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Dokumentenidentifikation EP1453076 07.10.2004
EP-Veröffentlichungsnummer 0001453076
Titel Ablenkvorrichtung, Herstellungsverfahren und Verwendung in einem geladenen Teilchen-Strahl-Beleuchtungsgerät
Anmelder Canon K.K., Tokio/Tokyo, JP;
Hitachi High-Technologies Corp., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder Ono, Haruhito, Ohta-ku, Tokyo, JP;
Akaike, Masatake, Ohta-ku, Tokyo, JP;
Tamamori, Kenji, Ohta-ku, Tokyo, JP;
Hirose, Futoshi, Ohta-ku, Tokyo, JP;
Koyama, Yasushi, Ohta-ku, Tokyo, JP;
Terasaki, Atsunori, Ohta-ku, Tokyo, JP;
Nagae, Ken-ichi, Ohta-ku, Tokyo, JP;
Nakayama, Yoshinori, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8220, JP
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 23.02.2004
EP-Aktenzeichen 042509562
EP-Offenlegungsdatum 01.09.2004
Veröffentlichungstag im Patentblatt 07.10.2004
IPC-Hauptklasse H01J 37/04
IPC-Nebenklasse H01J 37/317   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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