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Dokumentenidentifikation EP1490669 03.02.2005
EP-Veröffentlichungsnummer 0001490669
Titel WAFERDEFEKTERKENNUNGSSYSTEM MIT EINEM MEHRSTRAHL-SCANNER MIT BEWEGLICHER LINSE
Anmelder Applied Materials Israel Ltd., Rehovot, IL
Erfinder FELDMAN, Haim, Nof-Ayalon, IL;
ELYASAF, Emanuel, 76508 Rehovot, IL;
ELMALIACH, Nissim, Raanana, IL;
NAFTALI, Ron, 73142 Shoham, IL;
GOLDBERG, Boris, 77452 Ashdod, IL;
REINHORN, Silviu, 90805 Mevaseret-Zion, IL
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 14.03.2003
EP-Aktenzeichen 037113065
WO-Anmeldetag 14.03.2003
PCT-Aktenzeichen PCT/US03/06160
WO-Veröffentlichungsnummer 0003083449
WO-Veröffentlichungsdatum 09.10.2003
EP-Offenlegungsdatum 29.12.2004
Veröffentlichungstag im Patentblatt 03.02.2005
IPC-Hauptklasse G01N 21/00








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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