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Dokumentenidentifikation DE60211081T2 19.10.2006
EP-Veröffentlichungsnummer 0001288648
Titel Messgerät für Informationen, das eine Vorrichtung mit feinen Kanälen aufweist
Anmelder Tosoh Corp., Shinnanyo, Yamaguchi, JP
Erfinder Kawai, c/o Tosoh Corporation, Akira, Shinnanyo-shi, Yamaguchi-ken, 746-8501, JP;
Katayama, c/o Tosoh Corporation, Koji, Shinnanyo-shi, Yamaguchi-ken, 746-8501, JP;
Futami, c/o Tosoh Corporation, Toru, Shinnanyo-shi, Yamaguchi-ken, 746-8501, JP;
Oikawa, c/o Tosoh Corporation, Tomoyuki, Shinnanyo-shi, Yamaguchi-ken, 746-8501, JP;
Nishizawa, c/o Tosoh Corporation, Keiichiro, Shinnanyo-shi, Yamaguchi-ken, 746-8501, JP
Vertreter TBK-Patent, 80336 München
DE-Aktenzeichen 60211081
Vertragsstaaten DE, FR, GB
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 27.08.2002
EP-Aktenzeichen 020192308
EP-Offenlegungsdatum 05.03.2003
EP date of grant 03.05.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 19.10.2006
IPC-Hauptklasse G01N 21/05(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Informationsmessgerät mit einer Vorrichtung mit feinen Kanälen gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1, das zum Ausführen einer chemischen/physikalischen Manipulation wie zum Beispiel einer Förderung, einer chemischen Reaktion, einer chemischen Synthese, einer Analyse eines in einem feinen Kanal geförderten Fluids geeignet ist.

In der Vergangenheit wurde ein sogenanntes integriertes chemisches Labor, in dem eine Vorrichtung mit feinen Kanälen ein Glassubstrat von mehreren Quadratzentimetern aufweist, das mit einem feinen Kanal vorgesehen ist, der eine Länge von mehreren Zentimetern und eine Breite sowie eine Tiefe in der Größenordnung von weniger als einem &mgr;m bis mehrere hundert &mgr;m hat, und eine chemische/physikalische Manipulation wie zum Beispiel eine Förderung, eine chemische Reaktion verwendet. Wie erwähnt wurde, wird eine chemische Synthese, Analyse, Separation, Extraktion, Messung usw. von einem in dem feinen Kanal geförderten Fluid ausgeführt. Ein derartiges integriertes chemisches Labor kann eine sehr effiziente chemische Reaktion aufgrund von Effekten einer kurzen Diffusionslänge eines Moleküls und einer großen spezifischen Austauschfläche eines feinen Raums vorsehen. Weiter wird erwartet, eine Betriebskonsistenz einer Manipulation einer chemischen Reaktion, Separation, Extraktion und Messung vorzusehen, um Vorteile wie zum Beispiel Schnelligkeit, Arbeitsersparnis, Ressourcenersparnis, Energieersparnis und Raumersparnis in verschiedenen Untersuchungen und Abläufen vorzusehen, und um eine Reduktionsmöglichkeit von einer Abfallflüssigkeit oder von Abfallprodukten, die aus Experimenten resultieren, eine Rationalisierung von sich wiederholenden Experimenten usw. vorzusehen.

Ein Beispiel der herkömmlichen Vorrichtung mit feinen Kanälen ist in 1 gezeigt. Wie in 1 gezeigt ist, hat die Vorrichtung mit feinen Kanälen, die vorbereitet ist, um die chemische/physikalische Manipulation wie zum Beispiel ein Fördern, eine chemische Reaktion, eine chemische Synthese, eine Analyse, eine Messung usw. eines Fluids in dem feinen Kanal auszuführen, ein Substrat, in dem ein konkaver Abschnitt, der zu einem feinen Kanal korrespondiert, nur in einer Fläche des Substrats ausgebildet ist. Wenn eine Informationsmessung in einer derartigen Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgeführt wird, ist es unmöglich, eine Informationsmessung öfter als einmal in der Vorrichtung mit einfachen feinen Kanälen auszuführen. Wenn eine Informationsmessung mehrmals erwünscht ist, ist es notwendig, die Vorrichtung mit feinen Kanälen häufig zu ersetzen, und es ist schwierig, eine Informationsmesszeit zu verkürzen. Da es notwendig ist, die Vorrichtung mit feinen Kanälen häufig zu ersetzen, besteht weiter eine Möglichkeit, dass die Vorrichtung mit feinen Kanälen versehentlich beschädigt wird. Es ist daher schwierig, eine dauerhafte und effektive Informationsmessung auszuführen.

Ein gattungsbildendes Informationsmessgerät, das eine Vorrichtung mit feinen Kanälen hat, ist aus US-A-3 798 459 bekannt. Das Informationsmessgerät weist einen Detektor zum Messen von Information auf, die von einer Vielzahl von Messabschnitten zugeführt wird, die in der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind. Eine Positionshalte-/Bestimmungseinrichtung hält und positioniert die Vorrichtung mit feinen Kanälen. Eine Dreheinrichtung dreht die Vorrichtung mit feinen Kanälen um einen vorbestimmten Winkel. Eine Positionsbestimmungseinrichtung positioniert die Messabschnitte und den Detektor. Eine Information, die von den Messabschnitten in der Vorrichtung mit feinen Kanälen zugeführt wird, wird durch Drehen der Vorrichtung mit feinen Kanälen um einen vorbestimmten Winkel nacheinander gemessen.

Ähnliche Informationsmessgeräte, die eine Vorrichtung mit feinen Kanälen haben, sind aus US-A-4 225 558 und US-A-6 078 705 bekannt.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Informationsmessgerät vorzusehen, das eine Vorrichtung mit feinen Kanälen hat, durch das eine Informationsmessung dauerhaft und effektiv durchgeführt werden kann.

Diese Aufgabe ist durch ein Informationsmessgerät mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst.

Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen offenbart.

Zum Beispiel kann der Detektor zum Detektieren von Information eine Lichtquelle zum Aussenden von Licht zum Messen von Information und eine Antriebseinrichtung zum Antreiben der Lichtquelle in einer Richtung einer optischen Achse aufweisen, um das Licht zu fokussieren.

Weiter ist die Vorrichtung mit feinen Kanälen mit zumindest einem Einlassanschluss zum Einbringen von Fluid, zumindest einem feinen Kanal zum Fördern des eingebrachten Fluids und zumindest einem Auslassanschluss zum Abgeben des Fluids vorgesehen, wobei die Vorrichtung mit feinen Kanälen ein Substrat aufweist, in dem ein konkaver Abschnitt, der zu einem feinen Kanal korrespondiert, in zumindest einer Fläche des Substrats ausgebildet ist, und ein Abdeckelement aufweist, das auf dem Substrat laminiert ist, um die Fläche mit dem feinen Kanal abzudecken.

Weiter kann die Vorrichtung mit feinen Kanälen eine Laminierung sein, die durch einstückiges Laminieren von einem oder mehreren Substraten und einem oder mehreren Abdeckelementen ausgebildet wird, wobei das Substrat einen konkaven Abschnitt hat, der zu dem feinen Kanal korrespondierend ist, der in zumindest einer Fläche von dem Substrat ausgebildet ist, und wobei ein Abdeckelement auf dem Substrat laminiert ist, um die Fläche mit dem feinen Kanal abzudecken. Somit können die Probleme der vorstehend erwähnten herkömmlichen Vorrichtung mit feinen Kanälen gelöst werden.

In den Zeichnungen:

1 ist ein Abbild, das eine herkömmliche Vorrichtung mit feinen Kanälen zeigt;

2 ist ein Abbild, das die Vorrichtung mit feinen Kanälen gemäß einem nicht beanspruchten Vergleichsbeispiel 1 zeigt;

3 ist ein Arbeitsablaufabbild, das ein Verfahren zum Ausbilden eines konkaven Abschnitts zeigt, der zu einem feinen Kanal korrespondierend ist, der in 2 gezeigt ist, wobei 3 jeden Schritt a) Ausbilden einer metallischen Schicht, b) Beschichten eines Fotoresists, c) von einer Belichtung mit Licht zu einer Entwicklung, d) Ätzen der metallischen Schicht, e) Ätzen des Fotoresists und des Glasmaterials, und f) Entfernen der metallischen Schicht zeigt;

4 ist ein Abbild, das das Informationsmessgerät gemäß dem Vergleichsbeispiel 1 zeigt;

5 ist ein Ablaufdiagramm des Informationsmessgeräts des Vergleichsbeispiels 1;

6 ist ein Abbild, das die Vorrichtung mit feinen Kanälen gemäß einem Beispiel 2 zeigt;

7 ist ein Arbeitsablaufabbild, das ein Verfahren zum Ausbilden eines konkaven Abschnitts zeigt, der zu einem feinen Kanal korrespondierend ist, der in 6 gezeigt ist, wobei 7 jeden Schritt a) Beschichten eines Fotoresists, b) von einer Belichtung mit Licht zu einer Entwicklung, c) von einem Ni-Sputtern zum Galvanisieren, d) vom Abziehen zur Stampfform, e) Anbringen der Stampfform an eine Spritzgussmaschine, f) gleichzeitiges zweiseitiges Spritzgießen und g) Entfernen der Stampfform zeigt;

8 ist ein Abbild, das das Informationsmessgerät gemäß einem Beispiel 2 zeigt, wobei 8(a) eine teilweise geschnittene Seitenansicht ist und 8(b) eine Vorderansicht ist;

9 ist ein Abbild, das eine Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart gemäß Beispielen 3 und 4 zeigt;

10 ist ein Abbild, das das Informationsmessgerät gemäß einem Beispiel 3 zeigt; und

11 ist ein Abbild, das das Informationsmessgerät gemäß einem Beispiel 4 zeigt.

