| Dokumentenidentifikation |
DE102004043605A1 19.05.2005 |
| Titel |
Verfahren und Vorrichtung zur statischen Entladung |
| Anmelder |
SMC Corp., Tokio/Tokyo, JP |
| Erfinder |
Fujiwara, Nobuhiro, Yawara, Tsukuba, JP; Komoriya, Shigeru, Yawara, Tsukuba, JP; Kusaba, Noriaki, Yawara, Tsukuba, JP; Suzuki, Satoshi, Yawara, Tsukuba, JP |
| Vertreter |
Keil & Schaafhausen Patentanwälte, 60322 Frankfurt |
| DE-Anmeldedatum |
07.09.2004 |
| DE-Aktenzeichen |
102004043605 |
| Offenlegungstag |
19.05.2005 |
| Veröffentlichungstag im Patentblatt |
19.05.2005 |
| IPC-Hauptklasse |
H05F 3/04
|
| Zusammenfassung |
Mit der Erfindung werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur statischen Entladung vorgesehen, bei der einer Elektrodennadel (6a, 6b) eines Paares von Elektrodennadeln (6a, 6b) eine hohe Spannung und der anderen Elektrodennadeln (6a, 6b) eine Erde zugeführt werden. Dadurch wird eine geerdete Grundplatte überflüssig. Dabei sind eine einzelne oder mehrere Elektroden (3) vorgesehen, welche ein Paar von Elektrodennadeln (6a, 6b) zum individuellen Beaufschlagen mit einer hohen positiven oder negativen Spannung aufweisen, die einander gegenüberliegend in einem Halteelement (5) aus isolierendem Material angeordnet sind. Eine Umschaltung wird in einem kurzen Zeitabstand durchgeführt zwischen einem Zufuhrstatus, in dem einer der Elektrodennadeln (6a, 6b) eine hohe positive oder negative Spannung zugeführt wird und die andere Elektrodennadel (6b, 6a) mit der Erde verbunden ist, und einem Zufuhrstatus, in dem die Elektrodennadel (6a, 6b), die mit der hohen Spannung versorgt ist, an die Erde angeschlossen wird und der Elektrodennadel (6b, 6a), die an die Erde angeschlossen ist, eine hohe Spannung mit einer entgegengesetzten Polarität zu der hohen Spannung zugeführt wird, um die statische Entladung durch Einwirken von positiven und negativen Ionen auf den statisch zu entladenden Gegenstand zu erreichen, wobei die Ionen durch eine hohe Spannung an den Elektrodennadeln (6a, 6b) erzeugt werden.
|
| Beschreibung[de] |
|
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur statischen
Entladung verschiedener geladener Gegenstände, die durch Ladungen mit einer positiven
oder negativen Polarität aufgeladen sind, d. h. beispielsweise auf Halbleiter bezogene
Gegenstände, die statisch entladen werden sollen. Die Erfindung betrifft auch eine
dafür geeignete Vorrichtung.
Beschreibung des Stands der Technik
Herkömmlicher Weise sind Mittel zum Annähern des Ladungsbetrags eines
statisch zu entladenden Gegenstandes gegen Null bekannt, bei denen einer Elektrodennadel
eine hohe DC-Spannung oder eine hohe AC-Spannung von einem eine hohe Spannung erzeugenden
Abschnitt zugeführt wird, um eine Koronaentladung zu erzeugen, welche die Elektrodennadel
veranlasst, negative oder positive Ionen auszugeben, die auf den geladenen Gegenstand
gesprüht werden.
Wenn der Elektrodennadel hohe positive und negative Spannungen zugeführt
werden, um positive und negative Ionen für die statische Entladung zu erzeugen,
wird typischerweise in der Nähe der Elektrodennadel eine geerdete Grundplatte vorgesehen,
um die lonenentladung zu fördern (vgl. bspw. japanische Offenlegungsschrift Nr.
2002-216995). Wenn die Grundplatte vorgesehen ist, sind jedoch die Freiheitsgrade
im Vorrichtungsdesign in Bezug auf deren Anordnung verringert, erfordert die Instandhaltung
viele Schritte und muss ein großes Gewicht auf die Instandhaltung gelegt werden,
weil die Abnutzung der Elektrodennadel erheblich ist, insbesondere wenn abwechselnd
hohe positive und negative Spannungen der einzelnen Elektrodennadel zugeführt werden.
Wenn die Elektrodennadeln, denen eine hohe positive und negative Spannung
zugeführt wird, in einem gewissen Abstand voneinander vorgesehen sind, tritt darüber
hinaus das Problem einer ungleichmäßigen statischen Entladung auf, weil eine Positionsabweichung
in den Gebieten entsteht, in denen die um die Elektrodennadeln erzeugten Ionen versprüht
und entladen werden.
Es wurde ferner eine Technik zur statischen Entladung vorgeschlagen,
bei der ein Oberflächenpotential des statisch zu entladenden Gegenstandes durch
die Menge der von dem Gegenstand entladenen Ionen detektiert wird und eine der Elektrodennadel
zuzuführende Spannung auf Basis der detektierten Ladungspolarität und des detektierten
Ladungsbetrags des Gegenstandes gesteuert wird (vgl. bspw. japanische Offenlegungsschrift
Nr. 11-345697).
