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Dokumentenidentifikation DE10338742A1 17.06.2004
Titel Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Röntgenstrahl- Laminographiebilderzeugungssystems
Anmelder Agilent Technologies, Inc. (n.d.Ges.d.Staates Delaware), Palo Alto, Calif., US
Erfinder Eppler, Barry, Loveland, Col., US
Vertreter Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler, 82049 Pullach
DE-Anmeldedatum 22.08.2003
DE-Aktenzeichen 10338742
Offenlegungstag 17.06.2004
Veröffentlichungstag im Patentblatt 17.06.2004
IPC-Hauptklasse G01N 23/06
Zusammenfassung Ein Röntgenstrahl-Laminographiebilderzeugungssystem und eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Kalibrieren des Systems. Das Röntgenstrahl-Laminographiebilderzeugungssystem verwendet eine stationäre Röntgenstrahlquelle und erzeugt ein sich bewegendes Muster von Röntgenstrahlpunkten auf einer Zielanode synchron mit einer Drehung eines Röntgenstrahldetektors, um die Notwendigkeit, ein Objekt, das abgebildet wird, zu bewegen, zu reduzieren oder zu eliminieren. Die vorliegende Erfindung sieht eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Kalibrieren des Systems, teilweise basierend auf empirischen Daten, die während einer physischen Kalibrierung gesammelt wurden, und teilweise auf Daten, die von den empirischen Daten analytisch abgeleitet wurden, vor. Weil die Kalibrierung des Systems zu einem Großteil analytisch und nicht unter Verlaß auf empirisch erzeugte Daten ausgeführt werden kann, kann der Kalibrierungsprozeß sehr schnell ausgeführt werden.

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Röntgenstrahl-Bilderzeugung und spezieller auf ein Kalibrieren eines Röntgenstrahl-Laminographiebilderzeugungssystems, das eine stationäre Röntgenstrahlquelle verwendet und ein bewegliches Muster von Röntgenstrahl-Punkten auf einem Ziel erzeugt, um die Notwendigkeit zum Bewegen des Objekts, das abgebildet wird, zu reduzieren oder ganz aufzuheben.

Die Verwendung von Laminographietechniken ist weit verbreitet, um Querschnittsbilder von ausgewählten Ebenen innerhalb von Objekten zu erzeugen. Die herkömmliche Laminographie setzt eine koordinierte Bewegung von einer beliebigen von zwei oder drei Hauptkomponenten voraus, die ein Laminographiesystem aufweisen (z. B. eine Bestrahlungsquelle, ein Objekt, das untersucht wird, und einen Detektor). Die koordinierte Bewegung der zwei Komponenten kann in einem beliebigen von vielen verschiedenen Mustern erfolgen, einschließlich linearen, kreisförmigen, elliptischen und zufälligen Mustern. Ungeachtet des Musters der koordinierten ausgewählten Bewegung, ist die Konfiguration der Quelle des Objekts und des Detektors so beschaffen, daß ein beliebiger Punkt in der Objektebene (d. h. der Brennebene innerhalb des Objekts) stets auf denselben Punkt in der Bildebene (d. h. der Ebene des Detektors) projiziert wird, und ein beliebiger Punkt außerhalb der Objektebene wird auf eine Mehrzahl von Punkten in der Bildebene während eines Zyklus der Musterbewegung projiziert. Auf diese Weise wird ein Querschnittsbild der gewünschten Ebene innerhalb des Objekts auf dem Detektor gebildet. Die Bilder der anderen Ebenen innerhalb des Objekts erfahren eine Bewegung im Hinblick auf den Detektor, wodurch ein Verschwimmen, d. h. Hintergrund, auf dem Detektor erzeugt wird, woraufhin das scharfe Querschnittsbild der Brennebene innerhalb des Objekts überlagert wird. Diese Technik führt zu scharfen Bildern der gewünschten Objektbrennebene. Obwohl ein beliebiges Muster einer koordinierten Bewegung verwendet werden kann, werden die kreisförmigen Muster allgemein bevorzugt, weil sie einfacher erzeugt werden.

Die vorstehend beschriebenen Laminographietechniken werden derzeit bei vielen verschiedenen Anwendungen, die eine medizinische und industrielle Röntgenbilderzeugung umfassen, verwendet. Die Laminographie ist speziell zum Untersuchen von Objekten, die mehrere Schichten aufweisen, gut geeignet, wobei jede Schicht ein unterscheidbares Merkmal aufweist. Laminographiesysteme, die solche Querschnittsbilder erzeugen, weisen leider typischerweise Nachteile im Hinblick auf die Auflösung und/oder Geschwindigkeit der Untersuchung auf, was eine Erklärung für ihre seltene Implementierung ist. Diese Nachteile sind häufig in Schwierigkeiten beim Erreichen von koordinierten Hochgeschwindigkeitsbewegungen der Quellen des Detektors zu einem Präzisionsgrad, der zum Erzeugen eines Hochgeschwindigkeits-Querschnittsbildes ausreicht, begründet.

In einem Laminographiesystem mit einem Sichtfeld, das kleiner als das Objekt ist, das untersucht wird, kann es notwendig sein, das Objekt innerhalb des Sichtfeldes herumzudrehen, um mehrere Laminographen zu erhalten, die, wenn sie zusammengesetzt werden, das gesamte Objekt abdecken. Die Bewegung des Objekts wird häufig durch Stützen des Objekts auf einem mechanischen Handhabungssystem, wie z. B. einem X-, Y-, Z-Positionierungstisch, erreicht. Der Tisch wird dann bewegt, um die gewünschten Abschnitte des Objekts in das Sichtfeld zu bringen. Die Bewegung in die X- und Y-Richtungen lokalisiert den Bereich, der untersucht werden soll, während die Bewegung in die Z-Richtungen das Objekt auf- und abwärtsbewegt, um die Ebene innerhalb des Objekts auszuwählen, wo das Bild aufgenommen werden soll. Obgleich dieses Verfahren in effektiver Weise ermöglicht, daß verschiedene Bereiche und Ebenen des Objekts betrachtet werden können, liegen inhärente Einschränkungen vor, die der Geschwindigkeit und Genauigkeit solcher mechanischer Bewegungen zugeordnet sind. Diese Beschränkungen wirken effektiv, um die Zykluszeit zu erhöhen, wodurch die Rate, mit der die Untersuchung vonstatten gehen kann, verringert wird. Ferner erzeugen diese mechanischen Bewegungen Vibrationen, die tendenziell die Systemauflösung und – genauigkeit verringern.

Um das Erfordernis, das Objekt zu bewegen, und die damit verbunden Probleme zu reduzieren oder aufzuheben, ist ein außeraxiales Laminographiesystem erfunden worden, das im U.S.-Patent Nr. 5,259,012 (das 012er-Patent) offenbart und hierin durch Bezugnahme in seiner Gesamtheit aufgenommen worden ist. Das 012er-Patent offenbart ein Laminographiesystem, in dem außeraxiale Abtastkreise verwendet werden können, um zu ermöglichen, daß mehrere Positionen auf einem Objekt sequentiell abgebildet werden können, ohne eine mechanische Bewegung des Objekts zu erfordern. Der Begriff „außeraxial" bezieht sich auf ein Plazieren der Mitte des Abtastkreises in eine Position, die nicht konzentrisch mit der optischen Achse des Bilderzeugungssystems ist. Bei dem im 012er-Patent offenbarten Bilderzeugungsverfahren werden Röntgenstrahlen erzeugt, wenn hochbeschleunigte Elektronen auf ein Metallobjekt auftreffen. Die Stelle, wo die Röntgenstrahlen erzeugt werden, wird allgemein als der „Punkt" bezeichnet. Der Punkt kann über dem Ziel durch elektronisch gesteuerte Ablenkspulen, die auf den Elektronenstrahl wirken, gesteuert werden. Das Bewegen der Abtastmuster (d. h. der Muster der Punkte) erzeugt Laminographen an den gewünschten X-, Y-Korrdinatenpositionen mit verschiedenen Z-Ebenen und verringert oder eliminiert allgemein das Erfordernis, das Objekt mechanisch zu bewegen.

Das 012er-Patent offenbart eine Röntgenstrahlquelle, die eine Elektronenkanone umfaßt, die einen Elektronenstrahl emittiert. Der Elektronenstrahl trifft auf eine Flachzielanode (die nachstehend als das Ziel bezeichnet wird) auf.

Fokus- und Ablenkspulen lenken den Elektronenstrahl an spezifische Positionen auf dem Ziel, um die vorstehend erwähnten kreisförmigen Elektronenstrahlmuster auf der Oberfläche des Ziels zu bilden. Wenn die Elektronen in dem Ziel verlangsamt oder angehalten werden, werden Bremsstrahlungs-Röntgenstrahlen erzeugt. Da der Elektronenstrahl ein bewegliches kreisförmiges Muster auf dem Ziel beschreibt, beschreibt die Quelle der Bremsstrahlungs-Röntgenstrahlen ebenfalls ein sich bewegendes kreisförmiges Muster, das mit dem Elektronenstrahlmuster übereinstimmt. Bei einem Ausführungsbeispiel des 012er-Patents werden Steuersignale an die Ablenkspulen angelegt, um zu bewirken, daß der Elektronenstrahlpunkt in einem vorbestimmten Weg in Koordination mit einem ähnlichen Weg des Detektors rotiert. Bei einem Ausführungsbeispiel sendet eine digitale LUT digitale Signale an die Ablenkspulen, die bewirken, daß der Strahlenpunkt der kreisförmigen Bewegung des Elektronenstrahls auf dem Ziel folgt. In letzterem Fall werden digitale Adressen, die der Position des Röntgenstrahldetektors entlang dem Kreis, der durch den Detektor verfolgt wird, entsprechen, von dem Detektor an die LUT gesendet. Die LUT sendet dann Ablenksignale entsprechend den spezifischen Detektorpositionen an die Elektronenstrahl-Ablenkspulen. Die Werte der Ablenksignale werden kalibriert, um zu bewirken, daß die Röntgenstrahlquelle ein kreisförmiges Muster auf dem Ziel verfolgt, das mit der Bewegung des Detektors exakt koordiniert ist.

Aktuelle Laminographiekalibrierungstechniken verfolgen die kreisförmigen Muster auf dem Ziel und sammeln empirische Daten für jedes kreisförmige Muster. Die empirischen Daten für jedes kreisförmige Muster werden dann verarbeitet, um die LUT-Werte zu erzeugen, die zum Reproduzieren des kreisförmigen Musters während der Laufzeit notwendig sind. Dieser Typ einer Kalibrierungstechnik ist für eine axiale Laminographie geeignet, weil die Anzahl von kreisförmigen Abtastmustern nicht so groß ist (z. B. N-Abtastkreise für N unterschiedliche Vergrößerungen, wobei N = 4 für typische existierende Implementierungen). Daher kann ein Kalibrieren des Systems zum Erhalten von entsprechenden LUT-Werten beispielsweise 1 bis 4 Stunden dauern (abhängig vom Vergrößerungspegel). Wenn jedoch eine außeraxiale Laminographie verwendet wird, nimmt die Anzahl von Abtastkreisen, die erzeugt werden müssen, um den Objektbereich von Interesse abzudecken, aufgrund der Anzahl von unterschiedlichen außeraxialen Positionen beträchtlich zu. Somit kann, abhängig von der Größe der Abtastkreise, die gewünscht sind, und dem verfügbaren Zielbereich, die Anzahl von Abtastkreisen, die zum Abbilden des Objekts notwendig sind, beim Ausführen einer außeraxialen Laminographie beträchtlich ansteigen. Wenn die vorstehend erwähnte Kalibrierungstechnik für ein außeraxiales Laminographiesystem verwendet wird, deuten diese Zahlen darauf hin, daß es mehrere Tage dauern kann, um das System für eine außeraxiale Bilderzeugung bei mehreren Vergrößerungen zu kalibrieren. Kalibrierungszeiten dieser Länge sind für die Benutzer allgemein unakzeptabel.

Dementsprechend besteht ein Bedarf an einem Kalibrierungsverfahren und einer Vorrichtung, die zur Verwendung bei einer axialen Laminographie und außeraxialen Laminographie geeignet sind, und die eine Kalibrierung ermöglichen, die in einer relativ kurzen Zeit ausgeführt werden kann.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Kalibrieren eines Röntgenstrahl-Laminographiebilderzeugungssystems zu schaffen.

