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Dokumentenidentifikation DE69721167T2 11.03.2004
EP-Veröffentlichungsnummer 0000833181
Titel Verfahren zur Bilderfassung bei konfokaler Mikroskopie
Anmelder Consiglio Nazionale delle Ricerche, Rom/Roma, IT
Erfinder Benedetti, Pier Alberto, 56124 Pisa, IT;
Evangelista, Valtere, 50042 Capraia e Limite (Firenze), IT;
Guidarini, Dante, 56010 San Giulliano Terme (Pisa), IT;
Vestri, Stefano, 56124 Pisa, IT
Vertreter Patentanwälte Walter Eggers Lindner, 81241 München
DE-Aktenzeichen 69721167
Vertragsstaaten DE, FR, GB
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 25.09.1997
EP-Aktenzeichen 978304681
EP-Offenlegungsdatum 01.04.1998
EP date of grant 23.04.2003
Veröffentlichungstag im Patentblatt 11.03.2004
IPC-Hauptklasse G02B 21/00
IPC-Nebenklasse G06T 5/50   

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erlangung von Bildern mittels Konfokalmikroskopie.

Genauer betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren für die Konfokalbilderlangung in optischen Systemen für die analytische Mikroskopie und in anderen optischen Systemen mit einer relativ hohen numerischen Apertur unter Einbeziehung der elektronischen Bilderlangung. Die zu analysierenden Objekte können absorbierend (Transmission), reflektierend oder fluorenszent sein, und die optischen Anordnungen können daher unter jenen für die Analyse unter transmittiertem oder reflektiertem Licht oder unter Fluoreszenz variieren.

Die Konfokalmikroskopie oder jedenfalls die Analyse und die Verarbeitung von Bildern von Objekten mittels konfokalen Systemen mit optischen und elektronischen Einrichtungen ist eine Technik, die allein in den vergangenen Jahren beachtlich gewachsen ist. Diesbezüglich ist auf den Artikel "Confocal Microscopy" von Jeff W. Lichtman, Scientific American, August 1994, sowie die Patentanmeldungen DE-A-4023650, veröffentlicht am 30. Januar 1992, EP-B-0466979, veröffentlicht am 5. Oktober 1994, und andere Dokumente Bezug genommen werden.

Konfokaltechniken sind sehr effektiv, wenn die zu betrachtende(n) relativ dicke(n) Struktur(en), wovon eine dreidimensionale Struktur erhalten werden muß, in ein relativ transparentes und dünnes Material eingetaucht ist/sind.

Wenn die Strukturen, die durch ein konfokales Verfahren zu analysieren sind, in einem relativ dicken Material sind und Lichtstreueigenschaften haben, tritt ein zunehmender Kontrastverlust mit zunehmender Streuung auf, was zu einer schlechten Erkennbarkeit oder in einem extremen Fall der Unerkennbarkeit der interessierenden mikroskopischen Strukturen führt.

Gemäß der bekannten Technik wird das interessierende Objekt mittels einer Gruppe von Lichtstrahlen beleuchtet, die auf Positionen konzentriert sind, die zu einer Fokusebene gehören, und gemäß einem geordneten zweidimensionalen Gitter auf der besagten Ebene angeordnet sind. Die vollständige Beleuchtung des zu untersuchenden Feldes wird durch die systematische Verschiebung gemäß zwei Koordinaten des Gitters erhalten, um alle Räume unter den fokusierten Lichtpunkten, die von dem Gitter herrühren, abzudecken. Ein Gerät, das auf diese Weise arbeitet, ist auch in der DE-A-4113279 offenbart.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird, um die Erlangung eines konfokalen Bildes auszuführen, die Erlangung des Satzes von Teilbildern, die entsprechend jeder Position des Beleuchtungsgitters in der Fokusebene erhalten werden, zuerst mittels einer elektronischen Bilderfassungsvorrichtung ausgeführt. Auf diese Weise wird für jedes Bildelement eine Werteverteilung in Abhänigkeit von der Gitterposition erhalten.

Gemäß der vorliegenden Erfindung werden Konfokalbilder durch Analysieren der oben angegebenen Werteverteilung unter Verwendung statistisch-mathematischer Prozeduren der unten beschriebenen Art mit einem zunehmenden Grad an Komplexität und Genauigkeit erhalten.