In vielen Fällen ist jedoch ein Sensor zum Detektieren der Ladungspolarität
oder des Ladungsbetrags des statisch zu entladenden Gegenstands in einer herkömmlichen
statischen Entladungsvorrichtung weit von dem Gegenstand entfernt angeordnet. In
diesem Fall ist es schwierig, die Ladungspolarität und den Ladungsbetrag des statisch
zu entladenden Gegenstandes genau zu messen. Dabei tritt das Problem auf, dass die
Ionen in der Elektrodennadel nicht entsprechend der Ladungspolarität und des Ladungsbetrags
des statisch zu entladenden Gegenstandes erzeugt werden können, so dass es einer
Lösung dieses Problems bedarf.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Es ist die technische Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren
und eine Vorrichtung zur statischen Entladung vorzusehen, bei der die Anordnung
einer geerdeten Grundplatte in der Nähe der Elektrodennadel nicht mehr notwendig
ist, um dadurch einen größeren Freiheitsgrad bei dem Design der Vorrichtung zur
statischen Entladung zu erreichen und dessen Herstellung und Instandhaltung zu vereinfachen.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung liegt darin, ein Verfahren und eine
Vorrichtung zur statischen Entladung vorzusehen, bei der keine Positionsabweichung
in Bereichen auftritt, in denen die erzeugten Ionen versprüht und entladen werden,
um eine ungleichmäßige statische Entladung zu vermeiden, obwohl Elektrodennadeln
verwendet werden, denen eine hohe positive und negative Spannung zugeführt wird.
Gemäß einem weiteren Ziel der vorliegenden Erfindung sollen ein Verfahren
und eine Vorrichtung zur statischen Entladung vorgesehen werden, welche eine Aufladung
ignoriert, die einen vorgegebenen Schwellenwert bei dem statisch zu entladenden
Gegenstand nicht erreicht oder die durch eine statische Entladung auf den Schwellenwert
oder darunter vermindert wurde, um die Zeit für den statischen Entladungsprozess
möglichst zu verkürzen.
Gemäß einem weiteren Ziel der vorliegenden Erfindung sollen ein Verfahren
und eine Vorrichtung zur statischen Entladung vorgesehen werden, bei welchen der
Energieverlust in einem Hochspannungskreis und die Abnutzung der Elektroden vermindert
werden, um Energie zu sparen, die Instandhaltungsintervalle zu verlängern und dabei
die Anzahl der Instandhaltungsschritte durch Benutzung eines Paares von Elektrodennadeln
zu verringern, auf welche individuell nur positive bzw. nur negative Spannungen
aufgebracht werden im Vergleich zu dem Fall, bei dem nur eine Elektrodennadel verwendet
wird, um sowohl positive als auch negative Spannungen aufzubringen.
Es ist ein weiteres Ziel der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung
zur statischen Entladung vorzusehen, bei denen ein Sensor zum Detektieren der Ladungspolarität
oder der Ladungsmenge des statisch zu entladenden Gegenstandes nahe bei dem Gegenstand
angeordnet ist, um die Ladungspolarität und den Ladungsbetrag des statisch zu entladenden
Gegenstandes genau zu messen.
Ein erstes Verfahren zur statischen Entladung gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Lösung der vorbeschriebenen Aufgaben weist eine oder mehrere Elektroden
auf, wobei ein Paar von Elektrodennadeln, welche individuell mit hohen positiven
bzw. negativen Spannungen versorgt werden, d.h. wobei einer Elektrodennadel entweder
nur positive oder nur negative Spannungen zugeführt werden, einander gegenüberliegend
angeordnet in einem Halteelement aus isolierendem Material vorgesehen ist; wobei
in einem kurzen Zeitabstand eine Umschaltung durchgeführt wird zwischen einem Zufuhrstatus,
in dem einer der Elektrodennadeln eine positive oder negative hohe Spannung zugeführt
wird und die andere Elektrodennadel mit der Erde verbunden ist, und einem Zufuhrstatus,
in dem die Elektrodennadel, die mit der hohen Spannung versorgt ist, an die Erde
angeschlossen wird und der Elektrodennadel, die an die Erde angeschlossen ist, eine
hohe Spannung mit einer der hohen Spannung der anderen Elektrode entgegengesetzten
Polarität zugeführt wird; und wobei positive und negative Ionen, die durch die hohe
Spannung an der Elektrodennadel erzeugt werden, auf einen statisch zu entladenden
Gegenstand einwirken, um eine statische Entladung durchzuführen.
Um die vorgenannten Aufgaben zu lösen, wird ein zweites Verfahren
zur statischen Entladung mit einer oder mehreren Elektroden vorgeschlagen, bei dem
ein Paar von Elektrodennadeln, welche individuell mit hohen positiven bzw. negativen
Spannungen versorgt werden, d.h. wobei einer Elektrodennadel entweder nur positive
oder nur negative Spannungen zugeführt werden, einander gegenüberliegend angeordnet
in einem Halteelement aus isolierendem Material vorgesehen ist, wobei ein in der
Nähe des statisch zu entladenden Gegenstands angeordneter Sensor die Ladungspolarität
und den Ladungsbetrag des Gegenstandes detektiert, und wobei der Elektrodennadel
eine hohe Spannung zugeführt wird, welche mit einer hohen Spannung mit einer der
Ladungspolarität des Gegenstandes entgegengesetzten Polarität versorgt wird, und
die andere Elektrodennadel mit der Erde verbunden wird, wenn der Ladungsbetrag einen
voreingestellten Schwellenwert übersteigt, so dass durch die hohe Spannung der Elektrodennadel
positive oder negative Ionen erzeugt werden, um den Gegenstand statisch zu entladen,
und wobei, wenn der Sensor detektiert, dass der Ladungsbetrag den Schwellenwert
erreicht oder darunter liegt, die Zufuhr der hohen Spannung unterbrochen oder der
Ladungsbetrag des Gegenstandes durch Steuerung der der Elektrodennadel zuzuführenden
Spannung verringert wird.
