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Dokumentenidentifikation DE69925573T2 27.04.2006
EP-Veröffentlichungsnummer 0001052519
Titel Magnetischer F?hler hergestellt auf einem halbleitenden Substrat
Anmelder Asulab S.A., Marin, CH
Erfinder Kejik, Pavel, 1024 Ecublens, CH;
Chiesi, Laurent, 74160 Saint-Julien en Genevois, FR
Vertreter Sparing · Röhl · Henseler, 40237 Düsseldorf
DE-Aktenzeichen 69925573
Vertragsstaaten CH, DE, FR, GB, IT, LI, NL
Sprache des Dokument FR
EP-Anmeldetag 09.06.1999
EP-Aktenzeichen 991112418
EP-Offenlegungsdatum 15.11.2000
EP date of grant 01.06.2005
Veröffentlichungstag im Patentblatt 27.04.2006
IPC-Hauptklasse G01R 33/04(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung betrifft einen magnetischen Sensor, der im Wesentlichen eben ist und insbesondere auf einem integrierten Schaltkreis verwirklicht ist, wobei dieser magnetische Sensor vom so genannten "Fluxgate"-Typ ist und typisch dafür bestimmt ist, ein Magnetometer zur Erfassung von schwachen bis sehr schwachen Magnetfeldern in einer Ebene, beispielsweise für medizinische Anwendungen, auszurüsten. Dieses Magnetometer ist dann vorzugsweise in CMOS-Technik verwirklicht, wobei seine zugeordnete elektronische Schaltung auf dem Substrat integriert ist, auf dem der Sensor verwirklicht ist.

Als Stand der Technik kann die Veröffentlichung "Integrated Planar Fluxgate Sensor With Amorphous Metal Core" von L. Chiesi, J.A. Flaganan, B. Janossy und R.S. Poponic der Eidgenössischen Technischen Hochschule (ETH), Lausanne (Schweiz), angeführt werden, die anlässlich der Konferenz "EuroSensors XI", Warschau (Polen), 1997 präsentiert wurde.

Diese Veröffentlichung beschreibt einen magnetischen Mikrosensor, der eben ist und auf einem Substrat aus Silicium integriert ist, wie in der beigefügten 1 als Veranschaulichung des Standes der Technik dargestellt ist.

Außerdem beschreibt das Dokument "An integrated micro fluxgate magnetic sensor" von S.O. Choi, S. Kawahito, Y. Matsumoto, M. Ishida und Y. Tadokoro der Technischen Hochschule Toyohashi (Japan) in "Sensors and Actuators A-Physical", von Elsevir am 1. März 1996 veröffentlicht, einen magnetischen Sensor vom "Fluxgate"-Typ, der auf einem Halbleitersubstrat verwirklicht ist, wobei er dünne magnetische Schichten, eine quadratische Erregerspule und eine Erfassungsschaltung, die aus zwei ebenen Erfassungsspulen gebildet ist, umfasst.

Wie aus 1 hervorgeht, ist dieser magnetische Sensor oder "Fluxgate"-Sensor mittels CMOS-Integrationstechnik an ein Mikrosubstrat aus Silicium 1 oder einen "Siliciumchip" aus einem Plättchen in Form eines Parallelepipeds angefügt.

Dieser Mikrosensor ist auf der oberen Hauptfläche 2 des parallelepipedischen Substrats 1 integriert, wobei dieses Letztere in Bezug auf das zu messende äußere Magnetfeld Hext in der Weise positioniert wird, dass diese Hauptfläche 2 praktisch koplanar zu diesem äußeren Feld Hext ist.

Der eigentliche magnetische Sensor umfasst ein Metallband 3 aus einem amorphen Magnetwerkstoff, das von einem Erregungsstrom durchflossen wird, der durch zwei Aluminiumdrähte 5, 6, die jeweils an ein Ende dieses Bands 3 geschweißt sind, transportiert wird. Dieser Erregungsstrom ist ein Wechselstrom mit der Frequenz f und dreieckförmigem Verlauf, der ein Magnetfeld der gleichen Frequenz erzeugt, das auf Grund des nichtlinearen Charakters der B-H-Kurve (Magnetfluss-Magnetfeld-Kurve) des Bands oder amorphen ferromagnetischen Kerns 3 diesen ferromagnetischen Werkstoff 3 periodisch sättigt.

