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Dokumentenidentifikation DE10160085A1 26.06.2003
Titel Handhabungsvorrichtung für ein Innenloch aufweisende Substrate
Anmelder STEAG HamaTech AG, 75447 Sternenfels, DE
Erfinder Herrmann, Stefan, 75447 Sternenfels, DE;
Sämann, Martin, 75443 Ötisheim, DE;
Hupp, Alexander, 75056 Sulzfeld, DE;
Hill-Ehrenfeuchter, Holger, 76356 Weingarten, DE
Vertreter WAGNER & GEYER Partnerschaft Patent- und Rechtsanwälte, 80538 München
DE-Anmeldedatum 07.12.2001
DE-Aktenzeichen 10160085
Offenlegungstag 26.06.2003
Veröffentlichungstag im Patentblatt 26.06.2003
IPC-Hauptklasse B25J 15/00
IPC-Nebenklasse B25J 19/00   
Zusammenfassung Um eine Handhabungsvorrichtung für ein Innenloch aufweisende Substrate zu schaffen, die ein sicheres und gleichmäßiges Greifen von Substraten ermöglicht, sieht die Erfindung eine Handhabungsvorrichtung für ein Innenloch aufweisende Substrate mit einer Transporteinheit und wenigstens einem Innenlochgreifer an der Transporteinheit vor, bei der der Innenlochgreifer an einem zur Transporteinheit beweglich gehaltenem Halter angebracht ist.

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Handhabungsvorrichtung für ein Innenloch aufweisende Substrate mit einer Transporteinheit und wenigstens einem Innenlochgreifer an der Transporteinheit.

Derartige Handhabungsvorrichtungen sind insbesondere bei der Herstellung optischer Datenträger, wie beispielsweise CDs, DVDs etc. bekannt. Die Handhabungsvorrichtungen werden beispielsweise dazu verwendet, einzelne Substrate oder gebondete bzw verklebte Substrate zu transportieren. Insbesondere bei frisch zusammengefügten Substraten, bei denen ein dazwischen befindlicher Kleber beispielsweise noch ausgeschleudert und ausgehärtet werden muss, ist es wichtig, dass der Innenlochgreifer die Substrate zentriert und gleichmäßig greift. Bei einem ungleichmäßigen Greifen können die frisch zusammengefügten Substrate gegeneinander bewegt werden, wodurch Luftblasen in der dazwischen befindlichen Kleberschicht entstehen können, was den Datenträger erheblich beeinträchtigt. Ferner können die Substrate selbst bzw. die darauf befindlichen Datenschichten beschädigt werden.

Bei Handhabungsvorrichtungen, die mehrere, beispielsweise bis zu sieben Positionen bedienen, besteht das Problem, dass Fluchtungsfehler zwischen der Handhabungsvorrichtung und einer Substrat-Halteeinheit, von der Substrate entnommen werden sollen, auftreten. Durch die Fluchtungsfehler ist der Innenlochgreifer nicht zum Innenloch der Substrate zentriert. Während des Greifvorgangs kommt es dann zu einem ungleichmäßigen Greifen, wodurch die oben genannten Probleme auftreten.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Handhabungsvorrichtung für ein Innenloch aufweisende Substrate zu schaffen, die ein sicheres und gleichmäßiges Greifen von Substraten ermöglicht.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer Handhabungsvorrichtung für ein Innenloch aufweisende Substrate mit einer Transporteinheit und wenigstens einem Innenlochgreifer an der Transporteinheit dadurch gelöst, dass der Innenlochgreifer an einem bezüglich der Transporteinheit beweglich gehaltenem Halter angebracht ist. Dadurch dass der den Innenlochgreifer tragende Halter beweglich an einer Transporteinheit angebracht ist, können Fluchtungsfehler zwischen der Transporteinheit und einer Substrat- Halteeinheit, von der ein Substrat entnommen werden soll, ausgeglichen werden. Dabei ist der Halter vorzugsweise in einer zum Substrat im Wesentlichen parallelen Ebene frei bewegbar an der Transporteinheit gelagert, um einen automatischen Ausgleich durch seitliche Bewegung des Halters und somit des Innenlochgreifers bezüglich der Transporteinheit zu ermöglichen. Insbesondere ist der Halter schwimmend an der Transporteinheit aufgehängt.