Nachstehend ist die vorliegende Erfindung ausführlich beschrieben.

Das Informationsmessgerät der vorliegenden Erfindung weist zumindest eine Vorrichtung mit feinen Kanälen auf und weist weiter zumindest einen Detektor zum Messen von Information, die von einer Vielzahl von Messabschnitten zugeführt wird, die in der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind, eine Positionshalte/Bestimmungseinrichtung zum Halten und Positionieren der Vorrichtung mit feinen Kanälen, eine Dreheinrichtung zum Drehen der Vorrichtung mit feinen Kanälen um einen vorbestimmten Winkel und eine Positionsbestimmungseinrichtung zum Positionieren der Messabschnitte und des Detektors auf. Durch Drehen der Vorrichtung mit feinen Kanälen um einen vorbestimmten Winkel kann eine Information von der Vielzahl von Messabschnitten in der Vorrichtung mit feinen Kanälen nacheinander gemessen werden. Mit einer derartigen Konstruktion kann ein Wirkungsgrad zum Messen von Information erhöht werden. Weiter können lästige Arbeiten wie zum Beispiel das Ersetzen der Vorrichtung mit feinen Kanälen in der herkömmlichen Technik reduziert werden, und eine mögliche Beschädigung der Vorrichtung mit feinen Kanälen während des Ersetzens kann unterdrückt werden.

Demgemäß kann das Informationsmessgerät realisiert werden, das in der Lage ist, eine dauerhafte Messung von Information vorzusehen.

Die durch das Informationsmessgerät der vorliegenden Erfindung betrachtete Information zeigt eine chemische Substanz, die selbst in einer vorbestimmten Stelle vorhanden ist oder aus besteht oder an einer vorbestimmten Stelle (einem Messabschnitt) in der vorliegenden Erfindung verwendeten Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet ist, oder eine chemische oder physikalische Veränderung an, die durch eine bestimmte Einrichtung wie zum Beispiel eine Anstrahlungseinrichtung zum Anstrahlen von Licht an die vorbestimmte Stelle der Vorrichtung mit feinen Kanälen von außerhalb verursacht wird. Eine derartige Information kann durch den Detektor wie zum Beispiel einen Fotodetektor detektiert werden. Der Detektor kann abhängig vom Zweck als ein einziger Detektor oder mit mehr als zwei Detektoren verwendet werden. Es kann eine Einrichtung zum Generieren von zu erfassender Information betrachtet werden. Wenn zum Beispiel ein chemiluminiszentes Material detektiert werden soll, kann ein Hilfsmaterial verwendet werden, das in der Lage ist, Licht auszusenden, und Licht wird durch den Kontakt mit einem derartigen Hilfsmaterial in der Vorrichtung mit feinen Kanälen so ausgesandt, dass das ausgesandte Licht detektiert wird. Wenn es notwendig ist, Licht von außerhalb anzustrahlen, kann weiter eine Lichtquelle in dem Informationsmessgerät der vorliegenden Erfindung so eingebaut werden, dass Licht mit einer Wellenlänge oder einer Intensität auf die Messabschnitte gemäß dem Verwendungszweck angestrahlt wird. Somit kann eine Veränderung des ausgesandten Lichts an den Messabschnitten detektiert werden. Jedoch kann jedes Verfahren verwendet werden, außer es weicht von dem Zweck der vorliegenden Erfindung ab.

Das Informationsmessgerät der vorliegenden Erfindung ist mit der Positionshalte-/Bestimmungseinrichtung zum Halten und Positionieren der Vorrichtung mit feinen Kanälen vorgesehen. Wie in 2 gezeigt ist, kann insbesondere die Vorrichtung mit feinen Kanälen des nicht beanspruchten Vergleichsbeispiels 1 durch eine Nabe 6 gehalten und positioniert werden, die mit einer Positionsbestimmungsöffnung 7 und einer Bezugswinkelöffnung 8 vorgesehen ist. Ähnlich kann die Position des Detektors durch die Positionsbestimmungseinrichtung gesteuert werden.

Als die Dreheinrichtung zum Drehen der Vorrichtung mit feinen Kanälen um einen vorbestimmten Winkel kann ein Mechanismus mit einer Aufspannungseinheit 19 und einer Dreheinheit 20 verwendet werden, wie in 4 gezeigt ist. Somit kann durch Drehen der Vorrichtung mit feinen Kanälen um einen vorbestimmten Winkel mittels der Dreheinheit 20 eine Information von einem Messabschnitt der Vorrichtung mit feinen Kanälen durch den Detektor durchgehend oder intermittierend mit einer notwendigen zeitlichen Abstimmung gemessen werden.

Die Vorrichtung mit feinen Kanälen, die für das Informationsmessgerät der vorliegenden Erfindung verwendet wird, ist wünschenswerterweise mit zumindest einem Einlassanschluss zum Einbringen von Fluid, zumindest einem feinen Kanal zum Fördern des eingebrachten Fluids und zumindest einem Auslassanschluss zum Abgeben des Fluids vorgesehen. Die Vorrichtung mit feinen Kanälen weist ein Substrat, in dem ein feiner Kanal in zumindest einer Fläche des Substrats ausgebildet ist, und ein Abdeckelement auf, das auf dem Substrat laminiert ist, um die Substratfläche mit dem feinen Kanal abzudecken, wobei das Abdeckelement mit zwei oder mehreren kleinen Öffnungen vorgesehen ist, die an vorbestimmten Positionen angeordnet sind, die zu den feinen Kanälen korrespondierend sind, um die feinen Kanäle mit der Außenseite der Vorrichtung mit feinen Kanälen zu verbinden. Mit einer derartigen Konstruktion kann ein Fluid von der Außerseite der Vorrichtung mit den feinen Kanälen in die feinen Kanäle eingebracht werden, und das Fluid kann wieder an die Außenseite der Vorrichtung mit feinen Kanälen abgegeben werden. Weiter können durch Verwenden des Abdeckelements die feinen Kanäle mehrstufig ausgebildet werden, wodurch es möglich ist, das Fluid in den feinen Kanälen dauerhaft zu fördern, selbst wenn die Menge des Fluids gering ist. Die Zufuhr des Fluids kann mittels einer mechanischen Einrichtung wie zum Beispiel einer Mikropumpe oder mittels einer Saugkraft an dem Auslassanschluss erzeugt werden.

Die Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart, die für das Informationsmessgerät der vorliegenden Erfindung verwendet wird, weist bevorzugterweise ein oder mehrere Substrate und ein oder mehrere Abdeckelemente auf, die einstückig laminiert sind, und ist mit zumindest einem Einlassanschluss zum Einbringen von Fluid, einem feinen Kanal zum Fördern des eingebrachten Fluids, zumindest einem Auslassanschluss zum Abgeben des Fluids, zumindest einer Einbringungsbahn zum Einbringen von Fluid in die feinen Kanäle, die mehrstufig ausgebildet sind, und zumindest einer Abgabebahn zum Abgeben des Fluids vorgesehen, wobei das Substrat einen feinen Kanal hat, der in zumindest einer Fläche des Substrats ausgebildet ist, und wobei das Abdeckelement auf dem Substrat laminiert ist, um die Substratfläche mit dem feinen Kanal abzudecken. Das Abdeckelement ist mit zwei oder mehr kleinen Öffnungen vorgesehen, die an vorbestimmten Positionen angeordnet sind, die zu den feinen Kanälen korrespondieren, um die feinen Kanäle mit der Außenseite der Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart zu verbinden. Weiter sind gemäß der Erfindung die feinen Kanälen in beiden Flächen des Substrats ausgebildet, wobei bevorzugterweise die Abdeckelemente auf dem Substrat laminiert sind, um die Substratflächen abzudecken, die die feinen Kanäle haben, so dass das Abdeckelement und Substrate in einer Vielzahl einstückig laminiert werden. Damit kann ein Fluid in die feinen Kanäle, die mehrstufig ausgebildet sind, von der Außenseite der Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart eingebracht werden, und das Fluid wird wieder an die Außenseite abgegeben. Durch einstückiges Laminieren von Abdeckelementen auf dem Substrat mit feinen Kanälen ist es möglich, das Fluid dauerhaft in den feinen Kanälen zu führen, selbst wenn die Menge des Fluids gering ist.

