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Dokumentenidentifikation DE202004007213U1 16.09.2004
Titel Vorrichtung zur Herstellung von Mikrokörpern
Anmelder Laserinstitut Mittelsachsen e.V., 09648 Mittweida, DE
Vertreter Krause, W., Dr.-Ing. Faching.f.Erfindungswesen, Pat.-Anw., 09648 Mittweida
DE-Aktenzeichen 202004007213
Date of advertisement in the Patentblatt (Patent Gazette) 16.09.2004
Registration date 12.08.2004
Application date from patent application 01.05.2004
IPC-Hauptklasse B01J 19/12
IPC-Nebenklasse B29C 67/04   B22F 3/105   B23K 26/00   B81C 1/00   

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft Vorrichtungen zur Herstellung von Mikrokörpern mit jeweils wenigstens einem Bauraum mit einem Träger für Mikrokörper, einer Ringrakel als sowohl Vorratsraum als auch Transportvorrichtung für Partikel und einem Laser, wobei Laserstrahlen über die Querschnittsfläche des Bauraumes führbar sind und beim Auftreffen von Laserstrahlen auf eine Partikelschicht sowohl Partikel miteinander als auch mit mindestens einer darunter angeordneten Schicht gesinterter und/oder verschmolzener Partikel sintern und/oder verschmelzen.

Verfahren und Vorrichtungen zur Herstellung von Körpern aus nacheinander aufgebrachten Schichten aus Partikeln und dem Bestrahlen dieser Schichten mit Laserstrahlen eines Lasers, wobei Partikel miteinander und mit der darunter angeordneten Schicht sintern und/oder verschmelzen, sind durch Veröffentlichungen bekannt.

Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung von Körpern aus schichtweise aufgebrachtem Pulver und einem selektiven Sintern der jeweilig aufgebrachten Schicht sind aus der US 4863538 (Verfahren und Einrichtung zur Herstellung von Körpern durch selektives Sintern) bekannt. Dabei wird durch energiereiche Strahlung das Pulver der jeweiligen Schicht partiell versintert. Über das Auftreffen einer Strahlung auf die Pulverschicht wird dabei der Körper realisiert. Zur Erzeugung des jeweiligen Körpervolumens wird die energiereiche Strahlung gescannt. Zum Einsatz kommen vorwiegend CO2- oder Nd:YAG- Laser mit Scanner, mit einer Leistung von 50 W bis 200 W und einem Fokus von 100 µm bis 300 µm. Das Ergebnis ist ein gesinterter Körper. Dieser zeichnet sich allerdings dadurch aus, dass eine Verbindung, ohne dass eine Schmelze wie beim Schweißen gebildet wird, entsteht. Damit ergeben sich Körper, die nur bedingt z.B. als Druckgusswerkzeuge einsetzbar sind. Durch eine nachträgliche Infiltration kann die Dichte des Sinterkörpers gesteigert werden. Ein wesentlicher Nachteil besteht weiterhin in der sehr langen Sinterzeit insbesondere bei größeren Körpern, die je nach Bauteilgröße bis zu 100 h beträgt. Ein weiterer Nachteil ist die relativ große Oberflächenrauhheit des gesinterten Körpers. Die Einrichtung dieser Lösung besteht in einem durch einen Mikrorechner gesteuerten Verfahrensablauf. Weitere derartige Veröffentlichungen sind die US 5314003 und US 5393613, bei denen die Körper aus einem vorher bereiteten Pulvergemisch verschiedener Metalle hergestellt werden. Eines der Metalle weist dabei einen geringen Schmelzpunkt auf, so dass bei einer partiellen Erwärmung diese Pulverteile versintern. Durch die DE 43 09 524 C 2 (Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts) ist ein Verfahren bekannt, wobei die Strahlungseinwirkung im Kernbereich eines Objektes zu einer minimalen Verformung und im Hüllbereich zu einer möglichst glatten und genauen Oberfläche führen. Die Ermittlung des Hüllbereichs erfolgt durch Subtraktion in dreidimensionaler Weise von Einzelbereichen des Kernbereichs von dem Gesamtkörper. Die Bestrahlung erfolgt in unterschiedlicher Art und Weise, je nachdem ob es sich um einen Einzelbereich im Kernbereich oder einen solchen im Hüllbereich handelt. Neben der Ermittlung der Hüllbereiche sind unterschiedliche Bestrahlungstechnologien zur Realisierung des Objektes notwendig. In der DE 195 38 257 C2 (Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes) wird das herzustellende Objekt mit einer dreidimensionalen Stützkonstruktion aus einem inneren Kernbereich und einem äußeren Hüllbereich versehen. Der Kernbereich wird dabei vorzugsweise doppelt belichtet, so dass eine starke Verfestigung erreicht wird, während der Hüllbereich nur einmal belichtet wird. Der Hüllbereich befindet sich dabei vollflächig zwischen dem Objekt und der Stützkonstruktion. Der Hüllbereich ist weich, so dass mit geringstem Kraft- und Werkzeugaufwand eine Trennung des Objektes von der Stützkonstruktion erfolgen soll. Gleichzeitig ist die Dicke des Hüllbereichs zur Gewährleistung der Funktion als Stützkonstruktion sehr gering. Schwierigkeiten ergeben sich aber bei der Trennung sehr kleiner oder mikrostrukturierter Objekte von der Stützkonstruktion, die bei der Trennung sehr leicht zerstört werden können. Gleichzeitig müssen Angriffsflächen für die Werkzeuge vorhanden sein. Bei mehreren Objekten auf einem Träger ist eine derartige Trennung ohne Zerstörung nur schwer realisierbar, so dass derartige Stützkonstruktionen zur Herstellung mehrerer Miniaturkörper oder mikrostrukturierter Körper auf einem Träger nicht geeignet sind. Durch die DE 199 52 998 C2 (Vorrichtung zur direkten Herstellung von Körpern im Schichtaufbau aus pulverförmigen Stoffen) sind Vorrichtungen mit einer evakuierbaren Bearbeitungskammer bekannt, in die wenigstens zwei Teilkammern integriert sind. Eine der Teilkammern ist der Bauraum und die andere der Vorratsbehälter für das Pulver. Dadurch ist keine reaktive Atmosphäre vorhanden, durch das Zusammenfügen der Pulverteilchen entstehen sowohl dichte als auch porenfreie Schichten und es findet keine Wärmeleitung statt. Durch die Druckschrift DE 199 53 000 C2 (Verfahren und Einrichtung zur schnellen Herstellung von Körpern) sind Verfahren und Vorrichtungen bekannt, wobei vorteilhafterweise Körper maßgenau, konturscharf schnell und mit hoher Dichte hergestellt werden können. Formkorrigierende Nachbehandlungen werden weitestgehend vermieden, so dass sehr ökonomisch derartige Körper herstellbar sind. Das wird durch die Verwendung zweier Strahlungsquellen beim Sintern oder Verschweißen erreicht, wobei die Erste der Erzeugung der Kontur und die Zweite zur schnellen Realisierung des Innenraumes des zu erzeugenden Körpers dient. Bei der ersten Strahlungsquelle handelt es sich vorwiegend um einen Laser guter Strahlqualität, da ein kleiner Fokus erzielt werden soll. Als zweite Strahlungsquelle wird vorteilhaft ein Hochleistungsdiodenlaser mit Linienfokus eingesetzt. Eine Verdichtung des aufgetragenen Pulvers ist nicht vorgesehen, so dass bei Zusammenballungen von Partikeln als Partikelagglomerate Fehlstellen im Körper auftreten.

Der im Schutzanspruch 1 angegebenen Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, mehrere Mikrokörper aus nacheinander schichtweise aufgebrachten und miteinander verbundenen Partikeln schnell herzustellen.

Diese Aufgabe wird mit den im Schutzanspruch 1 aufgeführten Merkmalen gelöst.

Die Vorrichtungen zur Herstellung von Mikrokörpern mit jeweils wenigstens einem Bauraum mit einem Träger für Mikrokörper, einer Ringrakel als sowohl Vorratsraum als auch Transportvorrichtung für Partikel und einem Laser, wobei Laserstrahlen über die Querschnittsfläche des Bauraumes führbar sind und beim Auftreffen von Laserstrahlen auf eine Partikelschicht sowohl Partikel miteinander als auch mit mindestens einer darunter angeordneten Schicht gesinterter und/oder verschmolzener Partikel sintern und/oder verschmelzen zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass mehrere Mikrokörper schnell hergestellt werden können. Dazu sind mindestens ein externer akustooptischer Modulator zur Laserstrahlsteuerung des Lasers im gepulsten Betrieb oder im cw-Betrieb in Strahlrichtung nach dem Laser angeordnet und mehrere Rakel mit wenigstens einem Antrieb gekoppelt. Die Rakel sind vorteilhafterweise nacheinander über mindestens einen Bauraum führbar.