Die Erfindung ist, wie sie in den Ansprüchen angegeben ist.

Insbesondere wird unter Bezugnahme auf ein eindimensionales Beispiel zum Zwecke der Einfachheit gemäß der vorliegenden Erfindung ein neues Bild, das aus den Helligkeitsmaxima unter den entsprechenden Elementen jedes aufgenommenen Bildes gebildet ist, berechnet. Das auf diese Weise berechnete Bild Max(x) hat Konfokalcharakteristika da es hauptsächlich das Signal enthält, das von den hellsten und fokussierten Bereichen kommt, selbst wenn ein Teil des Signals, das von den weniger hellen Bereichen kommt, enthalten ist, da sie relativ außer Fokus oder seitwärts versetzt bezüglich der Gitterpositionen sind.

Auch gemäß der Erfindung wird dann ein zweites Bild Min(x), das aus den Helligkeitsminima unter den entsprechenden Elementen jedes aufgenommenen Bildes gebildet ist, berechnet.

Das zweite Bild enthält hauptsächlich das Signal, das von den weniger hellen Bereichen kommt, soweit sie weniger im Fokus oder seitlich versetzt sind, während es dazu neigt, das Signal auszuschließen, das von den hellsten Bereichen kommt.

Folglich enthält das Bild der Helligkeitsmaxima sowohl die Beleuchtung aufgrund des Teils im Fokus des zu untersuchenden Objektes, als auch jene des weniger hellen Teils, der nicht im Fokus ist, während das Minimabild dazu neigt, nur von dem weniger hellen Teil und außer Fokus davon beeinflußt zu sein. Als eine Folge wird gemäß der Erfindung ein Bild mit gesteigerten konfokalen Charakteristika, d. h. einem genaueren optischen Schnitt, durch Berechnen der Differenz zwischen dem Maximabild und dem Minimabild erhalten. Als eine Tatsache gestattet dies, den Kontrast zu erhöhen und den Streueffekt des Materials zu verringern, in welchem das zu untersuchende Objekt eingetaucht ist.

Im Fall von Störungen neigt die obige Operation zum Verschieben auf Nullniveau. Eine weitere Verbesserung der Erfindung, passend zum Vermeiden der obigen Verschiebung auf das Nullniveau und selbst zum Erhöhen der räumlichen Auflösung, besteht im Berechnen eines neuen Bildes Med(x), gebildet durch die Mittelwerte oder durch die Durchschnittswerte unter den entsprechenden Elementen jedes der aufgenommenen Bilder, und im Ausführen einer mathematischen Verarbeitung des Signals, die repräsentiert werden kann durch die Formel: K [Max (x) + Min (x) – 2Med (x)] wobei K ein Verstärkungsfaktor ist, der mit der Form der Beleuchtungsbereiche korelliert ist.

Die Charakteristika und die Vorteile des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung werden anhand der folgenden Beschreibung eines tatsächlich bevorzugten Ausführungsbeispiels, das als ein nicht beschränkendes Beispiel angegeben ist, unter Bezugnahme auf die angefügten Zeichnungen deutlich, in welchen

1 ein allgemein veranschaulichendes Diagramm eines Konfokalmikroskopiersystems ist;

2 ein Wellenformdiagramm der Signale eines Systems einer Lichtreflexionsmikroskopie des Bildes auf einer generischen Linie eines Matrixsensors als eine Funktion der Verschiebung des Beleuchtungsgitters längs einer Achse ist;

3 ein Diagramm ähnlich zu jenem von 2 ist, worin das Ergebnis der "Maximum-minus-Minimum"-Operation gezeigt ist;

4 ein Diagramm ähnlich zu jenen der 2 und 3 ist, worin die Operation K (Max + Min – 2Med) ausgeführt wird;

5 ein mögliches Datenverarbeitungsblock-Flußdiagramm für das System der Erfindung ist;

6, im Einzelnen a), b), c), d), e), f) verschiedene Bilder von dem Anfangszustand zum Endgültigen bei einem Bildverarbeitungsverfahren, wie es in der 4 gezeigt ist, zeigt.