Diese Aufgabe wird durch ein Röntgenstrahl-Laminographiebilderzeugungssystem gemäß Anspruch 1 und 3, eine Vorrichtung gemäß Anspruch 14, ein Verfahren gemäß Anspruch 24 sowie ein Computerprogramm gemäß Anspruch 34 gelöst.

Die vorliegende Erfindung sieht ein Röntgenstrahl-Laminographiebilderzeugungssystem vor, das eine stationäre Röntgenstrahlquelle verwendet und ein sich bewegendes Muster von Röntgenstrahlpunkten auf einer Zielanode gleichzeitig mit einer Drehung eines Röntgenstrahldetektors erzeugt, um das Erfordernis zum Bewegen eines Objekts, das abgebildet wird, zu eliminieren. Die vorliegende Erfindung sieht eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Kalibrieren des Systems vor, die teilweise auf empirischen Daten basieren, die während einer physischen Kalibrierung gesammelt werden, und teilweise auf Daten basieren, die von den empirischen Daten analytisch abgeleitet werden. Weil die Kalibrierung des Systems zu einem Großteil analytisch und nicht vollständig unter Verlaß auf empirisch erzeugte Daten ausgeführt wird, kann der Kalibrierungsprozeß sehr schnell ausgeführt werden.

Die Vorrichtung weist eine erste Logik (400, 410, 143), eine zweite Logik (400, 410, 148) und eine dritte Logik auf, die vorzugsweise einem Prozessor entsprechen, der konfiguriert ist, um einen Kalibrierungsalgorithmus auszuführen. Die erste Logik (400, 410, 143) ist konfiguriert, um empirische Kalibrierungsdaten zu sammeln, die während einer physischen Kalibrierung des Systems erzeugt werden, während der eine stationäre Röntgenstrahlquelle ein sich bewegendes Muster von Röntgenstrahlpunkten auf einer Zielanode gleichzeitig bei einer Drehung eines Röntgenstrahldetektors erzeugt. Die empirischen Daten entsprechen Versätzen zu Positionen, an denen die Röntgenstrahlpunkte auf der Zielanode gebildet werden sollen. Die zweite Logik (400, 410, 148) ist konfiguriert, um Kalibrierungsdaten von den empirischen Daten analytisch abzuleiten, vorzugsweise durch Interpolation. Die dritte Logik ist konfiguriert, um das System unter Verwendung der empirischen. Daten und der analytisch abgeleiteten Kalibrierungsdaten zu kalibrieren.

Das System weist ein steuerbares Ablenkjoch auf, das Steuersignale von einem Prozessor empfängt. Das steuerbare Ablenkjoch steuert spezielle Positionen auf der Zielanode, auf die Röntgenstrahlen, die durch eine Röntgenstrahlquelle entlang einer Z-Achse projiziert werden, gemäß dem empfangenen Steuerungssignal auftreffen. Die Zielanode ist im wesentlichen parallel zu einer Ebene ausgerichtet, die im wesentlichen orthogonal zur Z-Achse ist. Die Röntgenstrahlen, die entlang der Z-Achse projiziert werden, treffen an speziellen Positionen auf der Zielanode auf, die von Steuerungssignalen abhängig sind, die durch das steuerbare Ablenkjoch empfangen werden. Die Röntgenstrahlen, die auf die Zielanode gerichtet sind, bilden im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode, wobei jedes Röntgenstrahlpunktmuster durch Bewegen eines Röntgenstrahlpunkts in einem im wesentlichen kreisförmigen Muster erzeugt wird. Jeder Röntgenstrahlpunkt entspricht einem Strahl von Röntgenstrahlen, die auf eine spezielle Position auf der Zielanode auftreffen. Die Steuerungssignale bewirken, daß das Ablenkjoch zumindest ein im wesentlichen kreisförmiges, axiales Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode um die Z-Achse und zumindest ein im wesentlichen kreisförmiges außeraxiales Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode um eine Achse, die im wesentlichen parallel zu der Z-Achse ist, bildet. Der Prozessor bestimmt die notwendigen Steuerungssignale, die an das Ablenkjoch geliefert werden sollen, um zu bewirken, daß das außeraxiale Röntgenstrahlpunktmuster basierend auf Daten, die einem axialen Röntgenstrahlpunktmuster zugeordnet sind, gebildet wird.

Die Bestimmung durch den Prozessor bezüglich der Stelle auf der Zielanode, wo die Röntgenstrahlpunkte der außeraxialen Röntgenstrahlmuster gebildet werden sollen, wird unter Verwendung der empirisch erzeugten axialen Versatz-Röntgenstrahlmuster analytisch vorgenommen. Von einer relativ kleinen Anzahl von empirisch erzeugten axialen Versatzmustern kann eine große Anzahl von außeraxialen Röntgenstrahlmustern erzeugt werden und zum Kalibrieren des Systems verwendet werden.

Das Verfahren der vorliegenden Erfindung weist die folgenden Schritte auf: Bestimmen von Steuerungssignalen, die notwendig sind, um an ein Ablenkjoch geliefert zu werden, um zu bewirken, daß zumindest ein im wesentliches kreisförmiges axiales Röntgenstrahlpunktmuster auf einer Zielanode um eine Z-Achse gebildet wird, um eine Rotation einer Röntgenstrahlquelle zu simulieren; Verarbeiten von Daten, die durch Kalibrierung des Systems gesammelt werden, während ein sich drehender Röntgenstrahldetektor mit der Bewegung der Röntgenstrahlpunkte um die Z-Achse synchronisiert wird, die das axiale Röntgenstrahlpunktmuster bilden, um die Versätze mit den X-, Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des Musters auf der Zielanode zu bestimmen; Verwenden der Versätze, um die X-, Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte auf dem axialen Röntgenstrahlpunktmuster zu versetzen, während das Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode gebildet wird, wodurch bewirkt wird, daß ein axiales Versatz-Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode um die Z-Achse gebildet wird; und Verwenden der Röntgenstrahlpunktversätze, die dem axialen Röntgenstrahlpunktmuster zugeordnet sind, um ein im wesentliches kreisförmiges außeraxiales Röntgenstrahlpunktmuster zu bestimmen, das auf der Zielanode um eine Achse gebildet werden soll, die im wesentlichen parallel zu der Z-Achse ist.

Diese und andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden anhand der nachstehenden Beschreibung, Zeichnungen und Ansprüche offensichtlich. Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

1 eine schematische Ansicht eines Laminographiesystems gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,

2 eine schematische Ansicht des Laminographiesystems, das in 1 gezeigt ist, und einen Bereich in der X-, Y-Ebene des Objekts, das abgebildet wird,

3A und 3B die Art und Weise, in der das Laminographiesystem, das in 1 gezeigt ist, verwendet wird, um eine X-, Y-Achsenverschiebung des Bildbereichs innerhalb des Objekts zu erzeugen,

4A und 4B die Art und Weise, in der das Laminographiesystem, das in 1 gezeigt ist, verwendet wird, um eine Z-Achsenverschiebung des abgebildeten Bereichs der Objektebene innerhalb des Objekts zu erzeugen,

5 ein Flußdiagramm, das das Verfahren der vorliegenden Erfindung gemäß einem Ausführungsbeispiel darstellt,

6 ein Diagramm, das die Beziehung zwischen axialen, empirisch erzeugten kreisförmigen Röntgenstrahlabtastmustern und analytisch abgeleiteten außeraxialen kreisförmigen Röntgenstrahlabtastmustern zeigt,

7 ein Flußdiagramm, das ein beispielhaftes Ausführungsbeispiel eines Interpolationsverfahrens demonstriert, das verwendet werden kann, um die außeraxialen kreisförmigen Abtastmuster von den empirisch erzeugten axialen kreisförmigen Abtastmustern analytisch abzuleiten,

8 ein Blockdiagramm eines exemplarischen Ausführungsbeispiels der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung.

Ein Laminographiesystem, das zur Verwendung mit der vorliegenden Erfindung geeignet ist, wird in dem vorstehend erwähnten 012er-Patent offenbart, das an die Anmelderin der vorliegenden Erfindung übertragen und hierin durch Bezugnahme aufgenommen worden ist. Der Einfachheit halber wird das System, das in dem 012er-Patent beschrieben ist, sowie die Art und Weise, in der es arbeitet, nachstehend unter Bezugnahme auf 1 bis 4B beschrieben. Es wird jedoch darauf hingewiesen, daß die vorliegende Erfindung nicht auf die Verwendung mit einem speziellen Typ von Laminographiesystem oder auf ein beliebiges spezifisch konfiguriertes Laminographiesystem begrenzt ist. Das Laminographiesystem, das nachstehend beschrieben wird, ist lediglich ein Beispiel von einem System, mit dem die vorliegende Erfindung verwendet werden kann. Obwohl das Laminographiesystem, das hierin beschrieben ist, ein außeraxiales Abtasten ausführt, ist die vorliegende Erfindung außerdem gleichermaßen auf axiales Abtasten anwendbar. Weil jedoch ein größerer Bedarf an einem Einsatz der vorliegenden Erfindung für ein außeraxiales Abtasten aufgrund der größeren rechnerischen Intensität eines außeraxialen Abtastens im Vergleich zu einem axialen Abtasten besteht, wird die vorliegende Erfindung nur unter Bezugnahme auf ihre Verwendung mit einem außeraxialen Abtasten beschrieben. Fachleute werden angesichts dieser Offenbarung die Art und Weise begreifen, in der die vorliegende Erfindung zum Kalibrieren eines axialen Abtastsystems verwendet werden kann.

1 stellt ein schematisches Diagramm eines Laminographiesystems 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar. Das System 10 weist eine Quelle von Röntgenstrahlen 12, die über einem Objekt 14, das abgebildet werden soll, positioniert sind, und einen rotierenden Röntgenstrahldetektor 16, der unter dem Objekt 14 und gegenüber der Röntgenstrahlquelle 12 positioniert ist. Das Objekt 14 kann beispielsweise eine Schaltungsplatine, ein gefertigtes Element, wie z. B. ein Flugzeugbauteil, ein Abschnitt eines menschlichen Körpers etc., sein.

Das System 10 ist um eine Z-Achse 50 symmetrisch. Das System 10 erwirbt X-, Y-Ebene-Querschnittsbilder des Objekts 14, das untersucht wird, unter Verwendung von Mehrweg-Laminographiegeometrien, die ermöglichen, daß mehrere Positionen des Objekts 14 sequentiell abgebildet werden, ohne eine mechanische Bewegung des Systems 14 zu erfordern. Anders ausgedrückt werden die außeraxialen (d. h. nicht um die Achse 50, sondern um eine Achse parallel zu der Achse 50 verlaufenden) Abtastmuster verwendet, um das Objekt über unterschiedlichen Bereichen des Objekts in der X-, Y-Ebene abzubilden. Die Art und Weise, in der die unterschiedlichen Bereiche des Objekts 14 in unterschiedlichen Z-Ebenen abgebildet werden, wird nachstehend ausführlich unter Bezugnahme auf 4A und 4B ausführlich erörtert.

