Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von
&agr;-Aluminiumoxidteilchen, die einen hohen &agr;-Anteil und einen kleinen durchschnittlichen
Primärteilchendurchmesser aufweisen.
&agr;-Aluminiumoxidteilchen sind eine Art von Aluminiumoxiden und
sie werden in weitem Umfang als Ausgangsmaterial zur Herstellung von Sinterkörpern,
wie Schneidewerkzeugen oder Biokeramiken, verwendet.
Im Hinblick auf eine Senkung der Sintertemperatur zur Gewinnung eines
Sinterkörpers aus &agr;-Aluminiumoxidteilchen ist es erforderlich, dass die &agr;-Aluminiumoxidteilchen
einen hohen &agr;-Anteil und kleinen durchschnittlichen Primärteilchendurchmesser
aufweisen.
Als Verfahren zur Herstellung von &agr;-Aluminiumoxidteilchen ist
ein Verfahren bekannt, das die Stufe des Calcinierens einer einen Impfkristall enthaltenden
&agr;-Aluminiumoxidvorstufe umfasst (beispielsweise JP-A-62-128918).
Jedoch werden nach einem herkömmlichen Verfahren &agr;-Aluminiumoxidteilchen
mit hohem &agr;-Anteil und kleinem durchschnittlichem Primärteilchendurchmesser
nicht ohne weiteres hergestellt.
Die Erfinder der vorliegenden Erfindung untersuchten Verfahren zur
Herstellung von &agr;-Aluminiumoxidteilchen, die einen hohen &agr;-Anteil und einen
kleinen durchschnittlichen Primärteilchendurchmesser aufweisen, und gelangten infolgedessen
zur vorliegenden Erfindung.
Das heißt, die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zur Herstellung
von &agr;-Aluminiumoxid bereit, das die Stufen des
(1) Setzens eines Pulvergemischs, das ein Aluminiumsalz und einen Impfkristall
enthält, unter Bedingungen von nicht niedriger als die Pyrolysetemperatur des Aluminiumsalzes
und
(2) Calcinierens des Produkts umfasst.
Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zur Herstellung von
&agr;-Aluminiumoxid bereit, das eine Stufe (1) des Setzens des Pulvergemischs, das
ein Aluminiumsalz und einen Impfkristall enthält, unter Bedingungen von nicht niedriger
als die Pyrolysetemperatur des Aluminiumsalzes umfasst.
Das in der Stufe (1) verwendete Aluminiumsalz ist ein anorganisches
Salz oder ein organisches Salz. Beispiele für die anorganischen Salze umfassen Aluminiumnitrat,
Ammoniumaluminiumnitrat, Aluminiumsulfat, Ammoniumaluminiumsulfat, Aluminiumcarbonat,
Ammoniumaluminiumcarbonat, Aluminiumchlorid und Ammoniumalaun. Beispiele für die
organischen Salze umfassen Aluminiumoxalat, Aluminiumacetat, Aluminiumstearat, Aluminiumlaetat
und Aluminiumlaurat.
Der in der Stufe (1) verwendete Impfkristall ist beispielsweise ein
Teilchen, das aus &agr;-Aluminiumoxid, Diaspor, Eisenoxid, Chromoxid oder Titanoxid
besteht. Der Impfkristall kann unabhängig verwendet werden oder es können zwei oder
mehrere derselben in Kombination verwendet werden. Der Impfkristall liegt üblicherweise
in der Form eines Pulvers vor, und er weist einen Teilchendurchmesser von etwa 0,01
&mgr;m oder mehr und etwa 0,5 &mgr;m oder weniger auf. Der Impfkristall weist eine
spezifische Oberfläche nach BET von üblicherweise etwa 12 m2/g oder mehr,
vorzugsweise etwa 15 m2/g oder mehr und üblicherweise etwa 150 m2/g
oder weniger, vorzugsweise etwa 50 m2/g oder weniger auf. Die Menge des
Impfkristalls beträgt üblicherweise etwa 1 Gew.-% oder mehr, zweckmäßigerweise etwa
2 Gew.-% oder mehr, vorzugsweise etwa 5 Gew.-% oder mehr, und üblicherweise etwa
50 Gew.-% oder weniger, zweckmäßigerweise etwa 40 Gew.-% oder weniger, vorzugsweise
etwa 30 Gew.-% oder weniger, bezogen auf das Gemisch, das das Aluminiumsalz und
den Impfkristall enthält, in Form von Metalloxid. Für den Fall, dass das in dem
Impfkristall enthaltene Metall Aluminium, Eisen, Chrom oder Titan ist, steht das
Metalloxid für Al2O3, Fe2O3, Cr2O3
bzw. TiO2.