Unter Bezugnahme auf die 1 ist hierin die herkömmliche allgemeine Anordnung eines Konfokalmikroskops gezeigt. Eine Lichtquelle 10 kooperiert mit einer Kollimationslinse 11, wovon der austretende Lichtstrahl durch ein Lochmatrixdiaphragma 12 oder eine äquivalente Vorrichtung hindurchgeht, das/die gemäß zwei Koordinatenachsen x, y mittels Motoren (nicht gezeigt), vorzugsweise durch Schrittmotoren, versetzt wird. Die Struktur, die durch das Lochmatrixdiaphragma gebildet ist, kann durch eine xy-Matrix-Abtastvorrichtung, ersetzt werden die durch eine Flüssigkristall-Lichtwellen-Optoelektronikvorrichtung und ohne bewegliche mechanische Teile gebildet ist. Das Licht, das durch das Lochmatrixdiaphragma 12 hindurchgeht, trifft auf einen Strahlteiler 15. Ein Teil des Lichts, das durch den Strahlteiler 15 hindurchgeht, wird mittels einer Linse 17 auf eine Probe 16 fokussiert. Der Teil des Lichts, der vom Strahlteiler 15 nach links reflektiert wird, wird von einer Lichtfalle 19 eingefangen, wie in diesen optischen Anordnungen wohl bekannt ist, um zurück gestreutes störendes Licht zu eliminieren.

Das Licht, das von der Probe 16 zurückkommt, ist auf einen fotoelektrischen Bildsensor 18 gerichtet, wie einen zweidimensionalen CCD-Sensor. Die Operation einer solchen optischen Anordnung ist einem Fachmann wohl bekannt und eine genaue Beschreibung davon wird weggelassen.

Wie oben angegeben ist, ist das optische System, das in der 1 gezeigt ist, relevant für die Analyse durch Reflexion einer Probe, und es wird ein elektromechanisches System für die Verschiebung des Lochmatrixdiaphragmas 12 bereitsgestellt. Verschiedene optische Systeme, die für die Probenanalyse durch Transmission und/oder durch Fluoreszenz relevant sind, sind im Umfang der Erfindung enthalten. Insbesondere ist im Umfang der Erfindung enthalten die Verwendung von optoelektronischen Einrichtungen, um das Abtasten des Lochmatrixdiaphragmas 12 auszuführen oder auf eine unterschiedliche Weise die Funktion des Beleuchtungsgitters durchzuführen. Dies kann erfolgen zum Beispiel mittels räumlicher Lichtmodulatoren ohne bewegliche Teile des Typs, der von Fairfield und Vaytek in VIRTUAL MICROSCOPE, European Microscopy, Mai 1996, offenbart ist. Dieselbe Operation kann auch ausgeführt werden durch Verwendung von DMD- (Digital Mciromirror Device; digitale Mikrospiegelvorrichtung) Vorrichtungen, wie von J. M. Younse in "MIRRORS ON A CHIP", IEEE Spectrum, November 1993 beschrieben ist.

Nun wird die Operation des Systems gemäß der Erfindung beschrieben. Unter Bezugnahme auf die 2, 3 und 4, betreffen diese eine einzelne Abtastlinie durch eine generische Probe und ist gleich jenen, die einem linearen Bildsensor entsprechen könnten oder einer generischen Abtastlinie, die durch die Probe eines zweidimensionalen Bildsensors hindurchgeht. Es ist zu beachten, daß die Verwendung eines Bildsensors eines linearen oder zweidimensionalen Typs nur als Beispiel eines allgemein verwendeten optoelektronischen Sensors angegeben ist, und daß zu verstehen ist, daß die Verwendung von Sensoren verschiedener Typen im Umfang der Erfindung enthalten ist.

Unter Bezugnahme insbesondere auf die 2 repräsentiert die Horizontalachse den Raum, den die Probe kreuzt, während die Vertikalachse die relative Intensität (oder Dichte) des Signals auf einer willkürlichen Skala in den verschiedenen Figuren repräsentiert.

Die Linie 100 gibt den Konfokalbeleuchtungsprozeß der Probe an, der durch die Verschiebung ausgeführt wird, zum Beispiel längs der x-Koordinate des Lochmatrixdiaphragmas oder räumlichen Modulators 12, wie in der 1 gezeigt ist. In der Linie 100 sind Spitzen 101 die Beleuchtungsspitzen der Probe in einer generischen Position m des Diaphragmas 12. Spitzen 102, 103 sind die Verschiebung der Spitzen 101 in den Positionen m + 1, m + 2, die jeweils von den Motoren angesteuert werden, die die Verschiebung des Diaphragmas 12 ausführen.