In einer bevorzugten Ausführungsform des zweiten Verfahrens zur statischen
Entladung wird ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem einer der mit einer hohen Spannung
versorgten Elektrodennadel entgegengesetzten Elektrodennadel eine kontrollierte
Spannung zur Begrenzung einer Gegenladung zugeführt wird, wenn der Sensor detektiert,
dass der Ladungsbetrag den Schwellenwert erreicht oder darunter liegt.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des ersten oder zweiten Verfahrens
zur statischen Entladung ist eine Luftaustrittsöffnung, bspw. eine Luftaustrittsbohrung,
zwischen einem Paar von einander gegenüberliegenden Elektrodennadeln vorgesehen,
um einen Luftstrom gegen den statisch zu entladenden Gegenstand auszublasen, so
dass der Elektrodennadel eine hohe Spannung zugeführt wird, während der Luftstrom
aus der Luftaustrittsöffnung ausgeblasen wird, um eine statische Entladung durchzuführen,
indem der Luftstrom die Ionen verteilt.
Eine erste Vorrichtung zur statischen Entladung weist zur Lösung der
vorgenannten Aufgaben eine oder mehrere Elektroden auf, wobei ein Paar von Elektrodennadeln,
welche individuell mit hohen positiven bzw. negativen Spannungen versorgt werden,
d.h. wobei einer Elektrodennadel entweder nur positive oder nur negative Spannungen
zugeführt werden, einander gegenüberliegend angeordnet in einem Halteelement aus
isolierendem Material vorgesehen ist, und eine Steuerung zum Steuern einer den Elektrodennadeln
zuzuführenden Spannung; wobei die Steuerung in einem kurzen Zeitabstand eine Umschaltung
steuert zwischen einem Zufuhrstatus, in dem einer der Elektrodennadeln eine hohe
positive oder negative Spannung zugeführt wird und die andere Elektrodennadel mit
der Erde verbunden ist, und einem Zufuhrstatus, in dem die Elektrodennadel, die
mit der hohen Spannung versorgt ist, mit der Erde verbunden wird und der Elektrodennadel,
die an die Erde abgeschlossen ist, eine hohe Spannung mit einer der hohen Spannung
der anderen Elektrodennadel entgegengesetzten Polarität zugeführt wird.
Ferner wird zur Lösung der vorgenannten Aufgaben eine zweite Vorrichtung
zur statischen Entladung mit einer und mehreren Elektroden vorgeschlagen, wobei
ein Paar von Elektrodennadeln, welche individuell mit hohen positiven bzw. negativen Spannungen
versorgt werden, d.h. wobei einer Elektrodennadel entweder nur positive oder nur
negative Spannungen zugeführt werden, einander gegenüberliegend angeordnet in einem
Halteelement aus isolierendem Material vorgesehen ist. Ferner weist die Vorrichtung
einen in der Nähe des statisch zu entladenden Gegenstandes angeordneten Sensor zum
Detektieren der Ladungspolarität und des Ladungsbetrages des Gegenstandes und eine
Steuerung zum Steuern einer einer Elektrodennadel auf Basis des Ausgangswerts des
Sensors zuzuführenden Spannung auf, wobei die Steuerung derart steuert, dass die
Steuerung der Elektrodennadel eine hohe Spannung zuführt, welche mit einer hohen
Spannung mit einer der Ladungspolarität des Gegenstandes entgegengesetzten Polarität
versorgt wird, und die andere Elektrodennadel mit der Erde verbindet, wenn der Ladungsbetrag
des statisch zu entladenden Gegenstandes, der durch den Sensor detektiert wird,
einen voreingestellten Schwellenwert übersteigt, um durch die hohe Spannung der
Elektrodennadel positive oder negative Ionen für die statische Entladung zu erzeugen,
und wobei, wenn der Sensor detektiert, dass der Ladungsbetrag den Schwellenwert
erreicht oder darunter liegt, die Steuerung die Zufuhr der hohen Spannung unterbricht
oder eine der Elektrodennadel zuzuführende Spannung kontrolliert, um den Ladungsbetrag
zu reduzieren.
In einer bevorzugten Ausführungsform der ersten oder zweiten Vorrichtung
zur statischen Entladung wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, bei der zwischen einem
Paar von gegenüberliegenden Elektrodennadeln eine Luftaustrittsöffnung, bspw. eine
Luftaustrittsbohrung, zum Ausblasen eines Luftstroms gegen den statisch zu entladenden
Gegenstand vorgesehen ist.
Da bei dem ersten und dem zweiten Verfahren zur statischen Entladung
und den entsprechenden Vorrichtungen mit dem vorbeschriebenen Aufbau, bei dem ein
Paar von positiven und negativen Elektrodennadeln einander gegenüberliegend angeordnet
ist, eine hohe Spannung einer der Elektrodennadeln zugeführt wird und die andere
Elektrodennadel mit der Erde verbunden ist, um als Erde verwendet zu werden, wird
der Elektrodennadel eine hohe Spannung zugeführt um auf effiziente Weise positive
oder negative Ionen zu erzeugen, während die Notwendigkeit wegfällt, eine geerdete
Grundplatte vorzusehen, um eine statische Entladung durchzuführen.
