| Dokumentenidentifikation |
DE10345533A1 04.05.2005 |
| Titel |
Ultraschallwandler zum Betrieb in einem unter erhöhtem Druck stehenden Medium |
| Anmelder |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE |
| Erfinder |
Degel, Christian, 66440 Blieskastel, DE |
| Vertreter |
v. Bezold & Sozien, 80799 München |
| DE-Anmeldedatum |
30.09.2003 |
| DE-Aktenzeichen |
10345533 |
| Offenlegungstag |
04.05.2005 |
| Veröffentlichungstag im Patentblatt |
04.05.2005 |
| IPC-Hauptklasse |
B06B 3/00
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| IPC-Nebenklasse |
H04R 1/44
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| Zusammenfassung |
Es wird ein Ultraschallwandler (10) zur Erzeugung und/oder Erfassung von Ultraschallschwingungen mit einem Oszillatorelement (11) beschrieben, das in einem Gehäuse (12) angeordnet ist, wobei das Gehäuse (12) ein inkompressibles Innenmedium (13) enthält und mindestens eine Druckausgleichseinrichtung (14) aufweist, mit der ein Druck von einem äußeren Druckmedium über das Innenmedium (13) auf das Oszillatorelement (11) übertragbar ist. Es wird auch ein Verfahren zum Betrieb eines derartigen Ultraschallwandlers (10) zur Erzeugung und/oder Erfassung von Ultraschallschwingungen in einem Druckmedium beschrieben.
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| Beschreibung[de] |
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Die Erfindung betrifft einen Ultraschallwandler zum Betrieb in einem
unter erhöhtem Druck stehenden Medium, insbesondere einen druckfesten Ultraschallwandler
zur Erzeugung und/oder Erfassung von Ultraschallschwingungen, mit den Merkmalen
des Oberbegriff von Anspruch 1. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Erzeugung
und/oder Erfassung von Ultraschallschwingungen in einem unter erhöhtem Druck stehenden
Medium.
Ein herkömmlicher Ultraschallwandler 10' (oder: Ultraschallsensor),
wie er beispielhaft schematisch in 5A gezeigt ist,
besitzt allgemein eine schallerzeugende oder schallempfangende Baugruppe, die auch
als akustischer Block bezeichnet wird, mit den folgenden drei Komponenten. Es ist
erstens ein Oszillatorelement 11' vorgesehen, das als aktives Material
zur Erzeugung oder Detektion von Ultraschallschwingungen dient und in der Praxis
meist aus einer piezoelektrischen Keramik besteht. Auf der Vorderseite des Oszillatorelements
11' kann ferner mindestens eine Adapterschicht 17' angebracht
sein, die zur optimalen Schallübertragung in das angrenzende Medium ausgebildet
ist. Schließlich befindet sich auf der Rückseite des Oszillatorelements
11' ein Dämpfungskörper 18', mit dem das schwingende Oszillatorelement
11' gedämpft wird und unerwünschte Schallreflektionen vom rückseitigen
Raum reduziert werden. Der akustische Block befindet sich zum Schutz gegen Verunreinigungen
oder störende Umgebungseinflüsse in einem Gehäuse 12', durch das Kontaktleitungen
19' vom Oszillatorelement 11' zu einer Steuer- und Messeinrichtung
führen.
Ein Nachteil herkömmlicher Ultraschallwandler besteht in der Empfindlichkeit
des Oszillatorelements 11' gegen Verbiegungen unter Druckeinfluss. Wenn
das angrenzende Medium, in dem der Ultraschall erzeugt oder gemessen werden soll,
unter einem erhöhten Druck p1 steht, wie zum Beispiel in einem unter Druck stehenden
Behälter oder einer Druck-Flüssigkeitsleitung, kann es zu Verbiegungen und zur mechanischen
Zerstörung des Oszillatorelements 11' kommen.
