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Dokumentenidentifikation EP1576355 27.10.2005
EP-Veröffentlichungsnummer 0001576355
Titel BELEUCHTUNGSSYSTEM FÜR DIE OPTISCHE INSPEKTION
Anmelder Applied Materials, Inc., Santa Clara, Calif., US;
Applied Materials Israel Ltd., Rehovot, IL
Erfinder NAFTALI, Ron, Shoham, IL;
GUETTA, Avishay, 76287 Rehovot, IL;
FELDMAN, Haim, 88523 Nof-Ayalon, IL;
SHOHAM, Doron, 76287 Rehovot, IL;
BLAI, Gil, 52105 Ramat-Gan, IL
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 08.09.2003
EP-Aktenzeichen 037992765
WO-Anmeldetag 08.09.2003
PCT-Aktenzeichen PCT/US03/28054
WO-Veröffentlichungsnummer 0004031741
WO-Veröffentlichungsdatum 15.04.2004
EP-Offenlegungsdatum 21.09.2005
Veröffentlichungstag im Patentblatt 27.10.2005
IPC-Hauptklasse G01N 21/00








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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