Daher wird der Freiheitsgrad im Design der Vorrichtung im Hinblick
auf die Anordnung der Elektrodennadeln und dergleichen erhöht. Weil ferner die hohen
positiven und negativen Ladungen jeweils nur den positiven und negativen Elektrodennadeln
individuell, d.h. einer Elektrodennadel entweder nur positive oder nur negative
Spannungen, zugeführt werden, wird die Abnutzung der Elektroden verringert, das
Instandhaltungsintervall verlängert und die Grundplatte überflüssig, so dass die
Anzahl der Instandhaltungsschritte erheblich vermindert werden kann.
Da für die Zufuhr der hohen positiven und negativen Spannungen ein
Paar von Elektrodennadeln verwendet wird, wird auch der Energieverlust in dem Hochspannungskreis
verbessert und eine Energieeinsparung kann im Vergleich zu dem Fall erreicht werden,
in dem nur eine Elektrodennadel verwendet wird, um sowohl hohe positive als auch
hohe negative Spannungen zuzuführen.
Obwohl Elektrodennadeln verwendet werden, denen hohe positive und
negative Spannungen zugeführt werden, tritt dennoch eine Positionsabweichung in
den Bereichen nicht auf, in denen die erzeugten Ionen versprüht und entladen werden,
weil die positiven und negativen Ionen immer zwischen den Elektrodennadeln erzeugt
werden. Dadurch wird eine ungleichmäßige statische Entladung vermieden.
Ferner wird bei dem zweiten Verfahren zur statischen Entladung und
der dafür vorgesehenen Vorrichtung mit der obigen Struktur der Ladungsbetrag durch
einen Sensor gemessen. Wenn der Ladungsbetrag des Gegenstandes einen voreingestellten
Schwellenwert überschreitet, führt eine Steuerung der ersten Elektrodennadel des
Paares der einander gegenüberliegenden Elektrodennadeln einen hohen Schwellenwert
mit einer zu der gemessenen Ladungspolarität (bspw. negativ) entgegensetzten Polarität
(bspw. positiv) zu und verbindet eine zweite Elektrodennadel mit der Erde. Wenn
die detektierte Ladungspolarität umgekehrt (positiv) zu der vorgenannten Polarität
ist, führt die Steuerung der zweiten Elektrodennadel eine hohe negative Spannung
zu und verbindet die erste Elektrodennadel mit der Erde, so dass positive oder negative
Ionen durch die hohe Spannung der Elektrodennadel erzeugt werden, um eine statische
Entladung auf dem Gegenstand durchzuführen. Wenn der Sensor feststellt, dass der
Ladungsbetrag den Schwellenwert erreicht oder darunter liegt, wird die Zufuhr der
hohen Spannung unterbrochen, oder es wird der zu der mit einer hohen Spannung beaufschlagten
Elektrodennadel gegenüberliegenden Elektrodennadel eine kontrollierte Spannung zum
Beschränken der entgegengesetzten Ladung zugeführt, so dass der Ladungsbetrag des
Gegenstands reduziert wird, ohne entgegengesetzt aufgeladen zu werden.
Bei der statischen Entladung wird der Schwellenwert auf einen geeigneten
Wert gesetzt, der benötigt wird, damit der Gegenstand statisch entladen wird, so
dass eine Ladung, die den Schwellenwert des statisch zu entladenden Gegenstandes
nicht erreicht, oder eine Ladung, die durch statische Entladung auf den Schwellenwert
oder darunter verringert wurde, ignoriert wird, um die Zeit für
den statischen Entladungsprozess möglichst zu verkürzen.
Weil der Sensor zum Detektieren der Ladungspolarität oder des Ladungsbetrags
nahe bei dem statisch zu entladenden Gegenstand angeordnet ist, so dass die Ladungspolarität
und der Ladungsbetrag des statisch zu entladenden Gegenstandes genau gemessen werden
kann, wird durch das Feedback des Ausgangssignals des Sensors eine hohe Ladung mit
einer dem geladenen Gegenstand entgegengesetzten Polarität auf eine ausgewählte
Elektrodennadel aufgebracht, die eine schnelle und genaue statische Entladung ermöglicht.
Da zusätzlich nur entweder positive oder negative Ionen entladen werden, erreichen
die Ionen leicht auch große Entfernungen, so dass ein großer Freiheitsgrad bei der
Installation der Elektrodennadeln erreicht werden kann.
Nachfolgend werden bevorzugte Ausführungen der Erfindung mit Bezug
auf die Zeichnung beschrieben.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt ein Konfigurationsdiagramm mit
einer Ausführungsform einer Vorrichtung zur statischen Entladung gemäß der vorliegenden
Erfindung;
2 zeigt einen vergrößerten Querschnitt
mit der Struktur einer Elektrodennadel gemäß der Ausführungsform gemäß
1; und
3 zeigt ein Ablaufdiagramm zur Erläuterung
der Steuerung der statischen Entladung gemäß der vorliegenden Erfindung.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORM
Die 1 und 2
zeigen die Struktur einer Vorrichtung zur statischen Entladung gemäß der vorliegenden
Erfindung.
