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Dokumentenidentifikation DE69734969T2 21.09.2006
EP-Veröffentlichungsnummer 0000858070
Titel HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN PLATTENMEDIUMSUBSTRAT
Anmelder Sony Corp., Tokio/Tokyo, JP;
Zeon Corp., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder OYANAGI, Eiki, Tokyo 141, JP;
SASA, Takeshi, Tokyo 141, JP;
IMAI, Yasuyuki, Tokyo 141, JP;
TAKINO, Hiroshi, Tokyo 141, JP;
KOHARA, Teiji, Tokyo 100, JP;
OSHIMA, Masayoshi, Tokyo 100, JP
Vertreter Müller - Hoffmann & Partner Patentanwälte, 81667 München
DE-Aktenzeichen 69734969
Vertragsstaaten DE, FR, GB
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 22.08.1997
EP-Aktenzeichen 979358629
WO-Anmeldetag 22.08.1997
PCT-Aktenzeichen PCT/JP97/02927
WO-Veröffentlichungsnummer 1998008217
WO-Veröffentlichungsdatum 26.02.1998
EP-Offenlegungsdatum 12.08.1998
EP date of grant 28.12.2005
Veröffentlichungstag im Patentblatt 21.09.2006
IPC-Hauptklasse G11B 5/82(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP
IPC-Nebenklasse G11B 5/64(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   G11B 5/84(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   G11B 23/00(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   

Beschreibung[de]
Technisches Gebiet

Diese Erfindung bezieht sich auf ein Plattenmedium, geformt durch z.B. Spritzgießen, und ausgezeichnet hinsichtlich der Glätte der Oberfläche, sowie ein Verfahren zur Herstellung desselben. Weiterhin bezieht sich diese Erfindung auf eine Plattenvorrichtung, die so angepasst ist, dass Aufzeichnungs-/Reproduktionsbetrieb durch einen Schwebekopf durchgeführt wird.

Hintergrund des Standes der Technik

Im Aufzeichnungs-/Reproduktionssystem zur Aufzeichnung/Reproduktion von digitalen Informationen im Hinblick auf ein Aufzeichnungsmedium, z.B. eine Magnetplatte durch den Magnetkopf wird die Magnetplatte bei hoher Geschwindigkeit zum Zeitpunkt des Betriebs rotiert, wobei Aufzeichnungs-/Reproduktionsbetrieb in dem Zustand durchgeführt wird, wo ein schwebender Schieber (ein Schwebekopf), einschließlich des hierauf montierten Magnetkopfes dazu gebracht wird, leicht über der Magnetplattenoberfläche zu schweben.

In diesem Fall, indem der Schwebekopf zum Schweben gebracht wird, muss die Schwebehöhe auf eine Grenze reduziert werden, um einen Zwischenraumverlust so weit wie möglich zu unterdrücken. Im Falle eines Schwebekopfes des Typs mit geringer Schwebehöhe wird die Schwebehöhe auf etwa 50 nm eingestellt. Wenn auf der Magnetplattenoberfläche ein Vorsprung höher als diese Schwebehöhe vorliegt, kollidiert der Magnetkopf mit diesem Vorsprung, was dazu führt, dass ein Bruch der Magnetplatte oder des Magnetkopfes auftritt.

Daher wird bei einem Aluminiumsubstrat, das im allgemeinen weitgehend als Magnetplattensubstrat eingesetzt wird, ein Biegungsbearbeiten (Drehbank) oder Drucktempern eingesetzt, um eine Welligkeit der hauptsächlichen Oberfläche bei der Endbearbeitung von 20 &mgr;m oder weniger zu erreichen, um danach hierauf eine elektronenlose Abscheidungsschicht einer Ni-P-Legierung (Plattierung) zu beschichten, so dass deren Dicke etwa gleich 30 &mgr;m beträgt, um eine notwendige Härte auf der Oberfläche bereitzustellen, um eine derartige Oberfläche abzuschleifen, so dass die durchschnittliche Oberflächenrauhigkeit gleich 0,02 &mgr;m beträgt, und die Dicke etwa 15 &mgr;m beträgt, wobei ein Hochglanzpolieren durchgeführt wird.

Jedoch hat ein derartiges Bearbeitungsverfahren das Problem, dass die Produktivität ziemlich gering (schlecht) ist, so dass nicht nur erhöhte Herstellungskosten resultieren, sondern es auch unmöglich ist, im voraus unebene Abschnitte bei dem Abschnitt, wo eine Hilfsmarke gebildet werden soll, gemäß beispielsweise der Verwirklichung von hoher Aufzeichnungsdichte, bereitzustellen.

Einerseits, wie beim Formen von optischen Plattensubstraten wohlbekannt, im Falle, wo Kunststoffmaterial verwendet wird, weisen beide Plattensubstrate keinen unebenen Abschnitt auf, und ein Plattensubstrat, auf dem unebene Abschnitte gebildet werden, kann leicht durch Auswahl von Metallformen oder Stempel zum Zeitpunkt des Spritzgießens gebildet werden.

Als das Magnetplattensubstrat für Harz wird ein Substrat unter Verwendung von thermoplastischem Norbornen-Harz in der offengelegten japanischen Patentanmeldungspublikation Nr. 1-53060/1995 offenbart. Wenn das für das Magnetplattensubstrat verwendete Kunststoffmaterial, z.B. Polycarbonat oder Polymethylmethacrylat etc., wie im optischen Plattensubstrat ist, ist die Deformation durch Feuchtigkeitsabsorption groß. Aus diesem Grund kann nicht unbedingt festgehalten werden, dass ein derartiges Material geignet ist. Zusätzlich, im Falle von Polymethylpenten oder Polystyrol etc., selbst wenn dieses Material ein Kunststoffmaterial von niedriger Feuchtigkeitsabsorption darstellt, wird das Substrat nach dem Formen durch Kristallinität deformiert oder die Wärmebeständigkeit ist unzureichend. Dies ist nicht bevorzugt.

Im Gegensatz hierzu, im Falle des Magnetplattensubstrats unter Verwendung von thermoplastischem Norbornen-Harz, findet eine Deformation durch Feuchtigkeitsabsorption oder Kristallinität kaum statt, und die Wärmebeständigkeit ist ebenfalls ausreichend.

Jedoch als das Ergebnis von Studien der Erfinder dieser Erfindung wurde festgestellt, dass selbst im Falle des Magnetplattensubstrats aus Harz unter Verwendung des thermoplastischen Norbornen-Harzes, obwohl die Oberflächenrauhigkeit von Metallform oder Stempel, die beim Spritzgießen verwendet werden, kontrolliert wird, so dass diese entsprechend in derselben Höhe liegen, wie beim Magnetplatten-Aluminiumsubstrat, ein Vorsprung höher als die Schwebehöhe des Magnetkopfes in unvorhersehbarer Weise auf der Oberfläche gebildet wird.

In der Magnetplatte unter Verwendung eines Magnetplattensubstrats mit einem derartigen Vorsprung, insbesondere im Falle, wo die Schwebehöhe des Schwebekopfes auf die Grenze reduziert wird, wird die Zuverlässigkeit in hohem Maße beinträchtigt.

Die EP-A-0 655 734 offenbart ein Magnetplattensubstrat, erhalten durch Spritzgießen eines thermoplastischen Norbornen-Harzes unter Verwendung einer Schmelzform, deren Oberfläche wie eine Spiegeloberfläche poliert ist, was in einer durchschnittlichen Oberflächenrauhigkeit des Substrats resultiert, die im allgemeinen im Bereich von 0,017 bis 0,020 liegt. Dieses Dokument wendet sich jedoch nicht den Problemen von Fremdteilchen zu, resultierend in Vorsprüngen mit einer Höhe von 50 nm oder mehr.

