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Dokumentenidentifikation DE102004057234A1 08.06.2006
Titel Substrathalter sowie Substrathalteeinrichtung
Anmelder Infineon Technologies AG, 81669 München, DE
Erfinder Eder, Florian, 91052 Erlangen, DE;
Rohde, Dirk, Dr., 91058 Erlangen, DE;
Halik, Marcus, Dr., 91058 Erlangen, DE;
Klauk, Hagen, Dr., 91058 Erlangen, DE;
Schmid, Günter, 91334 Hemhofen, DE
Vertreter Müller - Hoffmann & Partner Patentanwälte, 81667 München
DE-Anmeldedatum 26.11.2004
DE-Aktenzeichen 102004057234
Offenlegungstag 08.06.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 08.06.2006
IPC-Hauptklasse C23C 14/50(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, DE
IPC-Nebenklasse C23C 16/458(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   H01L 21/68(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   
Zusammenfassung Substrathalter (8) zur Befestigung an einer fixierten Gegenplatte (1), welche eine im Wesentlichen ebene Gegenplattenunterseite (6) und einen vorbestimmten Umfang aufweist, mit: einer Substrathalteplatte (14), welche eine im Wesentlichen ebene Oberseite (9) und eine im Wesentlichen ebene Unterseite (10) aufweist, auf welcher wenigstens eine Befestigungseinrichtung (7) zur Befestigung des Substrats (5) angeordnet ist, mit wenigstens einem Federschnappelement (11), welches an der Gegenplatte (1) einrastbar ist, so dass der Substrathalter (8) an der Gegenplatte (1) so befestigbar ist, dass die Oberseite (9) auf der Gegenplattenunterseite (6) im Wesentlichen plan aufliegt.

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft einen Substrathalter gemäß dem Oberbegriff des unabhängigen Anspruchs 1 sowie eine Substrathalteeinrichtung gemäß Anspruch 13.

Herkömmliche Substrathalter werden z. B. in Verdampfereinrichtungen verwendet zur Befestigung eines Substrats, welches z. B. bedampft werden soll. Der herkömmliche Substrathalter weist dabei eine Platte auf, die von oben, d. h. beispielsweise von der Decke der Verdampfereinrichtung, in die Verdampfereinrichtung hineinragt. Das Substrat wird mittels Klemmen an der Unterseite der Platte befestigt. Da die Platte von oben in die Verdampfereinrichtung hineinragt und das Substrat von unten auf der Unterseite der Platte befestigt werden muss, ist die Montage umständlich und kompliziert.

Das Substrat muss zunächst in der gewünschten Position auf der Platte festgehalten werden und anschließend müssen die Klemmen auf dem positionierten Substrat von unten angebracht werden, so dass das Substrat auf der Platte fixiert ist.

Nach der Montage des Substrats auf der Platte kann dieses beispielsweise bedampft werden. Anschließend muss das Substrat von der Platte demontiert bzw. abgenommen werden. Hierbei ergibt sich ein ähnliches Problem wie bei der Montage, da das Substrat von der Unterseite der Platte abgenommen werden muss, d. h., ein Benutzer muss zunächst die Klemmen entfernen und dabei das Substrat anderweitig festhalten.

Bei herkömmlichen Substrathaltern ist also eine „Über-Kopf-Montage bzw. Demontage" des Substrats auf der Unterseite der Platte notwendig. Diese ist beispielsweise besonders nachteilig, falls die Platte unterhalb der Augenhöhe eines Benutzers liegt, da der Benutzer sich in diesem Fall bücken muss, um das Substrat in gewünschter Art und Weise zu positionieren und auf der Platte zu fixieren.

Eine „Über-Kopf-Montage" ist also im Normalfall sehr umständlich und im sehr begrenzten Raum der engen Glove-Box beinahe unmöglich.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Substrathalter anzugeben für eine komfortable Montage bzw. Demontage des Substrats. Ferner liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Substrathalteeinrichtung anzugeben, bei welcher das Substrat in bequemer Art und Weise montiert bzw. demontiert werden kann.