Die Vorrichtung zur statischen Entladung weist eine Elektrodeneinheit
2 auf, in der eine Vielzahl von Elektroden 3 gegenüber einem statisch
zu entladenden Gegenstand 1 angeordnet sind, der entlang einer Laufrichtung
bewegt wird. Die Elektroden 3 können Einzelelektroden sein. Wie dargestellt
können jedoch mehrere Elektroden 3 in der Laufrichtung des statisch zu
entladenden Gegenstnades oder in einer Richtung senkrecht dazu angeordnet sein.
Die Elektrode 3 ist so aufgebaut, dass ein Paar von Elektrodennadeln
6a und 6b einander in einem Halteelement 5 aus isolierendem
Material, wie in 2 gezeigt, gegenüberliegen, wobei
den Elektrodennadeln 6a und 6b individuell hohe positive und negative
Spannungen zugeführt werden. Die Elektrodennadeln 6a und 6b sind
dazu jeweils an eine Spannungsversorgung angeschlossen. Eine später zu beschreibende
Steuerung steuert derart, dass bspw. eine hohe positive Spannung einer ersten Elektrodennadel
6a der Elektrodennadeln zugeführt wird, und eine hohe negative Spannung
mit dazu umgekehrter Polarität einer zweiten Elektrodennadel 6b zugeführt
wird. Üblicherweise wird einer der Elektrodennadeln 6a, 6b eine
hohe Spannung zugeführt und die jeweils andere Elektrodenadel 6b,
6a mit der Erde verbunden. Die mit der Erde verbundene Elektrodennadel
6b, 6a wird mit dem selben Erdniveau wie der Rahmen verbunden,
auf dem der statisch zu entladende Gegenstand 1 angeordnet ist.
Zwischen dem Paar der Elektrodennadeln 6a, 6b die
einander gegenüber liegend in dem Halteelement 5 angeordnet sind, ist eine
Luftaustrittsöffnung bzw. -bohrung 7 vorgesehen, um einen Luftstrom gegen
den statisch zu entladenden Gegenstand 1 auszublasen. Die Luftaustrittsöffnung
7 ist zum Ausblasen des Luftstroms mit einem nicht dargestellten Gebläse
oder dergleichen verbunden. Wenn eine solche Luftaustrittsöffnung 7 vorgesehen
ist, können die zwischen dem Paar der Elektrodennadeln 6a, 6b
erzeugten positiven oder negativen Ionen durch den Luftstrom aus der einen Luftaustrittsöffnung
7 in die Nähe des statisch zu entladenden Gegenstandes geführt werden,
wodurch eine statische Entladung mit einer hohen Effizienz erreicht wird.
Die Vorrichtung zur statischen Entladung kann auch mit beliebigen
anderen Mitteln als einer Luftaustrittsöffnung 7 versehen werden, um die
durch die Anwendung der hohen Spannung an der Elektrodennadel erzeugten Ionen effizient
in die Nähe des statisch zu entladenden Gegenstandes 1 zu bringen.
Die Vorrichtung zur statischen Entladung weist einen Sensor
8 auf, der in der Nähe des statisch zu entladenden Gegenstandes
1 zum Detektieren der Ladungspolarität und des Ladungsbetrags auf Basis
eines Oberflächenpotentials des statisch zu entladenden Gegenstandes 1
dient. Der Sensor 8 ist an die Steuerung angeschlossen, um die den Elektrodennadeln
6a und 6b zugeführten Spannungen auf Basis des Ausgangssignals
des Sensors 8 zu steuern.
In der ersten Vorrichtung zur statischen Entladung gemäß der vorliegenden
Erfindung steuert die Steuerung 1 eine in einem kurzen Zeitabstand auszuführendes
Umschaltung zwischen einem Zufuhrstatus, in dem einer der Elektrodennadeln
6a, 6b eine hohe positive oder negative Spannung zugeführt wird
und die andere Elektrodennadel 6b, 6a mit der Erde verbunden ist,
und einem Zufuhrstatus, in dem die Elektrodennadel 6a,
6b, die mit der hohen Spannung versorgt ist, an die Erde angeschlossen
wird und der Elektrodennadel 6b, 6a, die an die Erde angeschlossen
ist, eine hohe Spannung mit einer entgegengesetzten Polarität zu der hohen Spannung
der anderen Elektrodennadel 6a, 6b zugeführt wird. Das Umschalten
kann beispielsweise im Bereich von mehreren 10 Hertz, wie bspw. 33 Hertz oder 22
Hertz erfolgen. In diesem Fall ist der Sensor 8 nicht notwendig.
Wenn die den Elektrodennadeln 6a, 6b zuzuführende
hohe Spannung durch Verwendung der Steuerung 8 gesteuert wird, wirken die
positiven und negativen Ionen auf den statisch zu entladenden Gegenstand
1. Von diesen Ionen werden nur die Ionen mit entgegengesetzter Polarität
zu der Ladungspolarität des statisch zu entladenden Gegenstandes 1 von
dem Gegenstand 1 absorbiert, um effizient für die statische Entladung zu
sorgen. Obwohl die statische Entladungsgeschwindigkeit geringfügig langsamer ist
als in dem Fall der zweiten, nachfolgend zu beschreibenden Vorrichtung zur statischen
Entladung, kann eine effiziente statische Entladung ohne eine Aufladung mit entgegengesetzter
Polarität erreicht werden.