Weiter ist in der Vorrichtung mit feinen Kanälen der vorliegenden Erfindung ein konkaver Abschnitt, der zu einem feinen Kanal korrespondiert, in zumindest einer Fläche des Substrats mit feinen Kanälen ausgebildet. Durch Verwenden des konkaven Abschnitts als der feine Kanal ist es möglich, eine chemische/physikalische Manipulation wie zum Beispiel ein Fördern, eine chemische Reaktion, eine chemische Synthese, eine Analyse und eine Messung eines Fluids auszuführen. Weiter kann ein konkaver Abschnitt, der zu einem feinen Kanal korrespondiert, in beiden Flächen des Substrats mit feinen Kanälen so ausgebildet sein, dass die konkaven Abschnitte in beiden Flächen des Substrats als feine Kanäle verwendet werden. Die Form der feinen Kanäle, die durch die konkaven Abschnitte in beiden Flächen vorgegeben sind, kann gleich oder verschieden sein.

Als Material für das Substrat, in das ein konkaver Abschnitt, der zu einem feinen Kanal korrespondiert, ausgebildet ist, und für das Abdeckelement ist es wünschenswert, ein Material zu verwenden, das eine einfache Herstellung des feinen Kanals ermöglicht und eine außerordentliche chemische Widerstandsfähigkeit und eine angemessene Festigkeit hat. Zum Beispiel kann Glas, Quarz, Keramik, Silikon, Metall oder Harz verwendet werden. Die Größe und Form des Substrats oder des Abdeckelements sind nicht besonders eingeschränkt. Jedoch ist es vom Standpunkt des Ausbildens der Vorrichtung mit feinen Kanälen wünschenswert, dass das Substrat oder das Abdeckelement eine kreisförmige scheibenartige Form hat, die einen Durchmesser von 150 mm oder weniger und eine Stärke von mehreren Millimetern oder weniger hat. Es ist wünschenswert, dass die zwei oder mehreren kleinen Öffnungen, die in dem Abdeckelement angeordnet sind, wenn sie zum Verbinden der feinen Kanäle mit der Außenseite der Vorrichtung mit feinen Kanälen verwendet werden und als ein Einlassanschluss und ein Auslassanschluss für ein Fluid verwendet werden, zum Beispiel einen Durchmesser von mehreren Millimetern oder weniger haben. Die kleinen Öffnungen des Abdeckelements können chemisch oder mechanisch oder mittels irgendeiner Einrichtung wie zum Beispiel einer Laseranstrahlung, Ionenätzung oder dergleichen ausgebildet werden.

Weiter können in der Vorrichtung mit feinen Kanälen eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung das Substrat, in dem ein konkaver Abschnitt, der zu einem feinen Kanal korrespondiert, ausgebildet ist, und das Abdeckelement durch Verbinden mit Wärme oder Klebeverbinden mittels eines Klebstoffs wie zum Beispiel eines lichtaushärtenden Harzes oder eines wärmeaushärtenden Harzes einstückig laminiert werden kann. Weiter kann die Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart mit einer mehrfachen Laminationsstruktur durch Verbinden mit Wärme, Klebeverbinden mittels eines Klebstoffs oder eine Dichtungseinrichtung wie zum Beispiel einen O-Ring oder desgleichen einstückig laminiert werden.

Im Allgemeinen ist die Größe des konkaven Abschnitts, der zu dem feinen Kanal korrespondiert, 500 &mgr;m oder weniger breit und 300 &mgr;m oder weniger tief. Jedoch ist es wünschenswert, dass die Breite 300 &mgr;m oder weniger ist und die Tiefe 150 &mgr;m oder weniger ist, da eine effiziente chemische Reaktion aufgrund der Effekte einer kurzen Diffusionsdistanz eines Moleküls und einer großen spezifischen Austauschfläche eines feinen Raums erhalten werden kann.

Nachstehend ist die vorliegende Erfindung mit Bezug auf die Beispiele ausführlich beschrieben. Jedoch sollte es selbstverständlich sein, dass die vorliegende Erfindung nicht mittels derartigen spezifischen Beispielen beschränkt ist, und eine Modifikation und Kombination innerhalb des Schutzumfangs der angefügten Ansprüche möglich ist.

Nicht beanspruchtes Vergleichsbeispiel 1

2 zeigt eine kreisförmige Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen, die für das Informationsmessgerät in dem Vergleichsbeispiel 1 verwendet wird. Die Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen hat einen Durchmesser von 130 mm und die Form eines konkaven Abschnitts, der zu einem feinen Kanal korrespondiert, hat eine Y-Form, die eine Breite von 200 &mgr;m und eine Tiefe von 50 &mgr;m hat. Vier konkave Abschnitte, die zu vier feinen Kanälen 1 korrespondieren, sind in einer Fläche eines Substrats 3 mit feinen Kanälen mit einer Teilung von 90° angeordnet. Ein Abdeckelement 2 ist auf dem Substrat 3 mit feinen Kanälen einstückig laminiert, das die konkaven Abschnitte als feine Kanäle 1 hat, wodurch die vorstehend erwähnte Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen ausgebildet ist. Eine Nabe 6 ist an einem mittigen Abschnitt der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen vorgesehen. Die Nabe ist zum Halten und Anordnen der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen in dem Informationsmessgerät und ist aus einem metallischen Material hergestellt, das in der Lage ist, magnetisch so eingespannt zu werden, dass die Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen in dem Informationsmessgerät gehalten werden kann. Um die Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen in dem Informationsmessgerät richtig anzuordnen, ist eine sehr genaue Positionieröffnung 7 in der Mitte der Nabe 6 ausgebildet. Mittels der Positionieröffnung 7 kann das Gerät mit feinen Kanälen in dem Gerät richtig angeordnet werden. Zusätzlich zu der Positionieröffnung 7, die in der Nabe 6 ausgebildet ist, ist auch eine sehr genaue Bezugswinkelöffnung 8, die eine Winkelreferenz an den Messabschnitten vorsieht, die in dem Informationsmessgerät ausgebildet sind, in der Nabe 6 ausgebildet. Mit einer derartigen Anordnung ist es möglich, das Positionsverhältnis zwischen den Messabschnitten in der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen und dem Detektor zu bestimmen, der in dem Informationsmessgerät angeordnet ist.

Obwohl die Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet ist, um einen Durchmesser von 130 mm und vier Y-förmige konkave Abschnitte zu haben, die mit einer Teilung von 90° als die feinen Kanäle angeordnet sind, sind in diesem Vergleichsbeispiel der Durchmesser, die Form der feinen Kanäle und die Teilung der feinen Kanäle nicht derartig beschränkt.

In 2 bezeichnet Bezugszeichen 1' einen feinen Kanal, der in einem D-D' Querschnitt gezeigt ist, Bezugszeichen 4 bezeichnet Einlassanschlüsse zum Einbringen von Fluid und Bezugszeichen 5 bezeichnet einen Auslassanschluss zum Abgeben des eingebrachten Fluids.

Die feinen Kanäle werden bevorzugter Weise gemäß dem Herstellungsablauf ausgebildet, der in 3 gezeigt ist. Der Herstellungsablauf weist (a) einen Schritt Ausbilden einer metallischen Schicht 10 auf einem lochscheibenförmigen Glassubstrat 9, (b) einen Schritt Beschichten eines Fotoresists 11 auf der metallischen Schicht 10, (c) einen Schritt Platzieren einer Fotomaske 12 auf dem Fotoresist 11, Belichten mit Licht und Entfernen der Fotomaske 12 gefolgt durch ein Entwickeln, (d) einen Schritt Ätzen der metallischen Schicht 10 in dem Abschnitt, in dem das Fotoresist 11 durch die Entwicklung in dem Schritt (c) entfernt wurde, (e) einen Schritt Ätzen des Abschnitts, in dem das Fotoresist 11 verbleibt, und des Glasabschnitts, in dem die metallische Schicht 10 entfernt wurde, und (f) einen Schritt Entfernen der verbleibenden metallischen Schicht 10 auf, um ein Glassubstrat 13 zu erhalten, in dem konkave Abschnitte ausgebildet sind.

Insbesondere wird ein lochscheibenförmiges Glassubstrat 9 mit einer Stärke von 1 mm, einem Durchmesser von 130 mm und einer mittigen Öffnung von 30 mm im Durchmesser ausgebildet. Die metallische Schicht 10 wie zum Beispiel eine Goldschicht wird auf einer Fläche des Glassubstrats 9 mit einer Stärke in einem derartigen Ausmaß ausgebildet, dass ein Belichtungslicht nicht übertragen wird, was nachstehend beschrieben ist. Das Fotoresist 11 wird auf der metallischen Schicht 10 beschichtet, und die Fotomaske 12 mit einem Muster, das zu der Form der feinen Kanäle korrespondiert, wird auf dem Fotoresist 11 platziert. Licht wird auf das Fotoresist 11 durch die Fotomaske 12 belichtet, danach erfolgt ein Entwickeln. Dann wird die metallische Schicht 10 mit Säure geätzt. Das Fotoresist 11 und das Glas werden mit einer Flusssäure geätzt, und die verbleibende metallische Schicht 10 wird in der Säure gelöst, um das Substrat zu erhalten, in dem die feinen Kanäle 1 ausgebildet sind (das Substrat 13, in dem die konkaven Abschnitte ausgebildet sind).

