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Dokumentenidentifikation DE60125117T2 16.05.2007
EP-Veröffentlichungsnummer 0001193847
Titel Gleitereinheit mit eingebautem Linearmotor mit beweglicher Spule
Anmelder Nippon Thompson Co. Ltd., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder Fujisawa, Shoji, Kamakura-shi, Kanagawa-ken 248-0022, JP;
Togashi, Tsutomu, Kamakura-shi, Kanagawa-ken 248-0022, JP
Vertreter Patentanwälte Westphal Mussgnug & Partner, 78048 Villingen-Schwenningen
DE-Aktenzeichen 60125117
Vertragsstaaten DE, GB
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 16.08.2001
EP-Aktenzeichen 013069786
EP-Offenlegungsdatum 03.04.2002
EP date of grant 13.12.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 16.05.2007
IPC-Hauptklasse H02K 41/03(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule, die großflächig in den Industriebereichen für Halbleiter und Flüssigkristallanzeigen, Messinstrumenten, Montagemaschinen, Werkzeugmaschinen, Industrierobotern, Förderanlagen und Anderen verwendet worden ist. Im Besonderen bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule von der Art, in der eine Erregerspule in der Seite eines beweglichen Elements installiert ist.

In den letzten Jahren haben mehrachsige Plattformen und bewegliche Vorrichtungen, wie zum Beispiel X-Y Plotter, die in den wie gerade weiter oben festgestellten unterschiedlichen technischen Gebieten verwendet werden, mehr und mehr eine Gleitereinheit erfordert, die kompakt oder schlank ist in der Anordnung und leicht an Gewicht, und außerdem in der Lage ist, mit einem starkem Antrieb, hoher Geschwindigkeit und hohem Ansprechverhalten zu arbeiten, um Hub mit hoher Geschwindigkeit und exakte Steuerung der Positionierung für Anlagen, Werkzeuge, Gegenstände und Instrumente zur Verfügung zu stellen. Weithin bei den Gleitereinheiten benutzte lineare Motoren schließen zwei umfassende Arten ein. Die Erste, Linearmotor mit beweglichem Magneten genannte, weist einen Stator aus einer Ankerspule auf, der der Länge nach über die gesamte Länge eines Betts eines feststehenden Teils angeordnet ist und einen Magneten mit beweglichem Magnetfeld aus einem Dauermagneten, der auf einem Tisch angeordnet ist, der auf eine gleitende Weise entlang der Länge des Betts beweglich ist. Die Zweite, Linearmotor mit beweglicher Spule genannte, weist einen auf dem Bett montierten Stator aus einem Feldmagneten auf, und bewegliche Ankerspulen, die räumlich eine nach der anderen auf dem Tisch verteilt sind, so dass sie in einem vorher festgelegten elektrischen Winkel außer Phase sind.

Ein Linearmotor mit beweglicher Spule wird in der japanischen Patentveröffentlichung Nr. 49099/1983 offenbart. Wie in den 1 und 2 der zuvor genannten japanischen Veröffentlichung gezeigt, weist der vorherige lineare Motor flache Stücke von Dauermagneten auf, die jedes in Richtung der Dicke magnetisiert sind. Die Dauermagnete sind so angeordnet, dass die Pole auf jedem Magneten der Länge nach in der Polarität abwechseln entlang einer Verfahrrichtung eines beweglichen Elements, während gleiche Pole einander gegenüber angeordnet sind über die Verfahrrichtung des beweglicher Elements. Ein Zentralbügel ist zwischen gleichen sich gegenüber stehenden Polen in solch einer Beziehung, dass er den Dauermagnetstücken gegenüber steht. Die bewegliche Spule ist zusammengesetzt aus zwei Windungsteilen, von denen jedes eile Länge aufweist, die der Hälfte der Breite der Dauermagnetstücke entspricht, wobei die zwei Windungsteile auf einem Spulenkörper angeordnet sind, der in den Zentralbügel eingepasst ist. Auf diese Weise kann sich die bewegliche Spule in einer zwischen den Dauermagneten und dem Zentralbügel definierten Aussparung bewegen.