Das Laminographiesystem 10 kann mit einem Analysesystem 15 schnittstellenmäßig verbunden sein, das das Querschnittsbild, das durch das System 10 erzeugt wird, automatisch bewertet und einem Benutzer einen Bericht liefert, der die Ergebnisse der Auswertung anzeigt. Die Quelle 12 ist benachbart zu dem Objekt 14 positioniert und weist eine Elektronenkanone 18, einen Satz von Elektroden 20 für eine Elektronenstrahlbeschleunigung und Fokussierung, eine Fokusspule 60, ein Steuerjoch oder eine Ablenkspule 62 und eine im wesentlichen Flachzielanode auf. Ein Elektronenstrahl 30, der von der Elektronenkanone 18 entlang der Z-Achse 50 emittiert wird, trifft auf die Zielanode 24 auf und bewirkt, daß ein Röntgenstrahlpunkt 32 erzeugt wird, der als eine angenäherte Punktquelle von Röntgenstrahlen 34 dient. Die Röntgenstrahlen 34 werden von einem Punkt auf der Zielanode 24 ausgestrahlt, wo der Elektronenstrahl 30 auf die Zielanode 24 auftrifft. Wie nachstehend ausführlicher beschrieben, gelangt zumindest ein Abschnitt dieser Röntgenstrahlen durch verschiedene Bereiche des Objekts 14 und trifft auf dem Detektor 16 auf. Das Objekt 14 ist typischerweise auf einer Plattform 48 befestigt, die z. B. an einem Granittisch 49 befestigt sein kann, um eine starre, schwingungsfreie Plattform für ein strukturelles Integrieren der Funktionselemente des Systems 10 einschließlich der Röntgenstrahl-Quelle 12 und des Drehtischs 46 zu liefern. Es ist ebenfalls möglich, daß die Plattform 48 einen Positionierungstisch aufweist, der das Objekt 14 entlang der drei zueinander rechtwinkeligen Achsen, die mit X, Y und Z in 1 bezeichnet sind, bewegen kann. Wie vorstehend angegeben, ist es bei einem außeraxialen Abtasten allgemein nicht notwendig, das Objekt physisch zu bewegen. Es kann jedoch wünschenswert sein, das Objekt zu einem gewissen Grad zu bewegen, um die Bildqualität zu verbessern. In jedem Fall ist es bei einem außeraxialen Abtasten nicht notwendig, das Objekt an irgendeiner Stelle so nahe zu bewegen, wie es beim axialen Abtasten der Fall ist.

Der rotierende Röntgenstrahldetektor 16 weist einen fluoreszierenden Bildschirm 40, einen ersten Spiegel 42, einen zweiten Spiegel 44 und einen Drehtisch 46 auf. Der Drehtisch 46 ist benachbart zum Objekt 14 auf der Seite des Objekts 14 gegenüber der Röntgenstrahlquelle 12 positioniert. Eine Kamera 56 ist gegenüber dem Spiegel 44 zum Erfassen von Bildern positioniert, die in die Spiegel 42, 44 von dem fluoreszierenden Bildschirm 40 reflektiert werden. Die Kamera 56 kann eine Fernsehüberwachungskamera mit einem niedrigen Lichtpegel aufweisen, die ein Videobild des Röntgenbilds erzeugt, das auf dem Fluoreszenzbildschirm 40 gebildet wird. Die Kamera 56 kann beispielsweise mit einem Videoanschluß 57 verbunden sein, so daß ein Benutzer das Bild, das auf dem Bildschirm 40 erscheint, beobachten kann. Die Kamera 56 kann ebenfalls mit dem Bildanalysesystem 15 verbunden sein.

Während des Betriebs beleuchten und durchdringen die Röntgenstrahlen 34, die durch die Röntgenstrahlenquelle 12 erzeugt werden, die Bereiche des Objekts 14 und werden durch den Bildschirm 40 des Detektors 16 abgefangen. Eine synchrone Drehung der Röntgenstrahlenquelle 12 und des Detektors 16 um die Achse 50 bewirkt, daß ein Röntgenbild einer Ebene 52 (2) innerhalb des Objekts 14 auf dem Detektor 16 gebildet wird. Obwohl die Drehungsachse 50, die in 1 dargestellt ist, die gemeinsame Drehachse für sowohl die Quelle 12 als auch den Detektor 16 ist, wie vorstehend angegeben, sind diese Drehachsen in einem außeraxialen System nicht kollinear. Vielmehr sind diese Achsen parallel zueinander, wie nachstehend unter Bezugnahme auf 3A bis 4B beschrieben ist.

Der Elektronenstrahl 30 wird von der Elektronenkanone 18 emittiert und wandert in einen Bereich zwischen den Elektroden 20 und den Steuerspulen 60, 62. 2 ist eine schematische Ansicht des Laminographiesystems 10, das in 1 gezeigt ist, und eines Bereichs in der X-, Y-Ebene 52 des Objekts 14, das abgebildet wird. Wie in 2 gezeigt ist, erzeugen die Elektroden 20 und Spulen 60, 62 elektromagnetische Felder, die mit dem Elektronenstrahl 30 interagieren, um den Strahl 30 auf die Zielanode 24 zu fokussieren und zu lenken, wodurch ein Elektronenstrahlpunkt 32 auf der Zielanode (nachstehend als das Ziel bezeichnet) 24 gebildet wird, von der die Röntgenstrahlen emittiert werden. Die Größe des Elektronenstrahlpunkts 32 auf dem Ziel 24 kann beispielsweise in der Ordnung von 0,02 bis 10 &mgr;m im Durchmesser sein. Die Steuerspulen 60, 62 ermöglichen der Röntgenstrahlquelle 12, Röntgenstrahlen 34 von den Röntgenstrahlpunkten 32 zu liefern, so daß sich die Positionen der Punkte 32 in einem gewünschten Muster um das Ziel 24 bewegen. Es ist die Erzeugung der gewünschten Röntgenstrahlpunktmuster auf dem Ziel 32, die das Erfordernis, das Objekt 14 physisch zu bewegen, um Bilder von unterschiedlichen Bereichen des Objekts 14 in der X-/Y-Ebene in unterschiedlichen Z-Ebenen zu erhalten, eliminiert oder reduziert.

Vorzugsweise sind die Steuerspulen 60, 62 separate X- und Y-elektromagnetische Ablenkspulen, die den Elektronenstrahl 30 ablenken, der von der Elektronenkanone 18 in die X- bzw. Y-Richtungen entladen wird. Der elektrische Strom, der in das Steuerjoch 62 fließt, erzeugt ein magnetisches Feld, das mit dem Elektronenstrahl 30 interagiert, wodurch bewirkt wird, daß der Strahl 30 abgelenkt wird. Die Konfiguration des Röntgenstrahlpunktmusters auf dem Ziel 24 hängt davon ab, wo der Strahl 30 auf das Ziel 24 auftrifft, was von der Art und Weise abhängt, in der der Strahl 30 gesteuert wird. Es wird darauf hingewiesen, daß elektrostatische Ablenktechniken ebenfalls verwendet werden können, um den Elektronenstrahl 30 abzulenken.

Vorzugsweise gibt eine LUT 63 (1) Spannungssignale aus, die auf die X- und Y-Ablenkspulen 60, 62 aufgebracht werden, um zu bewirken, daß sich der Elektronenstrahlpunkt 32 (2) dreht, wodurch ein kreisförmiges Punktmuster auf der Oberfläche der Zielanode 24 erzeugt wird. Gemäß einem Ausführungsbeispiel liefert die LUT 63 die Ausgangsspannungen ansprechend auf die Adreßsignale, die durch die LUT 63 von einem Master-Computer (nicht gezeigt) empfangen werden, der innerhalb des Bildanalysesystems 15 umfaßt sein kann. Die in der LUT 63 gespeicherten Werte werden unter Verwendung einer Kalibrierungstechnik, die die Position des Drehtischs 46 (d. h. die Drehposition des Detektors 16 und die Position des Röntgenstrahlpunkts 32) korreliert, vorbestimmt. Vorzugsweise entsprechen die in der LUT 63 gespeicherten Werte den Drehpositionen des Drehtischs 46. Der Drehtisch gibt, während er sich dreht, elektrische Signale aus, die seiner Drehposition entsprechen. Sobald die Kalibrierung unter Verwendung dieser elektrischen Signale ausgeführt worden ist, werden die kalibrierten elektrischen Signale in digitale Werte umgewandelt und in der LUT 63 bei den entsprechenden Adressen gespeichert. Das bevorzugte Verfahren zum Ausführen der Kalibrierungstechnik ist nachstehend unter Bezugnahme auf 5 ausführlich beschrieben.

Weil die Ausgangsspannungen, die in der LUT 63 gespeichert sind, in digitaler Form sind, werden sie dann, da die digitalen Werte aus der LUT 63 herausgelesen werden, in Analogsignale durch einen Digital-Analog-Wandler (nicht gezeigt) umgewandelt, durch einen Verstärker (nicht gezeigt) verstärkt und an die X- und Y-Ablenkspulen 60 bzw. 62 angelegt, wodurch bewirkt wird, daß der Elektronenstrahlpunkt 62 in Koordination mit dem Drehtisch 46 rotiert. Die Drehung des Elektronenstrahlpunkts 32 erzeugt ein kreisförmiges Punktmuster auf der Oberfläche der Zielanode 24.

Wie vorstehend angegeben, ermöglicht das laminographische Bilderzeugungssystem 10, daß verschiedene Bereiche des Objekts 14 bei einer geringfügigen oder gar keinen physischen Bewegung des Objekts 14 oder des Stütztischs 48 abgebildet werden. Gemäß der vorliegenden Erfindung werden gewünschte Bereiche des Objekts 14 in das FOV (FOV = field of view = Sichtfeld des Systems) 10 gebracht, indem die Position des FOV bewegt wird. Dies wird durch Bewegen der Position des Musters erreicht, das durch den Röntgenstrahlpunkt 32 auf dem Ziel 24 verfolgt wird. In dieser Weise werden verschiedene Abschnitte des Objekts 14 in das FOV des Systems gebracht und Bilder über die Abschnitte des Objekts 14 erzeugt, da sie mit dem FOV zusammenfallen. Gemäß der vorliegenden Erfindung werden die Spannungen, die auf die X- und Y-Ablenkspulen 60, 62 angelegt werden, variiert, um rotierende Röntgenstrahlwege von unterschiedlichen Radien und mit unterschiedlichen x-, y-Positionen auf dem Ziel 24 zu erzeugen.

3A stellt die Laminographiegeometrie und -technik dar, die verwendet wird, um unterschiedliche x-, y-Bereiche des Objekts durch elektronisches Bewegen den Mitte der Rotation der rotierenden Röntgenstrahlquelle 12 auf dem Ziel 24 abzubilden. Der rotierende Punkt 32 der Röntgenstrahlen 34, der in der vorstehend beschriebenen Weise gebildet wurde, wird über dem Objekt 14, das abgebildet werden soll, positioniert. Um den Betrieb der Erfindung zu veranschaulichen, enthält das Objekt 14 die Muster eines Pfeils 70 und eines Kreuzes 72, die in unterschiedlichen Bereichen einer internen Ebene 74 des Objekts positioniert sind. Wie vorstehend beschrieben, können die Signale von der LUT 63 auf die X- und Y-Ablenkspulen 60, 62 (2) angelegt werden, um zu bewirken, daß der Röntgenstrahlpunkt 32 einen kreisförmigen Weg auf der Zielanode 24 verfolgt.

In der in 3A mit A gekennzeichneten Position wird ein Abtastkreis 80 mit einer Mitte C1 erzeugt, die Röntgenstrahlen 34 emittiert, die auf das Objekt 14 auftreffen. Da sich der Röntgenstrahlpunkt 32 und der Detektor 16, wie vorstehend beschrieben, synchron drehen, werden die Röntgenstrahlen 34 in abweichenden Strahlen an jedem Punkt entlang des Abtastkreises 80 emittiert, wodurch eine Familie von Konussen oder konischen Bereichen gebildet wird, wobei ein jeder Konus einen Scheitelpunkt aufweist, der durch den Röntgenstrahlpunkt 32 definiert ist, und eine Basis, die durch die Detektoranordnung 16 definiert ist. Zwei Konusse 82 und 84, die durch den Röntgenstrahlpunkt 32 und den Detektor 16 an zwei unterschiedlichen Positionen entlang dem kreisförmigen Weg des Abtastkreises 80 definiert sind, sind in 3A gezeigt. Der Schnittpunkt dieser konischen Bereich um eine komplette Drehung des Röntgenstrahlpunkts 32 und den Detektor 16 definiert einen Satz von Punkten innerhalb der jeweiligen FOVs. Somit wird der Abschnitt der Objektebene, die mit dem FOV an einer speziellen Drehposition zusammenfällt, durch den Detektor 16 abgebildet.

