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Dokumentenidentifikation DE102004058108B4 28.12.2006
Titel Transfereinheit einer Bearbeitungsanlage
Anmelder ASYS Automatic Systems GmbH & Co. KG, 73614 Schorndorf, DE
Erfinder Hügler, Klaus, 73630 Remshalden, DE
Vertreter Wittner & Müller, 73614 Schorndorf
DE-Anmeldedatum 01.12.2004
DE-Aktenzeichen 102004058108
Offenlegungstag 08.06.2006
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 28.12.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 28.12.2006
IPC-Hauptklasse B65G 49/07(2006.01)A, F, I, 20060320, B, H, DE

Beschreibung[de]

Die Erfindung betrifft eine Transfereinheit einer Bearbeitungsanlage für flächige Substrate von Mikrosystemen gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Transfereinheiten der vorgenannten Art sind aus der US 5,609,459 A1 bekannt, bei der der Zwischenspeicher Bestandteil einer der Andockstation für Transportboxen zugeordneten Umsetzeinrichtung ist, die eine Handhabungseinrichtung in Form eines mehrgliedrigen Handhabungsroboters aufweist, dessen Endglied einen auf die Transportbox zugreifenden und aus dieser die dort beabstandet gestapelt vorliegenden Substrate übernehmenden Zwischenspeicher trägt. Hierzu sitzt der Zwischenspeicher auf dem Endglied der Handhabungseinrichtung auf, die ihrerseits über eine darunter liegende Hubeinrichtung getragen ist, so dass die Handhabungseinrichtung zwischen Hubeinrichtung und Zwischenspeicher liegt. Die Handhabungseinrichtung ist somit mit dem Gewicht des Zwischenspeichers beaufschlagt und muss deshalb entsprechend stabil ausgebildet sein, was unter anderem für die angestrebten Arbeitsgeschwindigkeiten nachteilig ist. Ferner bedingt ein solcher Aufbau für den Antrieb der Handhabungseinrichtung im Hinblick auf die bei Mikrosystemen üblicherweise geforderten Reinheitsgrade aufwändige Abschirmungen und macht auch den Antrieb baulich aufwändig, sofern dieser nicht mit der Handhabungseinrichtung über die Hubeinrichtung höhenverstellbar ist, dann aber die in Hubrichtung zu verstellende Masse weiter erhöht.

Eine aus der DE 100 38 168 C2 bekannte Transfereinheit besteht aus einer Andockstation für Transportboxen flächiger Substrate, die eine Umsetzeinrichtung mit einer Handhabungseinrichtung in Form eines Handhabungsroboters aufnimmt, dessen mehrgliedriger Greiferarm die Substrate zwischen der Transportbox und gegenüberliegend zur Transportbox an die Andockstation angesetzten, separaten Zwischenspeichern umsetzt. Die Zwischenspeicher bilden ihrerseits Verbindungsglieder zwischen der Andockstation und einem Basismodul, das Anschlüsse zu Prozessmodulen aufweist und seinerseits ein Speicherkarussell und eine Handhabungsvorrichtung aufnimmt, welche Zugriff nimmt auf die Zwischenspeicher, das Speicherkarussell und die Prozessmodule. Die Vielzahl der hintereinander angeordneten und vernetzt arbeitenden Elemente ermöglicht zwar eine variantenreiche Arbeitsweise, bedingt aber insbesondere bei der vorgesehenen atmosphärischen Abgrenzung der einzelnen Elemente einen hohen Aufwand, schon wegen der erforderlichen Schleusen, und ist auch raumintensiv, wobei mit der Sechseckkonfiguration des Basismoduls und der umrissangepassten Ausgestaltung von Zwischenspeichern und Andockstation konstruktiv aber noch eine gute Raumausnutzung verwirklicht ist.

Zu dieser Raumausnutzung und den Variationsmöglichkeiten im Arbeitsablauf trägt auch wesentlich bei, dass im Arbeitsraum des Basismoduls die Handhabungsvorrichtung und das Speicherkarussell zusammengefasst sind, wobei das Speicherkarussell über und die höhenverstellbare Handhabungsvorrichtung unter der Transferebene liegen und auch die Zwischenspeicher höhenverstellbar sind, was wiederum einen entsprechend konstruktiven Aufwand bedingt.

Aus der US 5,431,600 A1 ist ein Transportsystem für flächige Substrate von Mikrosystemen bekannt, bei dem Transportboxen in Kassetten gestapelte Substrate aufnehmen und bei dem die Kassetten aus den Transportboxen in einen Transportwagen überführt, mit dem Transportwagen an eine Station herangeführt und unter Abschirmung aus dem Transportwagen auf die angeschlossene Station übergeben werden.