Für die bewegbare Lagerung ist der Halter vorzugsweise mit wenigstens einem elastischen Element an der Transporteinheit befestigt, um auf einfache und kostengünstige Weise den oben genannten Ausgleich zu ermöglichen.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist wenigstens ein Distanzstück zwischen der Transporteinheit und dem Halter vorgesehen, um einen gleichmäßigen Abstand dazwischen beizubehalten und insbesondere ein Verkippen des Halters zur Transporteinheit zu verhindern. Um eine leichte Relativbewegung zwischen Transporteinheit und Halter sicherzustellen weist das Distanzstück wenigstens im Kontaktbereich mit dem Halter ein Geitmaterial auf.

Für die automatische Ausrichtung ist vorzugsweise ein stationär am Halter angebrachter Zentrierstift vorgesehen, der eine Zentrierung des Halters und des Innenlochgreifers bei Fluchtungsfehlern zwischen der Transporteinheit und dem Substrat bewirkt.

Bei einer Ausführungsform der Erfindung weist der Innenlochgreifer wenigstens ein relativ zum Halter bewegbares Greifelement auf, um die Substrate zu ergreifen. Durch die bewegliche Lagerung des Halters an der Transporteinheit wird beim Greifen der Substrate eine automatische Zentrierung des Innenlochgreifers zu den Substraten erreicht. Dies ist insbesondere auch ohne einen Zentrierstift möglich. Hierdurch wird ferner eine gleichmäßige Greifkraft an den Innenlochbereich der Substrate angelegt. Vorzugsweise ist wenigstens ein pneumatischer Betätiger für das Greifelement vorgesehen, über den eine gleichmäßige Greifkraft auf den Innenlochbereich der Substrate angelegt werden kann. Vorzugsweise ist der Betätiger am Halter befestigt.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist das Greifelement im Wesentlichen parallel zu einer Substratebene bewegbar, um einen möglichst reibungsfreien Eingriff mit dem Innenlochbereich der Substrate zu ermöglichen.

Vorzugsweise ist der Zentrierstift mittig zu einer Vielzahl von Greifelementen vorgesehen, wobei die Greifelemente vorteilhafterweise für einen guten Eingriff mit dem Innenlochbereich der Substrate bezüglich des Zentrierstifts radial nach außen bewegbar sind.

Um eine Zentrierung des Innenlochgreifers bezüglich der Substrate vor einem Eingriff mit den Substraten zu ermöglichen, ist vorzugsweise eine Substrat- Halteeinheit mit einem Zentrierelement für das Innenloch des Substrats vorgesehen, wobei das Zentrierelement vorteilhafterweise eine Zentrierausnehmung zur wenigstens teilweisen Aufnahme und Zentrierung des Zentrierstifts des Halters aufweist. Um einen Zugriff der Greifelemente auf den Innenlochbereich der Substrate zu ermöglichen, weist das Zentrierelement vorzugsweise nach außen offene Aussparungen für die Greifelemente auf.

Bei einer Ausführungsform der Erfindung ist eine Einheit zum Fixieren des Halters an der Transporteinheit vorgesehen. Das Fixieren des Halters an der Transporteinheit ist insbesondere bei Transportvorgängen mit hohen Geschwindigkeiten von Vorteil, um zu verhindern, dass sich der Halter während des Transports relativ zur Transporteinheit bewegt und am Anfang bzw. am Ende einer Transportbewegung relativ zur Transporteinheit schwingt.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert; es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Handhabungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht eines Teils der Handhabungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 3 eine schematische Schnittansicht durch eine Handhabungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung einschließlich einer Substrat-Halteeinheit;

Fig. 4 eine Draufsicht auf ein Zentrierelement der Substrat-Halteeinheit der vorliegenden Erfindung;

Fig. 5 eine schematische Schnittansicht ähnlich Fig. 3 in der die Zentrierfunktion der vorliegenden Erfindung dargestellt ist;

Fig. 6 eine schematische Ansicht von unten auf Teile eines Halters und eines Innenlochgreifers der vorliegenden Erfindung.