Die Akustooptik betrifft die Wechselwirkungen zwischen den elektromagnetischen Laserstrahlen und durch ein hochfrequentes elektrisches Feld angeregte akustische Wellen in einem für die Laserstrahlung transparenten Kristall. Der extern angeordnete akustooptische Modulator zur Laserstrahlsteuerung des Lasers im gepulsten Betrieb oder im cw-Betrieb führt zu einer steuerbaren Wirkung der Laserstrahlen auf die Partikelschichtoberfläche und der Möglichkeit, den bei gütegeschalteten Lasern auftretenden Effekt der Erstpulsüberhöhung zu eliminieren. Die externe Unterdrückung oder Eliminierung des Erstpulses ist sehr effektiv, da der Laserbetrieb dabei konstant bleibt und keine kavitätsinterne Einflussnahme stattfindet. Dadurch ist ein vorteilhaftes Schalt- und Leistungssteuerelement für die Laserstrahlen gegeben, wobei sehr gleichmäßige Sinterschichten herstellbar sind.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass eine oder mehrere Rakel mit wenigstens einem Antrieb so gekoppelt sind, dass die Rakel nacheinander über mindestens einen Bauraum führbar sind. Vorteilhafterweise sind mehrere Rakel über mehrere Bauräume führbar. Mit dem verwendeten Ablenksystem können die Laserstrahlen eines Lasers abwechselnd über die Bauräume geführt werden, so dass ein wechselseitiges Beschicken und Bestrahlen der Bauräume ausgeführt werden kann. Damit können die Mikrokörper des einen Bauraumes und die des anderen Bauraumes quasi parallel realisiert werden, so dass eine sehr ökonomische Herstellung von Mikrokörpern gegeben ist.

Vorteilhafterweise sind die Rakel Ringrakel, wobei sich mehrere Bauräume im Bewegungsbereich der Ringrakel befinden. Die Ringrakel besitzt eine in sich geschlossene Klinge, so dass gleichzeitig eine die Partikel aufnehmende Transportvorrichtung vorhanden ist. Die Ringrakel sind über mindestens ein Konstruktionselement wenigstens in einer Ebene horizontal parallel zum Träger entweder sowohl drehbar gelagert als auch mit einem Antrieb gekoppelt oder in sowohl horizontaler als auch vertikaler Richtung über gekoppelte Antriebe bewegbar. Die Ringrakel gewährleistet ein gleichmäßiges Auftragen von Schichten aus allen Richtungen der Rakelebene. Damit ist ein homogener Schichtauftrag gegeben. Unter Verwendung mehrerer Ringrakel und mehrerer Bauräume können sehr ökonomisch Mikrokörper hergestellt werden.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass durch das Vorhandensein mehrerer mit einem Antrieb gekoppelter Transportvorrichtungen, die nacheinander über den Bauraum führbar sind, ökonomisch vorteilhaft unterschiedliche Partikel auf den Träger eines Bauraumes oder die Träger der Bauräume aufgebracht werden können. Dadurch können auch Mikrokörper mit Schichten aus unterschiedlichen Materialien und damit mit vertikalen Eigenschaftsgradienten erzeugt werden.

Für die Herstellung der Mikrokörper können vorteilhafterweise ein Laser mit entweder Strahlumschalter oder Strahlteiler und externem akustooptischen Modulator und daraus resultierend mehreren Laserstrahlen und/oder ein Antrieb mit mehreren Ringrakeln verwendet werden.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Schutzansprüchen 2 bis 9 angegeben.

Eine Kopplung der Ringrakel an entweder ein ebenes Drehgelenkgetriebe oder eine sowohl verfahrbare als auch in ihrer Länge veränderbare Einrichtung nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 2 erlaubt eine Bewegung der Ringrakel an die unterschiedlichsten Positionen in der Rakelebene mit dem Vorteil, dass unterschiedliche Vorratsräume in beliebiger Reihenfolge angefahren werden können und über unterschiedlich strukturierte Bereiche der Rakelebene zum Zwecke des Durchmischens mehrerer Komponenten oder der Reinigung der Ringrakel geführt werden können.