Wenn dagegen bei der Steuerung der zweiten Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung zur statischen Entladung der Ladungsbetrag des statisch zu entladenden
Gegenstandes 1, welcher durch den Sensor 8 detektiert wird, den
vorgegebenen Schwellenwert überschreitet, führt die Steuerung der Elektrodennadel
6a, 6b, welche mit einer hohen Spannung mit einer der Ladungspolarität
des Gegenstandes 1 entgegengesetzten Polarität versorgt wird, eine hohe
Spannung zu und verbindet die andere Elektrodennadel 6b, 6a mit
der Erde, um positive oder negative Ionen zur statischen Entladung auf Basis der
hohen Spannung der Elektrodennadel 6a oder 6b zu erzeugen. Wenn
im Ergebnis der statischen Entladung durch Ionen der Sensor 8 detektiert,
dass der Ladungsbetrag den Schwellenwert erreicht oder darunter liegt, steuert die
Steuerung die Spannungszufuhr so, dass die Zufuhr der hohen Spannung unterbrochen
wird.
Genauer erläutert führt die Steuerung, wenn der Ladungsbetrag des
Gegenstandes 1, der durch den Sensor 8 detektiert wird, den vorgegebenen
Schwellenwert überschreitet, der ersten Elektrodennadel 6a eine hohe Spannung
mit einer der detektierten Ladungspolarität (bspw. negativ) entgegengesetzten Polarität
(positiv) zu und verbindet die zweite Elektrodennadel 6b mit der Erde.
Wenn dagegen die detektierte Ladungspolarität umgekehrt zu dem obigen Fall ist (positiv),
steuert die Steuerung so, dass eine negative hohe Spannung der zweiten Elektrodennadel
6b zugeführt wird und die erste Elektrodennadel 6a mit der Erde
verbunden ist, um dadurch positive oder negative Ionen entsprechend der hohen Spannung
der Elektrodennadeln 6a oder 6b zu erzeugen, um eine statische
Entladung des Gegenstandes 1 durchzuführen.
Wenn der Sensor 8 als Ergebnis der statischen Entladung durch
die Erzeugung von Ionen detektiert, dass der Ladungsbetrag den Schwellenwert erreicht
oder darunter liegt, steuert die Steuerung derart, dass sie die Zufuhr der hohen
Spannung unterbricht. Das Timing dafür muss so gesetzt werden, dass in dem statisch
zu entladenden Gegenstand 1 als Ergebnis der statischen Entladung durch
die der Elektrodennadel 6a oder 6b zugeführte hohe Spannung keine
Gegenladung auf dem Gegenstand 1 erzeugt wird, so dass die Kontrolle der
Hochspannungszufuhr in der Steuerung vereinfacht werden kann, was im Hinblick auf
eine Energieeinsparung von Vorteil ist.
Es wurde beschrieben, dass die Steuerung das Zuführen von Strom unterbricht,
wenn der Ladungsbetrag den Schwellenwert erreicht oder darunter liegt. Es ist jedoch
auch möglich, dass die Steuerung in geeigneter Weise eine der Elektrodennadel
6a oder 6b zuzuführende Spannung steuert, um den Ladungsbetrag
zu reduzieren.
Bspw. kann eine zugeführte Spannung PWM-gesteuert sein, sobald der
Sensor 8 einen bestimmten Schwellenwert erreicht, um eine entgegengesetzte
Aufladung über das Beenden der statischen Entladung hinaus zu vermeiden. Es ist
auch möglich, den statisch zu entladenden Gegenstand näher an das Erdpotential zu
bringen, indem die Steuerung die zugeführte Spannung erniedrigt. Alternativ kann
auch eine kontrollierte Spannung zur Beschränkung der entgegengesetzten Aufladung
der zu der bisher versorgten Elektrodennadel gegenüberliegenden Elektrodennadel
erfolgen.
Der Schwellenwert, der für die Steuerung voreingestellt ist, kann
frei angepasst werden.
Das Ablaufdiagramm in 3 zeigt, wie die
zweite Steuerung die statische Entladung steuert. Wenn der Sensor 8 in
der Nähe des statisch zu entladenden Gegenstandes 1 die Ladungspolarität
und den Ladungsbetrag des Gegenstandes 1 detektiert, bestimmt die Steuerung
8 wie in der Zeichnung erläutert, ob der Ladungsbetrag einen vorgegebenen
Schwellenwert überschreitet oder nicht. Wenn dieser Schwellenwert nicht überschritten
ist, wird die statische Entladung beendet. Wenn andererseits der Ladungsbetrag des
statisch zu entladenden Gegenstandes den Schwellenwert überschreitet, bestimmt die
Steuerung die Ladungspolarität, führt der Elektrodennadel 6a oder
6b eine hohe Spannung mit einer der detektierten Ladungspolarität entgegengesetzten
Polarität zu und verbindet die andere Elektrodennadel mit der Erde. So werden aufgrund
der hohen Spannung der Elektrodennadel positive oder negative Ionen
erzeugt, um die statische Entladung des Gegenstands 1 durchzuführen.
Der Sensor 8 detektiert immer die Ladungspolarität und den
Ladungsbetrag, um der Steuerung das Ergebnis zuzuführen. Wenn durch die Detektion
festgestellt wird, dass der Ladungsbetrag den Schwellenwert erreicht hat oder darunter
liegt, fährt die Steuerung die Spannungsversorgung herunter, welche die hohe Spannung
zuführt, und beendet die statische Entladung.