Fig. 1 zeigt eine Handhabungsvorrichtung 1 für ein Innenloch aufweisende Substrate 2. Die Handhabungsvorrichtung 1 besitzt eine Transporteinheit bestehend aus einem Drehbewegungsteil und einem Linearbewegungsteil. Der Drehbewegungsteil wird durch ein drehbares Gehäuse 3 und einen Drehantrieb 5 gebildet. Der Linearbewegungsteil wird durch eine Linearbewegungseinheit 7 mit einem linear bewegbaren Schlitten 9 und einem entsprechenden Linearantrieb, wie beispielsweise einem Pneumatikantrieb gebildet. Die Linearbewegungseinheit 7 ist an dem drehbaren Gehäuse 3 angebracht, um sich mit diesem zu drehen. Der Linearbewegungsschlitten ist parallel zu einer Drehachse des Gehäuses 3 verschiebbar.

Am Schlitten 9 der Linearbewegungseinheit 7 ist ein Auslegearm 12 angebracht, der sich radial vom Gehäuse 3 des Drehbewegungsteils weg erstreckt.

Der Auslegearm 12 besitzt ein freies Ende 13, an dem ein Gehäuse 14 angebracht ist, das am besten in Fig. 2 zu erkennen ist.

An dem vom Auslegearm 12 beabstandeten Ende des Gehäuses 14 ist eine Vielzahl von elastischen Elementen 16, wie beispielsweise Gummizylindern, angebracht, die an ihrem freien Ende wiederum über geeignete Befestigungsmittel eine Halteplatte 18 tragen. Benachbart zu den elastischen Elementen sind Distanzstücke 17 vorgesehen, die einen gleichmäßigen Abstand zwischen der Halteplatte 18 und dem Gehäuse 14 vorsehen. Die Distanzstücke sind stationär am Gehäuse 14 angebracht während sich die Halteplatte 18 in ihrer Ebene relativ zu den Distanzstücken bewegen kann. Die Distanzstücke 17 bestehen aus einem Gleitmaterial, sodass sich die Halteplatte 18 möglichst reibungsfrei bewegen kann. Natürlich können auch nur mit der Halteplatte 18 in Kontakt stehenden Oberflächen ein Gleitmaterial aufweisen, wie beispielsweise eine Teflonbeschichtung. Alternativ kann auch die zum Gehäuse 14 weisende Oberfläche ein Gleitmaterial, wie beispielsweise eine Teflonbeschichtung, aufweisen. Durch die elastischen Elemente 16 wird die Halteplatte 18 schwimmend am Gehäuse 14 gehalten und kann sich insbesondere in der Ebene der Platte 18 frei bewegen. Die Platte 18 weist drei gleichmäßig beabstandete Öffnungen 19 auf, deren Funktion nachfolgend noch beschrieben wird.

An der Platte 18 ist mittig ein Zentrierstift 20 fest angebracht, der sich im Wesentlichen senkrecht zur Ebene der Platte 18 erstreckt, und zwar auf der vom Gehäuse 14 weg weisenden Seite der Platte 18.

An der Halteplatte 18 sind ferner drei bewegbare Greifelemente 22 vorgesehen, die jeweils einen Greiffinger 24 aufweisen. Die Greifelemente 22 sind jeweils um 120° zueinander versetzt angeordnet. Die Greifelemente 22 sind über nicht näher dargestellte Pneumatikbetätiger, die mit einem im Gehäuse 14 angeordneten Pneumatikantrieb 26 verbunden sind bewegbar. In Fig. 2 ist ein Anschluß 27 für ein unter Druck stehendes Gas zu erkennen, das beispielsweise durch eine für die Linearbewegungseinheit 7 verwendete Pumpe bereitgestellt wird. Zwischen der Platte 18 und dem Gehäuse 14 ist ferner ein Greifkraftbegrenzer 28 vorgesehen, um die durch die Greifelemente ausgeübte Kraft beim Greifen von Substraten zu begrenzen.

Die Greifelemente sind jeweils linear bewegbar, und ihre Bewegungsachsen schneiden sich im Zentrierstift 20, so dass sich die Greifelemente 22 radial hierzu bewegen. Um die Bewegung zu ermöglichen, sind die Greifelemente 22 wenigstens teilweise in den Öffnungen 19 der Platte 18 angeordnet. Bei der Bewegung der Greifelemente beschreiben die Greiffinger einen sich aufweitenden Kreis, um ein sicheres Greifen des Innenlochs der Substrate 2 zu ermöglichen.

In Fig. 3 ist zu erkennen, dass das freie Ende des Zentrierstifts 20 abgeschrägt ist, um einen äußeren Zentrierkonus 29 zu bilden.