Das im Vorhergehenden beschriebene Pulvergemisch, das das Aluminiumsalz
und den Impfkristall enthält, weist üblicherweise einen Wassergehalt von 50 Gew.-%
oder weniger auf, was die Summe von daran adsorbiertem Wasser und daran gebundenem
Wasser ist.
Das Pulvergemisch kann beispielsweise durch ein Verfahren des Mischens
des Aluminiumsalzes mit einem Lösemittel zur Gewinnung einer Flüssigkeit, des Mischens
des Impfkristalls oder einer den Impfkristall enthaltenden Aufschlämmung mit der
Flüssigkeit und des anschließenden Entfernens des Lösemittels aus dem Produkt hergestellt
werden. Das Mischen kann unter Verwendung einer Vorrichtung, wie eines vertikalen
Granulators, Henschel-Mischers und dergleichen, durchgeführt werden.
In der Stufe (1) wird das oben beschriebene Gemisch unter Bedingungen
von nicht niedriger als die Pyrolysetemperatur des Aluminiumsalzes gesetzt. Beispielsweise
beträgt, da die Pyrolysetemperatur von Aluminiumnitrat etwa 150 °C ist, die
untere Temperatur der Bedingungen üblicherweise etwa 300 °C, vorzugsweise etwa
500 °C. Andererseits kann die obere Temperatur niedriger als die Temperatur
sein, bei der sich das Aluminiumoxidsalz vollständig in &agr;-Aluminiumoxid umwandelt,
beispielsweise niedriger als etwa 900 °C, zweckmäßigerweise etwa 800 °C
oder niedriger, vorzugsweise etwa 700 °C oder niedriger sein. Die Bedingungen,
unter die das Gemisch gesetzt wird, können Luft oder ein Inertgas, wie N2
und Ar, umfassen.
Ein Verfahren zum Setzen des Gemischs unter Bedingungen von nicht
niedriger als die Pyrolysetemperatur des Aluminiumsalzes umfasst beispielsweise
ein Verfahren zum Einführen des Gemischs in den Ofen, der auf eine Temperatur, die
wie oben beschrieben nicht niedriger als die Pyrolysetemperatur ist, vorerhitzt
wurde, unter Verwendung einer Zufuhrvorrichtung und ein Verfahren zum Blasen von
heißem Gas mit einer Temperatur von nicht niedriger als die Pyrolysetemperatur über
das Gemisch. Beispiele für den bei dem ersteren Verfahren verwendeten Ofen umfassen
einen Rohrelektroofen, Muffelelektroofen, Tunnelofen, Ferninfrarotofen, Mikrowellenofen,
Herdwagenofen, Reflexionsofen, Drehofen, Rollenherdofen, Durchstoßofen, Wirbelschichtofen.
Der Ofen kann diskontinuierlich oder kontinuierlich sein. Ferner kann der Ofen beliebig
ein Elektroofen oder Gasofen sein.
Bei diesem Vorgang wird das in dem Gemisch enthaltene Aluminiumsalz
pyrolysiert. Die Pyrolyse muss nicht zwangsläufig vollständig sein. Die Pyrolyse
des Aluminiumsalzes wird unter den Bedingungen eines &Dgr;M von zweckmäßigerweise
0,8 oder mehr, vorzugsweise 0,9 oder mehr durchgeführt, wobei &Dgr;M durch die folgende
Gleichung (i) dargestellt wird:
wobei M0 die Menge des Aluminiumsalzes vor der Pyrolyse,
M1 die Gesamtmenge von Aluminiumsalz und Pyrolysat des Aluminiumsalzes
nach 1 h, vorzugsweise 30 min ab dem Zeitpunkt des Setzens des Aluminiumsalzes,
M2 die Menge des Rückstands nach dem Glühen des Aluminiumsalzes bei 1100
°C,
&Dgr;M die Gewichtsabnahmerate des Aluminiumsalzes bei der Pyrolyse ist.