Das US-Patent Nr. 5 334 424 offenbart einen geformten Gegenstand, basierend auf einem thermoplastischen Norbornen, der als ein Substrat für ein Flüssigkristalldisplay eingesetzt werden kann, mit einer durchschnittlichen Oberflächenrauhigkeit von 0,05 &mgr;m oder weniger. Dieses Dokument beschäftigt sich jedoch nicht mit dem Problem von Fremdteilchen, resultierend in Vorsprüngen mit einer Höhe von 50 nm oder mehr. Obige Aspekte werden ebenfalls in der JP-A-2 201 731 offenbart, wobei sich dieses Dokument jedoch ebenfalls nicht mit dem Problem von Fremdteilchen, resultierend in Vorsprüngen mit einer Höhe von 50 nm oder mehr, beschäftigt.

Offenbarung der Erfindung

Ein Ziel dieser Erfindung ist es, ein Substrat für ein Plattenmedium bereitzustellen, worin es keine Kollision des Schwebekopfes gibt, und das in der Lage ist, hochzuverlässige Aufzeichnung/Reproduktion durchzuführen.

Weiterhin ist ein Ziel dieser Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung eines Substrats für ein Plattenmedium bereitzustellen, worin kein Vorsprung höher als die Schwebehöhe des Schwebekopfes auf der Oberfläche gebildet wird.

Als Ergebnis der Tatsache, dass die Erfinder dieser Erfindung energisch Studien unternommen haben, um die oben beschriebenen Ziele zu erreichen, haben sie festgestellt, dass die Anzahl von Fremdteilchen (Materialien) mit spezifischen Teilchendurchmesser oder mehr im Substrat-geformten Körper für ein Platten-Harzmedium so gesteuert wird, dass es gleich einen spezifischen Zahlenwert oder kleiner ist, um hierdurch die Gewinnung eines Substrats für ein Plattenmedium ohne Vorsprünge auf der Oberfläche leichter zu erhalten, wodurch diese Erfindung vervollständigt wird.

Das heißt, das Substrat für ein Plattenmedium dieser Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass in einem Substrat für ein Platten-Harzmedium, das in einem Plattenmedium verwendet wird, so angepasst ist, dass Aufzeichnung und/oder Reproduktion durch den Schwebekopf durchgeführt werden, wobei Vorsprünge mit einer Höhe von 50 nm oder mehr durch Fremdteilchen zumindest an der Oberfläche, wo der Schwebekopf scannt, nicht gebildet werden.

Wenn ein Vorsprung von 50 nm oder mehr auf der Oberfläche vorliegt, wo der Schwebekopf das Substrat des Plattenmediums scannt, kollidiert der Schwebekopf mit einem derartigen Vorsprung, und der Schwebekopf oder das Plattenmedium wird beschädigt.

Im Gegensatz hierzu, wenn ein Vorsprung mit einer Höhe von 50 nm oder mehr nicht vorliegt, gibt es keine Möglichkeit, dass eine derartige Kollision stattfindet. Somit kann eine hochzuverlässige Aufzeichnung/Reproduktion erreicht werden.

In dem Abschnitt unmittelbar unter dem Vorsprung, wie oben beschrieben, wird ein Fremdteilchen (Material) 2 im Substrat 1 für das Plattenmedium beobachtet. Es wurde festgestellt, dass ein Vorsprung mit einer Höhe H entsprechend diesem Teilchendurchmesser (Größe) D durch ein Fremdteilchen 2, das in diesem Substrat 1 für das Plattenmedium enthalten ist, entsteht.

Demgemäß, um ein Substrat für ein Plattenmedium herzustellen, wo eine Erhöhung wie zuvor beschrieben nicht vorliegt, ist es ausreichend, eine derartige Kontrolle durchzuführen, dass z.B. die Anzahl an Fremdteilchen mit Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr, die in den geformten Körper gemischt werden, 10.000/g oder weniger beträgt, bevorzugt 7.000/g oder weniger, noch bevorzugter 5.000/g oder weniger.

Darüber hinaus wird als ein Verfahren zur Kontrolle der Anzahl von Fremdteilchen im geformten Körper z.B. ein Verfahren erwähnt, in dem Harz mit einer geringeren Anzahl von Fremdteilchen verwendet wird, und ein Formen wird in einer Umgebung mit einem hohen Reinheitsgrad durchgeführt.

Da das Substrat für das Plattenmedium dieser Erfindung keine Vorsprünge mit einer Höhe von 50 nm oder mehr auf der Oberfläche aufweist, ist es möglich, eine Kollision des Schwebekopfes zu unterdrücken. Demgemäß ist es möglich, eine Beschädigung des Schwebekopfes oder der Platte an sich zu verhindern. Somit weist eine Platte, hergestellt unter Verwendung eines derartigen Substrats, z.B. eine Magnetplatte, eine Leistungsfähigkeit und/oder Zuverlässigkeit zum Zeitpunkt der Aufzeichnung/Reproduktion auf, die gleich jener einer Platte unter Verwendung eines Aluminiumsubstrats ist.

Somit können im Substrat für ein Plattenmedium dieser Erfindung ungleichmäßige Abschnitte, wie der Abschnitt, wo eine Hilfsmarke gebildet werden soll, und/oder der Abschnitt, wo ein Datenbereich gebildet werden soll etc., mit guter Positionsgenauigkeit, z.B. durch Spritzgießen etc., gebildet werden. Daher können z.B. Magnetplattensubstrate mit hoher Aufzeichnungsdichte mit guter Produktivität hergestellt werden. Somit ist der industrielle Wert extrem hoch.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

1 ist eine Modellansicht, die den Zustand zeigt, wo ein Vorsprung durch Fremdteilchen gebildet wird.

2 ist ein wesentlicher Teil einer schematischen Querschnittsansicht, die den Aufbau einer für die Studie verwendeten Magnetplatte zeigt.

3 ist ein charakteristisches Diagramm, das die Frequenz-Charakteristik von S/N in einer Schwebehöhe von 70 nm zeigt.

4 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die ein Beispiel einer Magnetplatteneinrichtung unter Verwendung des Schwebekopfes zeigt.

5 ist ein charakteristisches Diagramm, das die Beziehung zwischen Teilchendurchmesser von Fremdteilchen und Vorsprungshöhe zeigt.

6 ist eine schematische Draufsicht, die ein Beispiel eines Magnetplattensubstrats zeigt, auf dem unebene Abschnitte gebildet werden.

7 ist eine schematische Draufsicht, die in einer ausgedehnten Art und Weise den Abschnitt, wo ein Datenbereich gebildet werden soll, und den Abschnitt, wo eine Hilfsmarke gebildet werden soll, zeigt.

Beste Ausführungsform der Erfindung

Ein Substrat für ein Plattenmedium, z.B. ein Magnetplattensubstrat, dieser Erfindung ist auf ein Harzsubstrat gerichtet, das dadurch gekennzeichnet ist, dass es keinen Vorsprung einer Höhe von 50 nm oder mehr aufweist.

Studien wurden im Zusammenhang mit dem Fall durchgeführt, wo Aufzeichung/Reproduktion durch den Schwebekopf im Hinblick auf beispielsweise ein Spiegelsubstrat mit doppeltem Schichtfilm aus CoPtCr auf der Oberfläche durchgeführt werden.