Der Sensor umfasst zwei koplanare Erfassungsspulen 7, 8, die in Reihe und einander entgegengesetzt, d. h. in differenzieller Schaltung, angeordnet sind, wobei jede unter einem Ende des Bands oder amorphen ferromagnetischen Kerns 3 angeordnet ist, wo sie folglich jeweils das Streufeld an diesen Enden messen.

Wegen der nichtlinearen Permeabilität des amorphen ferromagnetischen Kerns 1 enthält die von jeder Spule 7 und 8 erfasste Spannung Harmonische der Erregungsfrequenz f, wovon nur die geradzahligen Harmonischen von Interesse sind, denn sie sind proportional zu dem zu messenden äußeren Magnetfeld Hext. Im Allgemeinen wird die Erfassung folglich mit der Frequenz 2f durchgeführt.

Diese bekannte Vorrichtung hat als Nachteile, dass sie einerseits nicht ermöglicht, die Messung des äußeren Feldes Hext in zwei orthogonalen Richtungen durchzuführen, ohne die Winkellage des Sensors ändern zu müssen, und andererseits einen Mangel an Empfindlichkeit aufweist. Außerdem ist ihre Ausgangsspannung von der Frequenz des Erregungsstroms abhängig, und ihr Stromverbrauch ist verhältnismäßig hoch.

Die Erfindung hat zum Ziel, einen magnetischen Sensor zu schaffen, der zu dem Sensor gemäß 1 analog ist, jedoch nicht die voranstehend genannten Nachteile aufweist, sondern hinsichtlich seiner Leistungsparameter, insbesondere hinsichtlich seines niedrigeren Stromverbrauchs sowie seiner Fähigkeit, äußere Magnetfelder Hext sehr geringer Intensität zu erfassen sowie Magnetfelder in zwei orthogonalen Richtungen zu erfassen, in hohem Maße verbessert ist.

Zu diesem Zweck bezieht sie sich auf einen magnetischen Sensor, der im Wesentlichen eben ist und auf einem Halbleitersubstrat verwirklicht ist, wobei dieser Sensor umfasst:

  • – einen oder mehrere magnetische Kerne, die im Wesentlichen eben sind und an eine ebene Hauptfläche dieses Substrats angefügt sind;
  • – wenigstens eine Erregungsschaltung und
  • – wenigstens eine Erfassungsschaltung, die aus wenigstens zwei ebenen Erfassungsspulen gebildet ist, die ebenfalls an diese Hauptfläche des Substrats angefügt sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Erregungsschaltung aus einer einzigen ebenen Spule gebildet ist, die eine im Wesentlichen quadratische äußere Form besitzt, und dass der oder die magnetischen Kerne langgliedrige Kerne sind, die in Form eines griechischen Kreuzes entsprechend den zwei Diagonalen des geometrischen Quadrats, das durch den äußeren Umfang der ebenen Erregungsspule definiert ist, angeordnet sind.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist der magnetische Kern einzeln und einteilig, wobei er eine Form eines griechischen Kreuzes hat, das entlang der Diagonalen angeordnet ist. In diesem Fall ist die Erfassungsschaltung vorteilhaft aus vier Erfassungsspulen gebildet, die jeweils an vier freien Enden des einteiligen magnetischen Kerns in Form eines griechischen Kreuzes angeordnet sind. Vorzugsweise ist der Werkstoff, aus dem der oder die magnetischen Kerne gebildet sind, amorph.

