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Dokumentenidentifikation EP1287592 10.04.2003
EP-Veröffentlichungsnummer 1287592
Titel GASENTLADUNGSLASER MIT EINER DIELEKTRISCHEN KLINGENELEKTRODE
Anmelder Cymer, Inc., San Diego, Calif., US
Erfinder UJAZDOWSKI, C., Richard, San Diego, US;
CATES, C., Michael, Escondido, US;
MORTON, G., Richard, San Diego, US;
HUEBER, Jean-Marc, La Jolla, US;
WINNICK, H., Ross, San Diego, US
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE, TR
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 20.04.2001
EP-Aktenzeichen 019348903
WO-Anmeldetag 20.04.2001
PCT-Aktenzeichen PCT/US01/12815
WO-Veröffentlichungsnummer 0001097343
WO-Veröffentlichungsdatum 20.12.2001
EP-Offenlegungsdatum 05.03.2003
Veröffentlichungstag im Patentblatt 10.04.2003
IPC-Hauptklasse H01S 3/22








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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