In der Wiedergabe der 2 (und auch der 3 und 4) ist die "Dichte" der Spitzen vereinfacht und reduziert bezüglich dem realen Zustand.

Die Linie 105 zeigt das Wellenformdiagramm der optischen Dichte (Opazität) einer generischen Probe, wobei die wegenthaltenden Teile 106, 107 null optische Dichte (perfekte Transparenz) der Probe haben und Teile 108, 109, 110, 111, 112 eine dazwischen liegende optische Dichte zwischen der Null-Dichte (106,107) und der maximalen 113 haben.

Die Linie 14 zeigt die Ausgabe eines Detektors, wie eines CCD-Fotodetektors (bezeichnet mit 18 in der 1), welche Ausgabe gebildet ist durch eine Einhüllende von Spitzen entsprechend den Spitzen der Linie 100, räumlich moduliert durch die optische Dichte der Probe, wie in der Linie 105 gezeigt ist.

Wenn die Lichtspitzen der Linie 114 entsprechend den Abtastschritten (x-Achse) mit einem herkömmlichen Datenverarbeitungsverfahren extrahiert werden, wird die Einhüllende 115 der Linie 116 erhalten, die eine wahre Reproduktion der Probenbildeinzelheiten repräsentiert, die an der Linie 105 exemplifiziert sind.

In der 3 ist die Signalverarbeitung gemäß der Erfindung gezeigt, wobei ein unerwünschtes Hintergrundsignal eines systematischen Typs und erzeugt durch die Anwesenheit von Etwas, das ein Streuen in der Probe verursacht, was nicht Teil des interessierenden Bildes desselben ist, entfernt ist.

Die Linien 100 und 105 der 3 haben dieselbe Bedeutung wie die entsprechenden von 2.

In dem Fall von 3 ist ein unerwünschtes Hintergrundsignal oder eine systematische Störung, das/die an der Linie 120 angegeben sind, der Kurve 105 zugeordnet, die die Probe repräsentiert.

Als eine Folge des Fotosensorausgangssignals, das an der Linie 114' angegeben ist, werden die "Minima" des Probensignals bezüglich der Basislinie um einen Betrag angehoben, der dem Hintergrundsignal entspricht, welches alleine durch die Linie 121 gezeigt ist, die durch Zeichnen der "Minima" des Bildsignals 114' gebildet ist.

Ohne daß die Operation der Erfindung ausgeführt würde, wäre das Ausgangssignal jenes, das an der Linie 116' angegeben ist, die durch eine Einhüllende gebildet ist, die praktisch gebildet ist durch Addieren des Probensignals (Linie 105) zu dem unerwünschten Signal (Linie 120).

Durch Subtrahieren des Signals 121 von dem Signal 116' wird das Endsignal 122 erhalten. Das Endsignal 122 kann wiedergegeben werden als A(Max – Min), wo A eine Proportionalitätskonstante ist, die gleich zu 1 angenommen werden kann.

Es ist anzuerkennen, daß das Signal der Linie 122 von systematischen Störungen 120 "bereinigt" ist, wodurch mögliche Artefakte in dem Endbild entfernt werden und der Bildkontrast verbessert wird.

Eine Variation des Verarbeitungsverfahrens gemäß der Erfindung auf das Entfernen (oder zumindest signifikante Reduzieren) systematischer und/oder zufälliger Fehler und Ähnlichem gerichtet, ist in der 4 gezeigt.

Systematische Störungen wurden vorher definiert. Zufällige Störungen können verschiedenen Ursprung haben, zum Beispiel eine Störung in dem fotoelektrischen Sensor des CCD-Detektors, zufällige Fluktuationen der Lichtquelle (zum Beispiel zufällige Instabilität der Bogenlichtquelle etc.).

Die Linie 130 von 4 zeigt die Beleuchtung (ähnlich Linie 100 von 2). Die Linie 131 zeigt die Probendichte (ähnlich Linie 105 der 2 und 3). Die Linie 132 ist das theoretische Bild der Probe alleine genommen.