Ein anderes Beispiel für den älteren Gleichstrommotor mit beweglicher Spule ist in dem offen gelegten japanischen Patent mit der Nr. 254682/1987 offenbart. Der ältere Gleichstrommotor mit beweglicher Spule ist, wie aus 1 und 2 in der oben angeführten Veröffentlichung zu ersehen, der gleiche wie der in der japanischen Patentveröffentlichung mit der Nr. 49099/1983, außer dass der bewegliche Teil der Spulen aus mehr als einem Satz dreiphasiger Spulen zusammengesetzt ist.

Das offen gelegte Japanische Patent mit der Nr. 107728/1995 offenbart einen linearen Gleichstrommotor, um einen X-Y Tisch anzutreiben, in dem die feststehende Seite aus einem Bügel mit grob U-förmiger Anordnung in Querschnitt und einem auf einem Boden des Bügels befestigten Dauermagneten zusammengesetzt ist, während eine bewegliche Seite auf der feststehenden Seite gelagert ist für eine der Länge nach gerichtete Hin- und Herbewegung und aus einem mit Spulen umschlossenen Eisenkern und einem Paar magnetischer Elemente zusammen gesetzt ist, die mit vorderen und hinteren Enden des Eisenkerns verbunden sind.

Jetzt mit Bezug auf die 11 und 12, wird eine ältere Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule gezeigt, in dem offen gelegtem japanischen Patent mit der Nr. 333435/2000 offenbart ist, welches eine gleichzeitig anhängige Hauptanmeldung ist.

In den begleitenden Zeichnungen zeigt die 11 eine perspektivische Ansicht, die die Gleitereinheit zeigt, die einen eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule aufweist, während die 12 eine Abbildung zeigt, um zu erklären, wie der lineare Motor arbeitet, um die Gleitereinheit anzutreiben.

Eine Gleitereinheit 70 ist von einer länglichen Anordnung, die in der allgemeinen Höhe reduzierten hergestellt worden ist und die hauptsächlich besteht aus einem Bett 2 für ein an eine beliebige, normalerweise fest stehende Seite, von relativ beweglichen Teilen mittels in Befestigungslöcher 4 eingepasster Schrauben befestigtes, nicht gezeigtes Basiselement, und aus einem Tisch 10, auf welchem ein Gegenstück der relativ beweglichen Teile, normalerweise ein, nicht gezeigtes, Werkstück befestigt ist. Das Bett 2 weist eine seichte U Form auf, wenn es in einem Querschnitt betrachtet wird, der die Bewegungsrichtung des Tisches 10 quert, welcher aus einem länglichen Boden 2b und senkrecht Wänden 2 zusammengesetzt ist, die an der Breite nach gegenüber liegenden Kanten des Bodens 2b angeordnet sind. Ein Paar von Spurschienen 3 ist der Länge des Betts 2 nach parallel zu einander in einer mit einander identischer Höhe angeordnet und mit Maschinenschrauben 17 an das Bett 2 befestigt. Dem Tisch 10 wird von Maschinenschrauben 116 auf mehr als einem Gleiterelement 11 gesichert, das auf den länglichen Spurschienen 3 für die gleitende Bewegung fährt. Ein Linearmotor mit beweglicher Spule 20 innerhalb der Gleitereinheit 70 besteht aus einem Magnetbügel 21, der im Querschnitt eine U-förmige Anordnung aufweist, einem Paar von Feldmagneten 30, 31, die mit dem Magnetbügel 21 verbunden sind und einer Anordnung der beweglichen Spule 40, die auf dem Tisch 10 gelagert ist.