Die Struktur der verwendeten Magnetplatte ist wie in 2 gezeigt. Auf ein Magnetplattensubstrat 11 werden in Abfolge eine Cr-Grundschicht 12, eine CoPtCr-Schicht 13, eine Cr-Zwischenschicht 14, eine CoPtCr-Schicht 15 und ein Kohlenstoff-Schutzfilm 16 gebildet. Die Gesamtdicke dieser Schichtabschnitte beträgt 100 nm oder weniger, und die magnetische Charakteristik der CoPtCr-Schicht beträgt Hc = 167 kA/m (2.100 Oe), Mr·&dgr; = 9,2 mA (116 G&mgr;m), S = 0,78, S* = 0,80 und Ms = 522 kA/m (6.600 G).

Als Aufzeichnungskopf wurde ein Kopf vom Induktionstyp mit einer Gap-Länge von 0,6 &mgr;m und einer Spurweite von 3,5 &mgr;m verwendet. Als Reproduktionskopf wurde ein MR-Kopf mit einer Gap-Länge von 0,36 &mgr;m und einer Spurweite von 2,5 &mgr;m verwendet. Der Aufzeichnungs/Reproduktionsbetrieb wurde unter der Bedingung einer Kopfschwebehöhe von 70 nm durchgeführt.

Folglich wurden, wie in 3 gezeigt, als S/N eines Signals mit einer Frequenz von 14 MHz bei einer Umfangsgeschwindigkeit von 7 m/s 25 dB erhalten. Dieser S/N von 25 dB ist ein ausreichender Wert, selbst wenn das Verstärkersystem des Systems und die Fehlerkorrektur etc. in Betracht gezogen werden.

Andererseits sind etwa 30% der Schwebehöhe eine Änderungshöhe durch Verarbeitungsvariationen (Unebenheit) des Schwebers, Gewichtsvariationen, Variationen der Höhe der Betriebseinheit, Krümmung des Substrats, Änderung der Suchzeit und/oder Druckwechsel, etc.

Im Hinblick auf die Schwebehöhe von 70 nm sind 30%, d.h. 20 nm, die Änderungshöhe und die verbliebene Höhe beträgt 50 nm. Wenn demgemäß ein Vorsprung von 50 nm oder mehr auf dem Magnetplattensubstrat vorliegt, gibt es die Möglichkeit, dass der Schwebekopf zerstört werden kann. Wenn im Gegensatz hierzu ein Vorsprung mit einer Höhe von 50 nm oder mehr nicht existiert, findet eine derartige Zerstörung kaum statt.

Als für das Formen des oben erwähnten Substrats für das Platten-Harzmaterial verwendetes Harzmaterial ist thermoplastisches Harz ausgezeichnet hinsichtlich der Wärmebeständigkeit, der Präzisionsformbarkeit und der niedrigen Feuchtigkeitsabsorptions-Deformationscharakteristik etc. bevorzugt.

Noch spezieller ist amorphes thermoplastisches Harz bevorzugt, worin vom Gesichtspunkt der Wärmebeständigkeit die Glasübergangstemperatur 100°C oder mehr, bevorzugt 120°C oder mehr beträgt, vom Gesichtspunkt der Präzisionsformbarkeit die Glasübergangstemperatur 300°C oder weniger, bevorzugt 250°C oder weniger, im amorphen Harz beträgt, und vom Gesichtspunkt der niedrigen Feuchtigkeitsabsorptions-Charakteristik das Wasserabsorptionsverhältnis (nach Eintauchen bei 25°C für 24 Stunden) 0,2% oder weniger, bevorzugt 0,1% oder weniger beträgt.

Im noch praktischeren Sinne werden aufgezählt z.B. Polystyrol-Harz; Polycarbonat-Harz, z.B. Poly(oxycarbonyl-1,4-phenylenisopropyliden-1,4-phenylen); Polyarylat-Harz, z.B. Poly((oxy-telephtaroyloxy-1,4-phenylenisopropyliden-1,4-phenylen)-(Copolymer)-(oxyisophtaloyloxy-1,4-phenylenisopropyliden-1,4-phenylen)), Terephthalsäure·Isophthalsäure·Bisphenol A-kondensierte polymerisierte Verbindung etc.; Polysulfon-Harz, z.B. Poly(oxy-1,4-phenylensulfonyl-1,4-phenylenoxy-1,4-phenylenisopropyliden-1,4-phenylen); Polyethersulfon-Harz, z.B. Poly(oxy-1,4-phenylensulfonyl-1,4-phenylen); Polyetherimid-Harz, z.B. 4,4'-[Isopropyliden-bis-(p-phenylenoxy)]diphthalsäuredianhydrid·m-Phenylendiamin-kondensierte polymerisierte Verbindung; Cyclodien-System-Harz, z.B. hydriertes Cyclopentadienpolymer oder hydriertes Cyclohexadienpolymer etc., offenbart in der offengelegten japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 136057/1994, oder der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 258362/1995 etc.; thermoplastisches Norbornen-Harz. Thermoplastisches Norbornen-Harz ist z.B. ein Ringöffnungspolymer von Norbornenmonomer, hydriertem Ringöffnungspolymer von Norbornenmonomer, Additionspolymer von Norbornenmonomer, Additions-Copolymer von Norbornenmonomer und Olefin, offenbart in der offengelegten japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 80400/1976, der offengelegten japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 26024/1985, der offengelegten japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 168725/1989, der offengelegten japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 190726/1989, der offengelegten japanischen Patentanmeldung 14882/1991, der offengelegten japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 122137/1991 und der offengelegten japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 63807/1992 etc. Insbesondere ist thermoplastisches Norbornen-Harz bevorzugt, worin die Wärmebeständigkeit, die Präzisionsformbarkeit und die niedrige Feuchtigkeitsabsorptions-Charakteristik etc. gut ausgeglichen sind.

Als Monomere zum Erhalt des thermoplastischen Norbornen-Harzes können gut bekannte Monomeren in den oben genannten Veröffentlichungen, der offengelegten japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 27424/1990 und der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 276842/1990 etc. eingesetzt werden. Beispielsweise gibt es Norbornen, Alkyl hiervon, Alkyliden, Alkenyl, aromatisch substituiertes Derivat und Halogen-substituiertes oder -unsubstituiertes Olefin hiervon, und mit polaren Gruppen substituiertes Material von Hydroxylgruppen, Estergruppen, Alkoxygruppen, Cyanogruppen, Amidgruppen, Imidgruppen, Silylgruppen etc. Als tatsächliche Beispiele werden angegeben: 2-Norbornen, 5-Methyl-2-norbornen, 5,5-Dimethyl-2-norbornen, 5-Ethyl-2-norbornen, 5-Butyl-2-norbornen, 5-Hexyl-2-norbornen, 5-Octyl-2-norbornen, 5-Octadecyl-2-norbornen, 5-Ethyliden-2-norbornen, 5-Isopropenyl-2-norbornen, 5-Methoxycarbonyl-2-norbornen, 5-Cyano-2-norbornen, 5-Methyl-5-methoxycarbonyl-2-norbornen, 5-Phenyl-2-norbornen, 5-Phenyl-5-methylnorbornen etc.