In diesem Vergleichsbeispiel sind die feinen Kanäle durch Ätzen des Glassubstrats ausgebildet. Jedoch ist das Verfahren zum Ausbilden der feinen Kanäle nicht auf ein derartiges Verfahren beschränkt.

Auf der Fläche mit den konkaven Abschnitten als die feinen Kanäle 1 des lochscheibenförmigen Glassubstrats wird ein lochscheibenförmiges aus Glas hergestelltes Abdeckelement 2 mit einer Stärke von 1 mm, einem Durchmesser von 130 mm, einer mittigen Öffnung von 30 mm im Durchmesser und kleinen Öffnungen von 1 mm im Durchmesser, die vorhergehend mechanisch an Positionen ausgebildet wurden, die zu Einlassanschlüssen 4 zum Fördern eines Fluids in den feinen Kanälen und zu Auslassanschlüssen 5 zum Abgeben eines Fluids korrespondieren, durch Aufbringen von Wärme verbunden, wodurch die Vorrichtung mit feinen Kanälen erstellt wird, die mit feinen Kanälen 1 vorgesehen ist.

Das Informationsmessgerät des Vergleichsbeispiels ist in 4 gezeigt. Das Informationsmessgerät weist eine Aufspanneinheit 19 zum Halten und Positionieren der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen und eine Dreheinheit 20 zum Drehen der Vorrichtung mit feinen Kanälen um 90° auf. Ein Magnet, der eine Halte-/Positioniereinrichtung für die Vorrichtung 14 mit den feinen Kanälen bildet, ist an einer Aufspanneinrichtung befestigt. Weiter ist die Aufspanneinrichtung mit einer sehr genauen zylindrischen Drehwelle in ihrer Mitte und einem sehr genauen Stift als eine Drehreferenz vorgesehen. Die Aufspanneinrichtung ist an einem Motor befestigt, um durch diesen gedreht zu werden. Der Drehwinkel kann durch ein Ausgangssignal von einer Codiereinrichtung gesteuert werden, die in dem Motor eingebaut ist. Der Motor mit der angebrachten Aufspanneinrichtung ist mit einer (nicht gezeigten) Last-/Entlastungsvorrichtung vorgesehen. Die Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen kann auf der Einspanneinrichtung in einem Entlastungszustand festgelegt werden. Ein Einlassanschluss oder ein Auslassanschluss, der in der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen ausgebildet ist, wird gemäß einer Anweisung eines Beginns einer Messung in engen Kontakt mit einer Einbringungsbahn 15 oder einer Abgabebahn 16 gebracht, die an dem Informationsmessgerät befestigt ist, wodurch eine Flüssigkeit in die Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen eingebracht oder von der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen abgegeben wird. Weiter wird gemäß einer Anweisung eines Endes einer Messung der enge Kontakt zwischen den Bauteilen aufgehoben. Das Messsystem des Informationsmessgeräts weist eine Lichtquelle 17 zum Aussenden von Licht an einen Messabschnitt in der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen und einen Fotodetektor 18 zum Messen von Licht auf, das durch den Messabschnitt übertragen wird.

5 zeigt einen Messablauf des Informationsmessgeräts des Vergleichsbeispiels 1.

Zuerst wird das Entlasten des Motors des Informationsmessgeräts durchgeführt, um die Vorrichtung mit feinen Kanälen zu rendern, damit sie bereit zum Festlegen ist (S1). Dann wird die Vorrichtung mit feinen Kanälen auf der Aufspanneinrichtung festgelegt, die an dem Motor befestigt ist; das Belasten des Motors wird durchgeführt, und eine Anweisung wird zu dem Motor gegeben, so dass die Referenzposition zur Drehung des Motors mit dem Detektor übereinstimmt (S2). Dann stimmen die feinen Kanäle, die in der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind, mit der Drehreferenz des Motors überein. Weiter werden die Positionsverhältnisse zwischen den Messpositionen, die in der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind, und dem Messsystem des Informationsmessgeräts und zwischen den Einlassanschlüssen oder Auslassanschlüssen für ein Fluid, die in der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind, und der Einbringungsbahn oder Abgabebahn für ein Fluid bestimmt, die an dem Informationsmessgerät befestigt sind. Dann werden die Einlassanschlüsse und die Auslassanschlüsse für ein Fluid, die in der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind, gemäß einer Anweisung eines Beginns einer Messung in engen Kontakt mit der Einbringungsbahn und der Abgabebahn gebracht (S3), die an dem Informationsmessgerät befestigt sind, wodurch das Fördern von Fluid in die Vorrichtung mit feinen Kanälen oder das Abgeben von Fluid von der Vorrichtung mit feinen Kanälen möglich wird. Weiter wird mit einer Verzögerung von der Anweisung eines Beginns einer Messung eine Flüssigkeit in die feinen Kanäle eingebracht, und eine optische Messung wird durchgeführt, wobei Licht auf einen Messabschnitt in der Vorrichtung mit feinen Kanälen angestrahlt wird, und Licht, das durch den Messabschnitt übertragen wird, durch den Fotodetektor detektiert wird (S4). Nach Abschluss der optischen Messung wird ein Ergebnis der Messung ausgegeben, und der enge Kontakt der Einbringungsbahn und der Abgabebahn, die an dem Informationsmessgerät befestigt sind, wird freigegeben (S5). Dann ist die Vorrichtung mit feinen Kanälen bereit für eine Drehung. Wenn die Messung durchgehend ausgeführt wird (S6), wird die Vorrichtung mit feinen Kanälen um 90° gedreht, um sie an der nächsten Position einer Messung anzuordnen (S7). Wenn eine neue Anweisung eines Beginns einer Messung gegeben wird, werden die Vorgänge von S3 bis S5 durchgeführt. Ein Ergebnis einer Messung kann von Messabschnitten erhalten werden, die in der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind. Wenn die Vorgänge von S3 bis S6 zweimal wiederholt werden, kann die Information einer Messung von vier feinen Kanälen in der Vorrichtung mit feinen Kanälen erhalten werden. Wenn die Messinformation bei allen feinen Kanälen abgeschlossen ist, wird der Motor entlastet, wodurch die Vorrichtung mit feinen Kanälen bereit zum Entfernen ist (S8). Weiter ist es möglich, die Messung während der Abläufe so abzuschließen, dass der Motor entlastet wird.

In dem Informationsmessgerät, das die Vorrichtung mit feinen Kanälen dieses Vergleichsbeispiels verwendet, ist es möglich, eine Information von einer Vielzahl von Messabschnitten, die in der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind, durch Drehen der Vorrichtung nacheinander zu detektieren. Demgemäß kann ein Wirkungsgrad einer Messinformation verbessert werden. Da es weiter nicht notwendig ist, die Vorrichtungen mit feinen Kanälen häufig auszutauschen, ist eine dauerhafte Informationsmessung möglich.

BEISPIEL 2

6 zeigt eine kreisförmige Vorrichtung mit feinen Kanälen gemäß einem Beispiel 2 eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung mit feinen Kanälen hat einen Durchmesser von 150 mm. Die Form jedes konkaven Abschnitts, der zu einem feinen Kanal korrespondiert, hat eine Y-Form mit einer Breite von 200 &mgr;m und einer Tiefe von 30 &mgr;m, und vier konkave Abschnitte, die zu vier feinen Kanälen 1 (1a, 1b) korrespondieren, sind in beiden Flächen eines Substrats 3 mit feinen Kanälen ausgebildet. Die Position der feinen Kanäle 1a in einer oberen Fläche ist um 5° von der Position der feinen Kanäle 1b in einer unteren Fläche versetzt. Kreisförmige Abdeckelemente 2a, 2b sind an beiden Flächen des Substrats 3 mit feinen Kanälen einstückig laminiert, wodurch die Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet ist. Eine Nabe 6 ist an einer Fläche der Vorrichtung in ihrer Mitte vorgesehen, um die Vorrichtung mit feinen Kanälen in dem Informationsmessgerät der vorliegenden Erfindung zu halten und anzuordnen. Die Nabe 6 ist aus einem metallischen Material hergestellt, das in der Lage ist, magnetisch so eingespannt zu werden, dass die Vorrichtung mit feinen Kanälen in dem Informationsmessgerät gehalten werden kann. Um die Vorrichtung mit feinen Kanälen in dem Informationsmessgerät richtig anzuordnen, ist eine sehr genaue Positionieröffnung 7 in der Mitte der Nabe 6 ausgebildet. Durch Verwenden der Positionieröffnung kann die Vorrichtung mit feinen Kanälen in dem Informationsmessgerät richtig angeordnet werden. Zusätzlich zu der Positionieröffnung 7 ist auch eine sehr genaue Bezugswinkelöffnung 8, die eine Winkelreferenz zu den Messabschnitten vorsieht, die in dem Informationsmessgerät ausgebildet sind, in der Nabe 6 ausgebildet. Mit einer derartigen Anordnung ist es möglich, das Positionsverhältnis zwischen den Messabschnitten in der Vorrichtung mit feinen Kanälen und dem Detektor zu bestimmen.

