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Dokumentenidentifikation DE10120660B8 28.09.2006
Titel Verfahren zur Strukturierung einer Photolackschicht
Anmelder Infineon Technologies AG, 81669 München, DE
Erfinder Sebald, Michael, 91085 Weisendorf, DE;
Richter, Ernst, 91058 Erlangen, DE
Vertreter Zimmermann & Partner, 80331 München
DE-Anmeldedatum 27.04.2001
DE-Aktenzeichen 10120660
Offenlegungstag 21.11.2002
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 14.06.2006
Date of publication of correction 28.09.2006
Information on correction Berichtigung zu INID-Code (54)
IPC-Hauptklasse G03F 7/26(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, DE
IPC-Nebenklasse G03F 7/039(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, DE   








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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