Die Erfindung wird umfassend verstanden und ihre Vorteile sowie weitere Merkmale werden deutlich anhand der folgenden Beschreibung zweier nicht einschränkender Ausführungsbeispiele mit Bezug auf die beigefügte schematische Zeichnung, worin

1 wie zuvor schon beschrieben einen magnetischen Mikrosensor des Standes der Technik darstellt;

2 eine perspektivische, in Einzelteile aufgelöste Teilansicht einer bevorzugten Ausführungsform des magnetischen Mikrosensors der Erfindung ist;

3 eine auf den magnetischen Kern und auf seine Erregerspule beschränkte Teilansicht ist, die den Richtungssinn des Erregerfeldes in jedem der vier Halbschenkel dieses magnetischen Kerns zeigt;

4 ein Zeitdiagramm zur Erläuterung der Funktionsweise dieses Sensors ist;

5 der Übersichtsschaltplan der Erregungs- und Erfassungsschaltung ist, die einem der zwei Schenkel dieses Kerns in Form eines griechischen Kreuzes zugeordnet ist;

6 eine weitere Ausführungsform dieses magnetischen Mikrosensors veranschaulicht;

7 den Vorteil veranschaulicht, wenn gemäß einer Variante jedem der amorphen magnetischen Stäbe, die insbesondere den magnetischen Sensor von 6 ausrüsten, eine Ellipsoidform verliehen wird.

In 2 ist mit dem Bezugszeichen 1 wieder das Substrat in Parallelepipedform bezeichnet worden, das jenem des zuvor mit Bezug auf 1 beschriebenen Sensors des Standes der Technik ähnlich ist. Dieses Substrat umfasst, durch CMOS-Integration auf seiner oberen Hauptfläche 2 verwirklicht, die elektronische Schaltung, die für die Gesamtverwirklichung des Magnetometers dem magnetischen Sensor zugeordnet ist, wobei diese integrierte elektronische Schaltung in dieser Figur nicht dargestellt ist.

Dieser Sensor umfasst eine Erregerspule 9, die eben ist und an die Fläche 2 des Substrats 2 angefügt ist, wobei diese Spule 9 einen äußeren Umfang hat, der durch ihre äußere Windung 90 von im Wesentlichen quadratischer Form gebildet ist. Die anderen Windungen 91 bis 94 dieser Erregerspule 9 sind konzentrisch zu der äußeren Windung 90, ebenfalls von quadratischer Form und wie dargestellt von schrittweise abnehmenden Abmessungen.

An diese Erregerspule 9 ist, typisch durch Kleben, ein ferromagnetischer Kern 10 angefügt, der wie im Fall der Vorrichtung des Standes der Technik gemäß 1 aus einem amorphen Magnetwerkstoff gebildet ist und der typisch aus einem handelsüblichen amorphen, ferromagnetischen Metallband hergestellt ist.

Jedoch hat gemäß der vorliegenden Erfindung dieser ferromagnetische Kern 10 eine Form eines griechischen Kreuzes, wobei diese Form mit zwei senkrecht aufeinander stehenden Diagonalen des Quadrats, das durch die äußere Windung 94 der Erregerspule 9 bestimmt ist, d. h. des von dieser Spule definierten geometrischen Quadrats, zusammenfällt.

Auf diese Weise können zwei senkrecht aufeinander stehende Komponenten H1 und H2 des äußeren Magnetfeldes Hext gemessen werden, wobei diese beiden Komponenten jeweils entsprechend den zwei orthogonalen Schenkeln 101 und 102 des Kerns 10 gerichtet sind. Die Komponente H1 wird dann von dem Schenkel 101 des Kerns 19 gemessen, während die Komponente H2 von seinem orthogonalen Schenkel 102 gemessen wird.

Die Erfassung wird hier durch zwei koplanare Paare Erfassungsspulen bewerkstelligt, nämlich

  • – einem ersten Paar ebener Erfassungsspulen 70, 80, die ebenfalls mittels CMOS-Technik an die Fläche 2 des Substrats 1, unterhalb der Erregerspulenebene 9 angefügt sind, wobei diese zwei Erfassungsspulen in Reihe und differenzieller Schaltung angeordnet sind, wobei sie jeweils unter einem der zwei freien Enden des Schenkels 102 des Kerns 10 positioniert sind. Dieses erste Paar 70, 80 hat folglich zur Aufgabe, die Komponente H2 des äußeren Feldes Hext zu erfassen.
  • – einem zweiten Paar Erfassungsspulen 71, 81, die den zwei Spulen 70, 80 völlig gleich sind, wobei diese zwei Spulen ebenfalls in Reihe und differenzieller Schaltung angeordnet sind und jeweils unter einem der zwei freien Enden des anderen Schenkels 101 des Kerns 10 positioniert sind. Dieses zweite Paar ebener Spulen 71, 81 hat zur Aufgabe, die Komponente H1 des äußeren Feldes Hext zu erfassen.