Die Linie 133 zeigt den weg der möglichen systematischen + zufälligen Störungen. Die Linie 134 zeigt das Fotoelektriksensor-Ausgangssignal, die Kurve 135 die Einhüllende der "Maxima" und die Linie 136 die Einhüllende der "Minima". Die Linie 137 repräsentiert einen Durchschnitt der "Maxima" und "Minima", und die Linie 138 repräsentiert die Funktion K (Max + Min – 2 Med), die die finale Komponente repräsentiert, die von dem System kommt, und das Endbild bildet.

In anderen Worten ändert sich während der Abtastoperation gemäß i die Position der Beleuchtungsspitzen. Ein Satz von Vektoren Ii(x), die numerisch das Intensitätsprofil wiedergeben, das von der Probe detektiert wurde, entsprechend x, wird somit erhalten.

Von Ii(x) Einstellung werden die folgenden Vektoren erhalten:

  • – Max(x), gebildet durch die "Maxima" der entsprechenden Elemente, die Teil der Vektoren Ii(x) sind, wenn i variiert (4, Linie 135);
  • – Min(x), gebildet durch die "Minima" der entsprechenden Elemente, die Teil der Vektoren Ii(x) sind, wenn i variiert (4, Linie 136);
  • – Med(x), gebildet durch die "Durchschnitte" der entsprechenden Elemente, die Teil der Vektoren Ii(x) sind, wenn i variiert (4, Linie 137);

Von den obigen Vektoren können die folgenden Ergebnisse erhalten werden: A) Max (x)

Es detektiert die Amplitude des konfokalen Signals bei Anwesenheit von dünnen Objekten und bei Anwesenheit von Störungen. Die Anwesenheit von systematischen Störungen (Hintergrund, dickes Objekt, etc.) und die Amplitude der zufälligen Störungen summieren sich zu dem Signal auf.

B) Max (x) – Min (x)

Es detektiert die Amplitude des konfokalen Signals selbst bei Anwesenheit systematischer Fehler (Hintergrund, dickes Objekt, etc.). Die Amplitude der zufälligen Störungen wird immer noch aufsummiert.

C) K [Max (x) + Min (x) – 2Med (x)]

Es detektiert die Amplitude des konfokalen Signals richtig, selbst bei Anwesenheit von systematischen oder zufälligen Störungen. Es erfordert einen Verstärkungsfaktor K, der eine Funktion der Form der Beleuchtungsbereiche ist. Wenn R die Modulationsrate dunkel/hell ist, dann K = (R + 1)/(R - 1).

Ein Blockflußdiagramm des Algorythmus, der als ein Beispiel die Operation implementiert, die oben angegeben und in der 3 gezeigt ist, ist in der 5 gezeigt. Unter Bezugnahme auf die 5 sei X die Anzahl von Elementen eines eindimensionalen Bilddetektors und sei N die Anzahl von Verschiebungen, die benötigt werden, um die gesamten Räume zwischen den Lichtpunkten abzudecken, die von dem Beleuchtungsdiaphragma herrühren, welches Flußdiagramm die vollständige Prozedur zum Erhalten eines eindimensionalen konfokalen Bildes zeigt.

Unter Einstellung der Indizes n und x auf Null wird das erste Bild Io(x) aufgenommen und werden die Vektoren Max(x), Min(x) und Med(x) initialisiert durch direktes Kopieren des Vektors Io(x) in sie, wobei diese Operation für alle x durchgeführt wird, bis die Bedingung x < X bestätigt ist.

Der Index n wird inkrementiert, was einer weiteren Position des Diaphragmas entspricht. Der Index wird wieder auf Null eingestellt und ein neues Bild wird erhalten. Die Elemente der Vektoren Max(x) und Min(x) werden verglichen mit jeweiligen Elementen In(x) und passend aktualisiert. Die Berechnung des Vektors Med(x) folgt. Die Schleife wird fortgesetzt, bis beide Bedingungen x < X und n < N bestätigt sind.

Schließlich können Konfokalbilder erhalten werden durch die folgenden Ausdrücke: a) I = Max (x) b) I = Max (x) – Min (x) c) I = K(Max(x) + Min(x) – 2Med(x))

In den Einzelheiten a), b), c), d), e) und f) der 6 sind Fotografien von Bildern entsprechend den oben angegebenen Operationen, identifiziert durch eine entsprechende Legende, gezeigt, die unter Anwesenheit eines realen mikroskopischen Objektes aufgenommen wurden. Die 6 wird nicht weiter im Detail beschrieben, da sie als für einen Fachmann selbsterklärend erachtet wird.