Verbunden mit der Länge nach entgegen gesetzten Enden des Betts 2 sind Endblöcke 5, einer an jedem Ende, um einen zulässigen Hubbereich zu definieren, in dem der Tisch 10 sich entlang der Spurschienen 3 bewegen darf. Nach unten geöffnete Aussparungen 7 sind an den äußersten Stirnflächen 5a der Endblöcke 5 ausgeformt. Eine Bedienperson kann die Gleitereinheit 70 leicht hochheben oder tragen, in dem sie ihre Hände auf die Aussparungen 7 legt. Anschläge 8 aus elastischem Material wie Urethangummi sind mit den inneren Oberflächen 5b der Endblöcke 5 verbunden, einer an jedem Endblock, um Puffer für den Schutz des Tisches 10 vor einem Zusammenstoß mit den Endblöcken 5 zur Verfügung zu stellen, wenn das Gleiterelement 11 nahe an die Grenze seines Hubs kommt. Begrenzer, obwohl nicht gezeigt, sind an den der Länge nach entgegen gesetzten Enden des Betts 2 angeordnet und an dem Bett 2 mit Maschinenschrauben 19 befestigt, während der Tisch 10 Detektionsmittel aufweist, um die Begrenzer wahrzunehmen, wenn er sich irgend einem der entgegen gesetzten Enden des Betts 2 nähert.

Der Tisch 10 ist, während er von Maschinenschrauben 116 auf mehr als einen Gleiterelement 11 gesichert wird, mit vielen Gewindelöchern 12 zur Befestigung eines Erzeugnisses hergestellt, von denen vier Löcher in den Abbildungen gezeigt werden. Das Gleiterelement 11 bildet in Verbindung mit den Spurschienen 3 zum Beispiel eine kleine Linearbewegungsführungseinheit 16, in welcher rollende Elemente durch eine umlaufende Passage laufen können, einschließlich von Zuführungsbahnen, die zwischen den einander gegenüber tretenden Oberflächen der Spurschienen 3 und den Gleiterelementen 11 definiert sind und durch Kehren und Rückkehrpassagen in den Gleiterelementen 11.

Der Tisch 10 kann sich aufgrund der kleinen Linearbewegungsführungseinheit 16 der Länge des Betts 2 nach in Bezug auf das Bett 2 bewegen. Sowohl das Bett 2 als auch der Tisch sind aus Aluminiumlegierungen hergestellt, um die Gleitereinheit 70 in ihrem Gewicht zu reduzieren, die Beschleunigungsleistung zu verbessern und hohe Geschwindigkeit und gutes Ansprechen zu realisieren.

Ein linearer Motor 20 bewegt den Tisch 10 entlang des Betts 2. Die Anordnung der beweglichen Spule 40 wird durch eine Starkstromleitung mit elektrischer Leistung beliefert. Signale, die die Positionen des Tisches 10 in Bezug auf das Bett 2 darstellen, werden auf eine externe Steuerung angewandt, wo die elektrische Leistung, die durch die Starkstromleitung geliefert wird, je nach Information bezüglich der über die Sensorenleitung anliegenden Positionen reguliert wird.

Der Linearmotor mit beweglicher Spule 20 innerhalb der Gleitereinheit 70 umfasst einen Magnetbügel 21 von U Form im Querschnitt senkrecht zur Bewegungsrichtung des Tisches 10, um die Feldmagnete 30, 31 darauf zu lagern.

Der Magnetbügel 21 wird als ein Statorteil des Linearmotors mit beweglicher Spule 20 betrachtet, der sich der Länge nach über die ganze Länge des Betts 2 erstreckt und an dem Bett 2 befestigt ist. Der Magnetbügel 21 ist zusammengesetzt aus einem oberen Netz 22 und einem unteren Netz 23, die in entgegen gesetzter Beziehung zu einander angeordnet sind, um einem länglichen Spalt 32 zwischen ihnen zur Verfügung zu stellen, und einem verbindendem Netz 24, das die einander gegenüber liegenden oberen und unteren Netze 22, 23 in einem Stück auf jeder der Seiten von der Breite nach einander gegenüber liegenden Kanten miteinander verbindet. Der Magnetbügel 21 kann, obwohl in seiner Dicke dünn und in der Anordnung schlank hergestellt, in seiner allgemeinen Steifigkeit hoch gehalten werden, um der Ablenkung aufgrund der magnetischen Anziehung weniger zu unterliegen über einen tolerierbaren geringfügigen Umfang, in dem keine Schwierigkeiten im Betrieb des linearen Motors stattfinden können. Der Magnetbügel 21 wird auf dem Bett 2 befestigt, in dem mehr als eine Schraube 25 durch das verbindende Netz 24 in das Bett 2 angezogen wird. Der Magnetbügel 21 ist zwischen den einander gegenüber tretenden oberen und unteren Netzen 22, 23 auf einer anderen Seite der der Breite nach entgegen gesetzten Kanten auch mit einer seitlichen Öffnung 32a ausgestattet.