Die Aufgabe wird bei einem Substrathalter der eingangs erwähnten Art erfindungsgemäß mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1 und bei einer Substrathalteeinrichtung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 13 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der jeweiligen abhängigen Ansprüche und/oder werden in der weiteren Beschreibung erläutert.

Der Substrathalter ist ausgebildet zur Befestigung an einer fixierten Gegenplatte. Die Gegenplatte weist eine im Wesentlichen ebene Gegenplattenunterseite und einen vorbestimmten Umfang auf. Die Gegenplatte kann beispielsweise Teil eines herkömmlichen Substrathalters einer Verdampfereinrichtung sein. Der erfindungsgemäße Substrathalter kann also vorteilhaft als Zusatzteil für einen herkömmlichen Substrathalter mit einer Gegenplatte verwendet werden. Dabei ist keine oder keine wesentliche bauliche Veränderung des herkömmlichen Substrathalters notwendig.

Der Substrathalter umfasst eine Substrathalteplatte. Die Substrathalteplatte weist eine im Wesentlichen ebene Oberseite und eine im Wesentlichen ebene Unterseite auf, wobei auf der Unterseite wenigstens eine Befestigungseinrichtung zur Befestigung des Substrats angeordnet ist. Bei der Befestigungseinrichtung kann es sich beispielsweise um Klemmeinrichtungen oder Klammern handeln, die bei einem herkömmlichen Substrathalter zur Befestigung des Substrats auf der Platte des herkömmlichen Substrathalters verwendet werden.

Erfindungsgemäß weist die Substrathalteplatte wenigstens ein Federschnappelement auf, welches an der Gegenplatte einrastbar ist, so dass die Substrathalteplatte an der Gegenplatte so befestigbar ist, dass die Oberseite auf der Gegenplattenunterseite im Wesentlichen plan aufliegt.

Es ist somit ein Aspekt der Erfindung, einen Substrathalter mit einer Substrathalteplatte anzugeben, auf deren Unterseite Klemmeinrichtungen zur Befestigung des Substrats angeordnet sind. Zur Montage des Substrats kann die Substrathalteplatte umgedreht auf eine Auflagefläche aufgelegt werden, d. h., so, dass die Unterseite der Substrathalteplatte nach oben weist. Das Substrat kann dann mittels der Befestigungseinrichtung bequem auf der Unterseite der Substrathalteplatte montiert werden. Anschließend dreht der Benutzer die Substrathalteplatte um, d. h., so, dass die Unterseite der Substrathalteplatte nach unten weist und befestigt die Substrathalteplatte an der Gegenplatte. Dies ist besonders bequem möglich, da keine zusätzlichen Handgriffe zur Befestigung notwendig sind – die Substrathalteplatte muss lediglich mit einem vorbestimmten Druck an die Gegenplatte angedrückt bzw. aufgesteckt werden, so dass das wenigstens ein Federschnappelement an der Gegenplatte einrastet. Anschließend kann das Substrat bedampft werden. Nach dem Bedampfen des Substrats kann die Substrathalteplatte bequem von der Gegenplatte abgenommen bzw. abgezogen werden. Dies ist bequem mit einer Hand möglich, da keine zusätzlichen Handgriffe, wie beispielsweise das Aufschrauben einer Schraubeinrichtung oder dergleichen notwendig sind. Es muss lediglich die Federkraft des wenigstens einen Federschnappelements überwunden werden, und die Substrathalteplatte kann bequem von der Gegenplatte entfernt bzw. abgenommen werden.

Vorteilhaft ist es, wenn das Federschnappelement über die Oberseite der Substrathalteplatte in einer vorbestimmten Höhe herausragt, wobei die vorbestimmte Höhe wenigstens der Dicke der Gegenplatte entspricht. Somit kann das Federschnappelement beispielsweise klammerartig ausgebildet sein und die Klammern sind an der Gegenplatte bzw. einer Oberkante der Gegenplatte einrastbar.