Die vorliegende Erfindung wurde unter Bezugnahme auf ein tatsächlich bevorzugtes Ausführungsbeispiel und exemplifiziert unter Bezugnahme auf Reflexionsmikroskopie und einen räumlichen Modulator mechanischen Typs beschrieben, aber ein Fachmann versteht, daß der Gegenstand der Erfindung auch auf Transmissionssysteme oder Fluoreszenzsysteme und selbst Systeme, die räumliche Modulatoren des optoelektronischen Typs ohne bewegliche mechanische Teile angewandt werden kann. Alle diese Variationen werden als vom Umfang der Erfindung eingeschlossen erachtet, wie sie in den angefügten Ansprüchen angegeben ist.


Anspruch[de]
  1. Verfahren zur Erlangung von Konfokalbildern in optischen Systemen für die analytische Mikroskopie, enthaltend die Schritte:

    – Beleuchten des Objektes, das zu analysieren ist, mit einer Gruppe von Lichtstrahlen, die auf Positionen in einer Fokusebene konzentriert sind, welche Positionen auf der Fokusebene gemäß einem geordneten Gitter von Lichtquellen angeordnet sind,

    – Ausführen einer vollständigen Beleuchtung des zu untersuchenden Bereiches durch systematisches Verschieben des Gitters, um alle Zwischenräume abzudecken,

    – Erlangen einer konfokalen optischen Sektion durch zuerst Erlangen eines Satzes von Teilbildern entsprechend jeder Position des geordneten Gitters von Lichtquellen auf der Fokusebene durch einen elektronischen Bildsensor,

    – Berechnen eines Konfokalbildes durch Heranziehen von nur Helligkeitsmaxima (Max) unter allen Bildelementen jedes erfassten Konfokalbildes, welches Bild ausgedrückt wird als [A] Konfokalbild = Max(x)

    Berechnen eines weiteren Bildes, das Helligkeitsminima (Min) enthält, enthaltend hauptsächlich ein Signal, das von weniger hellen Bereichen des Objekts kommt, als außerhalb des Fokus oder seitlich angeordnet, wodurch das "Maxima"-Bild sowohl die Informationen aufgrund des Fokusteils des Objektes, als auch jene aufgrund des weniger hellen Teiles als außerhalb des Fokus befindlich enthält, während das "Minima"-Bild dazu tendiert, nur von dem weniger hellen und außerhalb des Fokus befindlichen Teil des Objektes betroffen zu sein,

    – Erhalten eines neuen Bildes durch Berechnen eines Differenzbildes zwischen dem Bild der Helligkeitsmaxima (Max) und dem Bild der Helligkeitsminima (Min), welches Differenzbild ausgedrückt wird als: [B] Konfokalbild = Max(x) – Min(x) wodurch das Konfokalbild ausgedrückt wird durch die Formel: [C] Konfokalbild = K [Max(x) – Min(x) – 2Med(x)] , worin K ein Verstärkungsfaktor ist, der eine Funktion der Form der Beleuchtungsbereiche ist, und Med(x) ein Vektor ist, der durch die Durchschnittswerte von Medianwerten der Lichtverteilung gebildet ist, die für jedes Element der erfassten Bilder relevant ist, wenn die Position des Beleuchtungsgitters variiert wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es auf konfokale Systeme des Reflexions- oder Transmissions- oder Fluoreszenztyps angewandt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die geordnete Gitterlichtquelle oder der räumliche Modulartor ein abtastendes Optoelektroniksystem ohne bewegliche mechanische Teile enthält.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Beleuchtungsabtastsystem ein Flüssigkristallmatrix-Lichtventil oder eine andere optoelektrische Vorrichtung enthält.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine dreidimensionale Analyse eines Exemplars ausgeführt wird durch Variieren des Fokussierens des Systems oder Verschieben des Exemplars längs der optischen Achse, um eine vorfestgelegte Anzahl von optischen Sektionen durch die gesamte Dicke davon zu erhalten.
Es folgen 6 Blatt Zeichnungen






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