Aufgrund der Gaserzeugung durch das Aluminiumsalz bei der Pyrolyse
wird die Pyrolyse vorzugsweise unter Austragen des Gases oder unter Durchleiten
eines Inertgases, wie Stickstoff und Argon, durchgeführt.
Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zur Herstellung von
&agr;-Aluminiumoxid bereit, das des Weiteren die Stufe (2) des Calcinierens des
in der Stufe (1) erhaltenen Produkts umfasst.
Die Calcination kann unter Verwendung eines Ofens des gleichen Typs,
der bei der Pyrolyse als Ofen verwendet wurde, durchgeführt werden. Die Calcination
kann vorteilhafterweise in Luft oder Inertgas (beispielsweise Stickstoff und Argon)
unter dem Standpunkt, dass die Umstände die Bedingung des gesteuerten Wasserdampfpartialdrucks
ausreichend erfüllen, durchgeführt werden. Ferner kann die Calcination beliebig
unter normalem Druck (1 atm), einer Atmosphäre mit erhöhtem Druck und einer Atmosphäre
mit vermindertem Druck durchgeführt werden. Die Calcinationstemperatur ist nicht
niedriger als die Temperatur, bei der sich das Pyrolysat des Aluminiumsalzes in
&agr;-Aluminiumoxid umwandelt und sie ist üblicherweise 600 °C oder höher, vorzugsweise
700 °C oder höher und üblicherweise 1000 °C oder niedriger, vorzugsweise
950 °C oder niedriger. Die Calcinationstemperatur ist üblicherweise verschieden
von der der Bedingungen, unter die das Gemisch in Stufe (1) gesetzt wird, vorzugsweise
höher als die Temperatur derselben. Die Calcinationsdauer beträgt üblicherweise
etwa 10 min oder mehr, vorzugsweise etwa 30 min oder mehr und üblicherweise etwa
24 h oder weniger, vorzugsweise etwa 10 h oder weniger.
Bei der Calcination kann das in Stufe (1) erhaltene Produkt in den
Ofen gegeben und kontinuierlich unter den oben beschriebenen Bedingungen calciniert
werden oder das in Stufe (1) erhaltene Produkt bei Raumtemperatur gekühlt und dann
calciniert werden. Bei dem letzteren Verfahren beträgt die Heizrate im Bereich
von Raumtemperatur bis zu der Temperatur, bei der sich das Pyrolysat des Aluminiumsalzes
in &agr;-Aluminiumoxid umwandelt, üblicherweise etwa 50 °C/h oder mehr, vorzugsweise
etwa 100 °C/h oder mehr und etwa 1000 °C/h oder weniger, vorzugsweise etwa
500 °C/h oder weniger. Die bei der Calcination erhaltenen &agr;-Aluminiumoxidteilchen
können pulverisiert oder klassiert werden.
Die durch das Herstellungsverfahren der vorliegenden Erfindung erhaltenen
&agr;-Aluminiumoxidteilchen weisen üblicherweise einen &agr;-Anteil von üblicherweise
etwa 95 % oder mehr, vorzugsweise etwa 97 % oder mehr und einen durchschnittlichen
Primärteilchendurchmesser von üblicherweise etwa 10 nm oder mehr und üblicherweise
75 nm oder weniger, vorzugsweise 70 nm oder weniger, noch besser 65 nm oder weniger
auf. Die &agr;-Aluminiumoxidteilchen weisen eine spezifische Oberfläche nach BET
von üblicherweise etwa 8 m2/g oder mehr, zweckmäßigerweise etwa 13 m2/g
oder mehr, vorzugsweise etwa 15 m2/g oder mehr und üblicherweise etwa
100 m2/g oder weniger auf.