Die Weiterbildung nach Schutzanspruch 3, wobei die Ringrakel eine zum Rakelkörper bewegliche Rakelklinge aufweisen, erlaubt das Führen der Rakelklinge über die Bauplattform mit einem minimalen Abstand. Unebenheiten können ausgeglichen werden und der Fertigungsaufwand für die Bauplattform sinkt.

Die Weiterbildung des Schutzanspruchs 4, wobei eine Schutzscheibe für ein Laserstrahleinkoppelfenster über mindestens eine Vorrichtung wenigstens in einer Ebene horizontal parallel zum Träger entweder sowohl drehbar gelagert als auch mit einem Antrieb gekoppelt ist oder in sowohl horizontaler als auch vertikaler Richtung über gekoppelte Antriebe bewegbar ist und die Schutzscheibe zwischen den Bauraum und dem Laserstrahleinkoppelfenster schwenk-und/oder bewegbar ist, verhindert ein Beschlagen des Laserstrahleinkoppelfensters. Vorteilhafterweise sind die Rakel als Ringrakel und die Schutzscheibe über ein Konstruktionselement miteinander verbunden. Neben einer einfachen und kompakten Realisierung wird die Anzahl der Antriebe minimiert.

Der oder die Antriebe für eine vertikale Bewegung des Trägers im Bauraum oder der Träger in den Bauräumen nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 5 gewährleisten die Realisierung des Mikrokörpers oder der Mikrokörper durch Sintern in einer fixen Anlagenebene.

Ein Strahlteiler oder ein Strahlumschalter im Strahlengang des gepulsten Lasers nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 6 bewirkt ökonomisch vorteilhafterweise einen Einsatz des Lasers bei zwei Sinterprozessen in zwei Bauräumen, wobei Rakeln und Sintern in den Bauräumen auch wechselseitig durchgeführt werden können.

In Verbindung mit der Weiterbildung des Schutzanspruchs 7 werden die Teilstrahlen oder die Strahlen durch die externen akustooptischen Modulatoren mit gesteuerter Wirkung dieser jeweiligen Laserstrahlen auf die Partikelschichtoberfläche ohne Erstpulsüberhöhung geführt. Dadurch sind vorteilhafte Schalt- und Steuerelemente für die Laserstrahlen vorhanden, wobei sehr gleichmäßige Sinterschichten oder solche mit gezielten Eigenschaften herstellbar sind. Mit der Steuerung ist die Herstellung der Mikrokörper leicht durchzuführen. Durch den Einsatz eines Strahlteilers können Mikrokörper in den Bauräumen gleichzeitig hergestellt werden, während bei Einsatz eines Strahlumschalters die Schichten für die Mikrokörper der Bauräume sequentiell realisiert werden.

Nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 8 sind die externen Modulatoren und die strahlablenkenden Einrichtungen mit einer Steuerung verbunden, so dass eine schnelle und damit effektive Umschaltung des Strahlweges möglich ist.

Mittels einer die zeitliche Aufteilung der Laserstrahlen auf die Bauräume berechnenden Software als Programmprodukt, die ein Bestandteil der Steuerung ist, nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 9 werden die optimalen Aufteilungen der Sinter- und Rakelzeiten berechnet.

Das gewährleistet eine ökonomisch günstige Nutzung der Laserstrahlung.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist jeweils prinzipiell in den Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.

Es zeigen:

1 eine Vorrichtung mit zwei Bauräumen und einem Laser,

2 die Bauräume und eine Ringrakel für diese Vorrichtung in einer Draufsicht,

3 eine Vorrichtung mit einem Laser, einem Strahlumschalter, drei Modulatoren und drei Bauräumen und

4 eine Vorrichtung mit einem Laser, einem Strahlteiler, zwei Modulatoren und zwei Bauräumen.

Eine Vorrichtung zur Herstellung von Mikrokörpern 3 besteht in einem Ausführungsbeispiel im wesentlichen aus zwei Bauräumen 1a, 1b mit jeweils einem Träger 2a, 2b für Mikrokörper 3, einer Ringrakel 8 als sowohl Vorratsraum als auch Transportvorrichtung für Partikel 4, einer Schutzscheibe 10, einem Laser 5, einem Strahlumschalter 6 und zwei Modulatoren 7a, 7b.

