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Dokumentenidentifikation EP1678480 24.08.2006
EP-Veröffentlichungsnummer 0001678480
Titel VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ÄTZENDPUNKTSNACHWEIS
Anmelder Lam Research Corp., Fremont, Calif., US
Erfinder MCMILLIN, K., Brian, Fremont, CA 94555, US;
DASSAPA, Chandrasekar, Francois, Fremont, CA 94539, US
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 20.10.2004
EP-Aktenzeichen 047959358
WO-Anmeldetag 20.10.2004
PCT-Aktenzeichen PCT/US2004/034840
WO-Veröffentlichungsnummer 2005045890
WO-Veröffentlichungsdatum 19.05.2005
EP-Offenlegungsdatum 12.07.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 24.08.2006
IPC-Hauptklasse G01N 21/00(2000.01)A, F, I, 20060613, B, H, EP








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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