3 zeigt die Erregerspule 9 mit dem Richtungssinn des Erregungsstroms lexc, wobei dieser Letztere übrigens aus abwechselnd positiven und negativen Impulsen bei einem geringen Tastgrad, in der Größenordnung von 1/8, gebildet ist, und um die Ideen festzuhalten zeigt diese Figur den Richtungssinn des Erregungsmagnetfeldes Hexc, das folglich in jedem der Halbschenkel 101A, 101B, 102A, 102B des Kerns 10 erzeugt wird.

Es ist ersichtlich, dass in jedem der Halbschenkel 101A, 101B ein und desselben Schenkels 101 des Kerns 10 die Erregungsfelder Hexc, die durch den Erregungsstrom lexc erzeugt werden, entgegengesetzte Richtungen aufweisen.

Daraus folgt, dass in jedem Schenkel, 101 oder 102, des Kerns 10 das zu messende äußere Magnetfeld Hext eine Länge des Kerns sieht, die der Gesamtheit der Länge des Schenkels äquivalent ist, obwohl das Erregungsfeld Hexc nur eine Länge des Kerns sieht, die der Hälfte der Länge dieses Schenkels äquivalent ist. Folglich sieht das äußere Magnetfeld einen ferromagnetischen Kern, der eine entsprechende scheinbare Permeabilität besitzt, die größer als jene des Erregungsfeldes ist, was schließlich die Empfindlichkeit des Sensors in starkem Maße erhöht.

4 ermöglicht, das Funktionsprinzip des Sensors zu verstehen, das auf einen der zwei Schenkel des Kerns 10, d. h. auf die Messung einer der zwei Komponenten, H1 oder H2, des zu messenden äußeren Magnetfeldes Hext, angewendet wird.

Die linke Seite dieser Figur ist eine erste Serie I aus vier Kurven, die als Funktion der Zeit t die Veränderungen des Erregungsfeldes Hexc in einem der Schenkel, beispielsweise 101, des Kerns, des entsprechenden Erregungsflusses ϕexc, der in jeder der zwei entsprechenden Erfassungsspulen, 71 und 81, induzierten Spannung Vi und der Spannung Vs am Ausgang der Baugruppe aus diesen zwei Spulen zeigen, wobei diese erste Serie I von Kurven bei Abwesenheit eines zu messenden äußeren Magnetfeldes Hext verwirklicht ist.

Auf dieselbe Art und Weise ist die rechte Hälfte dieser Figur eine zweite Serie II von vier gleichartigen Kurven, diesmal jedoch in Gegenwart eines zu messenden äußeren Magnetfeldes Hext.

Die Kurvenserie I zeigt, dass die Erregungsfelder sowie die Erregungsflüsse Hexc und die induzierten Spannungen Vi in Bezug auf die Halbschenkel 101A und 101B dieses Schenkels 101 des Kerns mit entgegengesetzten Vorzeichen gleich sind. Die Ausgangsspannung Vs, die am Ausgang der Reihen- und differenziellen Schaltung der zwei Erfassungsspulen 71 und 81 abgegriffen wird, ist dann bei Abwesenheit eines äußeren Feldes Hext null.