Wie in 3A dargestellt ist, wird der Schnittpunkt der Konusse 82 und 84, der durch den rotierenden Röntgenstrahlpunkt 32 und den Detektor 16 erzeugt wird, im wesentlichen um das Pfeilmuster 70 in der internen Ebene 74 des Objekts 14 zentriert. In dieser Weise erzeugen der rotierende Röntgenstrahlpunkt 32 und der Detektor 16 ein unterscheidbares Bild 90 des Pfeils auf dem Detektor 16. Weil das Kreuzmuster 72 außerhalb des FOV liegt, das durch die überschneidenden Konusse 82 und 84 definiert ist, wenn der Weg 80 durch den Elektronenstrahl 30 verfolgt wird, fällt das Bild des Kreuzmusters 82 nicht zu einem beliebigen Zeitpunkt auf den Detektor 16 während der Drehung des Detektors 16 und bildet somit kein Bild auf dem Detektor 16.

Das Anlegen einer Versatzspannung auf die X- und/oder Y-Ablenkspulen 60 und/oder 62 dient dazu, den Weg, der durch den Röntgenstrahlpunkt 32 verfolgt wird, wie in 3B gezeigt ist, zu verschieben, so daß ein Abtastkreis 100 mit einer Mitte C durch den Röntgenstrahlpunkt 32 auf dem Ziel 24 verfolgt wird. Während sich der Röntgenstrahlpunkt 32 um den Kreis 100 dreht, schneidet eine zweite Familie von Konussen, die durch die zwei Konusse 102 und 104 in 3B dargestellt sind, die Objektebene 74 und definiert ein Sichtfeld, das im wesentlichen um das Kreuzmuster 72 zentriert ist. Somit wird ein neues Sichtfeld definiert, das von dem ursprünglichen Sichtfeld, das in 3A dargestellt ist, linear versetzt ist, wenn der Weg, der durch den Röntgenstrahlpunkt 32 verfolgt wird, sein Drehungszentrum in die X- und/oder Y-Richtungen von der Drehungsmitte C1 zur Drehungsmitte C2 verschoben hat. Der Kreis 100 ist außeraxial, wohingegen der Kreis 80 axial ist.

Das Pfeilmuster 70 liegt nun außerhalb des Sichtfelds in der Objektebene 74, so daß, während sich der Röntgenstrahlpunkt 32 und der Detektor 16 drehen, ein Querschnittsbild des Kreuzmusters 72 auf dem Detektor 16 erzeugt wird, und das Bild des Pfeils 70 nicht erscheint. Die Amplitude des Versatzes, der auf die Ablenkspulen 60, 62 angelegt wird, ist proportional zur Entfernung, und die Richtung des Wegs, der durch den Röntgenstrahlpunkt 32 verfolgt wird, ist verschoben, d. h. die Entfernung und die Richtung, um die die Mitte des Abtastkreises verschoben ist, hängt von der Amplitude des Versatzsignals ab, das auf die X-, Y-Ablenkspulen 60, 62 angelegt wird. Somit ermöglicht die Laminographiegeometrie der vorliegenden Erfindung, daß unterschiedliche Bereiche des Objekts 14 ohne eine physische Bewegung der Quelle 12 oder des Objekts 14 betrachtet und auf den Detektor 16 abgebildet werden können. Dies verringert oder eliminiert Schwingungen oder andere nachteilige Effekte, die von einer mechanischen Bewegung der Systemkomponenten resultieren, wodurch Geschwindigkeit und Genauigkeit des Systems erhöht werden.

Es wird darauf hingewiesen, daß ein Verschieben der Position des Wegs, der durch den Röntgenstrahlpunkt 32 verfolgt wird, zu einer Veränderung der Entfernung des Wegs führt, der durch den Elektronenstrahl 30 verfolgt wird. Anders ausgedrückt verändert sich die Entfernung von der Kathode 18 zur Oberfläche des Ziels 24 jedes Mal, wenn die Position des Röntgenstrahlpunkts 32 verschoben wird. Dies führt zu einer Veränderung der Brennweite des Elektronenstrahls 30, und ein dynamisches Fokussieren des Strahls 30 sollte herbeigeführt werden, um einen scharfen Brennpunkt der Elektronen innerhalb des Strahls 30 an der Oberfläche des Ziels 24 beizubehalten. Die vorliegende Erfindung verändert die Spannung, die an der Fokussierungsspule angelegt ist, die angemessen ist, um den Brennpunkt des Strahls 30 an der Oberfläche der Anode 24 beizubehalten.

4A und 4B stellen die Art und Weise dar, in der das Laminographiesystem 10, das in 1 gezeigt ist, verwendet wird, um eine Z-Achsenverschiebung des abgebildeten Bereichs der Objektebene innerhalb des Objekts zu erzeugen. 4A stellt ein Objekt 14 mit Mustern eines Pfeils 70 und eines Kreuzes 72 dar, die in einer Ebene des Objekts 14 positioniert sind. Das Kreuzmuster 72 ist in einer ersten Ebene 110 positioniert, und das Pfeilmuster 70 ist in einer zweiten Ebene 112 positioniert. Die erste Ebene 110 liegt darüber und ist parallel zu der zweiten Ebene 112. Der Röntgenstrahlpunkt 32 verfolgt einen Abtastkreis 114 mit einem Radius R1, der eine Familie von Konussen einschließlich der Konusse 116 und 118 definiert. Der Schnittpunkt des Konus um den Kreis 114 einschließlich der Konusse 116 und 118 bildet einen Bildbereich, der im wesentlichen um das Kreuzmuster 72 zentriert ist, so daß die erste Ebene 110 als die Objektebene 74 definiert ist. Da sich der Röntgenstrahlpunkt 32 und der Detektor 16 synchron drehen, wird ein unterscheidbares Bild 120 des Kreuzmusters 72 auf der Oberfläche des Detektors 16 erzeugt. Das Bild des Pfeils 70, das in der zweiten Ebene 112 liegt und außerhalb der Objektebene 74 liegt, die durch die Konusse 116 und 118 definiert ist, ist stationär auf dem Detektor 116 während der Gesamtdrehung des Detektors 16 und erscheint somit verschwommen.

4B demonstriert, daß durch gleichmäßiges Einstellen der Verstärkung der Spannungen, die von der LUT 63 an beide Ablenkspulen 60, 62 ausgegeben werden, die Amplituden der Sinus- und Kosinussignale verändert werden. Das Verändern der Amplitude der Sinus- und/oder Kosinussignale, die an die Ablenkspulen 60 und 62 angelegt sind, bewirken, daß der Radius des Abtastkreises, der durch den Röntgenstrahlpunkt 32 verfolgt wird, variiert, was bewirkt, daß Bilder von Bereichen innerhalb der unterscheidbaren Ebenen in dem Objekt 14 erzeugt werden. Bei dieser Verstärkungseinstellung wird der Abtastkreis 114 in seinem Radius durch einen Wert &Dgr;r auf einen Radius R2 erhöht, wodurch ein Abtastkreis 124 gebildet wird, der eine zweite Familie von Konussen einschließlich der Konusse 126 und 128 definiert. Aufgrund des größeren Radius R2 des zweiten Abtastkreises 124 wird der Satz von Punkten, die durch den Schnittpunkt der zweiten Familie von Konussen einschließlich der Konusse 126 und 128 definiert sind, in die negative Z-Richtung relativ zu dem Bereich verschoben, der abgebildet wird, wenn die Röntgenstrahlquelle 32 dem Weg 114 folgt (4A). Somit wird die Objektebene 24 um eine Menge &Dgr;z auf die zweite Ebene 112 gesenkt, und der Bildbereich ist im wesentlichen um das Pfeilmuster 70 zentriert.

Während sich der Röntgenstrahlpunkt 32 und der Detektor 16 drehen, wird ein unterscheidbares Bild 130 des Pfeilmusters 70 auf dem Detektor 16 erzeugt, wohingegen das Bild des Kreuzmusters 72, das außerhalb der Objektebene 74 liegt, verschwommen erscheint. Die Amplitude der Verstärkungseinstellung, die an den Spannungen vorgenommen wurde, die an den Ablenkspulen 60, 62 anliegen, ist proportional zur Richtung und Menge der Verschiebung &Dgr;z in der Objektebene 74. Ein großer Anstieg der Verstärkung würde beispielsweise zu einer relativ großen Bewegung der Bildebene 74 in die Abwärtsrichtung (d. h. Negativ-Z-Richtung) führen, während eine kleine Abnahme der Verstärkung zu einer relativ kleinen Bewegung der Bildebene 74 in die Aufwärtsrichtung (d.h. Positiv-Z-Richtung) führen würde. In dieser Weise ermöglicht die Geometrie, die bei den laminographischen Systemen der vorliegenden Erfindung verwendet wird, ferner, daß verschiedene Ebenen in dem Objekt 14 auf den Detektor 16 ohne eine mechanische Bewegung von einer beliebigen der Systemkomponenten abgebildet werden.

Wie vorstehend angegeben, sollte das System 10 kalibriert sein, um beste Bilderzeugungsergebnisse zu erreichen. Anders ausgedrückt, sollten die Werte, die in der LUT gespeichert sind, Werte sein, die durch die Kalibrierung des Systems 10 erhalten werden. Funktionierte das System 10 ideal ohne irgendwelche Fehler, könnten die Werte, die notwendig sind, um die Spannungspegel zu erzeugen, die bewirken, daß der Röntgenstrahlpunkt 32 an den X-, Y-Koordinaten (oder r, &thgr;-Koordinaten) auf dem Ziel 24 positioniert wird, einfach berechnet und in der LUT 63 gespeichert werden. In Wirklichkeit weisen jedoch alle Systeme allgemein Unzulänglichkeiten oder nichtideale Merkmale auf, die berücksichtigt werden müssen. Aufgrund der Unzulänglichkeiten in dem System 10 müssen einige oder alle der berechneten Werte versetzt werden, um die nichtidealen Merkmale in dem System zu kompensieren. Daher sind die Werte, die in der LUT 63 gespeichert sind, Versatzwerte, die während der Kalibrierung des Systems 10 erzeugt worden sind, um Spannungen zu erzeugen, die bewirken, daß der Röntgenstrahlpunkt 32 in den richtigen Bilderzeugungspositionen positioniert ist.

Bisher ist für jeden Zyklus eine Kalibrierung unter Verwendung von empirischen Daten vorgenommen worden, die für jeden Kreis während einer Kalibrierung erhalten wurden. Bei Systemen, die tatsächlich implementiert worden sind, ist die Kalibrierung auch nur für ein axiales Abtasten ausgeführt worden. Wie vorstehend angemerkt, setzt die axiale Laminographie nur eine relativ kleine Anzahl von kreisförmigen Abtastmustern voraus, d. h. eines pro jeden unterscheidbaren Vergrößerungspegel (typischerweise 4 bei aktuellen Implementierungen). Wenn die außeraxiale Laminographie jedoch aufgeführt wird, steigt die Anzahl von Abtastkreisen, die erzeugt werden muß, um den Objektbereich abzudecken, erheblich an, weil mehrere Abtastkreise für jede Vergrößerung definiert sein sollten. Daher wäre die Verwendung von empirischen Daten zum Kalibrieren eines jeden Kreises extrem zeitaufwendig, wahrscheinlich sogar unangebracht.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Kalibrierungstechnik für ein außeraxiales Abtasten entwickelt worden. Die Kalibrierungstechnik der vorliegenden Erfindung erfordert kein Sammeln von empirischen Daten für jeden Kreis. 5 ist ein Flußdiagramm, das das Kalibrierungsverfahren der vorliegenden Erfindung gemäß einem beispielhaften Ausführungsbeispiel darstellt. Zunächst werden für den ersten Abtastkreis die X-, Y-Koordinaten entsprechend den idealen Spannungswerten (d. h. unter der Annahme, daß keine unidealen Systemmerkmale vorliegen), die an die Spulen 60 und 62 angelegt werden würden, um die Bewegung des Röntgenstrahlpunkts 32 mit der Drehung des Drehtisches 46 zu synchronisieren, berechnet, wie durch Block 141 angezeigt ist. Anschließend wird das erste kreisförmige Abtastmuster auf dem Ziel 24 gebildet, indem der Elektronenstrahl 30 gemäß den angelegten Spannungswerten, die den X-, Y-Koordinaten entsprechen, die an die Spulen 62 und 64 angelegt sind, wie durch Block 142 angezeigt ist, gesteuert wird. Während dieses Schritts wird das Objekt 14 (1) das bekannte erkennbare Bildmerkmale aufweist (z. B. eine PCB (PCB = printed circuit board = gedruckte Schaltungsplatine) mit 5 Lötpunkten, die in einem Muster angeordnet sind, wie z. B. der Nummer 5 auf der Seite einer Scheibe), in einer feststehenden, vorbestimmten Position auf der Plattform 48 (1), nominal um die Z-Achse 50 zentriert, positioniert.