In Fig. 3 ist ferner eine Substrat-Halteeinheit 30 gezeigt. Die Substrat- Halteeinheit 30 weist einen Auflageteller 32 auf, der beispielsweise Teil eines Rundschalttischs sein kann. Der Auflageteller 32 ist in bekannter Weise derart ausgestaltet, dass er das darauf aufliegende Substrat nur im Mittellochbereich, d. h. außerhalb eines Datenbereichs des Substrats kontaktiert.

Am Auflageteller 32 ist ein Zentrierelement 34 in der Form eines hohlen Zentrierstifts angebracht. Der Zentrierstift 34 weist eine Mittelöffnung 36 auf, die an ihrem gemäß Fig. 3 oberen Ende innere Zentrierschrägen 38 aufweist. Die inneren Zentrierschrägen 38 am Zentrierstift 34 sind komplementär zu den Schrägen des Zentrierkonus 29 des Zentrierstifts 20. Die Mittelöffnung 36 des Zentrierstift 34 ist zur Aufnahme des Zentrierstifts 20 bemessen. Am oberen Ende des Außenumfangs des Zentrierstifts sind äußere Zentrierschrägen vorgesehen, die einerseits eine Zentrierung der Substrate ermöglichen und andererseits beim Entnehmen der Substrate 2 sicherstellen, dass sie den Zentrierstift 34 nicht kontaktieren.

Wie am besten in der Draufsicht auf den Zentrierstift 34 gemäß Fig. 4 zu erkennen ist, besitzt der Zentrierstift 34 drei Ausnehmungen 40 zur wenigstens teilweisen Aufnahme der Zentrierfinger 24 der Greifelemente 22, wie es schematisch in Fig. 5 dargestellt ist. Hierzu sind die Ausnehmungen 40 jeweils um 120° zueinander versetzt.

Im nachfolgenden wird die Funktion der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung näher erläutert.

Wir gehen zunächst davon aus, dass zwei frisch zusammengefügte Substrate 2 mit einer dazwischen befindlichen noch flüssigen Kleberschicht auf der Auflageplatte 32 der Substrat-Halteeinheit 30 aufliegen. Die Substrate 2 sind durch den Zentrierstift 34 zur Auflageplatte 32 zentriert. Die Substrate sollen nun gemeinsam, ohne eine Relativbewegung dazwischen zu einer Ausschleuderstation transportiert werden.

Hierzu wird durch die Transporteinheit ein Innenlochgreifer bestehend aus den Greifelementen 22 in eine Position über der Substrat-Aufnahemeinheit 30 bewegt, wie es beispielsweise in Fig. 3 dargestellt ist. Wenn das Gehäuse 14 exakt bezüglich der Substrat-Aufnahmeeinheit 30 positioniert ist, wie in Fig. 3 gezeigt, wird es gemeinsam mit dem Halter 18 und dem daran angebrachten Innenlochgreifer abgesenkt. Der Zentrierstift 20 wird in die Öffnung 36 im Zentrierelement 34 eingeführt und die Greiffinger 24 bewegen sich in die Ausnehmungen 40 des Zentrierelements 34. Aufgrund der genauen Ausrichtung zwischen Aufnahmeeinheit 30 und Gehäuse 14 durch die Transporteinheit kommt es direkt zu einem zentrischen Einführen der Greiffinger 24 in das Innenloch der Substrate.

Anschließend werden die Greifelemente 22 pneumatisch radial nach außen bewegt, um die Substrate 2 an ihrem Innenloch zu greifen. Dann können die Substrate 2 von der Substrat-Halteeinheit abgehoben werden, durch eine Linearbewegung der Linearbewegungseinheit 7, welche mit dem Innenlochgreifer, wie oben beschrieben, gekoppelt ist.

Da es jedoch nicht immer möglich ist, das Gehäuse 14 exakt bezüglich der Substrat-Aufnahmeeinheit 30 zu positionieren, insbesondere wenn die Handhabungsvorrichtung mehrere Positionen bedienen muß, kann es zu einer Fehlausrichtung zwischen dem Gehäuse 14 und somit auch einer Fehlausrichtung zwischen dem Innenlochgreifer und der Substrat-Halteeinheit 30 kommen. In diesem Fall ist natürlich auch eine Fehlausrichtung zwischen dem Innenlochgreifer und dem Innenloch der Substrate 2 gegeben.

