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Dokumentenidentifikation EP1668680 27.07.2006
EP-Veröffentlichungsnummer 0001668680
Titel VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER HARTMASKE UND HARTMASKEN-ANORDNUNG
Anmelder Infineon Technologies AG, 81669 München, DE
Erfinder FEHLHABER, Rodger, 80687 München, DE;
TEWS, Helmut, 81549 München, DE
Vertragsstaaten DE, FR, GB
Sprache des Dokument DE
EP-Anmeldetag 30.09.2004
EP-Aktenzeichen 047868971
WO-Anmeldetag 30.09.2004
PCT-Aktenzeichen PCT/DE2004/002185
WO-Veröffentlichungsnummer 2005034215
WO-Veröffentlichungsdatum 14.04.2005
EP-Offenlegungsdatum 14.06.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 27.07.2006
IPC-Hauptklasse H01L 21/033(2000.01)A, F, I, 20060516, B, H, EP








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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