Die Umsetzung der jeweiligen Kassette aus der auf den Transportwagen aufgesetzten Transportbox erfolgt durch eine seitens des Transportwagens vorgesehene, vom Gehäuse der auf den Transportwagen aufgesetzten Transportbox umschlossene Übergabeöffnung. Hierzu entnimmt eine im Transportwagen linear in Hubrichtung verstellbare Hubeinrichtung mit einem die Übergabeöffnung überdeckenden Hubteller den Boden der Transportbox mit darauf aufgesetzter Kassette und überführt die Kassette in eine abgesenkte Lage, in der Anschlussöffnungen von Transportwagen und Station zueinander fluchten und in der die Kassette über eine dem Transportwagen oder der angeschlossenen Prozessstation zuzugehörige Handhabungseinrichtung vom Hubteller abgehoben und zwischen Transportwagen und angeschlossener Station umgesetzt wird. Hubeinrichtung und Handhabungseinrichtung arbeiten dabei unabhängig voneinander, wobei über die Hubeinrichtung die Umsetzung zwischen Transportbox und Transportwagen und über die Handhabungseinrichtung die Umsetzung zwischen Transportwagen und angeschlossener Station erfolgt.

Des Weiteren ist aus der WO 99/65064 A1 eine Bearbeitungsanlage für flächige Substrate von Mikrosystemen bekannt, bei der die Wafer aufnehmenden Kassetten aus einer Eingangsstation auf eine turmartige Speicherstation umgesetzt werden, in der die Kassetten etagenweise übereinander liegend angeordnet werden, wobei die Umsetzung über eine einen Gliederarm umfassende Handhabungseinrichtung erfolgt, die insgesamt über eine Hubeinrichtung höhenverstellbar ist. Zur weiteren Bearbeitung der in den Kassetten gestapelten Wafer werden diese über eine weitere, einen Gliederarm aufweisende, hubverstellbare Handhabungseinrichtung in Arbeitsgerüste umgesetzt, wobei der Zugriff auf die in den Kassetten befindlichen Wafer über schleusengesteuerte Übergangsöffnungen erfolgt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Transfereinheit der eingangs genannten Art in ihrem Aufbau zu vereinfachen und unter weitgehender Nutzung standardisierter Bauteile zu gestalten und dies ohne Nachteile für die Arbeitsgeschwindigkeit bei Arbeitsbedingungen, wie sie in Anlagen gefordert sind, die hinsichtlich der Reinraumklassifikation hohen und höchsten Anforderungen zu genügen haben.

Erfindungsgemäß wird dies mit den Merkmalen des Anspruches 1 erreicht, der eine hinsichtlich ihrer Funktionen getrennte Umsetzeinrichtung vorsieht, wobei die translatorisch-rotatorische Verschiebbarkeit des Zwischenspeichers und dessen Höhenverstellbarkeit unterschiedlichen Aggregaten zugeordnet werden, nämlich einmal der einen Gliederarm als Handhabungsroboter umfassenden Handhabungseinrichtung die Verschiebbarkeit, und zum anderen einer eigenständigen Hubeinrichtung die Höhenverstellbarkeit, wobei die Handhabungseinrichtung und die Hubeinrichtung als gesonderte Baueinheiten der Andockstation in Hochrichtung einander gegenüberliegend zugeordnet sind und die Handhabungseinrichtung mit dem von ihr geführten Zwischenspeicher oberhalb der Hubeinrichtung liegt.

Der Zwischenspeicher ist über die Hubeinrichtung getragen und in Hochrichtung verstellbar, wobei über die Handhabungseinrichtung sowohl eine in Hochrichtung verschiebbare Führung für den Zwischenspeicher gegeben ist, wie auch eine Verschiebbarkeit des Zwischenspeichers quer zur Hoch- und Hubrichtung gegenüber der Hubeinrichtung. Diese Verschiebbarkeit quer zur Hubrichtung ist bevorzugt als Dreh-Schiebeführung realisiert, bei der der Hubeinrichtung eine lineare Führungsbahn zugeordnet ist, längs der der Zwischenspeicher bei Abstützung in einem Drehpunkt über die Handhabungseinrichtung verschiebbar ist.