Das Bild des Testobjekts wird dann durch den Detektor 16 erfaßt und durch das Bildanalysesystem 15 analysiert, um, wenn überhaupt, den Betrag zu bestimmen, um den die Ablenkspulen-Spannungswerte entsprechend dem berechneten kreisförmigen Abtastmuster versetzt sein sollten, um die Drehung des Drehtisches 46 mit der Drehung des Röntgenstrahlpunkts 32 präzise zu synchronisieren. Dieser Schritt, der durch Block 143 dargestellt ist, kann beispielsweise ein Vergleichen des erfaßten Bildes des 5-Punktlötmusters mit einer Schablone dessen, wie ein Bild des 5-Punktlötmusters aussehen würde, wenn es innerhalb des FOV des Systems 10 zentriert wäre, mit sich bringen. Anschließend werden die Versatzspannungswerte an die Spulen 60 und 62 angelegt, um zu bewirken, daß ein kreisförmiges Abtastmuster auf dem Ziel 24 mit dem Testmuster (z. B. dem 5-Punktlötmuster), das in der Mitte des FOV positioniert ist (d. h. in der Mitte des kreisförmigen Abtastmusters), gebildet wird. Dieser Schritt wird durch Block 144 dargestellt. Wenn das Testmuster nicht in der Mitte des FOV ist, werden die Spannungswerte, die an die Spulen 60 und 62 angelegt wurden, versetzt, bis das Muster in der Mitte der FOV ist, wie durch Block 145 angezeigt ist. Sobald eine Bestimmung vorgenommen worden ist, daß das Testmuster zentriert ist, werden die Versatzspannungswerte entsprechend der Position der Drehachse des Drehtisches 46 und der jeweiligen Position des Röntgenstrahlpunkts 32 aufgezeichnet. Dieser Schritt ist durch Block 146 dargestellt.

Die Drehachse des Drehtisches 46 wird dann um einen bestimmten inkrementalen Betrag, wie z. B. 10 Grad gedreht. Die Spannungswerte werden wiederum an die Spulen 60 und 62 angelegt, bis die angelegten Spannungswerte bewirkt haben, daß die Testmuster in der Mitte des FOV für diese spezielle Position des Röntgenstrahlpunkts 32 und die zugeordnete Position der Drehachse des Drehtisches 46 positioniert sind. Wenn eine Bestimmung vorgenommen wird, daß das Testmuster in der Mitte des FOV für diese spezielle Position des Röntgenstrahlpunkts 32 und die zugeordnete Position der Drehachse des Drehtischs 46 positioniert ist, werden die zugeordneten Spannungswerte aufgezeichnet. Dabei handelt es sich um einen iterativen Prozeß, der fortgesetzt wird, bis die Drehachse sich um 360 Grad in 10-Grad-Inkrementen gedreht hat und alle Versatzspannungswerte für jede Position- der Drehachse des Drehtisches 46 aufgezeichnet worden sind, wie durch Block 148 angezeigt ist.

Sobald die Versatzkoordinaten für mehrere Positionen (36 in dem vorstehenden Beispiel) des Röntgenstrahlpunkts 32 auf dem Kreis empirisch bestimmt worden sind, werden die Positionen der anderen Punkte (z. B. 4.000 Punkte) auf dem Kreis, die nichtempirisch bestimmt worden sind, interpoliert, wie durch Block 147 angezeigt ist. Ein Beispiel eines Algorithmus, der verwendet werden kann, um die anderen Punkte auf dem Kreis zu interpolieren, ist ein Algorithmus, der eine kubische Spline-Kurvenanpassungsfunktion ausführt. Fachleute werden angesichts der hierin aufgeführten Erörterung die Art und Weise begreifen, in der dieser und/oder andere Algorithmen verwendet werden können, um Punkte auf dem Kreis zwischen den empirisch bestimmten Punkten zu interpolieren.

Die Schritte 141 bis 147 werden vorzugsweise für zumindest ein zweites kreisförmiges Abtastmuster ausgeführt, das mit dem ersten kreisförmigen Abtastmuster konzentrisch ist. Wie anhand der Erörterung von 6 unten deutlich wird, nimmt die Genauigkeit der interpolierten außeraxialen kreisförmigen Abtastmuster zu, während die Anzahl von axialen kreisförmigen Abtastmustern, die zum Interpolieren der außeraxialen kreisförmigen Abtastmuster verwendet werden, zunimmt. Daher wird vorzugsweise mehr als ein axiales kreisförmiges Abtastmuster verwendet, obwohl die Kalibrierungstechnik der vorliegenden Erfindung durch Verwenden eines einzelnen axialen kreisförmigen Abtastmusters bestimmt werden kann.

Sobald eine ausreichende Menge von empirischen Daten erhalten worden ist, um eine ausreichende Anzahl von axialen kreisförmigen Abtastmustern zu erhalten, werden die Koordinaten der axialen kreisförmigen Abtastmuster unter Verwendung der Versatzfehlerwerte, die für die Koordinaten der axialen kreisförmigen Abtastmuster empirisch bestimmt wurden, erhalten, wie durch Block 148 angezeigt ist. Eine Vielfalt an Algorithmen sind zum Interpolieren der Versatzfehlerwerte, die zum Erzeugen der interpolierten außeraxialen kreisförmigen Muster notwendig sind, geeignet. Bekannte Algorithmen, wie z. B. der Nächster-Nachbar-Algorithmus, lineare Interpolationsalgorithmen, polynome Kurvenanpassungsalgorithmen, komplexe Kurvenanpassungsalgorithmen oder eine Kombination aus denselben sind zum Interpolieren der außeraxialen kreisförmigen Abtastmuster geeignet. Weil diese Algorithmen durch einen Computer, z. B. einen Mikroprozessor, sehr schnell ausgeführt werden können, der programmiert ist, um einen oder mehrere dieser Algorithmen auszuführen, kann die Kalibrierungszeit im Vergleich zu der Zeitdauer, die zum empirischen Erzeugen einer großen Anzahl von kreisförmigen Abtastmustern erforderlich wäre, in hohem Maße reduziert werden. Daher ist es gemäß der vorliegenden Erfindung nicht notwendig, eine große Menge an empirischen Daten zu erhalten, um das Kalibrierungsverfahren der vorliegenden Erfindung auszuführen, welches ermöglicht, daß eine außeraxiale Röntgenlaminographie sehr schnell und mit hoher Genauigkeit ausgeführt werden kann.

Ein Beispiel der Art und Weise, in der der Nächster-Nachbar-Algorithmus verwendet werden kann, um die Versatzkoordinatenwerte von außeraxialen kreisförmigen Abtastmustern zu interpolieren, wird nun unter Bezugnahme auf 6 und 7 erörtert. 6 ist ein graphisches Diagramm, das drei axiale Kreise 251, 252 und 253 und einen außeraxialen Kreis 254 darstellt. 7 ist ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zum Interpolieren der Koordinaten des außeraxialen Kreises 254, der in 6 gezeigt ist, darstellt.

Sobald die Versätze zu Polarkoordinaten (&thgr;, R) der drei axialen Kreise 251, 252 und 253 in der vorstehend erörterten unter Bezugnahme auf 5 erörterten Weise empirisch bestimmt worden sind, werden die Versätze verwendet, um Versatzpolarkoordinaten (&thgr;, R ± &Dgr;r) zu erzeugen, wenn &thgr; der Winkel zwischen der X-Achse und dem Punkt auf dem Umfang des Kreises ist, in dem eine Linie, die vom Ursprung des Graphen gezogen ist, diesen Punkt schneidet, wobei R der Radius des Kreises an einem Punkt auf seinem Umfang ist, und wobei &Dgr;r die Veränderung des Radius R des Kreises an einem Punkt auf dem Umfangs des Kreises ist und wobei R ± &Dgr;r die Veränderung im Radius R des Kreises an einem Punkt auf dem Umfang des Kreises als eine Funktion von &thgr; ist.

Vorzugsweise werden genügend empirische Daten gesammelt, um zu ermöglichen, daß eine ausreichende Anzahl von konzentrischen axialen Kreisen, wie z. B. den Kreisen 251, 252 und 253, verfolgt werden kann. Sobald die Versätze zu den Koordinatenwerten für die axialen Kreise 251, 252 und 253 empirisch bestimmt worden sind, können die Versätze an den Polarkoordinaten für die außeraxialen Kreis 254 (und andere außeraxiale Kreise) interpoliert werden. Wie in 6 gezeigt ist, ist der außeraxiale Kreis 254 eine Tangente zu einem axialen Kreis 251 an einem Punkt 256, schneidet den axialen Kreis 252 an den Punkten 257 und 259 und ist eine Tangente zu dem axialen Kreis 253 und dem Punkt 258. Unter Verwendung des Nächster-Nachbar-Algorithmus wird davon ausgegangen, daß die Versätze zu den Polarkoordinaten des außeraxialen Kreises 254 an den Schnittpunkten 257 und 259 mit den Versätzen zu den Polarkoordinaten des axialen Kreises 252 an den Schnittpunkten 257 und 259 identisch sind. Desgleichen wird davon ausgegangen, daß die Versätze zu den Polarkoordinaten des außeraxialen Kreises 254 an den Positionen 256 und 258 mit den Versätzen zu den Polarkoordinaten der axialen Kreise 251 bzw. 253 identisch sind.

Daher, sobald der außeraxiale Kreis 254 als ein vollkommen symmetrischer Kreis verfolgt worden ist, werden die Koordinatenwerte des außeraxialen Kreises 254 an Positionen bestimmt, wo derselbe einen der axialen Kreise 251253 berührt, wie durch Block 301 in 7 angezeigt ist. Anschließend werden für jeden Punkt auf dem außeraxialen Kreis 254, der einen Punkt auf einem der axialen Kreise 251253 berührt, die Versätze, die den Koordinaten dieses Punkts auf dem axialen Kreis zugeordnet sind, dem Punkt zugewiesen, den er auf dem außeraxialen Kreis 254 berührt. Dieser Schritt wird durch Block 302 dargestellt. Sobald die Versätze der Koordinaten der Punkte auf dem außeraxialen Kreis 254, der die Punkte auf einem der axialen Kreise 351, 252 und 253 berührt, zugewiesen worden sind, werden die Versätze dann den Punkten auf dem außeraxialen Kreis 254 zugewiesen, der keinen der Punkte auf einem beliebigen der axialen Kreise 251253 berührt, wie durch Block 303 angezeigt ist. Dies wird wie folgt erreicht. Für jeden Punkt auf dem außeraxialen Kreis 254, der keinen Punkt auf einem der axialen Kreise berührt, wird dahingehend eine Bestimmung vorgenommen, welcher Punkt auf einem der axialen Kreise 251253 dem Punkt unter Berücksichtigung des außeraxialen Kreises 254 am nächsten ist. Dieser Schritt wird durch Block 304 dargestellt. Sobald diese Bestimmung vorgenommen worden ist, wird der Punkt auf dem außeraxialen Kreis 254, der berücksichtigt wird, dem Versatz des Punktes zugewiesen, der auf einem beliebigen der axialen Kreise 251253 am nächsten ist. Die Schritte 301303 werden für jedes außeraxiale kreisförmige Abtastmuster, das erzeugt werden soll, ausgeführt, wie durch Block 304 angezeigt ist.

Der Nächster-Nachbar-Algorithmus nimmt an, daß der Versatz in einem speziellen Bereich höchstwahrscheinlich im wesentlichen konstant bleibt. Unter dieser Annahme ist der Versatz des nächsten Nachbarn wahrscheinlich die beste Wahl. Andere Algorithmen, wie z. H. Kurvenanpassungsalgorithmen, können jedoch ebenfalls für diesen Zweck verwendet werden (z. B. der vorstehend erwähnte kubische Spline-Algorithmus, Algorithmen kleinster Quadrate etc.). Fachleute werden angesichts der vorliegenden Offenbarung darauf hingewiesen, daß die vorliegende Erfindung nicht auf eine Interpolationstechnik, die verwendet wird, um die Koordinaten der außeraxialen Abtastkreise zu erhalten, begrenzt ist.

