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Dokumentenidentifikation DE10031947B4 14.06.2006
Titel Schaltungsanordnung zum Ausgleich unterschiedlicher Spannungen auf Leitungszügen in integrierten Halbleiterschaltungen
Anmelder Infineon Technologies AG, 81669 München, DE
Erfinder Esterl, Robert, 81827 München, DE;
Manyoki, Zoltan, 81739 München, DE
Vertreter Müller - Hoffmann & Partner Patentanwälte, 81667 München
DE-Anmeldedatum 30.06.2000
DE-Aktenzeichen 10031947
Offenlegungstag 24.01.2002
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 14.06.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 14.06.2006
IPC-Hauptklasse G11C 11/22(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, DE
IPC-Nebenklasse H01L 23/58(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   H01L 27/105(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   G11C 29/52(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zum Ausgleich einer Differenz zwischen einer Bitleitungsspannung hohen Pegels auf einer Bitleitung und einer Plateleitungsspannung hohen Pegels auf der Plateleitung eines ferroelektrischen RAM-Speichers gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Eine derartige Schaltungsanordnung ist aus EP 0 994 486 A2 bekannt.

Bislang wird die Schreib- und die Lesespannung auf einer Plateleitung und Bitleitung eines ferroelektrischen RAM-Speichers durch ein Generatorsystem erzeugt, das die Plateleitung und die Bitleitung zu gleichen Teilen versorgt.

Wenn ein solcher Spannungsgenerator eine einzige Ausgangsspannung erzeugt, kann es mit hoher Wahrscheinlichkeit vorkommen, daß die über die getrennten Bitleitungen und Plateleitungen zu mehreren Speicherbänken oder -segmenten verteilten Spannungen an bestimmten Punkten oder bei bestimmten Betriebszuständen der Speicherschaltung differierende Pegel aufweisen, die z. B. im Testmodus detektiert werden können.

DE 691 19 679 T2 beschreibt eine Ausgangsschaltung eines Abfühlverstärkers für einen Halbleiterspeicher. Dabei wird das Ausgangssignal des Halbleiterspeichers kurzzeitig stabil auf einem festgelegten Pegel gehalten, und zwar auch dann, wenn Ausgleichsimpulse, das heißt Signalunsicherheiten, auftreten.

Zu diesem Zweck ist bei der bekannten Ausgangsschaltung ein Transfergatter zwischen zwei gegenphasige Ausgangssignalleitungen geschaltet, das während der kurzen Zeit leitend gemacht wird. Die beiden genannten Ausgangssignalleitungen der bekannten Ausgangsschaltungen führen sonst prinzipiell immer entgegengesetztes Potential, das von zwei komplementär geschalteten Differenzverstärkern erzeugt wird. Demnach sollen bei der bekannten Ausgangsschaltung nicht zwei nominell gleiche Spannungspegel, die eine gewisse Differenz haben können, ausgeglichen werden, sondern kurzzeitig ein mittleres Potential zwischen zwei gegenphasigen Ausgangssignalen erzeugt werden.

DE 690 14 189 T2 beschreibt einen Halbleiterspeicher, der eine Schaltung zur Erzeugung eines Bitleitungsvorladesteuersignals enthält, das zum gemeinsamen Kurzschliessen aller Bitleitungen über Kurzschlusstransistoren verwendet wird. Durch die Ansteuerung der Gates dieser Kurzschlusstransistoren mit dem Bitleitungsvorladesteuersignal werden die Kurzschlusstransistoren im Augenblick der Vorladung leitend. Nach der Beendigung der Vorladung werden die Transistoren wieder gesperrt. Die Bitleitungen gewinnen dadurch ihre elektrische Unabhängigkeit zurück. Durch das Kurzschliessen der Bitleitungen miteinander erreicht man bei der bekannten Speicherschaltung, dass alle Bitleitungen auf den gleichen Wert vorgeladen werden und dass dieser Wert unabhängig von Ungleichheiten der Eigenschaften der Vorladetransistoren selbst ist.

Ein aus US 5,282,167 bekannter DRAM-Halbleiterspeicher weißt Störunterdrückungsspaltungen auf, deren Ausgang jeweils mit einer entsprechenden Wortleitung verbunden ist. Während einer Spannungsstressuntersuchung werden diese Störunterdrückungsschaltungen eingeschaltet und übertragen dadurch eine ihrem Eingang anliegende Stressspannung auf die Wortleitung. Im Normalbetrieb ist der Eingang der Störunterdrückungsspaltungen mit einem Erdungspunkt verbunden. Die Störunterdrückungsschaltungen werden in Übereinstimmung mit einem von einer entsprechenden Wortleitungsauswahlschaltung ausgegebenen Signal oder mit dem Pegel einer entsprechenden Wortleitung ein- und ausgeschaltet.