Dagegen wird die Gegenwart eines äußeren Magnetfeldes gemäß der Kurvenserie II die Kurve Hexc(t) nach oben verschieben, was eine Asymmetrie der zwei induzierten Spannungen Vi und des Weiteren eine Ausgangsspannung Vs ungleich null, die aus einer Reihe abwechselnd positiver und negativer Impulse gebildet ist, zur Folge hat. Diese Impulse werden dann gleichgerichtet und geglättet, um eine Messgleichspannung zu erzielen, wie nun anhand der 5 zu sehen ist, die ein Funktions- und Übersichtsschema der elektronischen Schaltung ist, die einem der Schenkel des Kerns 10 dieses Sensors, beispielsweise dem Schenkel 101, zugeordnet ist.

Wie in 5 zu sehen ist, wird ein externer gepulster Takt CLK mit einer Frequenz fo benutzt, der Impulse 11 liefert.

Diese Impulse 11 werden an eine Frequenzteilerschaltung 12 angelegt, die mehrere periodische Wechselsignale abgibt, und zwar

  • – zwei erste phasenverschobene periodische Signale der Frequenz f, beispielsweise gleich 125 kHz, an einem ersten Ausgang 13;
  • – zwei zweite um &Pgr; phasenverschobene periodische Signale der Frequenz 2f an einem zweiten Ausgang 14;
  • – zwei dritte um &Pgr; phasenverschobene periodische Signale der Frequenz 2f an einem dritten Ausgang 15.

Die zwei ersten Signale werden an eine Entwicklungs- und Formungsschaltung 16 angelegt, die an ihrem Ausgang 17 einen Erregungswechselstrom 18 mit einem verhältnismäßig geringen Tastgrad, beispielsweise von 1/8, an die Erregerwicklung 9 liefert. Der Tastgrad des Stroms 18 ist durch die Phasenverschiebung der zwei ersten Signale bestimmt. Vorzugsweise ist die Schaltung 16 derart ausgelegt, dass die Breite der Impulse der zeitlichen Verschiebung dieser zwei ersten Signale gleich ist.

Am Ausgang der Baugruppe aus den zwei Erfassungsspulen 71, 81 tritt dann ein periodisches und gepulstes induziertes Signal 19 auf, das an eine Gleichrichterschaltung 20 angelegt wird, die ihrerseits über die Verbindung 140 mit einer Frequenz 2f angesteuert wird, um das gleichgerichtete Signal 21 am Ausgang 22 dieses Gleichrichters 20 zu erhalten. Es wird angemerkt, dass eine synchrone Erfassung geradzahliger Harmonischer der Erregungsfrequenz f vorliegt.

Dieses gleichgerichtete Signal 21 wird dann in einem Tiefpassfilter 23, das über die Verbindung 150 mit einer Frequenz von 2f angesteuert wird, so dass es im Wesentlichen während der Dauer der induzierten Impulse des gleichgerichteten Signals 21 aktiv ist, geglättet. Das geglättete Signal wird anschließend in einem Verstärker 24 verstärkt, damit schließlich die Messgleichspannung 25 am Ausgang S dieses Sensors erhalten wird.

Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf das soeben beschriebene bevorzugte Ausführungsbeispiel beschränkt.

So veranschaulicht 6 als Beispiel eine Ausführungsvariante dieses Sensors, bei welcher der amorphe ferromagnetische Kern nicht wie zuvor aus einem griechischen Kreuz in einem Stück gebildet ist, sondern aus vier verschiedenen und geraden Halbschenkel-Kernelementen 101A, 101B, 102A, 102B, die, wie dargestellt ist, wie im vorhergehenden Fall entsprechend den zwei Diagonalen des Quadrats angeordnet sind, das von der Erregerspule 9 definiert wird.

In einem solchen Fall sind die vier Erfassungsspulen 70, 71, 80, 81 jeweils unter den äußeren freien Enden dieser vier Kernelemente 102A, 101A, 102B, 101B angeordnet, jedoch sind außerdem vier weitere Erfassungsspulen 73, 72, 82, 83 anzutreffen, die jeweils unter den inneren freien Enden dieser vier Kernelemente positioniert sind.