Wie oben beschrieben weisen die durch das Verfahren der vorliegenden
Erfindung erhaltenen &agr;-Aluminiumoxidteilchen einen hohen &agr;-Anteil und einen
kleinen durchschnittlichen Primärteilchendurchmesser auf, weshalb die &agr;-Aluminiumoxidteilchen
als Ausgangsmaterial zur Herstellung eines &agr;-Aluminiumoxid-Sinterkörpers mit
hoher Festigkeit verwendbar sind. Der erhaltene &agr;-Aluminiumoxidsinterkörper
ist als ein Element, für das hohe Festigkeit erforderlich ist, wie ein Schneidewerkzeug,
Biokeramiken, Keramiken mit Leitwegemuster niedrigen Widerstands (beispielsweise
Aluminiumoxidkeramiken mit einem darauf befindlichen Kupfermuster) und schusssichere
Platten, geeignet. Der &agr;-Aluminiumoxidsinterkörper wird aufgrund chemischer
Stabilität, beispielsweise hervorragender Korrosionsbeständigkeit, als Teil einer
Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiters, wie einer Waferhandhabungsvorrichtung;
als Elektronikteil, wie ein Sauerstoffsensor; ein durchscheinendes Rohr, wie eine
Natriumlampe und eine Metallhalogenidlampe; oder ein Keramikfilter verwendet. Ein
Keramikfilter wird zur Entfernung von in einem Abgas enthaltenen festen Komponenten,
zur Filtration einer Aluminiumschmelze, Filtration von Getränken, wie Bier, oder
selektiven Permeation eines bei der Erdölverarbeitung produzierten Gases oder von
CO-, CO2-, N2-, O2-, H2-Gas verwendet.
Das &agr;-Aluminiumoxidpulver kann als Sintermittel für Keramiken, wie wärmeleitende
Keramiken (beispielsweise AlN), YAG und Leuchtstoffe verwendet werden.
Ferner können die &agr;-Aluminiumoxidteilchen als Additiv für einen
Toner oder Harzfüllstoff, zur Verbesserung der Kopfreinigungseigenschaft und Reibungsbeständigkeit
durch Zugabe derselben zu einer Applikationsschicht eines Magnetmediums des Applikationstyps
verwendet werden. Auch können die &agr;-Aluminiumoxidteilchen als Additiv für Kosmetika
oder Bremsbeläge verwendet werden.
Ferner werden die &agr;-Aluminiumoxidpulver als Poliermaterial verwendet.
Beispielsweise ist eine Aufschlämmung, die durch Dispergieren von &agr;-Aluminiumoxidteilchen
in einem Medium, wie Wasser, erhalten wurde, zum Polieren eines Halbleiter-CMP und
Polieren eines Festplattensubstrats geeignet. Ein durch Auftragen von &agr;-Aluminiumoxidteilchen
auf die Oberfläche eines Streifens erhaltener Polierstreifen ist zum präzisen Polieren
einer Festplatte und eines Magnetkopfs geeignet.
Die vorliegende Erfindung wird durch die folgenden Beispiele detaillierter
beschrieben, wobei diese nicht als Begrenzung des Umfangs der vorliegenden Erfindung
betrachtet werden sollen.
Die Eigenschaften von &agr;-Aluminiumoxid und einem Impfkristall werden
durch die folgenden Verfahren bewertet.
(1) &agr;-Anteil
Dieser wird gemäß der folgenden Gleichung (ii) unter Verwendung der
Peakintensität I25,6 bei 2&thgr; = 25,6° und der Peakintensität I67
bei 2&thgr; = 67° aus einem Beugungsspektrum, das unter den Bedingungen von
Strahlungsquelle: CuK&agr;-Strahl, 40 kV × 20 mA, Monochromator: Graphit,
unter Verwendung eines Pulverröntgendiffraktometers ermittelt wurde, berechnet:
&agr;-Anteil = I25,6/(I25,6 + I67)
× 100 (%)(ii)
(2) Durchschnittlicher Primärteilchendurchmesser
Aus einer Transmissionselektronenmikrographie von &agr;-Aluminiumoxidteilchen
wurde der maximale Durchmesser längs einer konstanten Richtung jedes Primärteilchens
von jedem von 20 oder mehr Teilchen gemessen und der Durchschnittswert der Messwerte
berechnet.