Es zeigen:

1 schematisiert und teilweise im Schnitt, eine Transfereinheit einer Bearbeitungsanlage für flächige Substrate von Mikrosystemen mit ihrer Andockstation, an die Andockstation angedockter Transportbox für flächige Substrate und bei gegen die Transportbox geöffneter Andockstation auf die Transportbox zugreifender Umsetzeinrichtung,

2 schematisiert, teils geschnitten gemäß Linie II-II in 1 und teils höhenversetzt dargestellt, die Andockstation gemäß 1 bei Zugriff der Umsetzeinrichtung auf die Transportbox,

3 in einer der 1 entsprechenden Darstellung die Andockstation, gegen die angedockte Transportbox über eine Schleuse abgesperrt, nach Übernahme der in der Transportbox befindlicher Substrate auf den Zwischenspeicher, wobei der Zwischenspeicher auf die Transferebene zu einer nachgeordneten, nicht dargestellten Handhabungsvorrichtung angehoben ist,

4 eine der 2 entsprechende Darstellung bezogen auf eine Schnittführung IV-IV in 3,

5 eine Seitenansicht der Andockstation entsprechend dem Pfeil V in 1, wobei die Andockstation lediglich als solche dargestellt ist, bei über eine Schleuse abgedeckter Andocköffnung für die in 1 angesetzte Transportbox,

6 eine isolierte, perspektivische und vereinfachte Darstellung von Teilen der Umsetzeinrichtung mit deren höhenverstellbarem Zwischenspeicher, und

7 Darstellungen von Andockstationen, die in der Draufsicht einen abgewinkelten Querschnitt aufweisen, derart, dass sich winklig zueinander stehende Anschlussebenen zu einem nachgeordneten Teil der Bearbeitungsanlage ergeben, bei parallel liegenden, und bzw. in einer gemeinsamen Ebene liegenden Anschlussquerschnitten für jeweils anzudockende Transportboxen.

Gezeigt ist von einer Bearbeitungsanlage für flächige Substrate von Mikrosystemen ein Ausschnitt aus einer Transfereinheit mit einer Andockstation 1 für Transportboxen 2, in denen flächige Substrate über Kassetten zueinander in Höhenrichtung beabstandet gestapelt sind. Bei an die Andockstation 1 angedockter Transportbox 2 liegen die in dieser gestapelten Substrate im Zugriffsbereich einer Umsetzeinrichtung 3, die in der Andockstation 1 vorgesehen ist. Die Andockstation 1 weist weiter einen Anschluss 4 auf, der im Übergang auf eine weitere, hier nur schematisch angedeutete Station 5 der Bearbeitungsanlage liegt und über den eine der Station 5 zugeordnete Handhabungsvorrichtung Zugriff auf die Andockstation 1 und in dieser befindliche Substrate nehmen kann. Die Umsetzung der Substrate 24 zwischen Transportboxen 2, Zwischenspeicher 14 und nachgeordneten Stationen 5, etwa einem Basismodul und Prozessmodulen, erfolgt längs einer Transferebene 44. Als eine weitere Station 5 der Bearbeitungsanlage kommt beispielsweise ein Basismodul gemäß der DE 198 31 032 A1 in Frage, das als Übergangsmodul zu Prozessmodulen ausgestaltet, ein Speicherkarussell sowie eine Handhabungsvorrichtung umfasst, die sowohl auf die Andockstation 1, die Prozessmodule und das Speicherkarussell Zugriff nehmen kann.

In 1 ist eine Transportbox 2 an die Andockstation 1 angesetzt, und die Umsetzeinrichtung 3 greift durch die Übergabeöffnung 6 der Andockstation 1 auf die Transportbox 2 zu, wobei die Schleusentür 7 der der Übergabeöffnung 6 zugeordneten Schleuse 8 (5) geöffnet ist. Die Schleusentür 7 ist im Ausführungsbeispiel durch eine in Hochrichtung verschiebbare Glasscheibe gebildet, sodass eine visuelle Beobachtung der Arbeitsweise der Umsetzeinrichtung 3 möglich ist.

Die Umsetzeinrichtung 3 umfasst im Ausführungsbeispiel als Handhabungseinrichtung einen Handhabungsroboter 9, der deckelseitig zur Andockstation 1 vorgesehen ist und dessen Antrieb 10 außerhalb des Gehäuses 11 der Andockstation 1 liegt, bei höhenfester Lagerung des als SCARA-Arm ausgebildeten Gliederarmes 12 des Handhabungsroboters 9. Das Endglied 13 des Gliederarmes 12 ist als Hand- oder Greiferteil Träger eines Zwischenspeichers 14, wobei der Zwischenspeicher 14 lediglich in Hochrichtung zum Endglied 13 verstellbar ist, parallel zur Bewegungsebene des Endgliedes 13 aber gegenüber diesem lagefest.