Vorteilhaft entspricht der Umfang der Substrathalteplatte im Wesentlichen dem Umfang der Gegenplatte, wobei die Substrathalteplatte rund ausgebildet ist (so wie auch die Gegenplatte), und es ist eine Mehrzahl von Federschnappelementen entlang des Umfangs der Substrathalteplatte angeordnet. Durch das Vorsehen einer Mehrzahl von Federschnappelementen ergibt sich eine stabilere und robustere Befestigung. Zusätzlich wird die Substrathalteplatte bei der Montage bzw. Befestigung an der fixierten Gegenplatte zentriert, da die Federschnappelemente zur durch die Oberseite bzw. Gegenplattenunterseite definierte Ebene horizontale bzw. parallele Kräfte ausüben. Die Federschnappelemente drücken die Substrathalteplatte somit in eine in Bezug auf die Gegenplatte zentrierte Position.

Vorteilhaft ist es weiterhin, wenn die Federschnappelemente einen Vorsprung aufweisen, welcher auf der Oberkante der Gegenplatte einrastbar ist.

Weiterhin können die Federschnappelemente Führungsmittel aufweisen, die bei einem Befestigungsvorgang zur Befestigung der Substrathalteplatte an der Gegenplatte an den Seitenflächen der Gegenplatte entlang gleiten und die Substrathalteplatte und/oder der Substrathalter somit beim Befestigungsvorgang führbar ist. Die Führungsmittel können beispielsweise durch flächige Elemente gebildet werden, wobei deren Fläche in einer Schräglage zu der Ebene der Oberseite liegen.

Es ist weiterhin von Vorteil, wenn die Substrathalteplatte eine ungeradzahlige Anzahl von Federschnappelementen aufweist. Somit ist mittels der Federschnappelemente eine Zentrierkraft erzeugbar, mittels welcher die Substrathalteplatte bezüglich der Gegenplatte zentriert justierbar ist.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn Substrathalteplatte drei Federschnappelemente aufweist. In diesem Fall wird die Substrathalteplatte an drei Punkten an der Gegenplatte gehalten. Gleichzeitig wird von den drei Federschnappelementen an den drei Haltepunkten eine horizontale Kraft ausgeübt, die zu einer Zentrierung der Substrathalteplatte bezüglich der Gegenplatte führt.

Das Federschnappelement kann ferner eine Blattfeder aufweisen, deren eines Ende an der Substrathalteplatte befestigt ist und deren anderes Ende eine Schnappeinrichtung bildet. Eine solche Blattfeder ist besonders billig in der Herstellung. Die Schnappeinrichtung kann beispielsweise Teil der Blattfeder sein und einen Vorsprung aufweisen, der an der Oberkante der Gegenplatte einrastbar ist oder an einer entsprechenden Vertiefung oder Aufnahmeeinrichtung in der Gegenplatte. Alternativ ist es möglich, dass die Federschnappelemente eine Blattfedereinrichtung aufweisen, deren eines Ende an der Substrathalteplatte befestigt ist und an deren anderem Ende der Vorsprung ausgebildet ist.

Der Vorsprung kann mittels der Kante eines quaderförmigen Körpers gebildet sein, wobei dessen Seitenflächen das Führungsmittel bildet. Als quaderförmiger Körper kann beispielsweise ein aus Metall gefertigter Quader oder Metallklotz verwendet werden, der an dem anderen Ende der Blattfedereinrichtung befestigt ist. Die Blattfedereinrichtung kann in diesem Fall an dem anderen Ende beispielsweise leicht nach außen gebogen sein, d. h. vom Mittelpunkt der Substrathalteplatte weg, so dass sich ein schräger flächiger Bereich der Blattfedereinrichtung ergibt. Auf diesem schrägen Bereich der Blattfedereinrichtung kann der quaderförmige Körper ausgebildet und/oder befestigt sein. Der quaderförmige Körper wird mit einer Seitenfläche auf dem schrägen Bereich der Blattfedereinrichtung montiert. Auf Grund der schrägen Lage des schrägen Bereichs der Blattfedereinrichtung weist eine Kante des quaderförmigen Körpers in Richtung des Mittelpunkts der Substrathalteplatte, die bevorzugt rund ausgebildet ist. Zusätzlich liegen die an der den Vorsprung bildenden Kante angrenzenden Seitenflächen des quaderförmigen Körpers schräg in Bezug auf die durch die Oberseite gebildete Ebene. Die an die Kante angrenzenden Seitenflächen des quaderförmigen Körpers bilden somit die Führungsmittel.