Darüber hinaus können Monomere, in denen ein Cyclopentadien oder mehr zum Norbornen zugegeben werden und ein Derivat oder substituiertes Material ähnlich zu obigen eingesetzt werden. Als tatsächliche Beispiele werden aufgelistet: 1,4:5,8-Dimethano-1,4:4a,5,6,7,8,8a-octahydronaphthalin, 6-Methyl-1,4:5,8-dimethano-1,4,4a,5,6,7,8,8a-octahydronaphthalin, 6-Ethyl-1,4:5,8-dimethano-1,4,4a,5,-6,7,8,8a-octahydronaphthalin, 6-Ethyliden-1,4:5,8-di-methano-1,4,4a,5,6,7,8,8a-octahydronaphthalin, 6-Methyl-6-methoxycarbonyl-1,4:5,8-di-methano-1,4,4a,5,6,7,8,8a-octahydronaphthalin, 6-Cyano-1,4:5,8-dimethano-1,4,4a,5,6,7,8,8a-octahydronaphthalin etc.

Weiterhin können Monomere von polycyclischer Struktur, die ein Polymer von Cyclopentadien und einem Derivat oder substituierten Material, das ähnlich zu obigem ist, verwendet werden. Als tatsächliche Beispiele werden aufgelistet Dicyclopentadien, 1,4:5,8-Dimethano-1,2,3,4,5,6,7,8,8a-2,3-cyclopentadienonnaphthalin, 1,4:5,10:6,9-Trimethano-1,2,3,4,4a,5,5a,6,9,9a,10,10a-dodecahydro-2,3-cyclopentadienanthracen, 2,3-Dihydrodicyclo-pentadien etc.

Weiterhin können Cyclopentadien und Tetrahydroinden, Inden, Benzofuran etc. und Additionsmaterial (Produkt) hiervon, sowie ein Derivat oder substituiertes Material, das ähnlich zu obigen ist, eingesetzt werden. Als tatsächliche Beispiele können aufgelistet werden: 1,4-Methano-1,4,4a,4b,5,8,8a,9a-octahydrofluoren, 5,8-Dimethano-1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydro-2,3-cyclopentadienonaphthalin, 1,4-Methano-1,4,4a,9a-tetrahydrofluoren, 1,4-Methano-1,4,4a,9a-tetrahydrodibenzofuran etc.

Das in dieser Erfindung eingesetzte thermoplastische Norbornen-Harz umfasst mindestens eine Art von Monomer oder mehr, ausgewählt aus den oben erwähnten Monomeren, und kann ein Monomer enthalten, das die Charakteristik, wie Löslichkeit eines Ziel-Poylmers etc., im wesentlichen nicht beinträchtigt, und die zusätzlich zu den oben erwähnten Monomeren in dem Bereich, der einer Verbesserung unterliegt, copolymerisierbar sind. Als copolymerisierbares Monomer ist aufzulisten: Cycloolefin, wie Cyclopenten, Cyclohexen, Cyclohepten oder Cycloocten etc.

Weiterhin im Falle, wo das thermoplastische Norbornen-Harz ein Additions-Copolymer von Norbornenmonomer und einem Olefin ist, wird ein &agr;-Olefin, wie Ethylen, Propylen, 1-Buten, 1-Hexen, 4-Methyl-1-penten, Styrol etc. als Olefin verwendet.

Die gemessene Grenzviskosität [&eegr;] dieser thermoplastischen Norbornen-Harze, gemessen in Decalin oder Toluol bei 25°C beträgt 0,01 bis 20 dl/g, bevorzugt 0,05 bis 10 dl/g, und noch bevorzugter 0,1 bis 5 dl/g. Wenn die Grenzviskosität zu klein ist, wird die Form des Polymers nicht aufrechterhalten. Wenn die Grenzviskosität zu groß ist, wird die Formbarkeit gering.

Darüber hinaus beträgt die Glasübergangstemperatur (nachfolgend abgekürzt als Tg) dieser thermoplastischen Norbornen-Harze 50 bis 200°C, bevorzugt 70 bis 180°C und noch bevorzugter 80 bis 160°C.

Es ist festzuhalten, dass verschiedene Arten von Additiven, z.B. Antioxidantien, wie Phenol-Systeme oder Phosphor-Systeme etc., Ultraviolett-absorbierende Mittel, wie Benzophenon-Systeme etc., Lichtbeständigkeits-Stabilisatoren, antistatische Mittel und Schmiermittel, wie Ester von Fettalkoholen, partielle Ester oder Ether von mehrwertigen Alkoholen etc., den oben erwähnten thermoplastischen Norbornen-Harzen, wenn erforderlich, zugegeben werden können. Darüber hinaus kann ein anderes Harz oder Kautschukpolymer etc. im gemischten Zustand im Bereich, wo die Ziele dieser Erfindung nicht beinträchtigt werden, zugegeben werden.

Ein Material, in dem die Anzahl an Fremdteilchen mit Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr im thermoplastischen Norbornen-Harz, das bevorzugt in dieser Erfindung verwendet wird, reduziert wurden, ist z.B. in der offengelegten japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 57615/1991 offenbart. Die Anzahl an Fremdteilchen mit Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr im Pellet beträgt etwa 6 × 104/g als Minimum. Dieser Wert ist unzureichend, um den Vorsprung auf dem magnetischen Plattensubstrat zu entfernen.

Um Harz-Pellets mit Teilchendurchmessern von 0,5 &mgr;m oder mehr mit einem Anteil von Fremdteilchen von 10.000/g oder weniger, die in dieser Erfindung eingesetzt werden, herzustellen, kann eine derartige Herstellung durch ein Filterungsverfahren mit Mehrstufen durchgeführt werden, z.B. eine Lösung, in der synthetisiertes Harz in einem Lösungsmittel gelöst wird, unter Verwendung eines Filters mit geringer Maschenweite von etwa 0,2 &mgr;m, gefolgt von einem Filter mit großer Maschenweite von etwa 1 bis 5 &mgr;m, oder durch Filtern einer derartigen Lösung mit einem Filter mit einer Absorptionsfähigkeit durch das &xgr;(zeta)-Potential in einer Art und Weise hiermit kombiniert oder für sich, und danach Erhitzen der Harzlösung im dekomprimierten Zustand im geschlossenen System, so dass jedes Fremdmaterial aus der äußeren Umgebung nicht gemischt wird, um ein Entfernen der Schmiermittel-Komponente durchzuführen, und ein Abkühlen/Herstellen von Pellets in einer Umgebung hohen Reinheitsgrads, z.B. in einem Reinraum etc., durchzuführen oder dergleichen.

Im Falle von Spritzguss des Magnetplattensubstrats unter Verwendung von Harz-Pellets, worin die Anzahl von Fremdteilchen kontrolliert wurde, wird ein derartiger Versuch ebenfalls in diesem Falle eingesetzt, um ein Spritzgießen in einer Umgebung von hohem Reinheitsgrad, z.B. einem Reinraum etc., durchzuführen, wodurch es möglich wird, die Anzahl an Fremdteilchen im Harzformkörper so aufrechtzuerhalten, dass diese entsprechend einer ähnlichen Anzahl von Fremdteilchen im Harz zum Formen ist.

Das Substrat für ein Platten-Harzmedium gemäß dieser Erfindung wird durch Spritzguss so geformt, dass das Gebiet des Schwebebewegungsbereichs glatt oder ungleichmäßig wird. Im Falle, wo das Gebiet des Schwebebewegungsbereichs glatt ist, wird ein Versuch unternommen, eine Hilfsmarke durch einen Hilfsschreiber zu schreiben, um dem Schwebekopf zu ermöglichen, den Aufzeichnungsspuren zu folgen oder eine Adressinformation zu geben. Darüber hinaus, im Falle, wo unebene Abschnitte im Schwebebewegungsbereich so vorgesehen werden, dass die Abschnitte, wo Aufzeichnungsspuren gebildet werden sollen, konvex werden, und die Abschnitte, wo die Führungsspuren gebildet werden sollen, konkav werden, ist ein derartiger Versuch vorteilhaft bei der Realisierung von hoher Aufzeichnungsdichte durch Verengung der Aufzeichnungsspurbreite. In diesem Fall beträgt die Tiefe einer konkaven Abschnittsoberfläche, bezogen auf die konvexe Abschnittsoberfläche, üblicherweise 0,05 bis 0,3 &mgr;m.