Die höhenverstellbare Verbindung zwischen dem Endglied 13 und dem Zwischenspeicher 14 umfasst – als Parallelführung – zwei Führungssäulen 15, längs derer der Zwischenspeicher 14 in Hochrichtung verschiebbar ist. Ausgestaltet ist der Zwischenspeicher 14, wie insbesondere 6 zeigt, mit zwei Tragarmen 16, 17, die zueinander lagefest über eine Brücke 18 verbunden sind, wobei die Brücke 18 eine untere Querverbindung zwischen den Tragarmen 16, 17 im Bereich der diese durchsetzenden Aufnahmebohrungen 19 für die Führungssäulen 15 bildet. Ausgehend von den von der Brücke 18 aufragenden Aufnahmebereichen 20, 21 für die Aufnahmebohrungen 19 sind die Tragarme 16, 17 durch kammartig übereinander liegende Auflagen 22 gebildet, die Tragfinger bilden, welche entsprechend den Auflagen der Aufnahmekassette der Transportbox 2 in Hochrichtung zueinander beabstandet sind und die in der Kassette der Transportbox 2 abgelegten Substrate untergreifend in die Transportbox 2 eingefahren werden können. Durch Höhenversatz der Transportbox 2 mit darin befindlicher Aufnahmekassette, der Aufnahmekassette gegenüber der Transportbox 2 und/oder durch Höhenversatz des Zwischenspeichers 14 können die in der Kassette der Transportbox 2 abgelegten Substrate von den Auflagen der Kassette abgehoben und auf die Auflagen 22 des Zwischenspeichers 14 übernommen werden, sodass dieser mit den übernommenen Substraten in den Innenraum 23 der Andockstation 1 überführt werden können.

Bei der Übernahme der Substrate auf die Auflagen 22 des Zwischenspeichers 14 kommen die Substrate, wie in 6 für ein Substrat 24 angedeutet, in streifenförmigen Bereichen 25 mit den als Tragfingern gestalteten Auflagen 22 zur Überdeckung, und es kann deshalb im Rahmen der Erfindung, um möglichst geringe Berührflächen zu erreichen, zweckmäßig sein, die Auflagen 22 im Bereich dieser streifenförmigen Bereiche 25 berührflächenreduzierend auszubilden, beispielsweise durch Noppen oder dergleichen. Die Bereiche 25 erstrecken sich, wie die als Tragfinger ausgebildeten Auflagen 22, bevorzugt benachbart und parallel zu den Sehnen der Segmente 26, über die die Substrate 24 in der Kassette abgestützt sind (6). Daraus ergibt sich für den Zwischenspeicher 14 eine im Wesentlichen U-förmige Grundform mit der Brücke 18 als Steg und den Tragarmen 16, 17 als Schenkel, wobei der Abstand der Tragarme 16 im Bereich der Brücke 18 größer ist als im Bereich der insbesondere durch Tragfinger gebildeten Auflagen 22. Gegen die freien Enden auslaufend erstrecken sich die Auflagen 22 der Tragarme 16, 17 im Wesentlichen parallel. An diese parallelen Erstreckungsbereiche 27 schließen Übergangsbereiche 28 an, in denen die Auflagen 22 der Tragarme 16, 17 mit zunehmendem Abstand zueinander auf die Aufnahmebereiche 20, 21 zulaufen, wobei diese Aufnahmebereiche 20, 21 auch dadurch gebildet sein können, dass die die Auflagen 22 bildenden Tragfinger über entsprechende Zwischenlagen beabstandet miteinander verspannt werden.

6 zeigt auch etwas detaillierter den an sich bekannten Aufbau des mehrgliedrigen Gliederarmes 12, ausgehend von dem mit dem Antrieb 10 verbundenen Oberarm 29, dem drehbar mit diesem verbundenen Unterarm 30 und dem Endglied 13 als Hand- oder Greiferteil, wobei die Armglieder voneinander unabhängig schwenkbar sind und das Endglied 13 mit der Brücke 18 über die Führungssäulen 15 verbunden ist und dieser Verbund eine in sich geschlossene steife Rahmeneinheit bildet, die mit dem Unterarm 30 in bekannter Weise drehbar verbunden ist.