In der zweiten Ausführungsform des Verfahrens und der Vorrichtung
zur statischen Entladung wird ein Schwellenwert auf einen geeigneten Wert gesetzt,
der für den statisch zu entladenden Gegenstand 1 benötigt wird, so dass
eine Ladung, welche den Schwellenwert bei dem statisch zu entladenden Gegenstand
nicht erreicht, oder eine Ladung, welche durch eine statische Entladung auf den
Schwellenwert oder darunter vermindert wurde, ignoriert wird, um dadurch die Zeit
für den statischen Entladungsprozess möglichst zu verkürzen.
Weil der Sensor 8 zum Detektieren der Ladungspolarität und
des Ladungsbetrags des statisch zu entladenden Gegenstands 1 in der Nähe
des Gegenstandes 1 angeordnet ist, um die Ladungspolarität und den Ladungsbetrag
des statisch zu entladenden Gegenstandes genau zu messen, wird durch das Feedback
des Ausgangswert des Sensors 8 der Elektrodennadel 6a,
6b eine hohe Spannung mit einer dem geladenen Objekt entgegengesetzten
Polarität zugeführt, so dass eine schnelle und genaue statische Entladung ermöglicht
wird. Da dazu nur entweder positive oder negative Ionen entladen werden, können
die Ionen einfach auch lange Abstände erreichen, so dass bei der Installation der
Elektrodennadeln ein großer Freiheitsgrad besteht.
Da bei dem ersten und dem zweiten Verfahren zur statischen Entladung
und den entsprechenden Vorrichtungen ein Paar positive und negative Elektrodennadeln
6a und 6b einander gegenüberliegend angeordnet sind und eine hohe
Spannung jeweils genau einer der Elektrodennadeln 6a und 6b zugeführt
wird, während die andere Elektrodennadel 6a oder 6b mit der Erde
verbunden ist, wobei die Elektrodennadel, an welche die hohe Spannung nicht angeschlossen
wird, als Erde verwendet wird, können die positiven und negativen Ionen effizient
durch das Anlegen der hohen Spannung an die Elektrodennadeln 6a oder
6b erzeugt werden, wobei keine Notwendigkeit besteht, eine geerdete Grundplatte
vorzusehen, um die statische Entladung durchzuführen.
Im Ergebnis wird der Freiheitsgrad im Vorrichtungsdesign in Bezug
auf die Elektroden 3 mit den Elektrodennadeln 6a und
6b vergrößert. Da ferner hohe positive und negative Spannungen individuell
den positiven und negativen Elektrodennadeln 6a und 6b zugeführt
werden, können die Abnutzung der Elektrodennadeln minimiert, die Wartungsintervalle
verlängert und die Grundplatte eliminiert werden, so dass die Anzahl der Instandhaltungsschritte
spürbar verringert wird.
Da das eine Paar von Elektrodennadeln 6a und 6b,
an die positive bzw. negative Spannungen angelegt werden, verwendet wird, ist der
Energieverlust in dem Hochspannungsschaltkreis ebenso vermindert, wodurch im Vergleich
zu dem Fall, in dem eine Elektrodennadel für die Zufuhr sowohl der hohen positiven
als auch der hohen negativen Spannungen verwendet wird, eine Energieeinsparung erreicht
werden kann.
Obwohl Elektrodennadeln verwendet werden, denen hohe positive und
negative Spannungen zugeführt werden, tritt darüber hinaus eine Positionsabweichung
in den Bereichen, in denen die erzeugten Ionen verteilt und entladen werden, nicht
auf, wodurch eine ungleichmäßige statische Entladung vermieden wird.
|
| Anspruch[de] |
- Verfahren zur Entladung mit einer oder mehreren Elektroden (3),
wobei ein Paar von Elektrodennadeln (6a, 6b), welche individuell
mit hohen positiven bzw. negativen Spannungen versorgt werden, einander gegenüberliegend
angeordnet in einem Halteelement (5) aus isolierendem Material vorgesehen
ist;
wobei in einem kurzen Zeitabstand eine Umschaltung durchgeführt wird zwischen einem
Zufuhrstatus, in dem einer der Elektrodennadeln (6a, 6b) eine
positive oder negative hohe Spannung zugeführt wird und die andere Elektrodennadel
(6b, 6a) mit der Erde verbunden ist, und einem Zufuhrstatus, in
dem die Elektrodennadel (6a, 6b), die mit der hohen Spannung versorgt
ist, an die Erde angeschlossen wird und der Elektrodennadel (6b,
6a), die an die Erde angeschlossen ist, eine hohe Spannung mit einer der
hohen Spannung entgegengesetzten Polarität zugeführt wird; und
wobei positive und negative Ionen, die durch die hohe Spannung an der Elektrodennadel
(6a, 6b) erzeugt werden, auf einen statisch zu entladenden Gegenstand
(1) einwirken, um eine statische Entladung durchzuführen.