Die Feldmagnete 30, 31 in der Form einer Platte sind auf den nach innen entgegen gesetzten Oberflächen angeordnet: die untere Oberfläche 27 und die obere Oberfläche 28 der einander gegenüber tretenden Netze 22, 23, eines zu jeder Oberfläche. Die Feldmagnete 30, 31 sind aus dünnen Magnetstücken 30a, 30b, 30c, 30d ... und 31a, 31b, 31c, 31d ... zusammengesetzt, die so magnetisiert sind, dass die Pole auf jedem Stück in der Polarität der Länge des Betts 2 nach oder in der Richtung, entlang derer der Tisch 2 gleitet, abwechseln. Die Magnetstücke 30a, 30b, 30c, 30d ... und 31a, 31b, 31c, 31d ... sind eng nebeneinander angeordnet, so dass sich ungleiche Pole direkt über einen Luftspalt 32 gegenüber liegen. Die Magnetstücke sind jedes hergestellt aus dünnen rechteckigen Stücken, die der Dicke nach magnetisiert sind. Ein Abstand von ungleichen Polen zwischen benachbarten Magnetstücken von ungleichen Polen entlang der Länge der Richtung des Betts 2 ist identisch mit der Breite des magnetischen Pols jedes Magnetstücks, welches in der Richtung der Länge des Betts 2 nach gemessen wird.

Die Anordnung der beweglichen Spule 40 ist so angeordnet, dass sie sich im Luftspalt 32 durch die seitliche Öffnung 32a des Magnetbügels 21 mit U Form im Querschnitt erstreckt, und auf dem Bett 2 gelagert ist. Die in der Form von flachen dreiphasigen kernlosen Spulen von rechteckiger Form hergestellten Ankerspulen 42 sind auf jeder ebenen Oberfläche in Nebeneinanderstellung entlang der Gleitrichtung des Tisches in solch einer Beziehung angeordnet, dass drei Ankerspulen vier Polbreiten der Feldmagnete 30, 31 zugewiesen sind, um einen so genannte vierpolige, dreispulige Konstruktion zur Verfügung zu stellen.

Moderne fortschrittliche Gleitereinheiten benötigen weiterhin eine hohe Antriebsleistung. Eine Anzahl der Ankerspulen zu steigern, um damit zurechtzukommen, wirft ein größeres Problem dadurch auf, dass die Gesamtlänge der Anordnung der beweglichen Spule groß wird. Als Ergebnis vergrößert sich der Tisch in der Länge zwischen vorne und hinten und die Gleitereinheit wird deshalb kürzer in ihrem zulässigen Hub. Für den Versuch, die mit den jemals verwendeten Gleitereinheiten vergleichbare Hublänge sicherzustellen, muss das Bett stark verlängert werden, so dass die Gleitereinheit zwangsläufig viel sperriger wird.

Um das zuvor dargestellte Problem zu behandeln, ist der in dem japanischem und offen gelegten Patent mit der Nr. 254682/1987 offenbarte Gleichstromlinearmotor mit beweglicher Spule entwickelt worden, in welchem Spulen senkrecht zur Gleitrichtung angeordnet werden, um Spulenkörper auszuformen, die für die gleitende Bewegung dann nebeneinander auf einem Zentralbügel angeordnet werden.