Es wird ebenfalls darauf hingewiesen, daß neben einem Kalibrieren des Systems, um sicherzustellen, daß die Versatzwerte, die auf die Spannungen angewendet werden, die die X-Y-Koordinaten der Punkte steuern, korrekt sind, ist es ebenfalls von Bedeutung, das System zu kalibrieren, um sicherzustellen, daß Versatzwerte bestimmt werden, die an die Spannung angelegt werden, die eine Fokusspule (nicht gezeigt) steuert, die wiederum die Größe der Röntgenstrahlpunkte steuern würde. Das System 10, das in 1 gezeigt ist, stellt nur X-Y-Ablenkspuren 60 und 62 dar, die durch zwei separate Ausgaben des LUT 63 gesteuert werden. Das System 10 weist vorzugsweise auch eine Fokusspule auf, die die Punktgröße steuert. Dementsprechend weist die LUT 63 vorzugsweise drei Eingänge anstelle von zwei Eingängen und drei Ausgänge anstelle von zwei Ausgängen auf. Eine ordnungsgemäße Anpassung der Fokusspulenspannung hängt im wesentlichen davon ab, wie weit der Elektronenstrahl von der Elektronenkanone 18 (1) zum Ziel 24 wandern muß. Die Punktgröße beim Ausführen eines axialen Abtastens ist allgemein nicht von Belang, und eine feststehende Spannung kann verwendet werden, um die beste Punktgröße aufgrund der radialen Symmetrie der Punktpositionen im Hinblick auf die Position der Elektronenstrahlkanone 18 zu liefern. Diese Symmetrie existiert jedoch nicht in dem außeraxialen Fall, so daß der Fokusspulenstrom dynamisch verändert werden sollte (d. h. moduliert werden sollte), während der Elektronenstrahl den außeraxialen Abtastkreis auf dem Ziel 24 nachzeichnet.

Wird die Fähigkeit ermöglicht, die Röntgenstrahlpunktgröße zu steuern, ermöglicht dies, daß die Bildauflösung optimiert werden kann. Empirische Daten, die der Größer eines gegebenen Punkts einer außeraxialen Spur zugeordnet sind, können von der Beziehung zwischen dem Ablenkwinkel des Elektronenstrahls und dem Fokusspulenstrom, der dem Punkt zugeordnet ist, gesammelt werden. Weil die gewünschten Punktgrößen basierend auf den Punktgrößen in dem axialen Fall bekannt sind, können die Spannungswerte, die zum Steuern der Fokusspule verwendet werden, durch die entsprechende Menge versetzt werden. Sobald dies für einen oder mehrere außeraxiale Kreise empirisch vorgenommen worden ist, können die Fokusspulenspannungsverssätze für alle außeraxialen Kreise, die verfolgt werden sollen, analytisch bestimmt werden, da der Fokusspulenstrom und der Ablenkwinkel für jeden außeraxialen Kreis, der verfolgt werden soll, im voraus bekannt sein werden. Die Versatzspannungswerte würden in der LUT 63 als ein dritter Satz von Werten gespeichert werden, wobei die zwei anderen Sätze für die X- und Y-Ablenkspulen 60 und 62 sind. Somit würde die LUT 63 drei Ausgänge, einen für jede Spule, aufweisen.

8 stellt ein Blockdiagramm der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung gemäß einem beispielhaften Ausführungsbeispiel dar. Die Vorrichtung, die in 10 gezeigt ist, weist einen Prozessor 400 und ein Speichergerät 410 auf. Die Vorrichtung kann als Teil des Laminographiesystems 10 oder separat von dem Laminographiesystem 10, jedoch in Kommunikation mit demselben betrachtet werden. Das Speicherelement 40 kann als ein Speicherelement betrachtet werden, das die LUT 63 umfaßt oder separat von der LUT 63 ist. Der Prozessor 400 kann ein beliebiger Typ von einem Rechengerät sein, das die Funktionen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die Blockdiagramme von 5 und 7 beschrieben wurden, ausführen kann. Der Prozessor 400 kann auch die Operationen des Laminographiesystems 10, wie durch den gestrichelten Pfeil angezeigt ist, steuern, oder das Laminographiesystem 10 kann eine separate Steuerung zum Steuern seiner Operationen aufweisen.

Vorzugsweise führt der Prozessor 400 ein oder mehrere Softwareprogramme aus, die demselben ermöglichen, die Funktionen, die in 5 und 7 dargelegt sind, auszuführen. Ein erstes Softwareprogramm 420 führt beispielsweise die Funktionen des Verfolgens von axialen idealen kreisförmigen Abtastmustern, des empirischen Bestimmens der Versätze für die axialen kreisförmigen Abtastmuster, des Interpolierens der Punkte auf den Versatzmustern, die nicht empirisch bestimmt wurden, und des Speicherns der axialen kreisförmigen Versatzabtastmuster in dem Speicherelement 410 aus. Gemäß diesem Beispiel nutzt ein zweites Softwareprogramm 430 die Daten, die durch das erste Softwareprogramm 420 erzeugt wurden, das in dem Speicherelement 410 gespeichert ist, um die Funktionen auszuführen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die Flußdiagramme, die in 5 und 7 dargestellt sind, beschrieben sind, und um die entsprechenden Spannungswerte in der LUT 63 zu speichern. Natürlich ist die Vorrichtung, die in 10 gezeigt ist, lediglich eine von vielen möglichen Konfigurationen, die verwendet werden können, um die Funktionen der vorliegenden Erfindung auszuführen. Fachleute werden angesichts der vorliegenden Offenbarung die Art und Weise begreifen, in der die unterschiedlichen Konfigurationen erzeugt werden können, um die vorstehend erwähnten Funktionen auszuführen. Viele der Funktionen können beispielsweise vollständig in einer Hardware, und nicht durch eine Prozessorausführungssoftware ausgeführt werden.

Um der Notwendigkeit vorzubeugen, sich ausschließlich auf Daten zu stützen, die zum Kalibrieren empirisch gesammelt wurden, weist das Röntgen-Laminographieabtastsystem andere Vorteile als ein Beschleunigen des Kalibrierungsprozesses auf. Die vielen komplexen mechanischen, optischen, magnetischen und elektronischen Komponenten von einem solchen System müssen beispielsweise nicht nach strengen Toleranzen gefertigt oder eingestellt werden. Sie können stattdessen nach relativ großzügigen Toleranzen gefertigt und dann als eine Gruppe charakterisiert werden. Dies verringert die Herstellungskosten und den Zeitaufwand, um das System auf dem Markt zur Verfügung zu stellen. Die Verwendung einiger empirischer Daten ist vorteilhaft, weil sie die Wirkung von externen Kräften, wie z. B. dem Magnetfeld der Erde, kompensieren. Die Geschwindigkeit, mit der der Kalibrierungsprozeß ausgeführt werden kann, die größtenteils auf der Tatsache beruht, daß die Notwendigkeit an empirischen Daten zum Ausführen des Kalibrierungsprozesses begrenzt ist, ermöglicht, daß der Kalibrierungsprozeß schnell ausgeführt werden kann. Abhängig vom Gleichgewicht der zwischen dem Speicher und der Berechnung verfügbaren Ressourcen können alle gewünschten außeraxialen Abtastkreise weit im voraus ihrer erforderlichen Nutzung berechnet werden, z. B. während einer Off-Line-Kalibrierung, oder die Abtastkreise können nach Bedarf während einer Echtzeit-Untersuchungssequenz berechnet werden.


Anspruch[de]
  1. Röntgenlaminographie-Bilderzeugungssystem (10), das eine stationäre Röntgenstrahlquelle (12) verwendet und ein sich bewegendes Muster von Röntgenstrahlpunkten auf einer Zielanode (24) synchron zu einer Drehung eines Röntgenstahldetektors (56) erzeugt, um die Notwendigkeit, ein Objekt, das abgebildet wird, zu bewegen, zu reduzieren oder zu beseitigen, wobei das System folgende Merkmale aufweist:

    eine erste Logik (400, 410, 143), die konfiguriert ist, um empirische Kalibrierungsdaten zu sammeln, die während einer physischen Kalibrierung des Systems (10) erzeugt wurden, während der eine stationäre Röntgenstrahlquelle (12) ein sich bewegendes Muster von Röntgenstrahlpunkten auf einer Zielanode (24) synchron zu einer Drehung eines Röntgenstrahldetektors (56) erzeugt, wobei die empirischen Daten Versätze an Positionen entsprechen, an denen die Röntgenstrahlpunkte auf der Zielanode (24) gebildet werden;

    eine zweite Logik (400, 410, 148), die konfiguriert ist, um die Kalibrierungsdaten von den empirischen Daten analytisch abzuleiten; und

    eine dritte Logik (400, 410, 148), die konfiguriert ist, um das System (10) unter Verwendung der empirischen Daten und der analytisch abgeleiteten Kalibrierungsdaten zu kalibrieren.
  2. System (10) gemäß Anspruch 1, bei dem die erste (400, 410, 143), die zweite (400, 410, 147) und die dritte Logik (400, 410, 147) einem Prozessor entsprechen, der ein Kalibrierungsprogramm ausführt.
  3. Röntgenlaminographie-Bilderzeugungssystem (10), das eine stationäre Röntgenstrahlquelle (12) verwendet und ein sich bewegendes Muster von Röntgenstrahlpunkten auf einer Zielanode (24) synchron zu einer Drehung eines Röntgenstrahldetektors (56) erzeugt, um die Notwendigkeit, ein Objekt, das abgebildet wird, zu bewegen, zu reduzieren oder zu beseitigen, wobei das System folgendes Merkmal aufweist:

