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Dokumentenidentifikation EP1327172 21.08.2003
EP-Veröffentlichungsnummer 1327172
Titel 8-SPIEGEL-MIKROLITHOGRAPHIE-PROJEKTIONSOBJEKTIV
Anmelder Carl Zeiss, 89518 Heidenheim, DE;
Carl-Zeiss-Stiftung Trading as Carl Zeiss, 89518 Heidenheim, DE
Erfinder MANN, Hans-Jürgen, 73447 Oberkochen, DE;
ULRICH, Wilhelm, 73434 Aalen-Dewangen, DE;
SEITZ, Günther, 71579 Spiegelberg, DE
Vertragsstaaten AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE, TR
Sprache des Dokument DE
EP-Anmeldetag 19.10.2001
EP-Aktenzeichen 019824390
WO-Anmeldetag 19.10.2001
PCT-Aktenzeichen PCT/EP01/12110
WO-Veröffentlichungsnummer 0002033467
WO-Veröffentlichungsdatum 25.04.2002
EP-Offenlegungsdatum 16.07.2003
Veröffentlichungstag im Patentblatt 21.08.2003
IPC-Hauptklasse G02B 17/06
IPC-Nebenklasse G03F 7/20   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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