Entsprechend der gerade oben angegebenen Ausführungsform des Motors, werden viele Ankerspulen einer Polbreite des Feldmagnets zugewiesen und dementsprechend erhöhen sich die Spulenseiten in den Ankerspulen, die zur Erzeugung von Schub beitragen in der Anzahl, um eine hohe Antriebskraft zu realisieren. Mit dem wie zuvor dargestellt konstruierten Linearmotor mit beweglicher Spule jedoch benötigt der in der Länge des Hubs große Motor den Zentralbügel, der ebenfalls in der Länge zu groß ist, so dass der Zentralbügel für Ablenkung anfällig ist, die die Interferenz des Zentrenbügels mit den Spulenkörpern verursachen könnte, wodurch auf diese Weise die gleitende Bewegung des Tisches behindert wird. Außerdem ist der Zentralbügel, da er schwer an Gewicht ist, für die lange Gleitereinheit ungeeignet.

Bei der Gleitereinheit, die das Bett aufweist, das einen darauf angeordneten Magnetbügel lagert und bei dem Tisch, der für gleitende Bewegung relativ zum Bett angeordnet ist, in welchem ein Strom in den Ankerspulen, die so auf dem Tisch gelagert sind, dass sie in einer Aussparung zwischen den einander gegenüber tretenden Feldmagneten angeordnet sind, mit dem von den auf den einander gegenüber liegenden inneren Oberflächen des Magnetbügels installierten Feldmagneten entwickelten magnetischen Fluss zusammen wirkt, um den Tisch relativ zum Bett zu bewegen, ist es wünschenswert die verbesserte Gleitereinheit zu entwickeln, die starken Antrieb für das Bewegen des Tisches mit hoher Geschwindigkeit realisiert und auch eine hoch genaue Steuerung der Geschwindigkeit und der Positionierung des Tisches ermöglicht, wobei wie bei der zuvor verwendeten Gleitereinheit die Anordnung in der Dicke sogar schlank gehalten wird.

Die JP 59006767 offenbart einen Linearmotor, in dem der Schub des Linearmotors gesteigert wird durch Gegenüberstellen von einem Paar von Feldmagneten, die abwechselnd mit N und S Polen angeordnet sind und durch Anordnen eine Vielzahl von Antriebsspulen, in denen erste und zweite Leiter in dem Spalt zwischen den Feldmagneten verbunden sind.

Die vorliegende Erfindung hat als ihr Hauptziel deshalb, das wie gerade oben beschriebene bedeutende Problem zu überwinden und im Besonderen, eine Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule zur Verfügung zu stellen, um einen Tisch in Bezug auf ein Bett anzutreiben, in der der innerhalb der Gleitereinheit angeordnete Linearmotor mit beweglicher Spule in der Anordnung schlank ausgeführt ist, um die Gesamthöhe der Gleitereinheit zu reduzieren, wodurch es der Gleitereinheit ermöglicht wird, einen starken Antrieb zur Verfügung zu stellen und dabei die Abmessungen sogar äquivalent zu halten zu den Gleitereinheiten, die jemals zuvor verwendet wurden.

Die vorliegende Erfindung stellt eine Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule zur Verfügung, die ein Bett umfasst, das darauf einen Magnetbügel lagert, einen in Bezug auf das Bett in gleitender Weise beweglichen Tisch, ein Paar von Feldmagneten, die auf nach innen gerichteten Oberflächen von einander gegenüber liegend angeordneten Abschnitten des Magnetbügels auf eine solche Weise angeordnet sind, dass die Pole auf jedem Feldmagneten sich in ihrer Polarität abwechseln entlang einer Bewegungsrichtung des Tisches und eine Anordnung einer beweglichen Spule, die so auf dem Tisch befestigt ist, dass sie in dem Luftspalt zwischen den gegenüber liegenden Feldmagneten liegt, wobei die Anordnung der beweglichen Spule aus einem Eisenkern flacher Anordnung zusammengesetzt ist, der sich entlang der Bewegungsrichtung in den Luftspalt erstreckt und mindestens einen Satz von um den Eisenkern herum in einer Richtung gewickelten Ankerspulen, die die Bewegungsrichtung schneidet, und an dem Eisenkern befestigt sind, wodurch ein Strom in den Ankerspulen elektromagnetisch mit ein Feldfluss zusammen wirkt, der von den Feldmagneten erzeugte wird, um den Tisch zu zwingen, sich in Bezug auf das Bett zu bewegen;