In der 1 ist prinzipiell eine derartige Vorrichtung mit zwei Bauräumen und einem Laser dargestellt.

In Strahlrichtung nach dem Laser 5 ist der Strahlumschalter 6 angeordnet. Es kann sowohl ein Laser 5 im gepulsten Betrieb oder im cw-Betrieb eingesetzt werden. Die Laserstrahlen des Lasers 5 gelangen je nach Schaltzustand des Strahlumschalters 6 zu einem der externen akustooptischen Modulatoren 7a, 7b und danach zu einem der Bauräume 1a, 1b mit den Partikeln 4. Mittels dieser externen Modulatoren 7a, 7b werden die Laserstrahlen jeweils leistungsreguliert und auf die Bauräume 1a, 1b geführt.

Ein dafür einsetzbarer externer Modulator 7 ist ein Bragg-Diffraktor mit zum Beispiel einer akustischen Zentralfrequenz von 40 MHz, die um plus 10 MHz und um minus 10 MHz verschoben werden kann, und einer Apertur entsprechend der Höhe des optischen Feldes von 2 mm. Die Schallgeschwindigkeit beträgt 3,96 m/µs und somit die Pulsanstiegszeit (von 10 % bis 90 %) T&dgr; = 162 × D nsec/mm, wobei D der Strahldurchmesser in mm ist. Die maximale Transmission der 0. Ordnung beträgt 99,6 %, die Beugungseffinzienz der 1. Ordnung 84,7 %. Beim Auftreffen der Laserstrahlen auf eine Partikelschicht sintern und/oder verschmelzen sowohl Partikel 4 miteinander als auch mit mindestens einer darunter angeordneten Schicht gesinterter und/oder verschmolzener Partikel 4. Die Träger 2a, 2b der Bauräume 1a, 1b sind jeweils mit einem Antrieb so gekoppelt, dass diese jeweils vertikal in den Bauräumen 1a, 1b bewegbar sind. Derartige Anordnungen sind bekannt, so dass in der 1 nur das Prinzip gezeigt ist. Die Mikrokörper 3 bestehen entsprechend der verwendeten Partikel 4 aus einer Keramik, einem Metall, einer Legierung oder einem Kompositwerkstoff z.B. MetalUKeramik. Die Transportvorrichtung für die Partikel 4 ist eine Ringrakel 8 mit einer in sich geschlossenen Klinge. Diese Ringrakel 8 vollführt eine kreisförmige Bewegung um eine Drehachse 9, wobei in der Bewegungsbahn die Bauräume 1a, 1b angeordnet sind. An der Drehachse 9 ist weiterhin eine Schutzscheibe 10 für ein entspiegeltes Laserstrahleinkoppelfenster befestigt. Die Schutzscheibe 10 ist ein Schutzglas. Die 2 zeigt prinzipiell die Ringrakel 8 und die Schutzscheibe 10 an der Drehachse 9. Mit der Ringrakel 8 werden Partikel 4 als Pulver als Schicht zum und in dem jeweiligen Bauraum 1a, 1b transportiert. Abwechselnd kann die Ringrakel 8 oder die Schutzscheibe 10 auf einem der Bauräume 1a, 1b angeordnet sein. Die Partikel 4 befinden sich dazu entweder in wenigstens einem Vorratsraum im Drehbereich der Ringrakel 8 oder werden in die Ringrakel 8 aus mindestens einem Vorratsraum über eine Rinne oder einen Schlauch geschüttet. Im letzteren Fall befindet sich die Ringrakel 8 in einer Position zwischen den Bauräumen. Die Anordnung des wenigstens einen Vorratsraumes ist in den 1 und 2 nicht gezeigt. Der Laser 5, der Strahlumschalter 6, die Modulatoren 7a, 7b und die Antriebe für die Träger 2a, 2b und die Kombination aus Ringrakel 8 und Schutzscheibe 10 sind mit einer Steuerung verbunden.

In einer Ausführungsform des Ausführungsbeispiels können auch drei Bauräume 1a, 1b, 1c im Drehbereich von wenigstens zwei Ringrakeln 8 angeordnet sein. Dazu sind drei externe akustooptische Modulatoren 7a, 7b, 7c so angeordnet, dass die Laserstrahlen des Lasers 5 über einen dazwischen angeordneten Strahlumschalters 6 und dessen Schaltzustand auf die jeweilige Oberfläche der Partikel 4 in dem jeweiligen Bauraum 1a, 1b, 1c gelangen (Darstellung in der 3).

