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Dokumentenidentifikation EP1658615 29.06.2006
EP-Veröffentlichungsnummer 0001658615
Titel SCHIEFSPIEGLIGES NORMAL-INCIDENCE-KOLLEKTORSYSTEM FÜR LICHTQUELLEN, INSBESONDERE EUV-PLASMAENTLADUNGSQUELLEN
Anmelder Carl Zeiss SMT AG, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder SINGER, Wolfgang, 73431 Aalen, DE
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR
Sprache des Dokument DE
EP-Anmeldetag 27.08.2003
EP-Aktenzeichen 037479342
WO-Anmeldetag 27.08.2003
PCT-Aktenzeichen PCT/EP03/09466
WO-Veröffentlichungsnummer 0005031748
WO-Veröffentlichungsdatum 07.04.2005
EP-Offenlegungsdatum 24.05.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 29.06.2006
IPC-Hauptklasse G11C 11/22(2000.01)A, F, I, 20060418, B, H, EP








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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