(3) Spezifische Oberfläche nach BET
Sie wurde unter Verwendung eines Analysators der spezifischen Oberfläche
(Handelsbezeichnung "FLOWSORB II 2300", hergestellt von Shimadzu Corporation) mit
einem Stickstoffadsorptionsverfahren ermittelt.
Beispiel 1Herstellung eines Gemischs, das ein Aluminiumsalz und einen
Impfkristall enthält
Das Aluminiumhydroxid wurde durch Hydrolyse eines Aluminiumisopropoxids
erhalten, worauf eine Vorcalcination folgte, wobei ein Übergangsaluminiumoxid erhalten
wurde, in dem die Hauptkristallphase die &thgr;-Phase war und 3 Gew.-% &agr;-Phase
enthalten waren, und das Übergangsaluminiumoxid wurde dann mittels einer Strahlmühle
gemahlen, wobei ein Pulver mit einer Schüttdichte von 0,21 g/cm3 erhalten
wurde. Das Pulver wurde unter den im Folgenden angegeben Bedingungen calciniert:
Modus: kontinuierliche Zufuhr und Austragung,
Atmosphäre: Luft eines Taupunkts von –15 °C (Wasserdampfpartialdruck 165
Pa),
durchschnittliche Verweildauer: 3 Stunden,
maximale Temperatur: 1170 °C,
wobei &agr;-Aluminiumoxid erhalten wurde.
Hundert (100) Gewichtsteile des erhaltenen &agr;-Aluminiumoxids und
1 Gewichtsteil eines Propylenglykols als Pulverisierungsmittel wurden in eine Schwingmühle
mit Aluminiumoxidperlen mit einem Durchmesser von 15 mm eingetragen, und 12 h pulverisiert,
wobei ein Impfkristall mit einer spezifischen Oberfläche nach BET von 17,2 m2/g
und einem durchschnittlichen Teilchendurchmesser von 0,1 &mgr;m erhalten wurde.
In 80 Gewichtsteilen einer wässrigen Aluminiumnitratlösung eines pH-Werts
von 4 wurden 20 Gewichtsteile des Impfkristalls dispergiert, und das erhaltene Gemisch
und Aluminiumoxidperlen mit einem Durchmesser von 2 mm wurden in eine Mühle eingetragen
und dann 3 h gerührt, wobei eine Impfkristallaufschlämmung erhalten wurde.
375 g (1 mol) Aluminiumnitratnonahydrat (Al(NO3)3·9H2O)
(hergestellt von Kansai Catalyst Co., Ltd., Reagensqualität, Aussehen: Pulver) wurden
in 778 g Wasser gelöst, wobei eine Aluminiumnitratlösung erhalten wurde. 110 g der
oben beschriebenen Impfkristallaufschlämmung (22 g in Form von Al2O3)
wurden zu der Aluminiumnitratlösung gegeben, und das erhaltene Gemisch wurde in
einen Rotationsverdampfer eingetragen und unter vermindertem Druck bei 60 °C
getrocknet, wobei ein Pulvergemisch mit 30 Gew.-% &agr;-Aluminiumoxid als Impfkristall
in Form von Al2O3 erhalten wurde.
Pyrolyse
200 g des Pulvergemischs wurden in einen Muffeloffen, der auf 700
°C vorerhitzt wurde, eingetragen und 1 h in dem Ofen gehalten und dann ausgetragen,
wobei ein Pyrolysat erhalten wurde. Bei dieser Pyrolyse betrug &Dgr;M (= (M0
– M1)/(M0 – M2)) 0,988.
Das Pyrolysat wurde unter den im Folgenden angegebenen Bedingungen
calciniert, wobei &agr;-Aluminiumoxidteilchen erhalten wurden.