Schließlich zeigt 7, dass es möglicherweise vorteilhaft ist, was übrigens an sich bekannt ist, jedes gerade Kernelement, etwa den Stab 101, beispielsweise durch ein Element von ebenfalls langgliedriger Gestalt, jedoch Ellipsoidform anstelle der Parallelepipedform zu ersetzen. Wie die Kraftlinien 26 des Magnetflusses in dem einen und dem anderen Fall deutlich machen, ist bei einem ellipsoidischen Stab eine viel bessere Gleichmäßigkeit dieser Kraftlinien festzustellen.


Anspruch[de]
  1. Magnetischer Sensor, der im Wesentlichen eben ist und auf einem Halbleitersubstrat (1) verwirklicht ist, wobei dieser Sensor umfasst:

    – wenigstens einen magnetischen Kern (10), der im Wesentlichen eben ist und an eine ebene Hauptfläche (2) dieses Substrats (1) angefügt ist,

    – wenigstens eine Erregungsschaltung (9) und

    – wenigstens eine Erfassungsschaltung, die aus wenigstens zwei ebenen Erfassungsspulen (70, 80, 71, 81) gebildet ist, die ebenfalls an diese Hauptfläche (2) des Substrats (1) angefügt sind,

    dadurch gekennzeichnet, dass die Erregungsschaltung aus einer einzigen ebenen Spule gebildet ist, die eine im Wesentlichen quadratische Form (9) besitzt, und dass der magnetische Kern (10) die Form eines griechischen Kreuzes mit zwei Schenkeln (101, 102; 101A, 101B, 102A, 102B) jeweils längs der zwei Diagonalen der Spule der Erregungsschaltung aufweist.
  2. Magnetischer Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der magnetische Kern (10) einzeln und einteilig vorgesehen ist.
  3. Magnetischer Sensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsschaltung durch vier Erfassungsspulen (70, 80, 71, 81) gebildet ist, die jeweils an den vier äußeren Enden des magnetischen Kerns (10) angeordnet sind.
  4. Magnetischer Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass den zwei Schenkeln (101, 102) jeweils Erfassungsschaltungen (70, 80; 71, 81) und eine elektronischen Messschaltung (20, 23, 24) für die Messung der orthogonalen Komponente (H1; H2) des äußeren Magnetfeldes (Hext) längs dem betrachteten Schenkel zugeordnet sind.
  5. Magnetischer Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsspulen (70, 80), die derselben Diagonalen (102) zugeordnet sind, in Reihe und in differenzieller Schaltung angeordnet sind.
  6. Magnetischer Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Schenkel aus zwei verschiedenen Kernelementen gebildet sind.
  7. Magnetischer Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass er außerdem eine elektronische Steuerschaltung (15, 16) umfasst, die einen Erregungsstrom (18) entwickelt, der durch eine Reihe abwechselnd positiver und negativer Erregungsimpulse gebildet ist.
  8. Magnetischer Sensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass diese Erregungsimpulse (18) einen verhältnismäßig geringen Tastgrad besitzen, der in der Größenordnung von 1/8 liegt.
  9. Magnetischer Sensor nach Anspruch 7 abhängig von Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronische Steuerschaltung (15, 16) und die elektronische Messschaltung (20, 23, 24) in CMOS-Integrationstechnik auf Höhe der Hauptfläche (2) des Substrats verwirklicht sind.
  10. Magnetischer Sensor nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronische Schaltung, die jeder der Diagonalen zugeordnet ist, wenigstens umfasst:

    – eine Teilungsschaltung (12) für die Frequenz (fo) der Taktimpulse (11), die in diese Schaltung eingegeben werden,

    – eine Schaltung (16) für die Entwicklung und die Formung der Erregungsimpulse (18),

    – eine Gleichrichterschaltung (20), die auf die doppelte Frequenz (2f), der Erregungsfrequenz (f) gesteuert wird,

    – eine Glättungs- und Verstärkungsschaltung (23, 24).
  11. Magnetischer Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der magnetische Kern aus einem amorphen Werkstoff gebildet ist.
  12. Magnetischer Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schenkel (101, 102; 101A, 102A, 101B, 102B) des Kerns ellipsoidförmig sind.
Es folgen 4 Blatt Zeichnungen






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