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Dokumentenidentifikation EP1320853 31.07.2003
EP-Veröffentlichungsnummer 1320853
Titel BELEUCHTUNGSSYSTEM INSBESONDERE FÜR MIKROLITHOGRAPHIE
Anmelder Carl Zeiss, 89518 Heidenheim, DE;
Carl-Zeiss-Stiftung Trading as Carl Zeiss, 89518 Heidenheim, DE
Erfinder ANTONI, Martin, 73430 Aalen, DE;
SINGER, Wolfgang, 73431 Aalen, DE;
WANGLER, Johannes, 89551 Königsbronn, DE
Vertragsstaaten AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE, TR
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 28.09.2001
EP-Aktenzeichen 019804509
WO-Anmeldetag 28.09.2001
PCT-Aktenzeichen PCT/EP01/11232
WO-Veröffentlichungsnummer 0002027406
WO-Veröffentlichungsdatum 04.04.2002
EP-Offenlegungsdatum 25.06.2003
Veröffentlichungstag im Patentblatt 31.07.2003
IPC-Hauptklasse G21K 5/04








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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