Da die Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet ist, um einen Durchmesser von 130 mm und vier Y-förmige konkave Abschnitte, die zu den feinen Kanälen 1a, 1b korrespondieren, mit einer Teilung von 90° in einem derartigen Positionsverhältnis zu haben, dass die Position der feinen Kanäle in der oberen Fläche um 5° von der Position der feinen Kanäle in der unteren Fläche versetzt ist, kann in Beispiel 2 eine Informationsmessung für die Messabschnitte in beiden Flächen der Vorrichtung mit feinen Kanälen gleichzeitig ohne irgendeine Beeinflussung ausgeführt werden. Der Durchmesser der Vorrichtung mit feinen Kanälen, die Form der feinen Kanäle und die Teilung der feinen Kanäle sind nicht auf das vorstehend Erwähnte beschränkt.

In 6 bezeichnen Bezugszeichen 4a, 4b Einlassanschlüsse zum Einbringen von Fluid, Bezugszeichen 5a, 5b bezeichnen einen Auslassanschluss zum Abgeben des eingebrachten Fluids und Bezugszeichen 1a', 1b' bezeichnen feine Kanäle in einem F-F' Querschnitt.

Die feinen Kanäle sind gemäß dem Herstellungsablauf ausgebildet, wie in 7 gezeigt ist. Der Herstellungsablauf weist (a) einen Schritt Beschichten eines Fotoresists 11 auf einem Glassubstrat 9, (b) einen Schritt Platzieren einer Fotomaske 12 auf dem Fotoresist 11, Belichten von Licht und Entfernen der Fotomaske 12gefolgt von einer Entwicklung, (c) einen Schritt Ausbilden einer Ni-Schicht durch Ni-Sputtern auf dem Glassubstrat 9, auf dem der verbleibende Fotoresist 11 als ein konvexer Abschnitt ausgebildet wurde, und Galvanisieren von Ni (28) auf der Ni-Schicht, (d) einen Schritt Abziehen der Ni-Schicht von dem Glassubstrat 9 nach dem Schritt (c), um eine Stampfform 26 auszubilden, die einen konvexen Abschnitt hat, (e) einen Schritt Ausbilden einer Stampfform 22a für eine obere Fläche und einer Stampfform 22b für eine untere Fläche von der Stampfform 26, der einen konvexen Abschnitt hat, der durch den Schritt (d) erhalten wird, und Anbringen dieser Stampfformen an einer Spritzgussmaschine, (f) einen Schritt Einspritzen von Harz von der Spritzgussmaschine, um ein Substrat 27 zu erhalten, und (g) einen Schritt Entfernen der Stampfformen 22a, 22b für die oberen und unteren Flächen auf, um das Substrat herauszunehmen, in das konvexe Abschnitte in beiden Flächen ausgebildet sind.

Insbesondere wird das Fotoresist 11 auf einer kreisförmigen Glasplatte (dem Glassubstrat 9) mit einer Stärke von 30 &mgr;m beschichtet, um die Originalplatte mit einem Fotoresist für eine Belichtung mit Licht vorzubereiten. Die Fotomaske 12 mit einem Muster, das zu der Form der feinen Kanäle korrespondiert, wird auf die Originalplatte mit Fotoresist zum Belichten mit Licht platziert. Licht wird durch die Fotomaske 12 belichtet, gefolgt von dem Entwickeln, wodurch konkave Abschnitte, die zu den feinen Kanälen korrespondieren, in der Fotoresistfläche ausgebildet werden. Dann wird eine leitende metallische Schicht aus einem Metall wie zum Beispiel Ni durch Sputtern auf der Fläche des Fotoresists mit den konkaven Abschnitten ausgebildet. Weiter wird durch Galvanisieren eine galvanisierte metallische Schicht ausgebildet. Dann werden die leitende metallische Schicht und die galvanisierte metallische Schicht als einstückiger Körper von der Originalglasplatte entfernt. Dann wird das verbleibende Resist entfernt, um eine Stampfform 26 mit konvexen Abschnitten zu erhalten, die zu feinen Kanälen 1 (1a, 1b) korrespondieren. Ähnlich wird eine zusätzliche Stampfform ausgebildet. Durch Einspritzen von Harz zwischen einem Raum, der durch zwei gegenüberliegende Stampfformen ausgebildet wird, wird das Substrat mit feinen Kanälen an beiden Flächen vorbereitet, in denen die konkaven Abschnitte ausgebildet wurden, die zu den feinen Kanälen 1a, 1b korrespondieren.

An den beiden Flächen, die jeweils die konkaven Abschnitte haben, die zu den feinen Kanälen 1a, 1b des kreisförmigen scheibenartigen Substrats korrespondieren, wird durch ein Aufbringen von Wärme ein kreisförmiges scheibenartiges aus Harz hergestelltes Abdeckelement mit einer Stärke von 100 &mgr;m, einem Durchmesser von 130 mm, einer mittigen Öffnung von 30 mm im Durchmesser und kleinen Öffnungen von 1 mm im Durchmesser verbunden, die vorher an Positionen mechanisch ausgebildet wurden, die zu Einlassanschlüssen zum Fördern von Fluid in den feinen Kanälen und zu Auslassanschlüssen zum Abgeben des Fluids korrespondieren, wodurch die Vorrichtung mit feinen Kanälen vorbereitet wurde, die mit feinen Kanälen 1a, 1b in beiden Flächen der Vorrichtung vorgesehen ist.

8 zeigt das Informationsmessgerät gemäß einem Beispiel 2. Das Informationsmessgerät weist eine Aufspanneinheit 19 zum Halten und Positionieren der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen und eine Dreheinheit 20 zum Drehen der Vorrichtung mit feinen Kanälen um 90° auf. Ein Magnet, der eine Halte-/Positioniereinrichtung für die Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen bildet, ist an einer Aufspanneinrichtung angebracht. Weiter ist die Aufspanneinrichtung mit einer sehr genauen zylindrischen Welle in ihrer Mitte und einem sehr genauen Stift als eine Drehreferenz vorgesehen. Die Aufspanneinrichtung ist an einem Motor befestigt, um durch diesen gedreht zu werden. Der Drehwinkel kann durch ein Ausgangssignal von einer Codiereinrichtung gesteuert werden, die in dem Motor eingebaut ist. Der Motor mit der angebrachten Aufspannvorrichtung ist mit einer (nicht gezeigten) Last-/Entlastungseinrichtung vorgesehen. Die Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen kann auf der Aufspanneinrichtung in einem Entlastungszustand festgelegt werden. Ein Einlassanschluss oder ein Auslassanschluss, der in der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen ausgebildet ist, wird gemäß einer Anweisung eines Beginns einer Messung in engen Kontakt mit einer Einbringungsbahn 15 oder einer Abgabebahn 16 gebracht, die an dem Informationsmessgerät befestigt ist. Das Messsystem des Informationsmessgeräts weist eine Lichtquelle 17 zum Begrenzen von Licht auf einem Messabschnitt in der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen und zwei Fotodetektoren 18 (einem Fotodetektor 18a und einem Fotodetektor 18b) zum Messen von Licht auf, das durch den Messabschnitt übertragen wird. Von der Lichtquelle 17 ausgesandtes Licht wird mittels eines Strahlenteilers 25 in zwei Abschnitte geteilt. Durch den Strahlenteiler 25 übertragenes Licht wird an dem Messabschnitt in einem feinen Kanal 1 angestrahlt, der in der oberen Fläche der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen ausgebildet ist. An dem Strahlenteiler reflektiertes und an einem Spiegel 24 um 90° abgelenktes Licht wird an dem Messabschnitt in einem feinen Kanal 1 in der unteren Fläche der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen angestrahlt. Das durch jeden der Messabschnitte in den feinen Kanälen 1 übertragene Licht kann durch die zwei Fotodetektoren 18a, 18b detektiert werden. Somit kann eine Informationsmessung von den Messabschnitten in den feinen Kanälen 1, die in beiden Flächen der Vorrichtung 14 mit feinen Kanälen ausgebildet sind, gleichzeitig durchgeführt werden. Obwohl das optische Messverfahren verwendet wird, das sich das übertragene Licht zunutze macht, ist in Beispiel 2 die vorliegende Erfindung nicht auf ein derartiges Verfahren beschränkt.

In 8 bezeichnet Bezugszeichen 15a Einbringungsbahnen an einer oberen Seite, Bezugszeichen 15b bezeichnen Einbringungsbahnen an einer unteren Seite, Bezugszeichen 16a bezeichnet eine Abgabebahn an einer oberen Seite und Bezugszeichen 16b bezeichnet eine Abgabebahn an einer unteren Seite.

