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Dokumentenidentifikation EP1602116 12.01.2006
EP-Veröffentlichungsnummer 0001602116
Titel ENTLADUNGSPRODUKTIONS-PLASMA-EUV-LICHTQUELLE
Anmelder Cymer, Inc., San Diego, Calif., US
Erfinder PARTLO, N., William, Poway, US;
BLUMENSTOCK, M., Gerry, San Diego, US;
BOWERING, Norbert, San Diego, US;
BRUZZONE, A., Kent, Cardiff, US;
COBB, Dennis W., Lake Arrowhead, US;
DYER, S., Timothy, Oceanside, US;
DUNLOP, John, San Diego, US;
FOMENKOV, V., Igor, San Diego, US;
HYSHAM, Christopher, James, Oceanside, US;
OLIVER, I., Roger, San Diego, US;
PALENSCHAT, A., Frederick, Lemon Grove, US;
PAN, J., Xiaojiang, San Diego, US;
RETTIG, L., Curtis, Vista, US;
SIMMONS, S., Rodney, San Diego, US;
WALKER, John, Escondido, US;
WEBB, R., Kyle, Escondido, US;
HOFMANN, Thomas, San Diego, US;
KHODYKIN, Oleh, San Diego, US
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 03.03.2004
EP-Aktenzeichen 047169495
WO-Anmeldetag 03.03.2004
PCT-Aktenzeichen PCT/US2004/006551
WO-Veröffentlichungsnummer 0004081503
WO-Veröffentlichungsdatum 23.09.2004
EP-Offenlegungsdatum 07.12.2005
Veröffentlichungstag im Patentblatt 12.01.2006
IPC-Hauptklasse H01J 1/52(2000.01)A, F, I, ,  ,  ,   








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A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
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H Elektrotechnik

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