Außerdem ist es vorteilhaft, wenn die Substrathalteplatte durch die Platte hindurchreichende Löcher aufweist. Damit ist ein schnelleres Erreichen eines Vakuums einer Verdampfereinrichtung möglich, wobei die Substrathalteplatte und die fixierte Gegenplatte Teil der Verdampfereinrichtung sind. Durch die Löcher kann zwischen der Substrathalteplatte und der Gegenplatte vorhandene Luft schneller entfernt werden, als dies ohne die Löcher möglich wäre.

Bevorzugt weist wenigstens eine Mehrzahl der Löcher ein Gewinde auf zur Befestigung und/oder Veränderung der Position der Befestigungseinrichtung. Beispielsweise kann die Befestigungseinrichtung aus einer Mehrzahl von Klemmen bestehen, wobei die Klemmen beispielsweise mittels Schrauben oder anderen Befestigungsmitteln in den Löchern befestigt sind. Die Position der Klemmen kann durch einfaches Versetzen in unterschiedliche Löcher erfolgen.

Die Substrathalteeinrichtung umfasst einen Substrathalter. Der Substrathalter umfasst eine eine im Wesentlichen ebene Oberseite und eine im Wesentlichen ebene Unterseite aufweisende Substrathalteplatte, auf deren Unterseite wenigstens eine Befestigungseinrichtung zur Befestigung des Substrats angeordnet ist. Weiterhin umfasst die Substrathalteeinrichtung eine eine im Wesentlichen ebene Gegenplattenunterseite aufweisende fixierte Gegenplatte und eine Mehrzahl von Federschnappelementen zur Befestigung der Substrathalteplatte an der Gegenplatte. Dabei liegt die Oberseite der Substrathalteplatte auf der Gegenplattenunterseite auf.

Der Substrathalter ist an die Gegenplatte ansteckbar bzw. von dieser abnehmbar, wobei die Federschnappelemente beim Anstecken des Substrathalters an der Gegenplatte einschnappen bzw. einrasten.

Es ist möglich, dass die Federschnappelemente Teil des Substrathalters sind, d. h., die Federschnappelement sind an der Substrathalteplatte befestigt, wobei die Federschnappelemente an der Gegenplatte einrastbar sind.

Alternativ ist es möglich, dass die Federschnappelemente an der Gegenplatte befestigt bzw. Teil der Gegenplatte sind. Die Federschnappelemente sind dann an der Substrathalteplatte oder dem Substrathalter einrastbar.

Für den Fall, dass die Federschnappelemente Teil des Substrathalters sind, ist es vorteilhaft, wenn der Substrathalter wie oben ausgeführt ausgebildet ist. In anderen Worten umfasst die Substrathalteeinrichtung eine fixierte Platte bzw. Gegenplatte und einen oben definierten Substrathalter, welcher an der Gegenplatte mittels Federschnappelementen befestigbar bzw. einrastbar ist.

Die Erfindung und insbesondere bestimmte Merkmale, Aspekte und Vorteile der Erfindung werden anhand der folgenden detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen verdeutlicht.

1 zeigt eine herkömmliche Verdampfereinrichtung (Stand der Technik);

2 zeigt eine Substrathalteeinrichtung gemäß der Erfindung mit einem Substrathalter;

3 zeigt die erfindungsgemäße Substrathalteeinrichtung, wobei der Substrathalter an der Gegenplatte befestigt ist;

4 zeigt eine perspektivische Ansicht der Oberseite des Substrathalters; und

5 zeigt eine perspektivische Ansicht der Unterseite des Substrathalters.

1A zeigt eine Halteplatte 1, die an einem Haltestab 2 fixiert ist. Der Haltestab 2 ist dabei Teil einer Verdampfereinrichtung 3, welche beispielsweise in einer Glove-Box angeordnet ist. Die Verdampfereinrichtung 3 wird zum Bedampfen des Substrats verwendet, wobei zunächst ein Vakuum hergestellt wird. Zum Beheizen und/oder Kühlen der Halteplatte 1 ist ein Wasserkreislauf mit Wasserkreislaufschläuchen 4 vorgesehen.