Calcinationstemperatur: 820 °C,
Heizrate im Bereich von Raumtemperatur bis Calcinationstemperatur: 300 °C/Stunde,
Verweildauer: 3 Stunden.
Die Eigenschaften der &agr;-Aluminiumoxidteilchen sind in Tabelle
1 angegeben.
Beispiel 2
Der gleiche Vorgang wie in Beispiel 1 wurde durchgeführt, wobei jedoch
die Calcinationstemperatur auf 860 °C geändert wurde, wobei &agr;-Aluminiumoxidteilchen
erhalten wurden. Die Eigenschaften der &agr;-Aluminiumoxidteilchen sind in Tabelle
1 angegeben.
Beispiel 3
200 g des Pulvergemischs, das nach dem gleichen Vorgang wie "Herstellung
eines Gemischs, das ein Aluminiumsalz und einen Impfkristall enthält" von Beispiel
1 erhalten wurde, wurde in einen Muffelofen, der auf 200 °C vorerhitzt wurde,
eingeführt, und 2 h in dem Ofen gehalten und dann ausgetragen, wobei ein Pyrolysat
erhalten wurde. Bei dieser Pyrolyse betrug &Dgr;M (= (M0 – M1)/(M0
– M2)) 0,733.
Das Pyrolysat wurde 3 h bei 860 °C calciniert, wobei &agr;-Aluminiumoxidteilchen
erhalten wurden. Die Eigenschaften der &agr;-Aluminiumoxidteilchen sind in Tabelle
1 angegeben.
Vergleichsbeispiel 1
200 g des Pulvergemischs, das nach dem gleichen Vorgang wie "Herstellung
eines Gemischs, das ein Aluminiumsalz und einen Impfkristall enthält" von Beispiel
1 erhalten wurde, wurde in einen Muffelofen gegeben und mit einer Rate von 200 °C/h
von Raumtemperatur auf 820 °C erhitzt und 2 h bei 820 °C gehalten. Die Eigenschaften
der erhaltenen &agr;-Aluminiumoxidteilchen sind in Tabelle 1 angegeben.
Tabelle 1
Anspruch[de]
Verfahren zur Herstellung von &agr;-Aluminiumoxidteilchen, umfassend
die Stufen:
(1) Setzen eines Pulvergemischs, das ein Aluminiumsalz und einen Impfkristall enthält,
unter Bedingungen von nicht niedriger als die Pyrolysetemperatur des Aluminiumsalzes
und
(2) Calcinieren des Produkts.
Verfahren zur Herstellung von &agr;-Aluminiumoxidteilchen nach Anspruch
1, wobei das Aluminiumsalz ein anorganisches Salz ist.
Verfahren zur Herstellung von &agr;-Aluminiumoxidteilchen nach Anspruch
1, wobei der Impfkristall mindestens ein Bestandteil ist, der aus der aus &agr;-Aluminiumoxid,
Diaspor, Eisenoxid, Chromoxid und Titanoxid bestehenden Gruppe ausgewählt ist.
Verfahren zur Herstellung von &agr;-Aluminiumoxidteilchen nach Anspruch
1, wobei der Impfkristall eine spezifische Oberfläche nach BET von 12 m2/g
oder mehr hat.
Verfahren zur Herstellung von &agr;-Aluminiumoxidteilchen nach Anspruch
1, wobei die Menge des Impfkristalls 1 Gew.-% oder mehr, bezogen auf die Gesamtmenge
des Aluminiumsalzes und des Impfkristalls, in Form von Metalloxid beträgt.
Verfahren zur Herstellung von &agr;-Aluminiumoxidteilchen nach Anspruch
1, wobei die Temperaturbedingungen 300 °C oder höher betragen.
Verfahren zur Herstellung von &agr;-Aluminiumoxidteilchen nach Anspruch
6, wobei die Temperaturbedingungen 500 °C oder höher betragen.
Verfahren zur Herstellung von &agr;-Aluminiumoxidteilchen nach Anspruch
1, wobei die Calcination bei einer Temperatur von 600 °C oder höher durchgeführt
wird.