Eine Fehlausrichtung zwischen dem Innenlochgreifer und dem Innenloch der Substrate 2 wird jedoch durch eine seitliche Bewegung des Halters 18 ausgeglichen, wenn das Gehäuse 14 nach unten bewegt wird, um den Innenlochgreifer in eine Aufnahmeposition zu bewegen, wie nachfolgend beschrieben wird.

Bei der Bewegung des Gehäuses 14 in Richtung der Substrat-Halteeinheit 30 kommt der Zentrierkonus 29 des Zentrierstifts 20 mit der Zentrierschräge 38 des Zentrierelements 34 in Eingriff. Bei einer weiter nach unten gerichteten Bewegung wird der Halter 18 durch den Zentrierstift 20 relativ zum Gehäuse 14 bewegt. Diese Relativbewegung wird durch die elastischen Elemente 16 ermöglicht, wie schematisch in Fig. 5 dargestellt ist. Durch den Zentrierstift 20 wird der Halter 18 und der Innenlochgreifer mit den Greifelementen 22 bezüglich der Substrat-Halteeinheit 30 zentriert, obwohl das Gehäuse 14 fehlausgerichtet ist. Mit dem Bezugszeichen 14' und 16' ist die Position des Gehäuses bzw. der elastischen Elemente dargestellt, wenn sie bezüglich der Substrat- Halteeinheit 30 zentriert wären. Das Zentrierelement 34 und der Zentrierstift 20 sind derart ausgestaltet, dass die Zentrierfinger 24, ohne die Substrate 2 zu kontaktieren, in das Mittelloch der Substrate eingeführt werden d. h., die Greiffinger sind beim Einführen in das Innenloch der Substrat schon im Wesentlichen hierzu zentriert.

Wenn sich das Gehäuse 14 und somit der Innenlochgreifer in der in Fig. 5 gezeigten Position befinden, werden die Greifelemente 22 des Innenlochgreifers radial nach außen bewegt, um die Substrate 2 an ihrem Innenloch zu greifen. Durch die Relativbewegung zwischen der Platte 18 und dem Gehäuse 14 kann sichergestellt werden, dass sich der Innenlochgreifer immer automatisch zum Innenloch der Substrate 2 zentriert und somit gleichmäßig am Innenloch angreifen kann.

Die elastischen Elemente 16 erlauben im Wesentlichen eine Bewegung des Halters 18 in einer zu den Substraten parallelen Ebene und sehen eine schwimmende Lagerung des Halters 18 vor. Nach dem Greifen der Substrate 2 durch die Greifelemente 22 wird das Gehäuse 14 wieder angehoben. Durch die elastischen Elemente 16 wird der Halter 18 hierbei wieder seitlich in eine zentrierte Position unterhalb des Gehäuses 14 bewegt. Das Zentrierelement 34 und der Zentrierstift 20 sind derart ausgestaltet, dass die Substrate 2 beim Anheben und der seitlichen Bewegung nicht das Zentrierelement kontaktieren. Dabei verhindern insbesondere auch die äußeren Zentrierschrägen 39 einen Kontakt zwischen den Substraten 2 und dem Zentrierstift 34.

Nun befinden sich auch die Substrate 2 bezüglich des Gehäuses 14 in einer zentrierten Position. Das Ablegen eines Substrats 2 auf einer Substrat- Aufnahmeeinheit 30 erfolgt in umgekehrter Weise.

Durch die zuvor beschriebene Handhabungsvorrichtung 1 können ein einzelne oder mehrere Substrate 2 zentriert von einer Substrat-Aufnahmeeinheit 30 aufgenommen und auf einer solchen abgelegt werden. Insbesondere bei der Aufnahme von Substraten 2 erfolgt eine zentrierte Aufnahme, wodurch ein gleichmäßiger Druck an den Innenlochbereich der Substrate 2 angelegt wird.

Um nach der Aufnahme von Substraten 2 eine Relativbewegung zwischen den Substraten und dem Gehäuse 14 der Transporteinheit zu verhindern, kann eine nicht dargestellte Einheit zum stationären Halten des Halters an der Transporteinheit vorgesehen sein. Beispielsweise kann eine Fixierstange vorgesehen sein, die sich zwischen dem Gehäuse 14 und der Halteplatte 18erstreckt und zwischen einer die Platte 18 fixierenden Stellung und einer die Platte 18 freigebenden Stellung bewegbar ist.