Wie in 1A zu erkennen ist, ragt die Halteplatte 1 von oben in die Verdampfereinrichtung 3 hinein und ist am Haltestab 2 fixiert.

Bei der Anwendung der herkömmlichen Verdampfereinrichtung 3 aus 1A wird ein Substrat 5 auf der Unterseite 6 der Halteplatte 1 mittels Halteklemmen 7 bzw. einer Befestigungsvorrichtung befestigt. Da die Halteplatte 1 von oben in die Verdampfereinrichtung 3 hineinragt, muss das Substrat 5 auf der Unterseite 6 der Halteplatte 1 befestigt werden. Hierzu muss das Substrat 5 zunächst beispielsweise von Hand festgehalten werden und anschließend müssen die Halteklemmen 7 so positioniert werden, dass das Substrat 5 befestigt ist.

1B zeigt die Unterseite 6 der Halteplatte 1 mit den Halteklemmen 7, welche beispielsweise mittels Schrauben an der Halteplatte 1 befestigt sind. Die Halteklemmen 7 können somit verdreht und das Substrat 5 eingeklemmt werden.

Wie in der Einleitung beschrieben, ist die Montage des Substrats 5 auf der Unterseite 6 der Halteplatte 1 sehr umständlich, da eine „Über-Kopf-Montage bzw. Demontage" notwendig ist. Insbesondere im engen Raum der Glove-Box ist die Montage/Demontage extrem umständlich oder unmöglich.

Bei der herkömmlichen Verdampfereinrichtung aus 1A und 1B ist es nicht oder nur sehr schwer möglich, die Halteplatte 1 abzunehmen, insbesondere aufgrund der an diese angeschlossenen Kühlleitungen bzw. Wasserkreislaufschläuche 4. Würde man versuchen die Halteplatte 1 der herkömmlichen Verdampfereinrichtugn dennoch zu demontieren, so müsste man den Wasserkreislauf trennen. Beim Trennen der Wasserkreislaufschläuche 4 tritt jedoch Kühlflüssigkeit aus, welche zu besonders nachteiligen Verunreinigungen der Verdampfereinrichtung 3 führt. Ein Benutzer kann also die Halteplatte 1 der herkömmlichen Verdampfereinrichtung nicht abnehmen und es bleibt ihm nur die erwähnte „Über-Kopf-Montage bzw. Demontage" des Substrats 5 auf der Halteplatte 1.

Um dies zu verhindern, wird erfindungsgemäß ein Substrathalter 8 bereitgestellt (siehe 2A). Der Substrathalter 8 weist eine Substrathalteplatte 14 auf und kann an der Halteplatte 1 der herkömmlichen Verdampfereinrichtung 3 befestigt werden. Hierzu können beispielsweise die Halteklemmen 7 von der Halteplatte 1 bzw. der Gegenplatte entfernt werden. Somit ergibt sich eine im Wesentlichen ebene Unterseite 6 der Halteplatte 1, im Folgenden auch als Gegenplattenunterseite 6 bezeichnet.

Die Substrathalteplatte 14 weist eine im Wesentlichen ebene Oberseite 9 und eine im Wesentlichen ebene Unterseite 10 auf. Auf der Unterseite 10 sind Halteklemmen 7 beispielsweise mittels einer Schraubverbindung befestigt, als Befestigungseinrichtung für das Substrat 5.