Für Spritzguss eines glatten Substrats für ein Plattenmedium wird ein glatter Stempel etc., hergestellt durch eine hochglanzpolierte glatte Metallform oder elektronenloses Plattieren, verwendet. Die Oberflächenrauhigkeit einer derartigen glatten Oberfläche beträgt gewöhnlich 2,0 nm oder weniger, bevorzugt 1,0 nm oder weniger, im Hinblick auf den durchschnittlichen Rauhigkeitswert Ra der Mittellinie.

Für ein Spritzgießen des Substrats für ein Plattenmedium mit unebenen Abschnitten wird ein Stempel verwendet etc., wobei unebene Abschnitte gebildet werden durch die in der Hilfsmarkenbildung von Stempeln für magnetooptische Platten verwendete Haupttechnologie etc. Die Oberflächenrauhigkeit der konvexen Abschnittsoberfläche und der konkaven Abschnittsoberfläche beträgt gewöhnlich jeweils 2,0 nm oder weniger, bevorzugt 1,0 nm oder weniger, für den durchschnittlichen Rauhigkeits-Ra-Wert der Mittellinie.

Das Plattenmedium, z.B. die Magnetplatte, ist von einer Struktur, in der mindestens eine Magnetschicht auf einem Substrat für ein Plattenmedium, wie zuvor beschrieben, gebildet wird.

Weiterhin ist es bevorzugt, dass diese Magnetplatte so angepasst ist, dass die Magnetschicht gleichmäßig über die Gesamtheit des Schwebebewegungsbereichs des Magnetplattensubstrats gebildet wird. Darüber hinaus, im Falle eines Magnetplattensubstrats mit unebenen Abschnitten, ist es bevorzugt, dass eine Magnetisierungsrichtung beim konkaven Abschnitt und eine Magnetisierungsrichtung beim konvexen Abschnitt einander entgegengesetzt sind. Somit wird der Magnetisierungsumkehrabschnitt, wo ein Verlust des magnetischen Flusses erzeugt wird, durch die Grenze zwischen dem konkaven Abschnitt und dem konvexen Abschnitt des Magnetplattensubstrats festgelegt, und somit werden unebene Abschnitte mit guter Genauigkeit durch Spritzguss von Harz gebildet. Demgemäß wird die die Lage betreffende Genauigkeit einer Hilfsmarke ausgezeichnet.

Es ist festzuhalten, dass eine Grundierungsschicht, Schutzschicht und Schmiermittelbeschichtungsschicht etc. auf dem Magnetplattensubstrat vorgesehen werden können. Die Materialien, die die Grundierungsschicht, die Magnetschicht, die Schutzschicht und die Schmiermittelbeschichtungsschicht aufbauen, und die Verfahren zum Bilden dieser Schichten, können irgendwelche herkömmlich gut bekannten Materialien und Verfahren sein. Obwohl nicht besonders beschränkt, sind z.B. das Verfahren zum Bilden der Grundierungsschicht von Cr, Mo etc., das Verfahren zum Bilden der Magnetschicht durch metallischen, magnetischen Dünnfilm, wie CoPt, CoPd, CoCrPt etc., das Verfahren zum Bilden der Schutzschicht durch ein Zerstäubungsverfahren etc., unter Verwendung von C, SiO2 etc. repräsentativ. Zusätzlich kann die Schmiermittel-beschichtete Schicht durch Beschichtung eines Schmiermittels, z.B. Perfluorpolyether (Handelsname: Fomblin Z-DOL etc.) durch ein Spinbeschichtungsverfahren etc. gebildet werden.

Die Magnetplatte wird in die Magnetplatten-Einheit eingebracht. Somit wird ein Aufzeichungs-/Reproduktionsbetrieb durchgeführt. In diesem Fall umfasst die Magnetplatten-Einheit z.B. eine Magnetplatte, einen Kopfschweber, der so angepasst ist, dass mindestens ein Abschnitt hiervon sich zum Zeitpunkt der Aufzeichnung/Reproduktion im Umlauf befindet, sowie ein Magnetkopf, montiert am Kopfschweber, um Aufzeichung/Reproduktion im Hinblick auf die Magnetplatte durchzuführen.

4 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die ein Beispiel einer Magnetplatten-Einheit zeigt.

Diese Magnetplatten-Einheit 21 ist so angepasst, dass ein Spindelmotor 29 an der Rückseite des ebenen Abschnitts eines Gehäuses 22, gebildet aus einer Aluminiumlegierung, angeordnet ist etc., und umfasst eine Magnetplatte 23, die rotationsmäßig angetrieben wird, z.B. mit konstanter Winkelgeschwindigkeit durch diesen Spindelmotor 29.

An diesem Gehäuse 22 ist weiterhin ein Arm 24 rotierbar mit einem vertikalen Schaft 24a verknüpft, der der rotierende Schaft ist. Ein Schwingspulenmotor 27 ist an einem Ende dieses Arms 24 befestigt, und ein Kopfschweber 26 ist an dem anderen Ende dieses Arms 24 befestigt.

Der Schwingspulenmotor 27 ist zusammengesetzt aus einem Abdeckbügel 27a, einem Bodenbügel 27b, einer Schwingspule 25 und einem Magnet 27c. Der Abdeckbügel 27a und der Bodenbügel 27b sind in einer derartigen Art und Weise angeordnet, dass die Schwingspule 25 und der Magnet 27c dazwischen untergebracht sind, und der Magnet 27c ist an dem Bodenbügel 27b befestigt.

Wenn der Spindelmotor 29 läuft, wird die Magnetplatte 23 in der in dieser Art und Weise aufgebauten Magnetplatten-Einheit bei konstanter Winkelgeschwindigkeit rotiert. Wenn Strom von außen zur Schwingspule 25 zugeführt wird, rotiert der Arm 24 mit dem vertikalen Schaft 24a, der das Zentrum der Rotation auf Basis der Kraft, erzeugt durch das Magnetfeld des Magneten 27c, darstellt, und Strom fließt in die Schwingspule 25. Somit wird der Kopfschweber 26, der am anderen Ende des Arms 24 befestigt ist, im wesentlichen in radialer Richtung zur Magnetplatte 23 bewegt, während er sich auf deren Oberfläche fortbewegt, gefolgt von Rotation der Magnetplatte 23, so dass die sogenannte Such-Operation durchgeführt wird.

Der Kopfschweber 26 ist so angepasst, dass entlang beider Seitenkanten der Oberflächen, entgegengesetzt zur Magnetplatte 23, Schienen gebildet werden. Somit wird der Kopfschweber 26 veranlasst, durch Luftstrom, der in der Lücke zwischen diesen Schienen fließt, zu Schweben, gefolgt von Rotation der Magnetplatte 23.

Die Erfindung wird nun in praktischerem Sinne unter Heranziehen von Ausführungsformen und Vergleichsbeispielen beschrieben, aber diese Erfindung ist nicht auf diese Ausführungsformen beschränkt. Zusätzlich sind in den Harz-Herstellungsbeispielen, den Ausführungsformen und Vergleichsbeispielen, die nachfolgend beschrieben werden, Teile und Prozent auf Gewichtsbasis, solange keine spezielle Angabe gemacht ist.