Um diesem Nachteil zu begegnen, wurden druckfeste Ultraschallwandler
entwickelt, die sich entsprechend der beispielhaften, schematischen Darstellung
in 5B durch ein topfförmig geschlossenes, verstärktes
Gehäuse 12' auszeichnen. Im Gehäuse 12', das beispielsweise in
eine Wand einer Druckleitung eingebaut ist und damit eine Druckgrenze &Dgr;p gegenüber
einem Umgebungsmedium mit geringerem Druck p2 bildet, befindet sich das Oszillatorelement
11'. Das Gehäuse 12' besitzt eine erhöhte Wandstärke, um dem erhöhten
Druck p1 im angrenzenden Medium standhalten zu können. Das Oszillatorelement
11' ist nur dem geringeren Druck p2 ausgesetzt. Die Adapterschicht
17' befindet sich bei diesem Aufbau auf der Außenseite des Gehäuses
12'.
Druckfeste Ultraschallwandler gemäß 5B
besitzen erstens den Nachteil, dass große Druckunterschiede &Dgr;p durch eine Gehäuseverstärkung
nur beschränkt ausgeglichen werden können. Des Weiteren besitzen sie den Nachteil
einer unerwünschten Dämpfung des Ultraschalls in der Wand des Gehäuses
12'. Je größer der durch das Gehäuse 12' zu kompensierende Druckunterschied
&Dgr;p ist, desto dicker muss die Gehäusewand sein und desto stärker wird die Schalldämpfung.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, einen verbesserten Ultraschallwandler
bereitzustellen, mit dem die Nachteile herkömmlicher Ultraschallwandler überwunden
werden und der insbesondere einen Betrieb an der Grenze zwischen einem unter erhöhtem
Druck stehenden Medium (im folgenden: Druckmedium) und einem Umgebungsmedium mit
geringerem Druck ohne eine mechanische Gefährdung und ohne eine unerwünschte Dämpfung
des Oszillatorelements ermöglicht. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein
verbessertes Verfahren zur Erzeugung und/oder Erfassung von Ultraschallschwingungen
in einem Druckmedium bereitzustellen, mit dem die Nachteile der herkömmlichen Techniken
überwunden werden.
Diese Aufgaben werden durch Vorrichtungen und Verfahren mit den Merkmalen
gemäß den Patentansprüchen 1 oder 17 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen und
Anwendungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
Vorrichtungsbezogen basiert die Erfindung auf der allgemeinen technischen
Lehre, bei einem druckfesten Ultraschallwandler das Oszillatorelement in einem Gehäuse
anzuordnen, das ein inkompressibles Innenmedium enthält, wobei an dem Gehäuse mindestens
eine Druckausgleichseinrichtung vorgesehen ist, mit der ein externer Druck aus dem
Druckmedium auf das Innenmedium und damit auf das Oszillatorelement übertragbar
ist. Vorteilhafterweise wird das Oszillatorelement allseitig mit dem erhöhten Druck
des äußeren Druckmediums beaufschlagt, so dass mechanische Verspannungen des Oszillatorelements
vermieden werden. Der erhöhte Druck wird je nach Aufbau des Ultraschallwandlers
einerseits über die die Wand des Gehäuses, an der das Oszillatorelement angeordnet
ist, und andererseits über das Innenmedium oder beidseitig über das Innenmedium
auf das Oszillatorelement übertragen. Vorteilhafterweise bildet das Gehäuse eine
Druckgrenze zwischen dem Druckmedium und dem Umgebungsmedium. Da
sich das Oszillatorelement im Gehäuse im Kräftegleichgewicht befindet, kann das
Gehäuse hin zum Druckmedium mit einer ausreichend dünnen Gehäusewand gebildet werden,
so dass unerwünschte Schalldämpfungen vermieden werden.
Erfindungsgemäß wird somit die oben erläuterte Druckproblematik durch
die Kombination eines zum Beispiel flexiblen Gehäuses mit dem inkompressiblen Innenmedium
überwunden. Durch diese Kombination wird am Ort des Oszillatorelements ein Druckgleichgewicht
hergestellt. Das Druckgleichgewicht zeichnet sich zwar durch einen erhöhten statischen
(insbesondere hydrostatischen) Druck aus. Die üblicherweise als Oszillatorelemente
verwendeten piezoelektrischen Keramiken sind jedoch vorteilhafterweise gegen erhöhte,
allseitige hydrostatische Drucke ausreichend stabil.