An den Seitenflächen der Substrathalteplatte 14 sind Federschnappelemente 11 befestigt. Die Federschnappelemente 11 wiesen jeweils eine Blattfeder 12 sowie Metallklötze 13 bzw. einen quaderförmigen Körper aus Metall auf. Die Blattfeder 12 ist beispielsweise mittels einer Schraube an der Grundplatte 14 der Substrathalteplatte 8 befestigt. Ferner ist die Blattfeder 12 nach außen, d. h. vom Mittelpunkt der runden Substrathalteplatte 14 weg, umgebogen, so dass sich ein schräger Bereich 15 der Blattfeder 12 ergibt. Der schräge Bereich 15 bildet eine ebene Fläche, die schräg zu der durch die Oberseite 9 der Substrathalteplatte 14 gebildete Ebene liegt. Auf dem schrägen Bereich 15 der Blattfeder 12 ist der Metallklotz 13 beispielsweise mittels einer Schraube befestigt. Dabei liegt eine Seitenfläche des Metallklotzes 13 auf dem schrägen Bereich 15 auf. Dadurch ergibt sich auch eine Schräglage der Seitenflächen des Metallklotzes 13 gegenüber der Ebene der Oberseite 9. Insbesondere ergibt sich eine obere schräge Seitenfläche 16-1 des Metallklotzes 13, welche der Seitenfläche des Metallklotzes 13 gegenüberliegt, welche auf der Blattfeder 12 befestigt ist. Ferner ergibt sich eine untere schräge Seitenfläche 16-2 des Metallklotzes 13, welche an die obere schräge Seitenfläche 16-1 nach unten hin angrenzt und in Richtung der Oberseite 9 weist. Zwischen der oberen schrägen Seitenfläche 16-1 und der unteren schrägen Seitenfläche 16-2 liegt eine Kante 17 des Metallklotzes 13, die einen Vorsprung des Federschnappelementes 11 bildet.

In 2A ist die Bewegungsrichtung des Substrathalters 8 bei der Befestigung des Substrathalters 8 an der Gegenplatte 1 mit einem Pfeil angedeutet. Wie man erkennt, trifft bei der Befestigung bzw. beim Anstecken des Substrathalters 8 an die Halteplatte 1 die obere schräge Seitenfläche 16-1 auf die Unterkante der Gegenplatte 1. Bei der oberen schrägen Seitenfläche 16-1 handelt es sich somit um ein Führungsmittel im Sinne der Erfindung.

Beim Anstecken der Substrathaltera 8 auf die Gegenplatte 1 bewegt sich die Unterkante der Gegenplatte 1 entlang der oberen schrägen Seitenfläche 16-1 und dem Vorsprung 17. Sobald der Vorsprung 17 über die Oberkante der Gegenplatte 1 reicht, schnappen die Federschnappelemente 11 zu, wie dies in 3 gezeigt ist. Das heißt, die Blattfedern 12 werden beim Anstecken der Substrathalteplatte 8 nach außen hin, d. h. vom Mittelpunkt der Grundplatte 14 weg, umgebogen und führen nachdem der Vorsprung 17 die Oberkante der Gegenplatte 1 überragt, die Schnappbewegung durch. Die Blattfedern 12 kehren somit wieder in ihre Normalposition zurück. Es ist jedoch auch möglich, dass die Blattfedern 12 nach dem Einrasten bzw. nach dem Schnappvorgang noch leicht gespannt sind.

3 zeigt auch eine Wärmeleitmatte 19, welche optional zwischen der Substrathalteplatte 14 und der Gegenplatte 1 vorgesehen sein kann. Durch die Wärmeleitmatte 19 wird der Wärmeaustausch zwischen der Substrathalteplatte 14 und der Gegenplatte 1 optimiert.

2B zeigt die Unterseite 10 der Substrathalteplatte 14. Wie man erkennt, weist die Substrathalteplatte 8 Bohrungen 18 auf, welche durch die Substrathalteplatte 14 hindurchgehen. Die Bohrungen 18 dienen zur schnelleren Herstellung eines Vakuums, da Luft, die zwischen der Gegenplatte 1 und der Substrathalteplatte 14 eingeschlossen ist, durch die Bohrungen 18 schneller entweichen kann.

Die Bohrungen 18 weisen ferner Gewinde auf, in denen Schrauben zur Befestigung von Halteklemmen 7 vorgesehen sind. Somit erfüllen die Bohrungen 18 einen zweifachen Zweck: Sie dienen erstens zum schnelleren Erreichen eines Vakuums und zweitens zur Befestigung der Halteklemmen 7. Da eine Mehrzahl von Bohrungen 18 vorgesehen ist, können die Halteklemmen 7 bequem an verschiedenen Stellen auf der Unterseite 10 befestigt werden.