In dem Informationsmessgerät, das die Vorrichtung mit feinen Kanälen in diesem Ausführungsbeispiel verwendet, kann eine Informationsmessung an den Messabschnitten in den feinen Kanälen, die in beiden Flächen der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind, gleichzeitig durchgeführt werden. Da es weiter möglich ist, eine Information von einer Vielzahl von Messabschnitten in der Vorrichtung mit feinen Kanälen nacheinander zu messen, kann der Wirkungsgrad einer Messinformation weiter verbessert werden. Da es weiter nicht notwendig ist, die Vorrichtungen mit feinen Kanälen häufig auszutauschen, ist eine dauerhafte Informationsmessung möglich.

BEISPIEL 3

9 zeigt eine Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart eines Beispiels 3 eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ist eine kreisförmige Vorrichtung mit einem Durchmesser von 130 mm. Die Form eines konkaven Abschnitts, der zu einem feinen Kanal korrespondiert, hat eine Y-Form mit einer Breite von 200 &mgr;m und einer Tiefe von 50 &mgr;m. Vier konkave Abschnitte, die zu feinen Kanälen 1 korrespondieren, sind in einer Fläche eines Substrats 3 mit feinen Kanälen mit einer Teilung von 90° ausgebildet. Die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart weist zwei Substrate 3a, 3b mit feinen Kanälen mit den konkaven Abschnitten, die zu den feinen Kanälen 1 korrespondieren, und ein Abdeckelement 2 auf, wobei die Bauteile auf dem Substrat mit feinen Kanälen einstückig laminiert sind, wobei das Abdeckelement oberhalb angeordnet ist. An der Mitte der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ist eine Nabe 6 vorgesehen, um die Vorrichtung 29 in dem Informationsmessgerät eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung zu halten und anzuordnen. Die Nabe 6 ist aus einem metallischen Material hergestellt, das in der Lage ist, magnetisch eingespannt zu werden, wodurch die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart in dem Informationsmessgerät gehalten werden kann. Eine sehr genaue Positionieröffnung 7 ist in der Mitte der Nabe 6 ausgebildet, um die Vorrichtung 29 in dem Informationsmessgerät richtig anzuordnen. Durch Verwenden der Positionieröffnung 7 kann die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen in dem Informationsmessgerät richtig angeordnet werden. Zusätzlich zu der Positionieröffnung 7 in der Mitte der Nabe 6 ist auch eine sehr genaue Bezugswinkelöffnung 8, die eine Winkelreferenz an den Messabschnitten vorsieht, die in der Informationsmessvorrichtung 29 ausgebildet sind, in der Nabe 6 ausgebildet. Mit einer derartigen Anordnung ist es möglich, das Positionsverhältnis zwischen den Messabschnitten in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen und dem Detektor zu bestimmen, der in dem Informationsmessgerät angeordnet ist.

Obwohl die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen ausgebildet ist, um einen Durchmesser von 130 mm und vier Y-förmige konkave Abschnitte mit einer Teilung von 90° zu haben, die zu den feinen Kanälen 1 korrespondieren, sind in Beispiel 3 der Durchmesser der Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart, die Form der feinen Kanäle 1 und die Teilung der feinen Kanäle nicht derartig beschränkt.

Zwei Substrate mit feinen Kanälen 1 (die Substrate 3 mit den konkaven Abschnitten), das heißt ein oberes Substrat 3a mit feinen Kanälen und ein unteres Substrat 3b mit feinen Kanälen, werden in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 vorbereitet. Kleine Öffnungen mit einem Durchmesser von 1 mm werden in dem oberen Substrat 3a mit feinen Kanälen mit den feinen Kanälen 1 an Positionen, die zu Einlassanschlüssen 4d und Auslassanschlüssen 5d korrespondieren, zum Fördern von einer Flüssigkeit in dem unteren Substrat 3b mit feinen Kanälen oder Abgeben von einer Flüssigkeit von dem unteren Substrat 3b mit feinen Kanälen mittels einer mechanischen Prozesseinrichtung vorher ausgebildet. In Beispiel 3 werden die feinen Kanäle 1 durch Ätzen des Glassubstrats ausgebildet. Jedoch ist das Verfahren zum Ausbilden der feinen Kanäle nicht auf ein derartiges Verfahren beschränkt.

In 9 bezeichnen Bezugszeichen 1c und 1c' feine Kanäle, die in dem oberen Substrat mit feinen Kanälen ausgebildet sind, und Bezugszeichen 1d, 1d' bezeichnen feine Kanäle in dem unteren Substrat mit feinen Kanälen, wobei die feinen Kanäle im Querschnitt gezeigt sind.

In dem aus Glas hergestellten Abdeckelement 2 mit einer Stärke von 1 mm, einem Durchmesser von 130 mm und einer mittigen Öffnung von 30 mm im Durchmesser, werden kleine Öffnungen mit einem Durchmesser von 1 mm vorher an Positionen mechanisch ausgebildet, die zu den Einlassanschlüssen 4c zum Einbringen von Flüssigkeit in den feinen Kanal 1 und zu den Auslassanschlüssen 5c zum Abgeben von Flüssigkeit von dem feinen Kanal 1 in dem oberen Substrat 3a mit feinen Kanälen und zu den Einlassanschlüssen 4d zum Einbringen von Flüssigkeit in den feinen Kanal 1 und zu den Auslassanschlüssen 5d zum Abgeben der Flüssigkeit von dem feinen Kanal 1 in dem unteren Substrat 3b mit feinen Kanälen korrespondieren. Die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart wird durch einstückiges Laminieren des Abdeckelements 2 auf dem oberen Substrat 3a mit feinen Kanälen, um die feinen Kanäle 1 abzudecken; Laminieren des oberen Substrats 3a mit feinen Kanälen auf dem unteren Substrat 3b mit feinen Kanälen, um den feinen Kanal 1 abzudecken, der in dem unteren Substrat 3b mit feinen Kanälen ausgebildet ist, und Verbinden durch Aufbringen von Wärme erzeugt. Die Positionen der feinen Kanäle 1 in dem oberen Substrat 3a mit feinen Kanälen sind um 22,5° von den Positionen der feinen Kanäle 1 versetzt, die in dem unteren Substrat 3b mit feinen Kanälen ausgebildet sind. In Beispiel 3 wird das Glassubstrat 9 für die Substrate 3 mit feinen Kanälen und das Abdeckelement 2 verwendet. Jedoch ist die vorliegende Erfindung auf eine derartige Struktur nicht beschränkt.

10 zeigt das Informationsmessgerät in einem Beispiel 3 eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. Das Informationsmessgerät weist eine Aufspannvorrichtung 19 zum Halten und Positionieren der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen und eine Dreheinheit 20zum Drehen der Vorrichtung mit feinen Kanälen auf. Als eine Halte-/Positioniereinrichtung für die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen ist ein Magnet an einer Aufspanneinrichtung befestigt. Die Aufspanneinrichtung ist in ihrer Mitte mit einer sehr genauen zylindrischen Drehwelle und einem sehr genauen Stift als eine Drehreferenz vorgesehen. Die Aufspanneinrichtung ist an einem Motor befestigt, um durch diesen gedreht zu werden. Der Drehwinkel kann durch ein Ausgangssignal von einer Codiereinrichtung gesteuert werden, die in dem Motor eingebaut ist. Der Motor mit der angebrachten Aufspanneinrichtung ist mit einer (nicht gezeigten) Last-/Entlastungseinrichtung vorgesehen. Die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart kann auf der Aufspanneinrichtung in einem Entlastungszustand festgelegt werden. Ein Einlassanschluss oder ein Auslassanschluss für eine Flüssigkeit, der in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ausgebildet ist, wird gemäß einer Anweisung eines Beginns einer Messung in engen Kontakt mit einer Einbringungsbahn 15 oder einer Abgabebahn 16 gebracht, die an dem Informationsmessgerät befestigt ist, wodurch eine Flüssigkeit in die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart eingebracht oder von der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart abgegeben werden kann. Weiter wird gemäß einer Anweisung eines Endes einer Messung der enge Kontakt zwischen den Bauteilen aufgehoben. Das Messsystem in dem Informationsmessgerät weist eine Lichtquelle 17 zum Aussenden von Licht an einen Messabschnitt in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart, um eine optische Messung auszuführen, und einen Fotodetektor 18 auf, der gegenüber der Lichtquelle 17 bezüglich der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart angeordnet ist, um durch den Messabschnitt übertragenes Licht zu messen oder zu detektieren. Obwohl ein optisches Messverfahren in Beispiel 3 verwendet wird, das sich das übertragene Licht zunutze macht, ist die vorliegende Erfindung nicht auf ein derartiges Verfahren beschränkt.