Harz-Herstellungsbeispiel 1

100 Teile Ringöffnungspolymer, synthetisiert aus einem Monomer, umfassend 90% 6-Methyl-1,4:5,8-dimethano-1,4,4a,5,6,7,8,8a-octahydronaphthalin (nachfolgend bezeichnet als MTD) und 10% 5-Methyl-2-norbornen, wurden in 400 Teilen Cyclohexan gelöst, um Nickel-Aluminiumoxid-Katalysator (Nikki Kagaku Co.) als Hydrierungskatalysator zuzugeben, um dessen Druck durch Wasserstoff so zu erhöhen, dass er gleich 50 kg/cm2 beträgt, und um die Temperatur so zu erhöhen, dass sie gleich 200°C beträgt, während gerührt wird, wonach man das Produkt vier (4) Stunden reagieren lässt, um ein ringgeöffnetes polymerisiertes Hydridpolymer zu synthetisieren.

Eine Reaktionsflüssigkeit eines Polymergehalts von 20%, einschließlich nicht-einheitlichem Wasserstoff-Katalysator, wurde bei einem Druck von 2,5 kg/cm2, unter Verwendung eines Druckfilters (Funda Filter, Ishikawazima Harima Juko Co.) mit Radiolite #500 als Filterbett druckfiltriert. Somit wurde eine transparente Lösung (Lösung I) erhalten.

100 Teile Lösung I wurden durch einen Metallfaserfilter (Maschenweite 3 &mgr;m, Nichidai Co.) und einen Metallfaserfilter (Maschenweite 0,2 &mgr;m, Nichidai Co.) weiter filtriert, um Fremdmaterial zu entfernen. Somit wurde Lösung II erhalten. Die Lösung II wurde verwendet, um Cyclohexan zu entfernen, das die flüchtige Komponente unter Arbeits(Betriebs)bedingung des ersten Schritts darstellt: Temperatur 270°C und Druck 100 Torr, und der zweite Schritt: Temperatur 270°C und Druck 5 Torr, durch den zylindrischen Kondenstrockner (Hitachi Seishakusho). Ein Polymer im geschmolzenen Zustand wird aus der Form im Reinraum der Klasse 1000 entnommen, um dieses mit Wasser abzukühlen, wonach ein Schneiden durch einen Granulator (OSP-2, Nagata Seisakusho) durchgeführt wird. Somit wurden 18 Teile Pellets (Polymer A) erhalten. Das Polymer A wurde in das Dichtungsgefäß aus rostfreiem Stahl gefüllt, dessen Oberfläche poliert war, und wurde darin gelagert. Als Ergebnis der Tatsache, dass eine 10%ige Toluol-Lösung des Polymers A durch Gaschromatographie analysiert wird, war der verbliebene Cyclohexan-Gehalt an der Nachweisgrenze oder darunter. Das Polymer A war transparent, das Polystyrol-umgewandelte Molekulargewicht durch GPC-Analyse betrug Mn: 27.000 und Mw 56.000, und Tg, gemessen durch DSC-Analyse betrug 140°C. Ferner betrug der Wasserstoff-Zugabeprozentsatz, gemessen durch das 1H-NMR-Spektrum, als Dichloroform-Lösung, im wesentlichen 100%. Dann wurde eine 1,5%ige Lösungskonzentration unter Verwendung von Toluol hergestellt, in dem Polymer A filtriert wurde, und durch 0,2 &mgr;m-Kartuschenfilter filtriert, um die Anzahl an Fremdteilchen (Materialien) mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr, unter Verwendung von einem Mikroteilchen-Detektor vom Lichtzerstäubungs-Typ (KS-58, Ryon Co., Ltd.) zu messen. Folglich betrug die Anzahl an Fremdteilchen 6,2 × 103/g.

Harz-Herstellungsbeispiel 2

100 Teile der Lösung I, erhalten im Harz-Herstellungsbeispiel 1, wurden zweimal durch einen Filter mit einer Maschenweite von 3 &mgr;m und einen Filter einer Maschenweite von 0,2 &mgr;m filtriert, die ähnlich zu jenen sind, die im Harz-Herstellungsbeispiel 1 verwendet wurden, um Fremdmaterial zu entfernen. Somit wurde Lösung III erhalten. Diese Lösung III wurde verwendet, um die flüchtige Komponente in einer Art und Weise, ähnlich zum Harz-Herstellungsbeispiel 1, zu entfernen. Somit wurden 18 Teile Pellets (Polymer B) erhalten. Ähnlich zum Harz-Herstellungsbeispiel 1 wurde Polymer B in das Dichtungsgefäß aus rostfreiem Stahl gefüllt und darin gelagert. Das Polymer B ist transparent. Als Ergebnis der Tatsache, dass die Analyse hiervon in ähnlicher Art und Weise zum Harz-Herstellungsbeispiel 1 durchgeführt wurde, war die verbliebene Cyclohexan-Menge an der Nachweisgrenze oder darunter, das Molekulargewicht war Mn: 27.000 und Mw: 56.000, Tg war 140°C und die Anzahl an Fremdteilchen (Materialien) mit Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr betrug 3,0 × 103/g.

Harz-Herstellungsbeispiel 3

100 Teile der Lösung I, erhalten im Harz-Herstellungsbeispiel 1, wurden durch einen Filter mit einer Maschenweite von 3 &mgr;m filtriert, der ähnlich zu demjenigen ist, der im Harz-Herstellungsbeispiel 1 verwendet wurde, wonach diese durch einen &xgr;(zeta)-Plusfilter 30S (Maschenweite 0,5 bis 1 &mgr;m, Cuno Co.) filtriert wurde, um diese weiterhin durch einen Filter mit einer Maschenweite von 0,2 &mgr;m zu filtrieren, welcher ähnlich ist zu demjenigen, der in Harz-Herstellungsbeispiel 1 verwendet wurde, um Fremdmaterial zu entfernen. Somit wurde Lösung IV erhalten. Diese Lösung IV wurde verwendet, um die flüchtige Komponente in einer ähnlichen Art und Weise zum Harz-Herstellungsbeispiel 1 zu entfernen. Somit wurden 18 Teile Pellets (Polymer C) erhalten. Ähnlich zum Harz-Herstellungsbeispiel 2 wurde Polymer C in das Abdichtungsgefäß aus rostfreiem Stahl gefüllt und darin gelagert. Das Polymer C war transparent. Als Ergebnis der Tatsache, dass die Analyse hiervon in ähnlicher Art und Weise zum Harz-Herstellungsbeispiel 1 durchgeführt wurde, war die verbliebene Cyclohexan-Menge an der Nachweisgrenze oder darunter, das Molekulargewicht betrug Mn: 27.000 und Mw: 56.000, Tg betrug 140°C und die Anzahl an Fremdteilchen (Materialien) mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr betrug 2,1 × 103/g.

Harz-Herstellungsbeispiel 4

18 Teile Pellets (Polymer D) wurden in ähnlicher Weise zum Harz-Herstellungsbeispiel 1 erhalten, außer dass das Polymer in eine Papiertüte, die einen inneren Beutel aus Polystyrol enthielt, gefüllt wurde und darin anstelle des Abdichtungsgefäßes aus rostfreiem Stahl gelagert wurde. Als Ergebnis der Tatsache, dass die Analyse in ähnlicher Weise zum Harz-Herstellungsbeispiel 1 durchgeführt wurde, lag die verbliebene Cyclohexan-Menge an der Nachweisgrenze oder darunter, das Molekulargewicht betrug Mn: 27.000 und Mw: 56.000, Tg betrug 140°C und die Anzahl an Fremdteilchen (Materialien) mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr betrug 2,7 × 104/g.