In einer weiteren Ausführungsform des Ausf´ührungsbeispiels kann sich im Strahlengang des Lasers 5 vor den zwei Modulatoren 7a, 7b ein Strahlteiler 11 befinden, so dass die dadurch gebildeten Teillaserstrahlen des Lasers 5 gleichzeitig zum Sintern der Partikel 4 im Bauraum 1a und im Bauraum 1b eingesetzt werden (Darstellung in der 4).


Anspruch[de]
  1. Vorrichtung zur Herstellung von Mikrokörpern mit jeweils wenigstens einem Bauraum mit einem Träger für Mikrokörper und einem Laser, wobei Laserstrahlen über die Querschnittsfläche des Bauraumes führbar sind und beim Auftreffen von Laserstrahlen auf eine Partikelschicht sowohl Partikel miteinander als auch mit mindestens einer darunter angeordneten Schicht gesinterter und/oder verschmolzener Partikel sintern und/oder verschmelzen, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein externer akustooptischer Modulator (7) zur Laserstrahlsteuerung des Lasers (5) im gepulsten Betrieb oder im cw- Betrieb in Strahlrichtung nach dem Laser (5) angeordnet ist und/oder dass mindestens zwei Ringrakel (8) jeweils als sowohl Vorratsraum als auch Transportvorrichtung für Partikel (4) mit wenigstens einem Antrieb so gekoppelt sind, dass die Ringrakel (8) nacheinander über mindestens einen Bauraum (1) führbar sind.
  2. Vorrichtung nach Schutzanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ringrakel (8) an entweder ein ebenes Drehgelenkgetriebe oder eine sowohl verfahrbare als auch in ihrer Länge veränderbare Einrichtung gekoppelt sind.
  3. Vorrichtung nach Schutzanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ringrakel (8) eine zum Rakelkörper bewegliche Rakelklinge aufweisen.
  4. Vorrichtung nach Schutzanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Schutzscheibe (10) für ein Laserstrahleinkoppelfenster wenigstens in einer Ebene horizontal parallel zum Träger (2) entweder sowohl drehbar gelagert als auch mit entweder einem oder dem Antrieb gekoppelt ist oder in sowohl horizontaler als auch vertikaler Richtung über gekoppelte Antriebe bewegbar ist, so dass die Schutzscheibe (10) zwischen dem Bauraum (1) und einem Laserstrahleinkoppelfenster schwenk- und/oder bewegbar ist.
  5. Vorrichtung nach einem der Schutzansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (2) mit einem Antrieb oder die Träger (2) mit Antrieben so gekoppelt sind, dass der Träger (2) oder die Träger (2) im Bauraum (1) oder in den Bauräumen (1) vertikal bewegbar ist oder sind.
  6. Vorrichtung nach Schutzanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich im Strahlengang des Lasers (5) mindestens ein Strahlteiler (11) oder ein Strahlumschalter (6) befindet.
  7. Vorrichtung nach den Schutzansprüchen 1, 2 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser (5) in Strahlrichtung der Laserstrahlen mit wenigstens einer Einrichtung bestehend aus einem Strahlteiler (11) oder Strahlumschalter (6), zwei externen akustooptischen Modulatoren (7) für jeweils einen Teilstrahl, zwei Ablenkeinrichtungen mit wenigstens einem Antrieb für jeweils einen Teilstrahl, zwei Bauräumen (1) und einer mit dem Laser (5), dem Strahlteiler (11) oder dem Strahlumschalter (6), den akustooptischen Modulatoren (7) und den Antrieben der Ablenkeinrichtungen verbundenen Steuerung so angeordnet ist, dass jeweils ein Teilstrahl oder der Strahl über die Querschnittsfläche eines Bauraumes (1) führbar ist.
  8. Vorrichtung nach Schutzanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die externen Modulatoren (7) und die strahlablenkenden Einrichtungen mit einer Steuerung verbunden sind.
  9. Vorrichtung nach Schutzanspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine die zeitliche Aufteilung der Laserstrahlen auf die Bauräume (1) berechnende Software als Programmprodukt ein Bestandteil der Steuerung ist.
Es folgen 4 Blatt Zeichnungen






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