Wenn die Druckausgleichseinrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung durch mindestens einen flexibel deformierbaren Wandbereich des Gehäuses
gebildet wird, können sich Vorteile für einen besonders kompakten Aufbau des Ultraschallwandlers
ergeben. Des Weiteren ist der Innenraum des Gehäuses zum Druckmedium hin geschlossen,
so dass das Innenmedium vom Druckmedium getrennt ist. Der flexibel deformierbare
Wandbereich ist auf der Seite des Gehäuses vorgesehen, die im Betriebszustand zu
dem Druckmedium weist. Der Wandbereich umfasst vorzugsweise eine Membran, die den
Vorteil einer geringen Dicke und damit optimalen Druckübertragung vom Druckmedium
auf das Innenmedium besitzt. Besonders bevorzugt ist es, wenn die Membran aus Edelstahl
oder einer Kunststofffolie (z. B. auf Epoxidharzbasis) besteht. Die Membran kann
mindestens einen Deformationsabschnitt, wie zum Beispiel eine Sicke, einen Kragen
oder eine Faltung aufweisen. Der Deformationsabschnitt kann Vorteile in Bezug auf
die Stabilität der Trennung von Druck- und Innenmedien besitzen.
Wenn der flexibel deformierbare Wandbereich gemäß einer alternativen
Ausführungsform der Erfindung durch einen flexiblen Balg gebildet wird, können sich
Vorteile in Bezug auf ein besonders stabiles Gehäuse ergeben, das darüber hinaus
besonders einfach an die verschiedensten Aufgaben angepasst werden kann.
Alternativ kann der Innenraum des Gehäuses zum Druckmedium hin offen
sein, so dass das äußere Druckmedium in das Gehäuse eindringen und das Innenmedium
bilden kann. Für diese Ausführungsform der Erfindung, die für die Verwendung des
Ultraschallwandlers in inkompressiblen, flüssigen Medien eingerichtet ist, umfasst
die Druckausgleichseinrichtung mindestens eine Druckausgleichsbohrung im Gehäuse,
durch die das Druckmedium in das Gehäuse eindringen kann.
Vorteilhafterweise kann gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung
im Gehäuse ein Dämpfungskörper zur Dämpfung des Oszillatorelementes und rückseitiger
Schallschwingungen und – reflektionen vorgesehen sein. Gemäß einer Variante
der Erfindung kann der Dämpfungskörper durch das inkompressible Innenmedium gebildet
sein, wobei sich in diesem Fall vorteilhafterweise ein besonders einfacher Aufbau
des Ultraschallwandlers ergibt.
Wenn das inkompressible Innenmedium gemäß einer weiteren, bevorzugten
Ausführungsform der Erfindung flüssig ist, können sich Vorteile für eine zuverlässige
allseitige Druckübertragung auf das Oszillatorelement ergeben. Das inkompressible
Innenmedium umfasst zum Beispiel ein Öl (insbesondere zähes Hydrauliköl), das vorteilhafterweise
stark schalldämpfende Eigenschaften besitzt und daher auch gut als Dämpfungskörper
geeignet ist.
Alternativ kann das inkompressible Innenmedium durch einen Feststoff
oder eine Kombination einer Flüssigkeit mit einem Feststoff gebildet werden. Die
Feststofffüllung kann Vorteile beim Betrieb des Ultraschallwandlers besitzen, da
das Risiko eines etwaigen Medienverlusts aus dem Gehäuse vermindert ist. Als Feststoff
ist beispielsweise ein in der Form an das Innere des Gehäuses mit dem Oszillatorelement
und ggf. dem Dämpfungskörper angepasster, ausgehärteter Kunststoff, z. B. ein ausgehärtetes,
gefülltes Epoxidharz oder Polyurethan vorgesehen.
Gemäß einer weiteren Abwandlung der Erfindung kann auf der Außenseite
des Gehäuses eine Adapterschicht vorgesehen sein, wie sie an sich zur Verbesserung
der Schwingungseinkoppelung in das Druckmedium bekannt ist. Vorteilhafterweise kann
die Adapterschicht wegen der dünnen Gehäusewand optimal an die jeweilige Aufgabe
des Ultraschallwandlers angepasst werden.
Weitere Vorteile in Bezug auf die Stabilität des erfindungsgemäßen
Ultraschallwandlers insbesondere bei hohen Drucken können sich ergeben, wenn das
Gehäuse die Form eines Kreiszylinders besitzt.
Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist eine Leitung oder ein Behälter
für das unter erhöhtem Druck stehende Druckmedium, wobei die Leitung oder der Behälter
mit mindestens einem erfindungsgemäßen Ultraschallwandler ausgestattet ist.
Verfahrensbezogen basiert die Erfindung auf der allgemeinen technischen
Lehre, beim Betrieb eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers zur Erzeugung und/oder
Erfassung von Ultraschallschwingungen in einem Druckmedium, das durch eine Druckgrenze
von einem Umgebungsmedium mit einem geringeren Druck getrennt ist,
zunächst das Gehäuse mit dem Oszillatorelement derart zu positionieren, dass es
einen Teil der Druckgrenze bildet und eine Vorderseite des Oszillatorelements zum
Druckmedium hin gerichtet ist. Dabei wird wenigstens eine Rückseite des Oszillatorelements
über die mindestens eine Druckausgleichseinrichtung des Gehäuses und das im Gehäuse
angeordnete, inkompressible Innenmedium mit dem erhöhten Druck beaufschlagt, der
im Druckmedium herrscht, so dass sich am Oszillatorelement ein allseitiges Druckgleichgewicht
bildet. In dieser Situation wird das Oszillatorelement mit einer elektrischen Steuerspannung
beaufschlagt und/oder am Oszillatorelement wird eine elektrische Signalspannung
gemessen.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden aus der folgenden
Beschreibung der beigefügten Zeichnungen ersichtlich. Es zeigen:
1 bis 3:
verschiedene Ausführungsformen erfindungsgemäßer Ultraschallwandler,
4: eine schematische Illustration der
Anbringung eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers an einer Druckleitung, und
5A und 5B:
schematische Illustrationen herkömmlicher Ultraschallwandler (Stand der Technik).
1 zeigt eine erste Ausführungsform eines
erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers 10 in schematischer Schnittansicht.
Der Ultraschallwandler 10 enthält im Gehäuse 12 als Oszillatorelement
ein piezoelektrisches Keramikplättchen 11, dessen Vorderseite die zum Druckmedium
1 mit dem Druck p1 weisende Wand des Gehäuses berührt und dessen Rückseite
zum Inneren des Gehäuses weist. Das Gehäuse 12 ist mit dem inkompressiblen
Innenmedium 13 gefüllt, das hier aus Öl (zum Beispiel zähes Hydrauliköl)
besteht und das Oszillatorelement 11 direkt berührt oder mit diesem indirekt
über den Dämpfungskörper 18 in Druckkontakt steht. Der Dämpfungskörper
18 ist auf der Rückseite des Oszillatorelements 11 vorgesehen,
der zum Beispiel in an sich bekannter Weise aus einem zähen, gefüllten Polymer mit
einer Dicke von zum Beispiel 2 mm bis 20 mm besteht und auf das Oszillatorelement
11 aufgegossen oder aufgeklebt ist.
Das Gehäuse 12 ist zylindrisch aus Metall, wie zum Beispiel
aus Stahl oder Titan, und/oder einem ausreichend druckstabilen Kunststoff, wie zum
Beispiel Epoxidharz (z. B. Duroplast) aufgebaut. Falls an der Druckgrenze Druckunterschiede
&Dgr;p von mehr als 100 bar gegeben sind, besteht das Gehäuse 12 vorzugsweise
aus Metall. Alternativ sind andere Gehäuseformen möglich, wenn zum Beispiel als
Oszillatorelement ein Keilwandler in einem eckigen Gehäuse angeordnet wird.
Die rückseitigen Wände des Gehäuses 12 sind Teil einer Druckgrenze
&Dgr;p zwischen dem Druckmedium 1, in dem zum Beispiel ein Druck im Bereich
von 100 bis 500 bar oder darüber herrscht, und einem Umgebungsmedium 2,
in dem zum Beispiel Atmosphärendruck herrscht. Diese Wände besitzen vorzugsweise
eine Dicke im Bereich von 3 mm bis 20 mm.
