das, was beschrieben und ausschließlich auf einem Beispielweg gezeigt wurde, breit variiert werden, ohne den Schutzumfang der vorliegenden Erfindung zu verlassen.


Anspruch[de]

1. Schrittaktuator, enthaltend:

einen ebenen Stator (S),

ein ebenes, bewegliches Element (R), das parallel zu dem Stator (5) mit einer vorbestimmten Distanz dazu geführt wird,

mindestens eine Elektrode (11), die mit dem beweglichen Element (R) verbunden ist,

eine Vielzahl von ablenkbaren Blättern oder Wimpern (9), die elektrisch leitend sind, wobei jedes bzw. jede ein Ende, das mit dem Stator (S) verbunden ist, und das gegenüberliegende Ende angrenzend zu dem beweglichen Element (R) aufweist, und

elektrische Zuführungsmittel, um Spannungsimpulse zwischen den Wimpern (9) und der Elektrode (11) anzulegen, die mit dem beweglichen Element verbunden ist, um die Wimpern (9) zu veranlassen, an dem beweglichen Element (R) während jedem Spannungsimpuls durch elektrostatische Effekte zu haften,

dadurch gekennzeichnet, dass die Wimpern (9) mit dem Stator (S) durch Dazwischenschalten von piezolelektrischen Mitteln (A; 14; 141) verbunden sind, die durch Anlegen von Spannungsimpulsen aktiviert werden können, um zyklisch eine erste Konfiguration, bei der die Wimpern (9) mit dem beweglichen Element (R) in Kontakt kommen, so dass sie durch die elektrostatischen Effekte daran haften, und eine zweite Konfiguration anzunehmen, bei der die Wimpern (9) sich von dem beweglichen Element (R) weg bewegen, während sie ihre Enden damit verbunden halten, so dass diese Enden eine Bewegung durchführen, die eine Komponente dH in der Bewegungsrichtung des beweglichen Elements aufweisen, um einen Schritt des beweglichen Elements in die Richtung hervorzurufen.

2. Aktuator gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Wimpern (9) durch den Stator (S) durch einen ersten piezoelektrischen Stellantrieb (A) getragen werden, der unter den Wimpern (9) angeordnet ist und der aktiviert werden kann, um den Wimpern eine hin- und hergehende Bewegung zu und weg von dem beweglichen Element zu erteilen.

3. Aktuator gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass angrenzend zu den Wimpern (9), zwischen dem Stator (S) und dem beweglichen Element (R), ein Abstandselement (10) eingeschoben ist, dass an dem Stator (S) gesichert ist und sich in verschiebbaren Kontakt mit dem beweglichen Element (R) befindet, und dass unter dem Abstandselement (10) ein zweiter piezoelektrischer Stellantrieb (B) angeordnet ist, der aktiviert werden kann, um eine hin- und hergehende Bewegung des Abstandselements (10) zu und weg von dem beweglichen Element (R) mit einer entgegengesetzten Phase zu der des ersten piezoelektrischen Stellantriebs (A) zu erteilen.

4. Aktuator gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von ersten und zweiten piezoelektrischen Stellantrieben (A, B) bereitgestellt sind, während sie abwechselnd zueinander, mit den Wimpern (9) über jedem ersten piezoelektrischen Stellantrieb (A) und einem Abstandselement (10) über jedem zweiten piezoelektrischen Stellantrieb (B) angeordnet sind.

5. Aktuator gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator (S) ein Basisblatt (2) enthält, auf dem eine oder mehrere Schichten aus piezoelektrischem Material (5) mit einer Vielzahl von gegenüberliegenden Elektroden (4, 7; 3, 6) angeordnet ist bzw. sind, die auf den zwei gegenüberliegenden Seiten der Schicht aus piezoelektrischem Material (5) angeordnet sind, so dass die zusammenwirkenden Bereiche der Schicht zwischen jedem Paar von gegenüberliegenden Elektroden den ersten und den zweiten piezoelektrischen Stellantrieb (A, B) bilden.

6. Aktuator gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstandselemente (10) alle durch eine oder mehrere Schichten eines Materials mit einem geringen Reibungskoeffizienten gebildet sind.

7. Aktuator gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Wimpern (9) durch den Stator (S) mittels eines ablenkbaren Blattes (14, 140) parallel zu dem beweglichen Element (R) getragen werden, das in einer freitragenden Weise durch den Stator (S) getragen wird und die Wimpern (9) auf seinem freien Ende hält, wobei das Blatt piezoelektrische Mittel (14, 141) umfasst, die aktiviert werden können, um eine alternierende Ablenkung des Blatts zu und weg von dem beweglichen Element hervorzurufen.

8. Aktuator gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Blatt (14) durch ein zweiförmiges piezoelektrisches Element (14a, 14b) gebildet ist, das in einer freitragenden Weise durch ein Abstandselement (13) getragen wird, das mit dem Stator (S) verbunden ist.

9. Aktuator gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Blatt ein Stahlblatt (140) umfasst, auf dem eine Schicht (141) aus einem piezoelektrischen Material aufgetragen ist, wobei das Stahlblatt (140) in einer freitragenden Weise durch ein Abstandselement (13) getragen wird, das mit dem Stator (S) verbunden ist.







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