    einen Prozessor (400), wobei der Prozessor (400) Steuerungssignale erzeugt und bewirkt, daß die Steuerungssignale an ein steuerbares Ablenkjoch (60, 62) geliefert werden, wobei das steuerbare Ablenkjoch (60, 62) spezielle Positionen auf der Zielanode (24) steuert, auf die Röntgenstrahlen, die durch eine Röntgenstrahlquelle entlang einer Z-Achse projiziert werden, auftreffen, wobei die Zielanode (24) im wesentlichen parallel zu einer Ebene ausgerichtet ist, die im wesentlichen orthogonal zur Z-Achse ist, wobei die Röntgenstrahlen, die entlang der Z-Achse projiziert werden, auf spezielle Positionen auf der Zielanode (24) auftreffen, wobei die Positionen von Steuerungssignalen abhängig sind, durch das steuerbare Ablenkjoch (60, 62) empfangen werden, die bewirken, daß das Ablenkjoch (60, 62) die Röntgenstrahlen auf die speziellen Positionen auf der Zielanode (24) lenkt, um im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) zu bilden, wobei jedes Röntgenstrahlpunktmuster durch Bewegen eines Röntgenstrahlpunkts in einem im wesentlichen kreisförmigen Muster erzeugt wird, wobei jeder Röntgenstrahlpunkt einem Strahl von Röntgenstrahlen entspricht, der auf eine der speziellen Positionen auf der Zielanode (24) auftrifft, wobei die Steuerungssignale bewirken, daß das Ablenkjoch (60, 62) zumindest ein im wesentlichen kreisförmiges axiales Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) um die Z-Achse bildet und zumindest ein im wesentlichen außeraxiales Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) um eine Achse bildet, die im wesentlichen parallel zu der Z-Achse ist, und wobei der Prozessor (400) die Steuerungssignale bestimmt, die notwendig sind, um an das Ablenkjoch (60, 62) geliefert zu werden, um zu bewirken, daß das zumindest eine außeraxiale Röntgenstrahlpunktmuster basierend auf Daten (143) gebildet wird, die dem zumindest einen axialen Röntgenstrahlpunktmuster zugeordnet sind.
  4. System (10) gemäß Anspruch 3, bei dem die Steuerungssignale, die an das Ablenkjoch (60, 62) geliefert werden, bewirken, daß zumindest zwei im wesentlichen kreisförmige axiale Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) um die Z-Achse gebildet werden, und wobei der Prozessor (400) das zumindest eine im wesentlichen kreisförmige außeraxiale Röntgenstrahlpunktmuster aus Daten (143) bestimmt, die durch den Prozessor (400) verwendet werden, um die zumindest zwei im wesentlichen kreisförmigen axialen Punktmuster zu bilden.
  5. System (10) gemäß Anspruch 3 oder 4, bei dem die Steuerungssignale Spannungswerte sind und bei dem das Ablenkjoch (60, 62) eine X-Ablenkspule (60) und eine Y-Ablenkspule (62) aufweist, wobei die Ebene eine X-, Y-Ebene ist, wobei jede spezielle Position auf der Zielanode (24) einem X-,Y-Koordinatenpaar entspricht, und bei dem die Spannungswerte, die an die X-Ablenkspule (60) geliefert werden, bewirken, daß die X-Ablenkspule (60) die Röntgenstrahlen in eine X-Richtung lenkt, und wobei die Spannungswerte, die an die X-Ablenkspule (60) geliefert werden, bewirken, daß die Y-Ablenkspule (62) die Röntgenstrahlen in. eine Y-Richtung lenkt.
  6. System (10) gemäß einem der Ansprüche 3 bis 5, bei dem das zumindest eine axiale im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster durch den Prozessor (400) zumindest teilweise basierend auf empirischen Daten (143) bestimmt wird, und wobei das zumindest eine im wesentlichen kreisförmige außeraxiale Röntgenstrahlpunktmuster durch den Prozessor (400) aus dem zumindest einen axialen im wesentlichen kreisförmigen Röntgenstrahlpunktmuster interpoliert wird.
  7. System (10) gemäß einem der Ansprüche 3 bis 6, bei dem das zumindest eine axiale im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster durch Bewegen des Röntgenstrahlpunkts in einem kreisförmigen Muster über der Zielanode (24) um die Z-Achse in einer X-,Y-Ebene, die orthogonal zu der Z-Achse ist, bewegt wird, wobei die Bewegung der Position des Röntgenstrahlpunkts auf den Steuerungssignalen basiert, die an das Ablenkjoch (60, 62) geliefert werden, und wobei die Steuerungssignale sinusförmig sind, wobei jedes sinusförmige Signal einen Betrag aufweist, der die Z-Koordinate einer X,Y-Ebene innerhalb des Objekts diktiert, das durch das System (10) abgebildet wird.
  8. System (10) gemäß Anspruch 6, bei dem das zumindest eine axiale im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster einen ersten und einen zweiten Satz von Röntgenstrahlpunkten aufweist, wobei der erste Satz von Röntgenstrahlpunkten empirisch bestimmt wird durch den Prozessor (400) durch eine physische Kalibrierung des Systems (10), während der die Plattform und das axiale im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster synchron gedreht werden und die Versätze für jeden Röntgenstrahlpunkt des ersten Satzes bestimmt werden, um einen ersten Satz von versetzten Röntgenstrahlpunkten zu bilden, und wobei, sobald die Versätze des ersten Satzes von Röntgenstrahlpunkten empirisch bestimmt worden sind, die Röntgenstrahlpunkte des zweiten Satzes durch den Prozessor (400) aus dem versetzten ersten Satz von Röntgenstrahlpunkten interpoliert werden.
  9. System (10) gemäß Anspruch 8, bei dem, sobald das zumindest eine axiale im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster, das den ersten und den zweiten Satz von Röntgenstrahlpunkten aufweist, durch den Prozessor (400) bestimmt worden ist, das zumindest eine außeraxiale im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster durch den Prozessor (400) bestimmt wird, indem die Röntgenstrahlpunkte des außeraxialen im wesentlichen kreisförmigen Röntgenstrahlpunktmusters aus dem axialen im wesentlichen kreisförmigen Röntgenstrahlpunktmuster interpoliert werden, wobei der Prozessor (400) die außeraxialen Röntgenstrahlpunkte interpoliert, indem jedem außeraxialen Röntgenstrahlpunkt der Versatz zugewiesen wird, der einem jeweiligen axialen Röntgenstrahlpunkt zugeordnet ist.
  10. System (10) gemäß Anspruch 9, bei dem der Prozessor (400) den zweiten Satz von Röntgenstrahlpunkten aus dem ersten Satz von Röntgenstrahlpunkten interpoliert, indem ein Kurvenanpassungsalgorithmus ausgeführt wird, der den ersten Satz von Röntgenstrahlpunkten verwendet, um Positionen auf der Zielanode (24) des zweiten Satzes von Röntgenstrahlpunkten zu interpolieren.
  11. System (10) gemäß Anspruch 9, bei dem der Prozessor (400) die außeraxialen Röntgenstrahlpunkte durch Ausführen eines Kurvenanpassungsalgorithmus interpoliert, der jedem außeraxialen Röntgenstrahlpunkt den Versatz zuweist, der einem jeweiligen axialen Röntgenstrahlpunkt zugeordnet ist.
  12. System (10) gemäß Anspruch 9, bei dem der Prozessor (400) die außeraxialen Röntgenstrahlpunkte interpoliert, indem ein Nächster-Nachbar-Algorithmus ausgeführt wird, der jedem außeraxialen Röntgenstrahlpunkt den Versatz zuweist, der dem axialen Röntgenstrahlpunkt zugeordnet ist, der sich am nächsten zu dem außeraxialen Röntgenstrahlpunkt befindet.
  13. System (10) gemäß Anspruch 10, bei dem der Kurvenanpassungsalgorithmus, der den ersten Satz von Röntgenstrahlpunkten verwendet, um Positionen auf dem Ziel des zweiten Satzes von Röntgenstrahlpunkten zu interpolieren, ein kubischer Spline-Algorithmus ist.
  14. Vorrichtung (400) zum Kalibrieren eines Röntgenstrahllaminographie-Bilderzeuqungssystems, wobei das System eine stationäre Röntgenstrahlquelle (12) und einen drehbar angebrachten Detektor verwendet und ein sich bewegendes Muster von Röntgenstrahlpunkten auf einer Zielanode (24) erzeugt, um die Notwendigkeit, ein Objekt, das abgebildet wird, zu bewegen, zu reduzieren oder zu beseitigen, wobei die Vorrichtung (400) folgende Merkmale aufweist:

    eine erste Logik (400, 410, 143) , wobei die erste Logik (400, 410, 143) Steuerungssignale bestimmt, die notwendig sind, um an ein Ablenkjoch (60, 62) geliefert zu werden, um zu bewirken, daß zumindest ein kreisförmiges axiales Röntgenstrahlpunktmuster auf einer Zielanode (24) um eine Z-Achse gebildet wird, um eine Drehung einer Röntgenstrahlquelle zu simulieren, wobei die Zielanode (24) in einer X,Y-Ebene liegt, die im wesentlichen orthogonal zu der Z-Achse ist, wobei jeder Punkt des Röntgenstrahlpunktmusters, das auf der Zielanode (24) gebildet wird, eine X-Koordinate und eine Y-Koordinate aufweist;

    eine zweite Logik (400, 410, 148), wobei die zweite Logik (400, 410, 148) Daten (143) verarbeitet, um Versätze zu den X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des Musters auf der Zielanode (24) zu bestimmen, wobei die Daten (143) durch Kalibrieren des Systems gesammelt werden, während ein sich drehender Röntgenstrahldetektor (56) mit der Bewegung der Röntgenstrahlpunkte um die Z-Achse synchronisiert ist, die das axiale Röntgenstrahlpunktmuster bilden;

    eine dritte Logik (400, 410, 148), wobei die dritte Logik die Versätze verwendet, um die X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des axialen Röntgenstrahlpunktmusters zu versetzen, während das Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) gebildet wird, wodurch bewirkt wird, daß ein versetztes axiales Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) um die Z-Achse gebildet wird; und

    eine vierte Logik, wobei die vierte Logik die Röntgenstrahlpunktversätze, die dem axialen Röntgenstrahlpunktmuster zugeordnet sind, verwendet, um ein im wesentlichen kreisförmiges außeraxiales Röntgenstrahlpunktmuster zu bestimmen, das auf der Zielanode (24) um eine Achse gebildet werden soll, die im wesentlichen parallel zu der Z-Achse ist.
  15. Vorrichtung (400) gemäß Anspruch 14, die ferner folgende Merkmale aufweist:

    eine fünfte Logik, wobei die fünfte Logik Steuerungssignale erzeugt, die an ein Ablenkjoch (60, 62) geliefert werden sollen, wobei die Steuerungssignale den Spannungswerten entsprechen, die gemäß den Röntgenstrahlpunktversätze versetzt worden sind; und

    eine sechste Logik, wobei die sechste Logik bewirkt, daß die Steuerungssignale an das Ablenkjoch (60, 62) geliefert werden, wobei die Lieferung der Steuerungssignale an das Ablenkjoch (60, 62) bewirkt, daß die axialen versetzten Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) um die Z-Achse gebildet werden, und bewirkt, daß zumindest ein im wesentlichen kreisförmiges außeraxiales Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) um eine Achse gebildet wird, die parallel zu der Z-Achse ist.
  16. Vorrichtung (400) gemäß Anspruch 15, bei der das Ablenkjoch (60, 62) eine X-Ablenkspule (60) und eine Y-Ablenkspule (62) aufweist und bei der die Spannungswerte, die an die X-Ablenkspule (60) geliefert werden, bewirken, daß die X-Ablenkspule (60) Röntgenstrahlen weg von der Z-Achse in eine X-Richtung ablenkt, und bei der die Spannungswerte, die an die Y-Ablenkspule (62) geliefert werden, bewirken, daß die Y-Ablenkspule (62) Röntgenstrahlen weg von der Z-Achse in eine Y-Richtung ablenkt, und bei der die Ablenkung der Röntgenstrahlen in die X- und die Y-Richtungen bewirkt, daß die Röntgenstrahlpunkte an speziellen X,Y-Koordinatenpositionen auf der Zielanode (24) gebildet werden.
  17. Vorrichtung (400) gemäß Anspruch 15, bei der die dritte Logik das axiale im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster zumindest teilweise basierend auf empirischen Daten (143) bestimmt, und bei der das zumindest eine im wesentlichen kreisförmige außeraxiale Röntgenstrahlpunktmuster durch die vierte Logik aus dem axialen im wesentlichen kreisförmigen versetzten Röntgenstrahlpunktmuster, das durch die dritte Logik bestimmt wird, interpoliert wird.
  18. Vorrichtung (400) gemäß Anspruch 15, bei der die Steuerungssignale sinusförmig sind, wobei jedes sinusförmige Signal einen Betrag aufweist, der eine Position entlang der Z-Achse der X,Y-Ebene diktiert.
  19. Vorrichtung (400) gemäß einem der Ansprüche 14 bis 18, bei der das axiale im wesentlichen kreisförmige versetzte Röntgenstrahlpunktmuster einen ersten und einen zweiten Satz von Röntgenstrahlpunkten aufweist, wobei der erste Satz von Röntgenstrahlpunkten durch die dritte Logik aus Daten (143) empirisch bestimmt wird, die durch eine physische Kalibrierung des Systems gesammelt wurden, während der der Detektor mit der Bewegung der Röntgenstrahlpunkte des axialen im wesentlichen kreisförmigen Röntgenstrahlpunktmusters synchron gedreht wird, und die Versätze der X,Y-Koordinaten der Röntgenstahlpunkte des axialen Röntgenstrahlpunktmusters für jeden Röntgenstrahlpunkt des ersten Satzes bestimmt werden, und bei dem, sobald die Versätze der X,Y-Koordinaten des ersten Satzes von Röntgenstrahlpunkten empirisch bestimmt worden sind, die dritte Logik die X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des zweiten Satzes aus den Versätzen zu den X,Y-Koordinaten des ersten Satzes interpoliert.
  20. Vorrichtung (400) gemäß Anspruch 19, bei der das Röntgenstrahlpunktmuster, das den ersten und den zweiten Satz von Röntgenstrahlpunkten aufweist, durch die dritte Logik bestimmt worden ist, wobei das außeraxiale im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster durch die vierte Logik aus den versetzten Röntgenstrahlpunkten des außeraxialen im wesentlichen kreisförmigen Röntgenstrahlpunktmusters bestimmt wird, indem die X,Y-Koordinaten von jedem Röntgenstrahlpunkt des außeraxialen Röntgenstrahlpunktmusters um einen Betrag gleich dem Versatz der jeweiligen X,Y-Koordinaten eines jeweiligen Röntgenstrahlpunkts des außeraxialen versetzten Röntgenstrahlpunktmusters versetzt werden.
  21. Vorrichtung (400) gemäß Anspruch 19, bei der die dritte Logik die X,Y-Koordinaten des zweiten Satzes von Röntgenstrahlpunkten aus den X,Y-Koordinaten des ersten Satzes von Röntgenstrahlpunkten durch Ausführen eines Kurvenanpassungsalgorithmus interpoliert, der den ersten Satz von Röntgenstrahlpunkten verwendet, um die X,Y-Koordinatenpositionen auf der Zielanode (24) des zweiten Satzes von Röntgenstrahlpunkten zu interpolieren.
  22. Vorrichtung (400) gemäß Anspruch 19, bei der die vierte Logik die X,Y-Koordinaten der außeraxialen Röntgenstrahlpunkte durch Ausführen eines Kurvenanpassungsalgorithmus interpoliert, der die versetzten X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des axialen versetzten Röntgenstrahlpunktmusters verwendet.
  23. Vorrichtung (400) gemäß Anspruch 19, bei der die vierte Logik die X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des außeraxialen Röntgenstrahlpunktmusters interpoliert, indem ein Nächster-Nachbar-Algorithmus ausgeführt wird, der die X,Y-Koordinaten von jedem außeraxialen Röntgenstrahlpunkt dem Versatz zuweist, der den X,Y-Koordinaten des axialen Röntgenstrahlpunkts zugeordnet ist, der sich am nächsten zu dem jeweiligen außeraxialen Röntgenstrahlpunkt auf der Zielanode (24) befindet.
  24. Verfahren zum Kalibrieren eines Röntgenstrahl-Laminographiebilderzeugungssystems, wobei das System eine stationäre Röntgenstrahlquelle (12) und einen drehbar befestigten Detektor verwendet und ein sich bewegendes Muster von Röntgenstrahlpunkten auf einer Zielanode (24) erzeugt, um die Notwendigkeit, ein Objekt, das abgebildet wird, zu bewegen, zu reduzieren oder zu beseitigen, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:

