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Dokumentenidentifikation EP1570252 13.10.2005
EP-Veröffentlichungsnummer 0001570252
Titel VORRICHTUNGEN UND VERFAHREN ZUM ENTFERNENOPTISCHER ABERRATIONEN WÄHREND EINER OPTISCHEN UNTERSUCHUNG
Anmelder Kla-Tencor Technologies Corp., Milpitas, Calif., US
Erfinder STOKOWSKI, Stan, Danville, US;
SAIDIN, K., Zain, San Mateo, US
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 25.11.2003
EP-Aktenzeichen 037964921
WO-Anmeldetag 25.11.2003
PCT-Aktenzeichen PCT/US03/37937
WO-Veröffentlichungsnummer 0004051220
WO-Veröffentlichungsdatum 17.06.2004
EP-Offenlegungsdatum 07.09.2005
Veröffentlichungstag im Patentblatt 13.10.2005
IPC-Hauptklasse G01N 21/00








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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