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Dokumentenidentifikation DE102005048361A1 12.04.2007
Titel Verfahren zur lokalen Beschichtung von Halbleiterschaltungen und diskreten Bauelementen mit einer thermischen SiO2-Schicht, deren Oberflächen Gebiete mit nadelförmigen Strukturen in Nanometerdimensionen enthalten
Anmelder X-FAB Semiconductor Foundries AG, 99097 Erfurt, DE
Erfinder Bach, Konrad, Dr., 99189 Tiefthal, DE;
Gäbler, Daniel, 98693 Ilmenau, DE
DE-Anmeldedatum 10.10.2005
DE-Aktenzeichen 102005048361
Offenlegungstag 12.04.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 12.04.2007
IPC-Hauptklasse H01L 21/316(2006.01)A, F, I, 20051010, B, H, DE
IPC-Nebenklasse H01L 31/18(2006.01)A, L, I, 20051010, B, H, DE   H01L 31/0232(2006.01)A, L, I, 20051010, B, H, DE   H01L 23/29(2006.01)A, L, I, 20051010, B, H, DE   B82B 3/00(2006.01)A, L, I, 20051010, B, H, DE   C23C 8/00(2006.01)A, L, I, 20051010, B, H, DE   
Zusammenfassung Durch Freilegen vorhandener oder Aufbringen einer zusätzlichen Siliziumschicht, der anschließenden Strukturierung dieser Schicht mittels eines die Selbstorganisation von nadelförmigen Strukturen mit Abmessungen im Nanometerbereich unterhalb der gebräuchlichen Lichtwellenlängen und mit großem Aspektverhältnis (Nanostrukturen) erzeugenden RIE-Prozesses ohne Anwendung zusätzlicher Mittel zur Maskierung beim Strukturierungsprozess in vorgesehenen Bereichen und thermische Oxidation dieser strukturierten Schicht wird eine SiO2-Schicht mit annähernd gleicher Struktur erzeugt. Diese Schicht hat eine breitbandige Wirkung der Enspiegelung und kann auch in Sensorbauelementen zur Erhöhung der Empfindlichkeit durch Vergrößerung der Anlagerungsfläche von Atomen und Molekülen beitragen.

Beschreibung[de]

Die Erfindung bezieht sich auf die Erzeugung einer Passivierungsschicht aus SiO2 auf lichtempfindlichen bzw. Licht aussendenden Bauteilen sowie auch auf Sensorbauelementen. Diese können sowohl diskret als auch mit Halbleiterschaltungen zusammen monolithisch integriert sein. Die Passivierungsschicht besteht auf ihrer Oberseite aus Strukturen mit nadelförmigen Spitzen eines großen Aspektverhältnisses, und weist dadurch eine breitbandige Wirkung der Entspiegelung im üblichen Wellenlängenbereich auf.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein möglichst einfaches Verfahren anzugeben, welches es ermöglicht, mit den der Halbleiterbauelementetechnologie adäquaten Mitteln ein derartiges Oberflächenrelief, gekennzeichnet durch nadelförmige Strukturen mit großen Aspektverhältnissen in Nanodimensionen, d.h. im Bereich unterhalb der üblichen Lichtwellenlängen, bestehend aus thermischem SiO2, zu erzeugen.

Gelöst wird diese Aufgabe mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen.

Der Gegenstand des Anspruchs 1 weist die Vorteile auf, dass vorhandene Verfahren der Halbleitertechnologie anzuwenden sind, keine zusätzlichen Störungen erzeugt werden und eine Schicht mit breitbandiger Entspiegelung bzw. großer Anlagerungsoberfläche erzielt wird.

Bei den hohen Temperaturen der thermischen Oxidation diffundiert der Sauerstoff wegen der Nadelform der einzelnen Spitzen in alle Richtungen in das Siliziumgitter ein. Der Prozess findet überall auf der großen Oberfläche statt. Daher sind Nadelstrukturen besonders schnell durchoxidiert. Das Verfahren ist einfach anzuwenden und bietet die Möglichkeit, mit relativ geringem Aufwand eine sekundäre Nanostruktur bestehend aus SiO2 zu bilden, die sich auf andere Weise deutlich aufwändiger oder nur eingeschränkt herstellen lässt.