Wie vorstehend erläutert, ist der Zwischenspeicher 14 höhenverstellbar und zu dieser Höhenverstellbarkeit über eine Hubeinrichtung 31 abgestützt, die zum Handhabungsroboter 9 mit Gliederarm 12 der Umsetzeinrichtung 3 gegenüberliegend bodenseitig am Gehäuse 11 der Andockstation 1 angeordnet ist. Die Hubeinrichtung 31 umfasst ein Linearstellglied, beispielsweise in Form eines Hubzylinders 32, dessen Kolbenstange 33 den Zwischenspeicher 14 im Bereich der Brücke 18 untergreift und abstützt. Die Abstützung erfolgt bevorzugt punktuell im Bereich einer die Führungssäulen 15 enthaltenden Ebene etwa mittig zwischen den Führungssäulen 15.

Durch die vorgesehene punktuelle Abstützung ergibt sich ein minimaler Abrieb, wobei die punktuelle Abstützung im Ausführungsbeispiel gegenüber einem zur Achse 34 senkrechten Stützbalken 35 erfolgt, der eine lineare Rollbahn 36 für eine Stützkugel 37 aufweist, der seitens der Brücke 18 des Zwischenspeichers 14 eine entsprechende Lagerpfanne zugeordnet ist. Aufgrund dieser Abstützung sind die Dreh- und Schwenkbewegungen, die sich für den Zwischenspeicher 14 aufgrund seiner Verbindung zum Gliederarm 12 ergeben, durch die separate Hubabstützung über die Hubvorrichtung 31 nicht behindert. Der Stützbalken 35 liegt in der Symmetrieebene 43 des zwischenspeichers 14 in dessen Zugriffsstellung auf die Transferbox 2. Zu dieser Symmetriebene 43 als Zugriffsebene liegt der Antrieb 10 mit der Hauptdrehachse 39 des Handhabungsroboters 9 seitlich versetzt, wie 2, 4 und 5 zeigen.

Durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung mit einander gegenüberliegend angeordnetem, angetriebenem Gliederarm 12 und Hubvorrichtung 31 ergibt sich ein einfacher Aufbau mit standardisierten Aggregaten, der es bei entsprechender atmosphärischer Abgrenzung der Antriebe für den Gliederarm 12 und den Stützbalken 35 unter vertretbarem Aufwand ermöglicht, für den Innenraum 23 Reinraumbedingungen bis hin zu Hochvakuum oder auch Ultrahochvakuum zu realisieren. Ein entsprechender Absauganschluss ist bei 38 angedeutet (2). Entsprechenden Anforderungen kann auch bezüglich des Zwischenspeichers 14 durch die Verwendung insbesondere ausgasungsfreier Materialien Rechnung getragen werden, wobei die erfindungsgemäß geschilderte Lösung auch nur sehr geringe Zugriffszeiten auf die Transportboxen 2 bedingt, da über den Zwischenspeicher 14 jeweils auch der gesamte Inhalt einer Transportbox 2 übernommen werden kann, die nachfolgend über die Schleuse 8 wiederum abgegrenzt werden kann.

7 veranschaulicht, dass der erfindungsgemäße Aufbau von Andockstationen 1 nicht auf Lösungen beschränkt ist, bei denen, wie in den Darstellungen gemäß 1 bis 6 veranschaulicht, die Übergabeöffnung 6 zur Transportbox 2 einerseits und die Anschlussöffnung 4 zu einer nachgeordneten Station 5 andererseits in einer Flucht liegen. Vielmehr ist auch eine winklige Lage der jeweiligen Übergabeöffnungen 6 bzw. Anschlussöffnungen 4 zueinander möglich bei entsprechend geknicktem Ablaufweg, und dementsprechend im Querschnitt entsprechend der Winkelstellung der Übergabeöffnungen 6 und Anschlussöffnungen 4 zueinander geknickter Kontur des Gehäuses 11, wie in 7 veranschaulicht. Um den in der Draufsicht gegebenen Raum für die Andockstationen 2 bei einer derartigen Lösung wiederum möglichst klein zu halten, erweist es sich ebenfalls als zweckmäßig, den Antrieb für den Gliederarm 12, und damit die gehäusefeste Drehachse dessen Oberarmes 29, die mit 39 bezeichnet ist, außermittig anzuordnen, und zwar bevorzugt etwa in einer Ebene 40, die zu den Anschlussebenen 41, 42 eine Winkelhalbierende bildet. Mit 41 ist dabei die Anschlussebene zwischen der Andockstation 1 und einer angedockten Transportbox 2 und mit 42 die Anschlussebene zwischen der Andockstation 1 und einer nachgeordneten Station 5 bezeichnet. Die Drehachse 39 ist dabei in Richtung auf die Spitze des Winkels zwischen den Ebenen 41 und 42 verlagert, somit also entsprechend der Krümmung im Übergangsweg zwischen den Anschlussöffnungen 4 und Übergabeöffnungen 6 In der Symmetrieebene 43 erstreckt sich wiederum der Stützbalken 35 und die Hubachse 34.