Ausführungsform 1

Das im Harz-Herstellungsbeispiel 1 erhaltene Polymer A wurde verwendet, um den Stempel aus Ni mit glatter Oberfläche (Ra, 1 nm), der in die Metallform unter den Bedingungen der Harztemperatur von 320°C und der Metallformungstemperatur von 120°C durch Spritzgussformen (Platte 3, Sumitomo Jukikai Kogyo Co.) gegeben wurde, die im Reinraum untergebracht war, in dem der Metallformungsabschnitt durch die Reinigungszelle aufrechterhalten wurde, so dass eine Umgebung mit hohem Reinheitsgrad der Klasse 100 resultiert, um ein Formen eines Magnetplattensubstrats mit einem Durchmesser von 65 mm und einer Dicke von 1,2 mm durchzuführen.

Die Oberflächenrauhigkeit Ra und das Vorliegen/Fehlen von Vorsprüngen mit 50 nm oder mehr wurde im Hinblick auf zwanzig (20) glatte Magnetplattensubstrate, die so erhalten wurden, untersucht. Im Hinblick auf die Oberflächenrauhigkeit wurde ein Bereich von 50 &mgr;m × 50 &mgr;m der Oberfläche des Magnetplattensubstrats durch eine Kontaktnadel mit der Probe gescannt, mit dem Bereich von 20 &mgr;m × 20 &mgr;m, dem Bereich, wo keine Vorsprünge entsprechend der Schwebehöhe des Schwebers oder mehr vorliegen, um die arithmetische Durchschnittsrauhigkeit Ra in diesem Bereich zu bestimmen. Das heißt, die Oberflächenrauhigkeit repräsentiert die Rauhigkeit der Oberfläche, außer für die Vorsprünge, wenn von einem festen Standpunkt betrachtet.

Die durchschnittliche Rauhigkeit Ra der Mittellinie betrug 1,0 bis 1,1 nm. Dieser Wert war im wesentlichen nahe der Oberflächenrauhigkeit des Stempels. Darüber hinaus wurden neun (9) Magnetplattensubstrate von den zwanzig (20) Substraten ohne Vorsprünge erhalten. Ein Vorliegen/Fehlen von Vorsprüngen wird durch Kontrollieren der Anzahl an Platten-Rotationen so bestimmt, dass der Schweber im Zustand der Schwebehöhe von 50 nm gleitet, um eine Bestimmung aus einem Beschleunigungssignal zum Zeitpunkt einer Kollision des an dem Schweber befestigten Piezoelements durchzuführen. Materialien von 1,5 g wurden jeweils aus Magnetplattensubstraten von diesen herausgeschnitten, um diese ähnlich wie Harz-Herstellungsbeispiel 1 in Toluol-Lösung vorliegen zu haben, um die Anzahl an Fremdteilchen (Materialien) mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr zu messen. Folglich, war die Anzahl an Fremdteilchen 6,3 × 103/g und 6,5 × 103/g.

Ausführungsform 2

Das im Harz-Herstellungsbeispiel 2 erhaltene Polymer B wurde verwendet, um ein Formen eines Magnetplattensubstrats in ähnlicher Art und Weise zu Ausführungsform 1 durchzuführen. Als Ergebnis der Tatsache, dass die Oberflächenrauhigkeit Ra und das Vorliegen/Fehlen von Vorsprüngen mit einer Höhe von 50 nm oder mehr bei zwanzig (20) derart erhaltenen Magnetplattensubstraten ähnlich zur oben erwähnten Ausführungsform 1 untersucht wurde, betrug Ra 1,0 bis 1,1 nm. Dieser Wert war im wesentlichen nahe der Oberflächenrauhigkeit des Stempels. Darüber hinaus wurden dreizehn (13) Magnetplattensubstrate von den zwanzig (20) Substraten ohne Vorsprünge erhalten. Als Ergebnis der Tatsache, dass die Anzahl an Fremdteilchen (Materialien) mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr in ähnlicher Art und Weise zur Ausführungsform 1 von zwei dieser Magnetplattensubstraten gemessen wurden, waren deren Werte 3,0 × 103/g und 3,2 × 103/g.

Ausführungsform 3

Das im Harz-Herstellungsbeispiel 3 erhaltene Polymer C wurde verwendet, um ein Formen eines Magnetplattensubstrats in ähnlicher Art und Weise zu Ausführungsform 1 durchzuführen. Als Ergebnis der Tatsache, dass die Oberflächenrauhigkeit Ra und das Vorliegen/Fehlen von Vorsprüngen mit einer Höhe von 50 nm oder mehr bei so erhaltenen zwanzig (20) glatten Magnetplattensubstraten ähnlich zur Ausführungsform 1, betrug Ra 1,0 bis 1,1 nm. Dieser Wert war im wesentlichen nahe der Oberflächenrauhigkeit des Stempels. Darüber hinaus wurden fünfzehn (15) Magnetplattensubstrate von den zwanzig (20) Substraten ohne Vorsprünge erhalten. Als Ergebnis der Tatsache, dass die Anzahl an Fremdteilchen (Materialien) mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr in ähnlicher Art und Weise zur Ausführungsform 1 von zwei dieser Magnetplattensubstraten gemessen wurden, waren deren Werte 2,3 × 103/g und 2,6 × 103/g.

Vergleichsbeispiel 1

Das im Harz-Herstellungsbeispiel 4 erhaltene Polymer D wurde verwendet, um ein Formen eines Magnetplattensubstrats in ähnlicher Art und Weise zu Ausführungsform 1 durchzuführen. Als Ergebnis der Tatsache, dass die Oberflächenrauhigkeit Ra und das Vorliegen/Fehlen von Vorsprüngen mit einer Höhe von 50 nm oder mehr bei den somit erhaltenen zwanzig (20) glatten Magnetplattensubstraten untersucht wurden, betrug Ra 1,0 bis 1,1 nm. Dieser Wert war im wesentlichen ähnlich zur Oberflächenrauhigkeit des Stempels. Jedoch konnte keine Magnetplatte ohne Vorsprünge von diesen zwanzig (20) Magnetsubstraten erhalten werden. Als Ergebnis der Tatsache, dass zwei Magnetplattensubstrate mit Vorsprüngen ausgewählt werden, um die Anzahl an Fremdteilchen (Materialien) mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr ähnlich zur Ausführungsform 1 zu messen, waren die Anzahl an Fremdteilchen beide Male 2,7 × 104/g.

Die Peripherie des vorstehenden Abschnitts wurde bei dem im oben erwähnten Vergleichsbeispiel 1 erhaltenen Magnetplattensubstrat abgeschnitten und entfernt, um die Höhe des Vorsprungs und den Durchmesser von Teilchen, die unterhalb des Vorsprungs vorlagen, durch das Mikroskop zu messen. Das Messergebnis ist in 5 gezeigt. Aus diesem Ergebnis wird abgeschätzt, dass Teilchen mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr einen Vorsprung mit einer Höhe von 50 nm oder mehr verursachen.

Ausführungsform 4

Ein Magnetplattensubstrat, auf dem unebene Abschnitte gebildet sind, ist in 6 gezeigt. In noch praktischerer Hinsicht liegt ein Abschnitt 32, wo der Datenbereich gebildet werden soll, und ein Abschnitt 33, wo die Hilfsmarke gebildet werden soll, unterhalb des Schwebebewegungsbereichs eines Magnetplattensubstrats 31 vor. Der Abschnitt, wo das Magnetplattensubstrat 31 an die Einheit (Vorrichtung) befestigt wird, dient als Klammerabschnitt 34.