Die SiO2-Schicht wächst in zwei Richtungen. Einerseits dehnt sie sich in das Silizium hinein aus und andererseits wächst die Gesamtstruktur wegen der Volumenzunahme des SiO2. Das Silizium wird zumindest im Spitzenbereich vollständig in SiO2 umgewandelt. Das Oberflächenrelief des Siliziums wird dabei unter geringfügiger Veränderung auf die neue SiO2-Schicht übertragen, während die Grenzfläche Si/SiO2 gegenüber der ursprünglichen Si-Oberfläche stark eingeebnet wird.

1 veranschaulicht diesen Effekt.

Durch die stark zerklüftete Oberfläche erhöht sich deren Fläche erheblich, wodurch sich die Eigenschaften deutlich ändern. Gase bleiben recht lange in der Struktur lokalisiert. Die vergrößerte Oberfläche bietet eine viel größere Angriffsfläche für sich anlagernde Moleküle und kann damit die Empfindlichkeit von Sensoren deutlich steigern.

Im Optischen Bereich sind die Strukturen dahingehend interessant, dass sie in ihrer lateralen Größe kleiner als die Lichtwellenlänge (VIS/NIR) sind und durch ihre Form und die hohen Aspektverhältnisse eine nahezu perfekte Gradientenschicht abgeben. Sie ermöglichen damit eine Impedanzanpassung die zu einer hervorragenden breitbandigen Reflexionsunterdrückung führt, ohne dabei das Licht zu streuen.

Da für die meisten Halbleiterbauelemente eine Passivierungsschicht notwendig ist und diese durch SiO2 realisiert werden kann, bietet sich die Erfindung gerade auch für optische Bauelemente an. Sie ermöglicht das Aufbringen einer Passivierungsschicht, ohne dabei die üblichen Reflexionsverluste von 3,5 % (SiO2/Luft Übergang) zu verursachen.


Anspruch[de]
Verfahren zur Passivierung der Oberfläche von Halbleiterbauelementen aus Silizium mittels einer SiO2-Schicht, die nadelförmige Strukturen mit großen Aspektverhältnissen in Nano-Dimensionen, d.h. im Bereich unterhalb der üblichen Lichtwellenlängen aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche des Siliziums lokal freigelegt wird und anschließend mittels eines reaktiven Ionenätzprozesses primäre nadelartigen Siliziumstrukturen mit Nanodimensionen erzeugt werden und diese strukturierte Siliziumoberfläche anschließend durch thermische Oxidation vollständig in sekundäre, ebenfalls nadelartige SiO2 Strukturen überführt wird Verfahren zur Passivierung der Oberfläche von Halbleiterbauelementen aus Silizium mittels einer SiO2-Schicht, die nadelförmige Strukturen mit großen Aspektverhältnissen in Nano-Dimensionen, d.h. im Bereich unterhalb der üblichen Lichtwellenlängen aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Siliziumschicht auf der Oberfläche abgeschieden wird und anschließend mittels eines reaktiven Ionenätzprozesses primäre nadelartigen Strukturen in dieser Siliziumschicht mit Nanodimensionen erzeugt werden und diese strukturierte Siliziumschicht anschließend durch thermische Oxidation vollständig oder teilweise in sekundäre, ebenfalls nadelartige SiO2 Strukturen überführt wird. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2 zur Passivierung der Oberfläche von Halbleiterbauelementen aus Silizium mittels einer SiO2-Schicht, die nadelförmige Strukturen mit großen Aspektverhältnissen in Nano-Dimensionen, aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die notwendigen primären Nanostrukturen im Silizium durch reaktives Ionenätzen (reaktive ion etching – RIE) unter Verwendung der Arbeitsgase Sauerstoff und SF6 in einem einzigen Prozessschritt ohne Anwendung zusätzlicher Mittel zur gezielten Maskenformation beim Strukturierungsprozess nur durch Einstellung der Prozeßparameter so, dass der Sauerstoff im Reaktionspunkt auf der Siliziumscheibe eine selbstmaskiernde Wirkung zeigt und eine Selbstorganisation der nadelartigen Strukturen stattfindet, erzeugt werden.






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