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Dokumentenidentifikation DE102005001581A1 03.08.2006
Titel Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung eines Prozessraumes
Anmelder Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE
Erfinder Lemke, Kuno, 74321 Bietigheim-Bissingen, DE;
Brechel, Karl, 74595 Langenburg, DE;
Däuber, Rolf, 74542 Braunsbach, DE;
Lang, Bernd, 91614 Mönchsroth, DE
DE-Anmeldedatum 13.01.2005
DE-Aktenzeichen 102005001581
Offenlegungstag 03.08.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 03.08.2006
IPC-Hauptklasse B08B 3/04(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, DE
IPC-Nebenklasse B08B 3/12(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   
Zusammenfassung Es wird eine Vorrichtung zur Reinigung eines in einem Gehäuse (2) abdichtbaren Prozessraumes (3), insbesondere eines Isolators (1), vorgeschlagen, wobei eine Zuführeinrichtung (6) zur Einleitung wenigstens eines Reinigungsmediums in den Prozessraum, eine Abführeinrichtung (26, 27, 28) zur Ableitung des Reinigungsmediums und wenigstens eine Einrichtung (29) zur Schwingungsanregung des Reinigungsmediums vorgesehen ist. Ein Verfahren zur Reinigung eines solchen Prozessraumes (3) umfasst die Verfahrensschritte: Einleitung wenigstens eines Reinigungsmediums in den Prozessraum (3); Abführung des Reinigungsmediums mit Sensierung des Kontaminierungsgrades des Reinigungsmediums; Wiederholung wenigstens eines der vorangehenden Verfahrensschritte, falls der Kontaminierungsgrad einen vordefinierten Wert überschreitet (Figur 1).








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