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Dokumentenidentifikation EP1451561 07.10.2004
EP-Veröffentlichungsnummer 0001451561
Titel VERFAHREN ZUM NACHWEIS VON DEFEKTEN AN SUBSTRATEN
Anmelder Applied Materials, Inc., Santa Clara, Calif., US
Erfinder LEVIN, Evgeni, Cupertino, US;
COHEN, Yehuda, Rehovot, US
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 25.11.2002
EP-Aktenzeichen 028040475
WO-Anmeldetag 25.11.2002
PCT-Aktenzeichen PCT/US02/37640
WO-Veröffentlichungsnummer 0003046531
WO-Veröffentlichungsdatum 05.06.2003
EP-Offenlegungsdatum 01.09.2004
Veröffentlichungstag im Patentblatt 07.10.2004
IPC-Hauptklasse G01N 21/956
IPC-Nebenklasse G06T 7/00   H01L 21/66   G01R 31/26   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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