In dem in der Eingangs zum Oberbegriff des Patentanspruchs 1 zitierten EP 0 994 486 A2 beschriebenen Halbleiterspeicher mit Bitleitungen, Wortleitungen und Plateleitungen sind zwischen einer Plateleitung und mehreren Bitleitungen Spannungsausgleichtransistoren vorgesehen, die durch ein Signal PON1 einschaltbar sind. Diese Spannungsausgleichstransistoren werden zur Verbindung der Bitleitungen mit den Plateleitungen jedoch nur für eine kurze Zeitdauer während des Einschaltens der Versorgungsspannung oder nach deren Wiederkehr nach einem Spannungsabschaltvorgang leitend geschaltet. Während diesen kurzen Zeitabschnitten fangen wenigstens eine der Wortleitungen und im Wesentlichen gleichzeitig der Gateanschluss des Spannungsausgleichstransistors einen kurzen Impuls hohen Potentials, so dass ein in der Speicherzelle sitzender MOS-Transistor in den leitenden Zustand übergeht und dadurch die Bitleitung BL mit der Kapazität C der Speicherzelle verbindet. Gleichzeitig verbindet, wie erwähnt, der Spannungsausgleichstransistor die Plateleitung PL mit der Bitleitung BL und gleicht das Potential auf der Bitleitung BL und der Plateleitung PL während diesem kurzen Zeitabschnitt aus. Es ist in dieser Druckschrift jedoch nirgends erwähnt oder angeregt, den Spannungsausgleich zwischen den Bitleitungen und den Plateleitungen im Normalbetrieb auszuführen, d.h. während eines Schreib- und/oder Lesevorgangs, bei denen sowohl die Schreibspannung als auch die Lesespannung an der Bitleitung und der Plateleitung hohes Potential haben.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine einfache Schaltungsanordnung zum Ausgleich von unterschiedlichen Spannungen auf Leitungszügen in integrierten Halbleiterschaltungen, insbesondere der Bitleitungsspannung hohen Pegels und der Plateleitungsspannung hohen Pegels eines ferroelektrischen RAM-Speichers so anzugeben, daß sich die unterschiedlichen Spannungen (insbesondere Schreib- und Lesespannung) im Normalbetrieb ausgleichen und außerdem im Testmodus unabhängig voneinander bewerten lassen.

Zur Lösung der obigen Aufgabe ist eine erfindungsgemäße Schaltungsanordnung zum Ausgleich einer Differenz zwischen einer Bitleitungsspannung hohen Pegels auf einer Bitleitung und einer Plateleitungsspannung hohen Pegels auf der Plateleitung eines ferroelektrischen RAM-Speichers, wobei zwischen der Bitleitung und der Plateleitung ein Spannungsausgleichstransistor vorgesehen ist, der durch ein Steuersignal niederohmig schaltbar ist, um eine Spannungsdifferenz zwischen der Bitleitung und der Plateleitung auszugleichen, dadurch gekennzeichnet, dass für die Erzeugung der Schreib- bzw. Lesespannung auf der Bitleitung und der Plateleitung jeweils ein Bitleitungsspannungsgenerator und ein davon separater Plateleitungsspannungsgenerator vorgesehen sind, und

das Steuersignal ein inverses Testmode-Signal ist, das im Normalbetrieb des ferroelektrischen RAM-Speichers, während dem ein Testmodus ausgeschlossen ist und während dem der Bitleitungsspannungsgenerator und der Plateleitungsspannungsgenerator die Schreib- bzw. Lesespannung auf der Bitleitung und der Plateleitung jeweils mit hohem Pegel erzeugen, den Spannungsausgleichstransistor niederohmig schaltet.

Da der Spannungsausgleichstransistor den unterschiedlichen Spannungspegel bei einem ferroelektrischen RAM-Speicher auf der Plate- und Bitleitung kompensiert und im Testmodus hochohmig geschaltet wird, ist im Testmodus ein getrenntes Detektieren der Plate- und Bitleitungsspannungen möglich.

Bevorzugt ist der Spannungsausgleichstransistor ein MOS-Transistor, der mit seinem Source- und Drainanschluß jeweils mit der Bitleitung und der Plateleitung verbunden ist und an dessen Gateanschluß das Steuersignal, d. h. im Normalbetrieb das invertierte Testmodesignal, anlegbar ist.