Obwohl die Erfindung zuvor anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung beschrieben wurde, ist die Erfindung nicht auf das konkret dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt. Beispielsweise können statt der drei dargestellten Greifelemente eine unterschiedliche Anzahl von Greifelementen vorgesehen sein. Die Greifelemente könnten statt pneumatisch auch auf anderer Weise betätigt werden, wie beispielsweise durch Magneten, elektrisch und/oder hydraulisch. Auch können statt der elastischen Gummielemente 16 beispielsweise Federelemente oder andere geeignete Einrichtungen vorgesehen sein, die eine schwimmende Aufhängung der Platte 18 ermöglichen. Auch kann die Vorrichtung ohne den Zentrierstift 20 auskommen, wobei eine Zentrierung des Innenlochgreifers bzw. der Greifelemente 22 bezüglich der Substrate 2 bei der Einführung der Greifelemente in das Innenloch der Substrate durch das Zentrierelement der Substrat-Halteeinheit erfolgen kann. Beispielsweise könnte das Zentrierelement einen nach oben weisenden Zentrierkonus besitzen, der zwischen die Greifelemente einführbar ist, und direkt eine Zentrierung der Greifelemente bewirkt. Auch eine Bewegung der Greifelemente in Eingriff mit dem Innenloch der Substrate könnte eine Zentrierung bewirken. Bei einem ersten Kontakt eines Greiffingers 24 mit dem Innenumfang eines Innenlochs eines Substrats kann die Halteplatte 18 bezüglich des Gehäuses 14 bewegt werden, bis alle Greifelemente mit dem Innenumfang des Substrats in Eingriff stehen. Dabei wäre es jedoch wichtig, dass die Halteplatte 18 sehr leicht bezüglich des Gehäuses 14 bewegt werden kann.


Anspruch[de]
  1. 1. Handhabungsvorrichtung (1) für ein Innenloch aufweisende Substrate (2) mit einer Transporteinheit und wenigstens einem Innenlochgreifer (22) an der Transporteinheit, dadurch gekennzeichnet, dass der Innenlochgreifer (22) an einem zur Transporteinheit beweglich gehaltenem Halter (18) angebracht ist.
  2. 2. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Halter (18) in einer zum Substrat (2) parallelen Ebene frei bewegbar an der Transporteinheit gelagert ist.
  3. 3. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Halter (18) schwimmend an der Transporteinheit aufgehängt ist.
  4. 4. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Halter (18) mit wenigstens einem elastischen Element (16) an der Transporteinheit befestigt ist.
  5. 5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch wenigstens ein Distanzstück zwischen der Transporteinheit und dem Halter.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Distanzstück wenigstens im Kontaktbereich mit dem Halter ein Geitmaterial aufweisen.
  7. 7. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet, durch einen stationär am Halter (18) angebrachten Zentrierstift (20).
  8. 8. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Innenlochgreifer (22) wenigstens ein relativ zum Halter bewegbares Greifelement (22) aufweist.
  9. 9. Vorrichtung (1) nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch einen pneumatischen Betätiger für das Greifelement (22).
  10. 10. Vorrichtung (1) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Betätiger am Halter (18) befestigt ist.
  11. 11. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Greifelement (22) im Wesentlichen parallel zu einer Substratebene bewegbar ist.
  12. 12. Vorrichtung (1) nach Anspruch 7 und einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Zentrierstift (20) mittig zu einer Vielzahl von Greifelementen (22) vorgesehen ist.
  13. 13. Vorrichtung (1) nach Anspruch 112, dadurch gekennzeichnet, dass die Greifelemente (22) bezüglich des Zentrierstifts (20) radial nach außen bewegbar sind.
  14. 14. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 7 bis 13, gekennzeichnet durch eine Substrat-Halteeinheit (30) mit einem Zentrierelement (34) für die Substrate (2) und den Innenlochgreifer.
  15. 15. Vorrichtung 1 nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Zentrierelement (34) eine Zentrieröffnung (36) zur wenigstens teilweisen Aufnahme und Zentrierung des Zentrierstifts (20) des Halters (18) aufweist.
  16. 16. Vorrichtung (1) nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Zentrierelement (34) nach außen offene Aussparungen (40) für Greifelemente (22) des Innenlochgreifers aufweist.
  17. 17. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Einheit zum stationären Halten des Halters (18), an der Transporteinheit.






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