    Bestimmen (141) von Steuerungssignalen, die benötigt werden, um an ein Ablenkjoch (60, 62) geliefert zu werden, um zu bewirken, daß zumindest ein im wesentlichen kreisförmiges axiales Röntgenstrahlpunktmuster auf einer Zielanode (24) um eine Z-Achse gebildet wird, um eine Drehung einer Röntgenstrahlquelle zu simulieren, wobei die Zielanode (24) in einer X,Y-Ebene liegt, die im wesentlichen orthogonal zu der Z-Achse ist, wobei jeder Punkt des Röntgenstrahlpunktmusters, der auf der Zielanode (24) gebildet ist, eine X-Koordinate und eine Y-Koordinate aufweist;

    Verarbeiten von Daten (143), um die Versätze zu den X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des Musters auf der Zielanode (24) zu bestimmen, wobei die Daten (143) durch eine Kalibrierung des Systems gesammelt werden, während ein drehender Röntgenstrahldetektor (56) mit der Bewegung der Röntgenstrahlpunkte um die Z-Achse synchronisiert ist, die das axiale Röntgenstrahlpunktmuster bilden;

    Verwenden der Versätze, um die X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des axialen Röntgenstrahlpunktmusters zu versetzen, während das Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) gebildet wird, wodurch bewirkt wird, daß ein axiales versetztes Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) um die Z-Achse gebildet wird; und

    Verwenden der Röntgenstrahlpunktversätze (147, 148), die einem axialen Röntgenstrahlpunktmuster zugeordnet sind, um ein im wesentlichen kreisförmiges außeraxiales Röntgenstrahlpunktmuster zu bestimmen, das auf der Zielanode (24) um eine Achse gebildet werden soll, die im wesentlichen parallel zu der Z-Achse ist.
  25. Verfahren gemäß Anspruch 24, das folgende Schritte aufweist:

    Erzeugen von Versatzsteuerungssignalen, um an ein Ablenkjoch (60, 62) geliefert zu werden, wobei die Versatzsteuerungssignale Spannungswerten entsprechen, die gemäß den Röntgenstrahlpunktversätzen (147, 148) versetzt worden sind; und

    Bewirken, daß die Versatzsteuerungssignale an das Ablenkjoch (60, 62) geliefert werden, wobei die Lieferung der Versatzsteuerungssignale an das Ablenkjoch (60, 62) bewirkt, daß das axiale versetzte Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) um die Z-Achse gebildet wird, und bewirkt, daß das zumindest eine im wesentlichen kreisförmige außeraxiale Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) um eine Achse gebildet wird, die im wesentlichen parallel zu der Z-Achse ist.
  26. Verfahren gemäß Anspruch 25, bei dem das Ablenkjoch (60, 62) eine X-Ablenkspule (60) und eine Y-Ablenkspule (62) aufweist, und bei dem die Spannungswerte, die an die X-Ablenkspule (60) geliefert werden, bewirken, daß die X-Ablenkspule (60) Röntgenstrahlen weg von der Z-Achse in eine X-Richtung ablenkt, und bei dem die Spannungswerte, die an die Y-Ablenkspule (62) geliefert werden, bewirken, daß die Y-Ablenkspule (62) Röntgenstrahlen weg von der Z-Achse in eine Y-Richtung ablenkt, und bei der die Ablenkung der Röntgenstrahlen in die X- und Y-Richtungen bewirkt, daß die Röntgenstrahlpunkte an speziellen X,Y-Koordinatenpositionen auf der Zielanode (24) gebildet werden.
  27. Verfahren gemäß Anspruch 25, bei dem die Bestimmung des axialen im wesentlichen kreisförmigen Röntgenstrahlpunktmusters zumindest teilweise auf empirischen Daten (143) basiert und bei dem das zumindest eine im wesentlichen kreisförmige außeraxiale Röntgenstrahlpunktmuster aus dem axialen im wesentlichen kreisförmigen versetzten Röntgenstrahlpunktmuster interpoliert wird.
  28. Verfahren gemäß Anspruch 26, bei dem die Steuerungssignale sinusförmig sind, wobei jedes sinusförmige Signal einen Betrag aufweist, der eine Position entlang der Z-Achse der X,Y-Ebene diktiert.
  29. Verfahren gemäß Anspruch 24, bei dem das axiale im wesentlichen kreisförmige versetzten Röntgenstrahlpunktmuster einen ersten und einen zweiten Satz von Röntgenstrahlpunkten aufweist, wobei der erste Satz von Röntgenstrahlpunkten empirisch von Daten (143 bestimmt wird, die durch eine physische Kalibrierung des Systems gesammelt werden, während der der Detektor mit der Bewegung der Röntgenstrahlpunkte des axialen im wesentlichen kreisförmigen Röntgenstrahlpunktmusters synchron gedreht wird, und bei dem die Versätze zu den X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des axialen Röntgenstrahlpunktmusters für jeden Röntgenstrahlpunkt des ersten Satzes bestimmt werden, und bei dem, sobald die Versätze zu den X,Y-Koordinaten des ersten Satzes von Röntgenstrahlpunkten empirisch bestimmt worden sind, die X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des zweiten Satzes aus den Versätzen zu den X,Y-Koordinaten des ersten Satzes interpoliert werden.
  30. Verfahren gemäß Anspruch 29, bei dem, sobald das Röntgenstrahlpunktmuster, das den ersten und den zweiten Satz von Röntgenstrahlpunkten aufweist, bestimmt worden ist, das außeraxiale im wesentlichen kreisförmige Röntgenstrahlpunktmuster aus den versetzten Röntgenstrahlpunkten des außeraxialen im wesentlichen kreisförmigen Röntgenstrahlpunktmusters bestimmt wird, indem die X,Y-Koordinaten von jedem Röntgenstrahlpunkt des außeraxialen Röntgenstrahlpunktmusters um einen Betrag versetzt werden, der gleich dem Versatz der jeweiligen X,Y-Koordinaten eines jeweiligen Röntgenstrahlpunkts des versetzten außeraxialen Röntgenstrahlpunktmusters ist.
  31. Verfahren gemäß Anspruch 29, bei dem die X,Y-Koordinaten des zweiten Satzes von Röntgenstrahlpunkten aus den X,Y-Koordinaten des ersten Satzes der Röntgenstrahlpunkte interpoliert wird, indem ein Kurvenanpassungsalgorithmus ausgeführt wird, der den ersten Satz von Röntgenstrahlpunkten verwendet, um die X,Y-Koordinatenpositionen auf der Zielanode (24) des zweiten Systems von Röntgenstrahlpunkten zu interpolieren.
  32. Verfahren gemäß Anspruch 29, bei dem die X,Y-Koordinaten der außeraxialen Röntgenstrahlpunkte interpoliert werden, indem ein Kurvenanpassungsalgorithmus ausgeführt wird, der die versetzten X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des axialen versetzten Röntgenstrahlpunktmusters verwendet.
  33. Verfahren gemäß Anspruch 29, bei dem die X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des außeraxialen Röntgenstrahlpunktmusters interpoliert werden, indem ein Nächster-Nachbar-Algorithmus ausgeführt wird, der die X,Y-Koordinaten von jedem außeraxialen Röntgenstrahlpunkt den Versatz zuweist, der den X,Y-Koordinaten des axialen Röntgenstrahlpunkts zugeordnet ist, der sich am nächsten zu dem jeweiligen außeraxialen Röntgenstrahlpunkt auf der Zielanode (24) befindet.
  34. Computerprogramm zum Kalibrieren eines Röntgenstrahl-Laminographiebilderzeugungssystems, wobei das System eine stationäre Röntgenstrahlquelle (12) und einen drehbar befestigten Detektor verwendet und ein sich bewegendes Muster von Röntgenstrahlpunkten auf einer Zielanode (24) erzeugt, um die Notwendigkeit, ein Objekt, das abgebildet wird, zu bewegen, zu reduzieren oder zu beseitigen, wobei das Computerprogramm auf einem computerlesbaren Medium verkörpert ist, wobei das Programm folgende Merkmale aufweist:

    ein erstes Codesegment zum Bestimmen von Steuerungssignalen, die notwendig sind, um an ein Ablenkjoch (60, 62) geliefert zu werden, um zu bewirken, daß zumindest ein im wesentlichen kreisförmiges axiales Röntgenstrahlpunktmuster auf einer Zielanode (24) um eine Z-Achse gebildet wird, um eine Drehung einer Röntgenstrahlquelle zu simulieren, wobei die Zielanode (24) in einer X,Y-Ebene liegt, die im wesentlichen orthogonal zu der Z-Achse ist, wobei jeder Punkt des Röntgenstrahlpunktmusters, das auf der Zielanode (24) gebildet wird, eine X-Koordinate und eine Y-Koordinate aufweist.

    ein zweites Codesegment zum Verarbeiten von Daten (143), um Versätze zu den X,Y-Koordinaten des Röntgenstrahlpunktmusters auf der Zielanode (24) zu bestimmen, wobei die Daten (143) durch eine Kalibrierung des Systems gesammelt werden, während ein Röntgenstrahldetektor (56) mit der Bewegung der Röntgenstrahlpunkte um die Z-Achse synchronisiert ist, die das axiale Röntgenstrahlpunktmuster zu bilden.

    ein drittes Codesegment, das die Versätze verwendet, um die X,Y-Koordinaten der Röntgenstrahlpunkte des axialen Röntgenstrahlpunktmusters zu versetzen, während das Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) gebildet wird, wodurch ein axiales versetztes Röntgenstrahlpunktmuster auf der Zielanode (24) um die Z-Achse gebildet wird; und

    ein viertes Codesegment, das die Röntgenstrahlpunktversätze (147, 148), die einem axialen Röntgenstrahlpunktmuster zugeordnet sind, verwendet, um ein im wesentlichen kreisförmiges außeraxiales Röntgenstrahlpunktmuster bestimmen, das auf der Zielanode (24) um eine Achse gebildet werden soll, die im wesentlichen zu der Z-Achse parallel ist.
Es folgen 10 Blatt Zeichnungen






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