Es lassen sich somit im Rahmen der Erfindung unter Verwendung gleicher Aggregate unterschiedlichen Anforderungen angepasste Andockstationen 1 gestalten, wobei eine Ausrichtung der Andockstationen 1, wie in 7 gezeigt, auf eine gemeinsame Anschlussebene 41 für die Transportboxen 2 aus Handhabungs- und Beschickungsgründen eine besonders vorteilhafte Lösung bildet. Auch bei der Ausgestaltung gemäß 7 ist als nachgeordnete Station 5 wiederum eine Basiseinheit gemäß der DE 100 38 168 C2 angedeutet.

Dadurch, dass bei der Erfindung der Zwischenspeicher 14 als Greifer ausgebildet ist, erfüllt dieser eine Doppelfunktion, die den Aufbau der Bearbeitungsanlage vereinfacht und komprimiert. Anstelle eines Zugriffs auf Transportboxen sowie auch ergänzend hierzu, kann der Zwischenspeicher in seiner Greiferfunktion auch auf anderweitige Speicher- oder Transportmittel Zugriff nehmen, sodass ein vielfältiger Einsatz möglich ist.


Anspruch[de]
Transfereinheit einer Bearbeitungsanlage für flächige Substrate von Mikrosystemen, mit einer Andockstation für Transportboxen, in denen die flächigen Substrate zueinander höhenversetzt stapelbar sind, mit in der Andockstation vorgesehener, auf die Transportbox zugreifender Umsetzeinrichtung für die Substrate sowie mit mit einem höhenverstellbaren Zwischenspeicher für die umzusetzenden Substrate, bei der eine Handhabungsvorrichtung vorgesehen ist, die auf den Zwischenspeicher längs einer Transferebene zugreift, bei der der Zwischenspeicher Bestandteil der der Andockstation zugeordneten Umsetzeinrichtung ist, die eine Handhabungseinrichtung mit einem Gliederarm aufweist, dessen Endglied der Zwischerspeicher zugeordnet ist und bei der die Transportbox und der Zwischenspeicher mit korrespondierenden, kassettenartig in Hochrichtung beabstandeten Auflagen versehen sind und der Zwischenspeicher über eine untergreifende Hubeinrichtung höhenverstellbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Hubeinrichtung (31) bezogen auf den Zwischenspeicher (14) gegenüberliegend zur Handhabungseinrichtung (9) vorgesehen ist, dass der Zwischenspeicher (14) zum Endglied (13) der Handhabungseinrichtung (9) längs einer in Hubrichtung verlaufenden, vom Endglied (13) getragenen Linearführung (Führungssäulen 15) höhenverstellbar ist und dass der Zwischenspeicher (14) in einer zur Hubeinrichtung (31) höhenfesten und quer zur Hubrichtung verlaufenden, zur Transferebene (44) parallelen Führungsbahn auf der Hubeinrichtung (31) tragend abgestützt ist. Transfereinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützung des Zwischenspeichers (14) gegen die Hubeinrichtung (31) über eine Dreh-Schiebeführung erfolgt, bei der der Hubeinrichtung (31) die lineare Führungsbahn zugeordnet ist, längs der der Zwischenspeicher (31) bei Abstützung in einem Drehpunkt über die Handhabungseinrichtung (9) verschiebbar ist. Transfereinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportbox (2) und der Zwischenspeicher (14) gleiche Aufnahmekapazität aufweisen. Transfereinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungsbahn einem Stützbalken (35) der Hubeinrichtung (31) zugeordnet ist. Transfereinheit nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Stützbalken (35) drehfest angeordnet ist. Transfereinheit nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Stützbalken (35) sich in der Symmetrieebene (43) des auf die Transportbox (2) zugreifenden Zwischenspeichers (14) erstreckt. Transfereinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungsbahn zur Hubeinrichtung (31) bezogen auf die Hubachse drehbar ist. Transfereinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Armteile (Oberarm 29, Unterarm 30, Endteil 13) des Gliederarmes (12) voneinander unabhängig schwenkbar sind.






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