Die vorderseitigen Wände des Gehäuses 12 bilden die Druckausgleichseinrichtung,
mit der der Druck vom Druckmedium 1 über das Innenmedium 13 auf
das Oszillatorelement 11 übertragen wird. Die Druckausgleichseinrichtung
ist hier ein flexibel deformierbarer Wandbereich in Form einer elastischen Membran
14. Die Dicke der Membran 14, an der das Oszillatorelement angebracht
ist und die zum Druckmedium 1 gerichtet ist, sollte mindestens 30 &mgr;m,
vorzugsweise mindestens 0.1 mm betragen. Die Membran 14 besteht zum Beispiel
aus Edelstahl.
Vom Oszillatorelement 11 führen Kontaktleitungen
19 durch eine Druckdurchführung 20 zu einer Steuer- und Messeinrichtung
(nicht dargestellt). Das Oszillatorelement 11 wird beispielsweise bei einer
Spannung im Bereich von 30 V bis 800 V betrieben.
Das piezoelektrische Keramikplättchen 11 besitzt zum Beispiel
einen Durchmesser im Bereich von 5 mm bis 50 mm und eine Dicke im Bereich von 0.2
mm bis 5 mm. Es sind aber auch größere oder kleiner Dimensionen möglich.
Die in 1 gezeigte Ausführungsform der
Erfindung ist auch für ein inkompressibles Innenmedium 13 mit einem Feststoff
geeignet, dessen Form komplementär zu der Innenform im Gehäuse ist. Beispielsweise
kann das Gehäuse 12 mit einem aushärtenden Zweikomponentenklebstoff gefüllt
werden. Zusätzlich kann der Innenraum neben dem Feststoff auch flüssiges Innenmedium
enthalten, um etwaige Lücke oder Spalte zu füllen.
2 zeigt eine weitere Ausführungsform
eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers 10, bei dem kein Dämpfungskörper
vorgesehen ist und bei dem die Membran 14 als Deformationsabschnitt eine
Einprägung 15 aufweist (z. B. Faltung, Wellenform, Sicke, siehe vergrößertes
Teilbild). Bei dieser Ausführungsform kann die Membran 14 mit einer größeren
Dicke gebildet werden.
Bei der in 3 schematisch gezeigten Ausführungsform
eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers 10 ist als Druckausgleichseinrichtung
ein flexibel deformierbarer Wandbereich in Form eines Balgs
16 vorgesehen. Die Dicke der Wand des Balgs 16 beträgt zum Beispiel
0.5 mm.
4 illustriert an einem Beispiel die Verwendung
des erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers 10 gemäß 1
zur Ultraschallmessung an einer Flüssigkeitsleitung 30. Das Gehäuse
12 des Ultraschallwandlers 10 ist druckdicht in die Wand
31 der Flüssigkeitsleitung 20 eingebaut (zum Beispiel eingeschraubt
und mit O-Ringen abgedichtet), so dass im Gehäuse 12 der erhöhte Druck
p1 wie in der Flüssigkeitsleitung 30 herrscht, wohingegen außen der geringere
Druck (zum Beispiel Atmosphärendruck) herrscht. Die Ultraschallmessung ist beispielsweise
in an sich bekannter Weise auf die Erfassung von stofflichen oder strömungsmechanischen
Eigenschaften der Flüssigkeit in der Leitung 30 gerichtet.
Der in 4 gezeigte Ultraschallwandler
10 repräsentiert eine weitere Ausführungsform der Erfindung, bei der die
Druckausgleichseinrichtung durch eine Bohrung 21 gebildet wird. Durch die
Bohrung 21 dringt die in der Leitung 30 geförderte Flüssigkeit
in das Gehäuse 12.
Zum Schutz des Oszillatorelements 11 und des Dämpfungskörpers
18 können bei dieser Ausführungsform Schutzschichten zum Beispiel aus einer
Folie oder einer Polymerbeschichtung (z. B. mit Parylenen) vorgesehen sein, durch
die das Oszillatorelement 11 und der Dämpfungskörper 18 stofflich
vom Druckmedium getrennt werden. Die Schutzschichten besitzen beispielsweise eine
Dicke im Bereich von 2 bis 10 mm.
Die in der vorstehenden Beschreibung, den Ansprüchen und den Zeichnungen
offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger
Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausgestaltungen
von Bedeutung sein.