Auf diese Weise ist der Spannungsausgleichstransistor im Testmodus hochohmig schaltbar, so daß im Testmodus eine Trennung der Plate- und Bitleitungsspannung erreicht ist. Dadurch ist bei einem ferroelektrischen RAM-Speicher eine bessere Charakterisierung der ferroelektrischen Speicherzelle möglich.

Nachstehend wird ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung anhand der einzigen Zeichnungsfigur näher beschrieben.

Die Figur zeigt – teilweise als Blockschaltbild – eine in einem integrierten ferroelektrischen RAM-Speicher 10 vorgesehene erfindungsgemäße Schaltungsanordnung. Die über eine Bitleitung 1 zu verteilende Bitleitungsspannung hohen Pegels VBL_H und die über eine Plateleitung 2 zu verteilende Plateleitungsspannung hohen Pegels VPL_H werden von einem VBL_H-Generator 3 und einem davon separaten VPL-Generator 4 separat erzeugt. Der VBL_H-Generator 3 und der VPL-Generator 4 werden von einer externen Spannung Vext 7 und 8 gespeist.

Der erfindungsgemäß vorgesehene Spannungsausgleichstransistor 5 bildet im Normalbetrieb eine niederohmige Brücke zwischen der Bitleitung 1 und der Plateleitung 2 und ist im Testmodus durch ein seinem Steueranschluss 6 zugeführtes Signal TESTMODE hochohmig schaltbar, so dass im Testmodus die Plate- und Bitleitungsspannung getrennt sind. Dadurch lassen sich die Plateleitungsspannung und die Bitleitungsspannung getrennt detektieren und somit die mit der Bitleitung und der Plateleitung verbundene ferroelektrische Speicherzelle (in der Figur nicht gezeigt) besser charakterisieren.

Im Ausführungsbeispiel ist der Spannungsausgleichstransistor ein MOS-Transistor 5, der in der in der Figur dargestellten Weise mit seinem Source- und Drainanschluss jeweils an der Bitleitung 1 und der Plateleitung 2 angeschlossen ist. Der MOS-Transistor 5 erhält an seinem Gateanschluss im Normalbetrieb das invertierte Testmode-Signal TESTMODE-C und wird dadurch nierohmig geschaltet.

1Bitleitung 2Plateleitung 3VBL_H-Generator 4VPL-Generator 5Spannungsausgleichstransistor 6Steuersignal TESTMODE-C 7, 8externe Spannung Vext 10ferroelektrischer RAM-Speicher VBL_HBitleitungsspannung hohen Pegels VPL_HPlateleitungsspannung hohen Pegels

Anspruch[de]
  1. Schaltungsanordnung zum Ausgleich einer Differenz zwischen einer Bitleitungsspannung (VBL_H) hohen Pegels auf einer Bitleitung (1) und einer Plateleitungsspannung (VPL_H) hohen Pegels auf der Plateleitung (2) eines ferroelektrischen RAM-Speichers (10), wobei zwischen der Bitleitung (1) und der Plateleitung (2) ein Spannungsausgleichstransistor (5) vorgesehen ist, der durch ein Steuersignal (6) niederohmig schaltbar ist, um eine Spannungsdifferenz zwischen der Bitleitung (1) und der Plateleitung (2) auszugleichen,

    dadurch gekennzeichnet,

    dass für die Erzeugung der Schreib- bzw. Lesespannung auf der Bitleitung (1) und der Plateleitung (2) jeweils ein Bitleitungsspannungsgenerator (3) und ein davon separater Plateleitungsspannungsgenerator (4) vorgesehen sind, und

    das Steuersignal (6) ein inverses Testmode-Signal (TESTMODE-C) ist, das im Normalbetrieb des ferroelektrischen RAM-Speichers (10), während dem ein Testmodus ausgeschlossen ist und während dem der Bitleitungsspannungsgenerator (3) und der Plateleitungsspannungsgenerator (4) die Schreib- bzw. Lesespannung auf der Bitleitung (1) und der Plateleitung (2) jeweils mit hohem Pegel erzeugen, den Spannungsausgleichstransistor (5) niederohmig schaltet.
  2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spannungsausgleichstransistor (5) ein MOS-Transistor ist, der mit seinem Sourceanschluß und seinem Drainanschluß jeweils an der Bitleitung (1) und der Plateleitung (2) angeschlossen ist und an dessen Gateanschluß das Steuersignal (6) anlegbar ist.
  3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Spannungsausgleichstransistor (5) im Testmodus, wenn kein Normalbetrieb herrscht, durch das wahre Testmode-Signal hochohmig schaltbar ist.
Es folgt ein Blatt Zeichnungen






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