In dem Informationsmessgerät, das die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart dieses Beispiels verwendet, ist es möglich, eine Information von einer Vielzahl von Messabschnitten zu messen, die in einer Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ausgebildet sind, die durch Laminieren einer Vielzahl von Vorrichtungen mit feinen Kanälen ausgebildet wird. Weiter ist es möglich, eine Information nacheinander zu detektieren, während die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart gedreht wird. Demgemäß kann der Wirkungsgrad einer Informationsmessung verbessert werden. Da die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart durch Laminieren einer Vielzahl von Vorrichtungen mit feinen Kanälen gebildet wird, ist es weiter nicht notwendig, die Vorrichtungen mit feinen Kanälen häufig auszutauschen, und dadurch ist eine dauerhafte Informationsmessung möglich.

BEISPIEL 4

Die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart gemäß einem Beispiel 4 eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung ist in 9 gezeigt. Die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart hat die gleiche Struktur wie in Beispiel 3, wobei sie eine kreisförmige Ausgestaltung mit einem Durchmesser von 130 mm hat. Die Form eines konkaven Abschnitts, der zu einem feinen Kanal korrespondiert, ist Y-förmig mit einer Breite von 200 &mgr;m und einer Tiefe von 50 &mgr;m. Vier Konkave Abschnitte, die zu vier feinen Kanälen 1 korrespondieren, sind in einer Fläche eines Substrats 3 mit feinen Kanälen mit einer Teilung von 90° ausgebildet. Die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart wird durch einstückiges Laminieren der zwei Substrate 3 mit feinen Kanälen, die die konkaven Abschnitte haben, die zu den feinen Kanälen korrespondieren, und einem Abdeckelement 2 ausgebildet. Eine Nabe 6 ist an dem mittigen Abschnitt der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen vorgesehen, um die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart in dem Informationsmessgerät eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung zu halten und anzuordnen. Die Nabe 6 ist aus einem metallischen Material hergestellt, das in der Lage ist, magnetisch so eingespannt zu werden, dass die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen in dem Informationsmessgerät gehalten werden kann. Um die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen in dem Informationsmessgerät richtig anzuordnen, ist eine sehr genaue Positionieröffnung 7 in der Mitte der Nabe 6 ausgebildet. Durch Verwenden der Positionieröffnung 7 kann die Vorrichtung mit feinen Kanälen in dem Gerät richtig angeordnet werden. Zusätzlich zu der Positionieröffnung 7, die in der Mitte der Nabe ausgebildet ist, ist auch eine sehr genaue Bezugswinkelöffnung 8, die eine Winkelreferenz an den Messabschnitten vorsieht, die in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ausgebildet sind, in der Nabe 6 ausgebildet. Mit einer derartigen Anordnung ist es möglich, das Positionsverhältnis zwischen den Messabschnitten, die in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ausgebildet sind, und den Detektor zu bestimmen, der in dem Informationsmessgerät angeordnet ist.

Obwohl die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart in Beispiel 4 ausgebildet ist, um einen Durchmesser von 130 mm und vier Y-förmige konkave Abschnitte zu haben, die zu den feinen Kanälen korrespondieren, die mit einer Teilung von 90° angeordnet sind, sind der Durchmesser, die Form der feinen Kanäle und die Teilung der feinen Kanäle nicht derartig beschränkt.

Zwei Substrate mit feinen Kanälen 1 (die Substrate 3 mit konkaven Abschnitten), das heißt ein oberes Substrat 3a mit feinen Kanälen und ein unteres Substrat 3b mit feinen Kanälen werden gemäß dem gleichen Herstellungsablauf wie in Beispiel 1 vorbereitet. Kleine Öffnungen mit einem Durchmesser von 1 mm werden vorher mittels einer mechanischen Prozesseinrichtung in dem oberen Substrat 3a mit feinen Kanälen 1 an Positionen ausgebildet, die zu Einlassanschlüssen 4d und Auslassanschlüssen 5d für eine Flüssigkeit in dem unteren Substrat 3b mit feinen Kanälen korrespondieren. In Beispiel 4 werden die feinen Kanäle 1 durch Ätzen des Glassubstrats ausgebildet. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf ein derartiges Verfahren beschränkt.

Ein aus Glas hergestelltes Abdeckelement 2 mit einer Stärke von 1 mm, einem Durchmesser von 130 mm und einer mittigen Öffnung mit einem Durchmesser von 30 mm wird vorbereitet. In dem Abdeckelement 2 werden durch eine mechanische Prozesseinrichtung kleine Öffnungen mit einem Durchmesser von 1 mm an Positionen ausgebildet, die zu den Einlassanschlüssen 4c und den Auslassanschlüssen 5c für eine Flüssigkeit, die in feine Kanäle von feinen Kanälen in dem oberen Substrat 3a mit feinen Kanälen eingebracht und abgegeben wird, und zu den Einlassanschlüssen 4d und den Auslassanschlüssen 5d für eine Flüssigkeit korrespondieren, die in feine Kanäle von feinen Kanälen des unteren Substrats 3b mit feinen Kanälen eingebracht und abgegeben wird. Das Glasabdeckelement 2 wird auf dem oberen Substrat 3a mit feinen Kanälen einstückig laminiert, um die feinen Kanäle 1 abzudecken, die in dem oberen Substrat 3a mit feinen Kanälen ausgebildet sind, und das obere Substrat 3a mit feinen Kanälen wird durch Aufbringen von Wärme auf dem unteren Substrat 3b mit feinen Kanälen einstückig laminiert, um die feinen Kanäle 1 abzudecken, wodurch die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart vorbereitet wird, die mit den feinen Kanälen 1 vorgesehen ist. Die Positionen der feinen Kanäle 1, die in dem oberen Substrat 3a mit feinen Kanälen ausgebildet sind, sind von der Position der feinen Kanäle 1, die in dem unteren Substrat 3b mit feinen Kanälen ausgebildet sind, um 22,5° versetzt. In Beispiel 4 wird das Glassubstrat 9 für die Substrate 3a, 3b mit feinen Kanälen und das Abdeckelement 2 verwendet. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf das Glassubstrat beschränkt.

Das Informationsmessgerät gemäß dem Beispiel 4 eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung ist in 11 gezeigt. Das Informationsmessgerät weist eine Aufspanneinheit 19 zum Halten und Positionieren der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart und eine Dreheinheit 20 zum Drehen der Vorrichtung 29 auf. Als eine Halte-/Positioniereinrichtung für die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ist ein Magnet vorgesehen, der an einer Aufspanneinrichtung befestigt ist. Die Aufspanneinrichtung ist mit einer sehr genauen zylindrischen Drehwelle an ihrer Mitte und einem sehr genauen Stift als eine Drehreferenz vorgesehen. Die Aufspanneinrichtung ist an einem Motor befestigt, um durch diesen gedreht zu werden. Der Drehwinkel kann durch ein Ausgangssignal von einer Codiereinrichtung gesteuert werden, der in dem Motor eingebaut ist. Der Motor mit der angebrachten Aufspanneinrichtung ist mit einer (nicht gezeigten) Last-/Entlastungseinrichtung vorgesehen. Die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart kann auf der Aufspanneinrichtung in einem Entlastungszustand festgelegt werden. Ein Einlassanschluss 4 oder ein Auslassanschluss 5, der in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ausgebildet ist, wird gemäß einer Anweisung eines Beginns einer Messung in engen Kontakt mit einer Einbringungsbahn 15 oder einer Abgabebahn 16 gebracht, die an dem Informationsmessgerät befestigt ist, wodurch eine Flüssigkeit in die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart eingebracht oder von der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart abgegeben werden kann. Weiter wird gemäß einer Anweisung eines Endes einer Messung der enge Kontakt zwischen den Bauteilen aufgehoben. Das Messsystem des Informationsmessgeräts weist eine Lichtquelle 17 zum Aussenden von Licht an einen Messabschnitt in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart, um eine optische Messung auszuführen, ein optisches System 30 zum Sammeln von Licht für eine optische Messung an dem Messabschnitt, ein Stellglied 31 zum Antreiben des optischen Systems 30 in einer Richtung einer optischen Achse, ein Servosystem zum Antreiben des Stellglieds 31 und einen Fotodetektor 18 zum Messen von Licht auf, das von dem Messabschnitt der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart reflektiert wird, wobei die Lichtquelle 17, das optische System 30, das Stellglied 31 und der Fotodetektor 18 an einer Seite der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart angeordnet sind. Von der Lichtquelle 17 für eine optische Messung ausgesandtes Licht wird durch einen Strahlenteiler 25 übertragen, um an einem Messabschnitt in einem feinen Kanal 1, der in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ausgebildet ist, mittels einer Objektivlinse 32 fokussiert zu werden. Das von dem Messabschnitt in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen reflektierte Licht wird durch die Objektivlinse 32 übertragen, um den Strahlenteiler 25 zu erreichen, an dem das Licht reflektiert wird, um durch den Fotodetektor 18 detektiert zu werden. Das Sammeln des Lichts an dem Messabschnitt in dem feinen Kanal der laminierten Vorrichtung mit feinen Kanälen kann durch Steuern des Stellglieds 31 durchgeführt werden, das die Objektivlinse 32 in der Richtung einer optischen Achse antreibt, wodurch es möglich ist, das Licht von der Lichtquelle 17 an dem oberen Substrat 3a mit feinen Kanälen oder dem unteren Substrat 3b mit feinen Kanälen zu fokussieren.