4 zeigt eine perspektivische Ansicht des Substrathalters 8. Wie man erkennen kann, ragen die Federschnappelemente 11 in einer vorbestimmten Höhe über die Oberseite 9 der Substrathalteplatte 14 hinaus. Die vorbestimmte Höhe entspricht dabei wenigstens der Dicke d der Gegenplatte 1 (vgl. auch 2A).

5 zeigt eine persektivische Ansicht des Substrathalters 8 von unten, wobei an der Unterseite 10 der Substrathalteplatte 14 Halteklemmen 7 befestigt sind.

Die folgenden weiteren Ausführungen können hilfreich sein, die Erfindung oder deren Hintergründe besser zu verstehen: Bisher war eine Halteplatte 1 an einer bekannten Verdampfereinrichtung fixiert und nicht abnehmbar, unter anderem wegen der Kühlleitungen bzw. Wasserkreislaufschläuche 4. Das heißt, die Proben mussten „über Kopf" an der Unterseite der Halteplatte 1 mit Klammern 7 angebracht werden. Dies ist besonders problematisch, da sich die Verdampfereinheit in einer Glove-Box befindet und daher sehr schlecht zugänglich ist.

Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird an die ursprüngliche Halteplatte 1 mittels eines selbstjustierenden Klemmmechanismus eine zweite, abnehmbare Platte, die Substrathalteplatte 8, angebracht. Auf diese Substrathalteplatte 8 werden dann die Proben bzw. das Substrat 5 montiert, welche bedampft werden sollen. Die Substrathalteplatte 14 ist Teil des Substrathalters 8, welcher mit einem Handgriff an der Halteplatte 1 montiert und demontiert werden. Eine „Über-Kopf-Montage bzw. Demonatage" wie beim herkömmlichen Verdampfer bzw. der herkömmlichen Verdampfereinrichtung ist im Normalfall sehr umständlich und im sehr begrenzten Raum der engen Box beinahe unmöglich.

Der Wärmeübertrag von der Substrathalteplatte 8 zu der Gegenplatte 1 für die Substratheizung wird durch eine Wärmeleitmatte optimiert.

Der Klemmmechanismus bzw. die Federschnappelemente 11 des Substrathalters 8 bzw. der Zusatzplatte lässt eine einfache und sehr schnelle Anbringung ded Substrathalters 8 an der Gegenplatte 1 zu. Die Montage bzw. Demontage des Substrathalters 8 kann insbesondere mit einer Hand erfolgen, wobei beispielsweise keine Schraubverbindungen oder dergleichen gelöst werden müssen. Es handelt sich also um eine einfache Steckverbindung, die mittels den Federschnappelementen 11 realisiert wird.

1Halteplatte 2Haltestab 3Verdampfereinrichtung 4Wasserkreislaufschläuche 5Substrat 6Unterseite der Halteplatte 1 bzw. Gegenplattenunterseite 7Halteklemmen bzw. Befestigungseinrichtung 8Substrathalter 9Oberseite der Substrathalteplatte 10Unterseite der Substrathalteplatte 11Federschnappelement 12Blattfeder 13Metallklötze 14Substrathalteplatte bzw. Zusatzplatte 15schräger flächiger Bereich der Blattfeder 12 16-1obere schräge Seitenfläche des Metallklotzes 13 16-2untere schräge Seitenfläche des Metallklotzes 13 17Vorsprung bzw. Kante des Metallklotzes 13 18Bohrungen 19Wärmeleitmatte

Anspruch[de]
  1. Substrathalter (8) zur Befestigung an einer fixierten Gegenplatte (1), welche eine im Wesentlichen ebene Gegenplattenunterseite (6) und einen vorbestimmten Umfang aufweist, mit:

    – einer Substrathalteplatte (14), welche

    – eine im Wesentlichen ebene Oberseite (9) und eine im Wesentlichen ebene Unterseite (10) aufweist, auf welcher wenigstens eine Befestigungseinrichtung (7) zur Befestigung des Substrats (5) angeordnet ist,

    gekennzeichnet durch

    – wenigstens ein Federschnappelement (11), welches an der Gegenplatte (1) einrastbar ist, so dass der Substrathalter (8) an der Gegenplatte (1) so befestigbar ist, dass die Oberseite (9) auf der Gegenplattenunterseite (6) im Wesentlichen plan aufliegt.
  2. Substrathalter (8) gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Federschnappelement (11) über die Oberseite (9) in einer vorbestimmten Höhe herausragt, wobei die vorbestimmte Höhe wenigstens der Dicke (d) der Gegenplatte (1) entspricht.
  3. Substrathalter (8) gemäß Anspruch 2,

    dadurch gekennzeichnet, dass

    – der Umfang der Substrathalteplatte (14) im Wesentlichen dem Umfang der Gegenplatte (1) entspricht, und dass

    – eine Mehrzahl von Federschnappelementen (11) entlang des Umfangs der Substrathalteplatte (14) angeordnet sind.
  4. Substrathalter (8) gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Federschnappelemente (11) einen Vorsprung (17) aufweisen, welcher an der Oberkante der Gegenplatte (1) einrastbar ist.
  5. Substrathalter (8) gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Federschnappelemente (11) Führungsmittel (16-1, 16-2) aufweisen, die bei einem Befestigungsvorgang zur Befestigung des Substrathalters (8) an der Gegenplatte (1) an den Seitenflächen der Gegenplatte (1) entlang gleiten und der Substrathalter (8) somit beim Befestigungsvorgang führbar ist.
  6. Substrathalter (8) gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Substrathalter (8) eine ungeradzahlige Anzahl von Federschnappelementen (11) aufweist.
  7. Substrathalter (8) gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Substrathalter (8) drei Federschnappelemente (11) aufweist.
  8. Substrathalter (8) gemäß einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Federschnappelement (11) eine Blattfeder (12) aufweist, deren eines Ende an der Substrathalteplatte (14) befestigt ist und deren anderes Ende eine Schnappeinrichtung bildet.
  9. Substrathalter (8) gemäß einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Federschnappelemente (11) eine Blattfedereinrichtung (12) aufweisen, deren eines Ende an der Substrathalteplatte (14) befestigt ist und an deren anderem Ende der Vorsprung (17) ausgebildet ist.
  10. Substrathalter (8) gemäß Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorsprung (17) mittels der Kante eines quaderförmigen Körpers (13) gebildet wird, wobei dessen Seitenflächen (16-1, 16-2) das Führungsmittel bildet.
  11. Substrathalter (8) gemäß einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Substrathalteplatte (14) wenigstens ein durch die Platte hindurchreichendes Loch (18) aufweist.
  12. Substrathalter (8) gemäß Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Mehrzahl der Löcher (18) ein Gewinde aufweisen zur Befestigung und/oder Veränderung der Position der Befestigungseinrichtung (7).
  13. Substrathalteeinrichtung mit:

    – einem Substrathalter (8), welcher eine Substrathalteplatte (14) aufweist, wobei die Substrathalteplatte (14) eine im Wesentlichen ebene Oberseite (9) und eine im Wesentlichen ebene Unterseite (10) aufweist, auf welcher wenigstens eine Befestigungseinrichtung (7) zur Befestigung des Substrats (5) angeordnet ist,

    – einer eine im Wesentlichen ebene Gegenplattenunterseite (6) aufweisenden fixierten Gegenplatte (1) und

    – einer Mehrzahl von Federschnappelementen (11) zur Befestigung der Substrathalteplatte (14) an der Gegenplatte (1).
  14. Substrathalteeinrichtung gemäß Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Federschnappelemente (11) an der Substrathalteplatte (14) befestigt und an der Gegenplatte (1) einrastbar sind.
  15. Substrathalteeinrichtung gemäß Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Federschnappelemente (11) an der Gegenplatte (1) befestigt und an der Substrathalteplatte (14) einrastbar sind.
  16. Substrathalteeinrichtung gemäß Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Substrathalter (8) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12 ausgebildet ist.
  17. Substrathalteeinrichtung gemäß einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Substrathalteplatte (14) und Gegenplatte (1) eine Wärmeleitmatte angeordnet ist, zur Wärmeübertragung zwischen der Substrathalteplatte (14) und der Gegenplatte (1).
Es folgen 5 Blatt Zeichnungen






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