- Verfahren zur statischen Entladung mit einer oder mehreren Elektroden
(3), wobei ein Paar von Elektrodennadeln (6a, 6b), welche
individuell mit hohen positiven bzw. negativen Spannungen versorgt werden, einander
gegenüberliegend angeordnet in einem Halteelement (5) aus isolierendem
Material vorgesehen ist;
wobei ein in der Nähe des statisch zu entladenden Gegenstands (1)
angeordneter Sensor (8) die Ladungspolarität und den Ladungsbetrag des
Gegenstandes (1) detektiert, und wobei der Elektrodennadel (6a,
6b) eine hohe Spannung zugeführt wird, welche mit einer hohen Spannung
mit einer der Ladungspolarität entgegengesetzten Polarität versorgt wird, und die
andere Elektrodennadel (6b, 6a) mit der Erde verbunden wird, wenn
der Ladungsbetrag einen voreingestellten Schwellenwert übersteigt, so dass durch
die hohe Spannung der Elektrodennadel (6a, 6b) positive oder negative
Ionen erzeugt werden, um den Gegenstand (1) statisch zu entladen, und wobei,
wenn der Sensor (8) detektiert, dass der Ladungsbetrag den Schwellenwert
erreicht oder darunter liegt, die Zufuhr der hohen Spannung unterbrochen oder der
Ladungsbetrag des Gegenstandes (1) durch Steuerung der der Elektrodennadel
(6a, 6b) zuzuführenden Spannung verringert wird.
- Verfahren zur statischen Entladung nach Anspruch 2, bei dem einer der
mit einer hohen Spannung versorgten Elektrodennadel (6a, 6b) entgegengesetzten
Elektrodennadel (6b, 6a) eine kontrollierte Spannung zur Begrenzung
einer Gegenladung zugeführt wird, wenn der Sensor (8) detektiert, dass
der Ladungsbetrag den Schwellenwert erreicht oder darunter liegt.
- Verfahren zur statischen Entladung nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
bei dem eine Luftaustrittsöffnung (7) zwischen einem Paar von einander
gegenüberliegenden Elektrodennadeln (6a, 6b) vorgesehen ist, um
einen Luftstrom gegen den statisch zu entladenden Gegenstand (1) auszublasen,
so dass der Elektrodennadel (6a, 6b) eine hohe Spannung zugeführt
wird, während der Luftstrom aus der Luftaustrittsöffnung (7) ausgeblasen
wird, um eine statische Entladung durchzuführen.
- Vorrichtung zur statischen Entladung mit einer oder mehreren Elektroden
(3), wobei ein Paar von Elektrodennadeln (6a, 6b), welche
individuell mit hohen positiven bzw. negativen Spannungen versorgt werden, einander
gegenüberliegend angeordnet in einem Halteelement (5) aus isolierendem
Material vorgesehen ist, und mit einer Steuerung zum Steuern einer den Elektrodennadeln
(6a, 6b) zuzuführenden Spannung;
wobei die Steuerung in einem kurzen Zeitabstand eine Umschaltung steuert zwischen
einem Zufuhrstatus, in dem einer der Elektrodennadeln (6a, 6b)
eine hohe positive oder negative Spannung zugeführt wird und die andere Elektrodennadel
(6b, 6a) mit der Erde verbunden ist, und einem Zufuhrstatus, in
dem die Elektrodennadel (6a, 6b), die mit der hohen Spannung versorgt
ist, mit der Erde verbunden wird und der Elektrodennadel (6b,
6a), die an die Erde abgeschlossen ist, eine hohe Spannung mit einer der
hohen Spannung entgegengesetzten Polarität zugeführt wird.
- Vorrichtung zur statischen Entladung mit einer und mehreren Elektroden
(3), wobei ein Paar von Elektrodennadeln (6a, 6b), welche
individuell mit hohen positiven bzw. negativen Spannungen versorgt werden, einander
gegenüberliegend angeordnet in einem Halteelement (5) aus isolierendem
Material vorgesehen ist, mit einem in der Nähe des statisch zu entladenden Gegenstandes
(1) angeordneten Sensor (8) zum Detektieren der Ladungspolarität
und des Ladungsbetrages des Gegenstandes (1) und mit einer Steuerung zum
Steuern einer einer Elektrodennadel (6a, 6b) auf Basis des Ausgangswerts
des Sensors (8) zuzuführenden Spannung, wobei die Steuerung derart steuert,
dass die Steuerung der Elektrodennadel (6a, 6b) eine hohe Spannung
zuführt, welche mit einer hohen Spannung mit einer der Ladungspolarität entgegengesetzten
Polarität versorgt wird, und die andere Elektrodennadel (6b,
6a) mit der Erde verbindet, wenn der Ladungsbetrag des statisch zu entladenden
Gegenstandes (1), der durch den Sensor (8) detektiert wird, einen
voreingestellten Schwellenwert übersteigt, um durch die hohe Spannung der Elektrodennadel
(6a, 6b) positive oder negative Ionen für die statische Entladung
zu erzeugen, und wobei, wenn der Sensor (8) detektiert, dass der Ladungsbetrag
den Schwellenwert erreicht oder darunter liegt, die Steuerung die Zufuhr der hohen
Spannung unterbricht oder eine der Elektrodennadel (6a, 6b) zuzuführende
Spannung kontrolliert, um den Ladungsbetrag zu reduzieren.
- Vorrichtung zur statischen Entladung nach Anspruch 5 oder 6, bei der
zwischen einem Paar von gegenüberliegenden Elektrodennadeln (6a,
6b) eine Luftaustrittsöffnung (7) zum Ausblasen eines Luftstroms
gegen den statisch zu entladenden Gegenstand (1) vorgesehen ist.
Es folgen 2 Blatt Zeichnungen
|
|
|