Wie vorstehend beschrieben ist, ist es in dem die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart in diesem Beispiel verwendeten Informationsmessgerät möglich, eine Information von einer Vielzahl von Messabschnitten zu messen, die jeder in einem Substrat 3 mit feinen Kanälen in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ausgebildet sind, die durch Laminieren einer Vielzahl von Vorrichtungen mit feinen Kanälen ausgebildet wird. Da es weiter möglich ist, eine Information nacheinander zu detektieren, während die Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart gedreht wird, kann der Wirkungsgrad einer Informationsmessung verbessert werden. Da ein optisches Messverfahren in diesem Beispiel verwendet wird, das sich reflektiertes Licht zu Nutze macht, und eine Informationsmessung durch Fokussieren von Licht von der Lichtquelle 17 für eine Informationsmessung an einem Messabschnitt ausgeführt wird, der in jedem Substrat 3 mit feinen Kanälen in der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ausgebildet ist, ist es möglich, eine Information von der Vorrichtung 29 mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ohne Verringerung der Detektionsempfindlichkeit zu messen.

Wie vorstehend beschrieben ist, da das Informationsmessgerät mit der Vorrichtung der feinen Kanäle der vorliegenden Erfindung so konstruiert ist, dass die Vorrichtung mit feinen Kanälen um einen gewünschten Winkel gedreht werden kann, ist es möglich, eine Informationsmessung an einer Vielzahl von Messabschnitten in feinen Kanälen durchgehend auszuführen, die in der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind, und der Wirkungsgrad einer Informationsmessung kann verbessert werden. Da feine Kanäle in beiden Flächen der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind, kann eine Vielzahl von Detektoren für eine Informationsmessung vorgesehen sein, wodurch es möglich ist, eine Information von Messabschnitten in den feinen Kanälen zu messen, die in beiden Flächen ausgebildet sind. Demgemäß kann der Wirkungsgrad einer Informationsmessung weiter verbessert werden, und eine dauerhafte Informationsmessung ist möglich. Wünschenswerterweise kann in der Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart, die durch Laminieren einer Vielzahl von Vorrichtungen mit feinen Kanälen gebildet wird, die Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart um einen vorbestimmten Winkel gedreht werden, wodurch es möglich ist, eine Informationsmessung von einem Messabschnitt durchgehend auszuführen, der in jedem Substrat mit feinem Kanal ausgebildet ist, und daher kann der Wirkungsgrad einer Informationsmessung verbessert werden.

Weiter weist wünschenswerterweise das Informationsmessgerät, das die Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart verwendet und sich ein optisches Messverfahren der Reflektionsart zu Nutze macht, eine Lichtquelle für eine Informationsmessung, ein optisches System zum Sammeln von Licht der Lichtquelle und eine Antriebseinrichtung zum Antreiben des optischen Systems in einer Richtung einer optischen Achse auf, wobei eine Informationsmessung durch Sammeln von Licht von der Lichtquelle an jedem Messabschnitt durchgeführt wird, der in feinen Kanälen in den laminierten Vorrichtungen mit feinen Kanälen ausgebildet ist. Demgemäß ist es möglich, eine Information von der Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ohne Verringerung der Detektionsempfindlichkeit zu messen.


Anspruch[de]
Informationsmessgerät, das eine Vorrichtung (14; 29) mit feinen Kanälen mit feinen Kanälen (1) hat, wobei das Informationsmessgerät zumindest einen Detektor (17, 18) zum Messen von Information, die von einer Vielzahl von Messabschnitten, die in den feinen Kanälen (1) vorgesehen sind, die in der Vorrichtung (14; 29) mit feinen Kanälen ausgebildet sind, eine

Positionshalte/Bestimmungseinrichtung (6, 7, 8) zum Halten und Positionieren der Vorrichtung (14; 29) mit feinen Kanälen, eine Dreheinrichtung (19, 20) zum Drehen der Vorrichtung (14; 29) mit feinen Kanälen um einen vorbestimmten Winkel und eine

Positionsbestimmungseinrichtung (6, 7, 8) zum Positionieren der Messabschnitte, der feinen Kanäle (1) und des Detektors (17, 18), aufweist, wobei die Information, die von den Messabschnitten in der Vorrichtung (14; 29) mit feinen Kanälen zugeführt wird, durch Drehen der Vorrichtung (14; 29) mit feinen Kanälen um den vorbestimmten Winkel nacheinander gemessen wird,

dadurch gekennzeichnet, dass

die feinen Kanäle (1) in beiden Flächen der Vorrichtung (14; 29) mit feinen Kanälen ausgebildet sind; wobei

die Positionen der feinen Kanäle (1), die in einer Fläche ausgebildet sind, von den Positionen der feinen Kanäle (1), die in der anderen Fläche ausgebildet sind, um einen vorbestimmten Winkel versetzt sind.
Informationsmessgerät gemäß Anspruch 1, wobei die Vorrichtung (14; 29) mit feinen Kanälen eine kreisförmige scheibenartige Vorrichtung ist, die mit zumindest einem Einlassanschluss (4) zum Einbringen von Fluid, mit zumindest einem feinen Kanal (1) zum Fördern des eingebrachten Fluids und mit zumindest einem Auslassanschluss (5) zum Abgeben des Fluids vorgesehen ist, wobei die Vorrichtung (14; 29) mit feinen Kanälen ein Substrat (3), in dem der feine Kanal (1) in seinen Flächen ausgebildet ist, und das Abdecklement (2) aufweist, das auf dem Substrat (3) laminiert ist, um die Fläche mit dem feinen Kanal (1) abzudecken, wobei die Information von den Messabschnitten in der Vorrichtung mit feinen Kanälen gemessen wird. Informationsmessgerät gemäß Anspruch 2, wobei die Vorrichtung mit feinen Kanälen eine kreisförmige scheibenartige Vorrichtung (14; 29) mit feinen Kanälen der Laminationsbauart ist, die durch Laminieren einer Vorrichtung mit feinen Kanälen und eines Abdeckelements (2) in einer Vielzahl einstückig ausgebildet wird. Informationsmessgerät gemäß Anspruch 3, das weiter ein optisches System (30) zum Fokussieren von Licht von einer Lichtquelle (17) zum Messen von Information und eine Antriebseinrichtung (31) zum Antreiben des optischen Systems (30) in einer Richtung einer optischen Achse aufweist, wobei, wenn die Information von den Messabschnitten entsprechend einem optischen Messverfahren des Reflektionstyps gemessen wird, Licht von der Lichtquelle (17) zu einem Messabschnitt in einem feinen Kanal (1) in jedem Substrat der laminierten Substrate in der Vorrichtung mit feinen Kanälen der Laminationsbauart fokussiert wird. Informationsmessgerät gemäß Anspruch 1, wobei der Detektor (17, 18) eine Lichtquelle (17), die an einer Seite der Vorrichtung mit feinen Kanälen angeordnet ist, und einen Photodetektor (18) aufweist, der an der entgegengesetzten Seite der Vorrichtung mit feinen Kanälen angeordnet ist, um Licht zu messen, das durch einen Messabschnitt der Vorrichtung mit feinen Kanälen hindurchtritt. Informationsmessgerät gemäß Anspruch 1, wobei der Detektor (17, 18) eine Lichtquelle (17), die an einer Seite der Vorrichtung mit feinen Kanälen angeordnet ist, Photodetektoren (18), die an der entgegengesetzten Seite der Vorrichtung mit feinen Kanälen angeordnet sind, um Licht zu messen, das durch die Messabschnitte der Vorrichtung mit feinen Kanälen hindurchtritt, und einen Strahlenteiler (25) aufweist, der zwischen der Lichtquelle (17) und den Photodetektoren (18) angeordnet ist, um benachbart der Lichtquelle (17) zu sein, wodurch die Information von den Messabschnitten, die an beiden Seiten der Vorrichtung mit feinen Kanälen ausgebildet sind, gleichzeitig gemessen wird. Informationsmessgerät gemäß Anspruch 1, wobei der Detektor (17, 18) eine Lichtquelle (17), die an einer Seite der Vorrichtung mit feinen Kanälen angeordnet ist, ein optisches System (30), das zwischen der Lichtquelle und der Vorrichtung mit feinen Kanälen angeordnet ist, einen Photodetektor (18), der an der gleichen Seite der Lichtquelle (17) angeordnet ist, um Licht zu empfangen, das von der Lichtquelle (17) ausgesandt wird und von der Vorrichtung mit feinen Kanälen und dem optischen System (30) reflektiert wird, und ein Stellglied (31) zum Bewegen des optischen Systems in einer Richtung der optischen Achse aufweist. Informationsmessgerät gemäß Anspruch 1, wobei die Vorrichtung mit feinen Kanälen eine Fläche hat, die mit einer Vielzahl von feinen Kanälen (1) vorgesehen ist, die in einer radialen Richtung mit einem vorbestimmten Teilungswinkel ausgebildet sind.






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