Der Abschnitt 32, wo der Datenbereich gebildet werden soll, dient als der Abschnitt, wo Daten tatsächlich aufgezeichnet werden. Andererseits dient der Abschnitt 33, wo die Hilfsmarke gebildet werden soll, als der Bereich, wo Information zur Kontrolle (Zuordnung) von Adressen und Positionen in den Aufzeichnungsspuren vorformatiert werden.

Eine vergrößerte Ansicht des Abschnitts 32, wo der Datenbereich gebildet werden soll, und des Abschnitts 33, wo die Hilfsmarke gebildet werden soll, ist in 7 gezeigt.

Der Abschnitt 32, wo der Datenbereich gebildet werden soll, ist zusammengesetzt aus konvexgeformten Abschnitten 35, wo Aufzeichnungsspuren gebildet werden sollen, und konkav-geformten Abschnitten 36, wo die Führungsspuren gebildet werden sollen. Der Abschnitt 33, wo die Hilfsmarke gebildet werden soll, ist aus mehreren Arten von unebenen Abschnitten, wie einem Abschnitt 37, wo die Adressenmarke gebildet werden soll, und/oder einem Abschnitt 38, wo die genaue Marke gebildet werden soll etc., gebildet.

Das in Harz-Herstellungsbeispiel 3 erhaltene Polymer C wurde verwendet, um einen Stempel aus Nickel, gebildet als Muster, in dem unebene Abschnitte des Abschnitts, wo die Hilfsmarke gebildet werden soll, und des Abschnitts, wo der Datenbereich gebildet werden soll, invertiert sind, um mit der Metallform unter Formungsbedingungen, ähnlich zur Ausführungsform 1, zu beschicken, derart, dass ein Formen eines Magnetplattensubstrats durchgeführt wird. Die durchschnittliche Rauhigkeit Ra der Mittellinie des hervorstehenden Abschnitts des Stempels 1 beträgt 1 nm, und die Differenz zwischen der Höhe des konkaven Abschnitts und derjenigen des konvexen Abschnitts beträgt 200 nm.

Bei den zwanzig (20) durch Formen erhaltenen Magnetplattensubstraten wurden die Oberflächenrauhigkeit Ra, die Höhen des konkaven Abschnitts und des konvexen Abschnitts und das Vorliegen/Fehlen von Vorsprüngen mit einer Höhe von 50 nm oder mehr untersucht.

Folglich betrug die durchschnittliche Rauhigkeit Ra der Mittellinie des konvexen Abschnitts 1,0 bis 1,2 nm. Somit wurde eine Oberflächenrauhigkeit im wesentlichen gleich derjenigen des Stempels erhalten. Die Differenz zwischen der Höhe des konkaven Abschnitts und derjenigen des konvexen Abschnitts betrug 185 bis 195 nm.

Darüber hinaus, als Ergebnis der Tatsache, dass die Zahl an Rotationen der Platte so eingestellt wird, dass die Schwebehöhe des Schwebers gleich 50 nm wird, um eine Bestimmung von Vorsprüngen durchzuführen, wobei von den zwanzig (20) magnetischen Plattensubstraten dreizehn (13) Magnetplattensubstrate ohne Vorsprünge erhalten wurden.

Als Ergebnis der Tatsache, dass die Anzahl an Fremdteilchen (Materialien) mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr in ähnlicher Art und Weise zur Ausführungsform 1 bei zwei dieser Magnetplattensubstrate gemessen wurden, war die Anzahl an Fremdteilchen 2,5 × 103/g und 2,2 × 103/g.

Ausführungsform 5

Ein Zerstäuben wurde durchgeführt, um bei dem in Ausführungsform 3 erhaltenen glatten Magnetplattensubstrat einen Aufzeichnungsfilm einer Gesamtfilmdicke von 80 nm aus Cr/CoPtCr/Cr/CoPtCr/C zu bilden.

Die Überschreib-Charakteristik beim Aufnehmen wird bei einer Frequenz von 2,374 MHz durchgeführt, wonach eine Aufzeichnung/Reproduktion bei einer Frequenz von 11,87 MHz gemessen wurde.

Beim verwendeten Magnetkopf wurde ein Induktionskopf mit einer Spurbreite von 3,5 &mgr;m als Aufzeichnungskopf verwendet, und ein MR-Kopf mit einer Spurbreite von 2,5 &mgr;m wurde als Reproduktionskopf verwendet. Die lineare Geschwindigkeit zum Zeitpunkt der Aufzeichnung/Reproduktion betrug 7,36 m/s.

Folglich wurden 38 dB oberhalb 25 dB erhalten, welches der Wert für S/N ist, der für den Aufbau des Systems notwendig ist.

Ausführungsform 6

Ein magnetischer Film von Co80Pt20 (Atom-%) mit einer Filmdicke von 36 nm wurde bei einem Magnetplattensubstrat aufgesprüht, das so angepasst war, dass unebene Abschnitte an dem Abschnitt, wo die Hilfsmarke gebildet werden soll, und dem Abschnitt, wo der Datenbereich gebildet werden soll, gebildet werden, die in Ausführungsform 4 erhalten wurden, um ein Aufzeichnen bei 1 MHz über die gesamten Oberflächen der unebenen Abschnitte des Bereichs, wo der Datenbereich gebildet werden soll, durchzuführen, um die Überschreib-Charakteristik zu messen, wenn ein Aufzeichnen am Bereich, wo Aufzeichnungsspuren gebildet werden sollen, die konvexe Abschnitte darstellen, bei 7 MHz durchgeführt wird.

Als der verwendete Magnetkopf wurde ein induktiver Kopf mit einer Spurbreite von 3,5 &mgr;m als Aufzeichnungskopf verwendet, und ein MR-Kopf mit einer Spurbreite von 2,5 &mgr;m wurde als Reproduktionskopf verwendet. Die lineare Geschwindigkeit zum Zeitpunkt der Aufzeichnung/Reproduktion betrug 7,0 m/s.

Folglich wurden 31,3 dB oberhalb 25 dB erhalten, welches der Wert von S/N ist, der zum Aufbau des Systems notwendig ist.


Anspruch[de]
  1. Verfahren zur Herstellung eines Substrats für ein Plattenmedium, worin beim Formen eines Harzes, um die Form eines Substrats eines Plattenmediums anzunehmen, die Steuerung derart durchgeführt wird, dass die Anzahl von Fremdteilchen mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr im geformten Körper 10.000/g oder weniger beträgt, um ein Formen durchzuführen.
  2. Verfahren zur Herstellung eines Substrats für ein Plattenmedium nach Anspruch 1, worin das Formen ein Spritzgießen darstellt.
  3. Verfahren zur Herstellung eines Substrats für ein Plattenmedium nach Anspruch 2, worin das Harz ein thermoplastisches Norbornenharz darstellt.
  4. Verfahren zur Herstellung eines Substrats für ein Plattenmedium nach Anspruch 1, worin die Steuerung derart durchgeführt wird, dass die Anzahl von Fremdteilchen mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr im geformten Körper 7.000/g oder weniger beträgt, um das Formen durchzuführen.
  5. Verfahren zur Herstellung eines Substrats für ein Plattenmedium nach Anspruch 1, worin die Steuerung derart durchgeführt wird, dass die Anzahl von Fremdteilchen mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 &mgr;m oder mehr im geformten Körper 5.000/g oder weniger beträgt, um das Formen durchzuführen.
Es folgen 5 Blatt Zeichnungen






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