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| Anspruch[de] |
- Ultraschallwandler (10) zur Erzeugung und/oder Erfassung von
Ultraschallschwingungen, mit einem Oszillatorelement (11), das in einem
Gehäuse (12) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse
(12) ein inkompressibles Innenmedium (13) enthält und mindestens
eine Druckausgleichseinrichtung (14 – 16, 21) aufweist,
mit der ein Druck von einem äußeren Druckmedium über das Innenmedium (13)
auf das Oszillatorelement (11) übertragbar ist.
- Ultraschallwandler nach Anspruch 1, bei dem die Druckausgleichseinrichtung
durch mindestens einen flexibel deformierbaren Wandbereich (14 –
16) des Gehäuses (11) gebildet wird.
- Ultraschallwandler nach Anspruch 2, bei dem der flexibel deformierbaren
Wandbereich eine Membran (14, 15) umfasst.
- Ultraschallwandler nach Anspruch 3, bei dem die Membran (14)
einen Deformationsabschnitt (15) aufweist.
- Ultraschallwandler nach Anspruch 2, bei dem der flexibel deformierbare
Wandbereich einen flexiblen Balg (16) umfasst.
- Ultraschallwandler nach Anspruch 1, bei dem die Druckausgleichseinrichtung
mindestens eine Druckausgleichsbohrung (21) im Gehäuse (11) umfasst,
durch die das äußere Druckmedium in das Gehäuse (11) eindringen kann, so
dass das inkompressible Innenmedium (13) durch das äußere Druckmedium gebildet
wird.
- Ultraschallwandler nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche,
bei dem ein Dämpfungskörper (18) zur Dämpfung von rückseitigen Schallschwingungen
oder -reflektionen vorgesehen ist.
- Ultraschallwandler nach Anspruch 6, bei dem der Dämpfungskörper (18)
durch das inkompressible Innenmedium gebildet wird.
- Ultraschallwandler nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche,
bei dem das inkompressible Innenmedium flüssig ist.
- Ultraschallwandler nach Anspruch 9, bei dem das inkompressible Innenmedium
Hydrauliköl umfasst.
- Ultraschallwandler nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche,
bei dem das inkompressible Innenmedium einen Feststoff enthält.
- Ultraschallwandler nach Anspruch 11, bei dem das inkompressible Innenmedium
einen Kunststoff enthält.
- Ultraschallwandler nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche,
bei dem eine Adapterschicht (17) zur Schwingungseinkopplung in das Druckmedium
vorgesehen ist.
- Ultraschallwandler nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche,
bei dem das Gehäuse (12) die Form eines Kreiszylinders besitzt.
- Ultraschallwandler nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche,
bei dem das Gehäuse (12) eine Druckgrenze (&Dgr;p) zwischen dem Druckmedium
(1) und einem Umgebungsmedium (2) bildet.
- Leitung (30) oder Behälter für ein unter erhöhtem Druck stehendes
Druckmedium, mit mindestens einem Ultraschallwandler (10) nach mindestens
einem der vorhergehenden Ansprüche.
- Verfahren zum Betrieb eines Ultraschallwandlers (10) zur
Erzeugung und/oder Erfassung von Ultraschallschwingungen in einem Druckmedium, das
durch eine Druckgrenze (&Dgr;p) von einem Umgebungsmedium mit einem geringeren Druck
getrennt ist, mit den Schritten:
– Positionierung eines Gehäuses (12) mit einem Oszillatorelement
(11) derart, dass das Gehäuses (12) einen Teil der Druckgrenze
(&Dgr;p) bildet und eine Vorderseite des Oszillatorelements (11) zum Druckmedium
hin gerichtet ist;
– Beaufschlagung einer Rückseite des Oszillatorelements (11) über
mindestens eine Druckausgleichseinrichtung (14, 15) des Gehäuses
(12) und ein im Gehäuse (12) angeordnetes, inkompressiblen Innenmedium
(13) mit dem Druck, der im Druckmedium herrscht, und
– Beaufschlagung des Oszillatorelements (11) mit einer elektrischen
Steuerspannung und/oder Messung einer elektrischen Signalspannung am Oszillatorelement
(11).
- Verwendung eines Ultraschallwandlers nach mindestens einem der vorhergehenden
Ansprüche 1 bis 15 zur Erzeugung und/oder Erfassung von Ultraschallschwingungen
in einem äußeren, unter erhöhtem Druck stehenden Druckmedium.
Es folgen 2 Blatt Zeichnungen
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