die einander gegenüber liegenden Abschnitte des Magnetbügels sind mit einander entlang jeder Seite von der Breite nach einander gegenüber liegenden Seiten von diesem verbunden;

die Anordnung der beweglichen Spule wird von Armen gelagert, die sich vom Tisch durch eine in einer anderen Seite der einander gegenüber liegenden Abschnitte des Magnetbügels belassene seitliche Öffnung erstrecken; und

die Anordnung der beweglichen Spule ist zusammengesetzt aus mehr als einem Satz von Ankerspulen und jeder Satz von Ankerspulen entspricht einer Polbreite und der Eisenkern ist ausgeformt in einer im Querschnitt rechteckigen flachen Anordnung und ist länger ausgeführt als eine Gesamtlänge der Ankerspulen, aber im Wesentlichen eingestellt auf eine Länge die gleich ist zu einer Aufsummierung von mehreren Malen der Polbreite in den Feldmagneten und einer Hälfte der Polbreite, und weiterhin ist der Eisenkern an seinen vorderen und hinteren Enden mit den Armen verbunden.

Bei der wie zuvor bezeichnet auggebauten Gleitereinheit kann, da die Anordnung der beweglichen Spule aus einem Eisenkern von flacher Anordnung und mindestens einem Satz von dreiphasigen Ankerspulen in der Form flacher rechteckiger Ausführungsform in einer Ebene zusammengesetzt ist, die die Richtung des Gleitens schneidet, die Gleitereinheit selbst in ihrer Anordnung schlank oder kompakt ausgeführt werden, mit einem sogar längeren Bereich des Hubs in dem es dem Tisch möglich ist, sich zu bewegen. Außerdem werden viele Spulenseiten der Ankerspulen zur Verfügung gestellt, die zum Antrieb beitragen, und deshalb kann der starke Antrieb realisiert werden.

Die Anordnung, in der Bügelpole auf jedem der Feldmagnete in Gegenphase zu einander über den Luftspalt angeordnet werden, im Gegensatz zu den vorherigen Gleitereinheiten, in denen ungleiche Pole auf jedem Feldmagnet in Gegenphase zu einander sind, erlaubt es, die magnetische Anziehung auszulöschen, um dadurch die Belastung auf die lineare Bewegungsführungseinheit zu reduzieren, so dass es dem Tisch möglich ist, einer hohen Belastungskapazität standzuhalten. Außerdem halten die Ankerspulen der vorliegenden Erfindung, da sie in großer Steifigkeit um den Eisenkern herum gewickelt sind, dem starken Antrieb gut Stand, der in den Ankerspulen auftritt, um auf die Anordnung der beweglichen Spule zu wirken.

Unter der Voraussetzung, dass die Anordnung der beweglichen Spule aus mehr als einem Satz von Ankerspulen zusammengesetzt ist und jeder Satz von Ankerspulen einer Polbreite entspricht, gelingt es der Anordnung der beweglichen Spule, den Antrieb stabil zu halten, der auf die Anordnung der beweglichen Spule wirkt.

Entsprechend der vorliegenden Erfindung wird eine Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule offenbart, in der der Eisenkern in einer im Querschnitt rechteckigen flachen Anordnung ausgeformt ist und länger ausgeführt ist als eine Gesamtlänge der Ankerspule, aber auf eine Länge festgelegt ist, die grob äquivalent ist einer Summierung von mehrmals der Polobreite in den Feldmagneten und einer Hälfte der Polbreite, und weiterhin ist der Eisenkern an seinem vorderen und hinteren Ende mit den Armen verbunden. Der wie oben festgestellt aufgebaute Eisenkern ist unterschiedlich in der Phase des magnetischen Flusses von einem Ende zum anderen Ende, und trägt auf diese Weise bei zur Beseitigung von Versatz oder Abänderungen in der gleitenden Bewegung.

Unter einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule offenbart, in der alle aneinander stoßenden Pole der Feldmagnete abgefast sind an ihren Ecken, an denen sie aneinander angrenzen und die dem Luftspalt gegenüber sind. Die wie zuvor festgestellt aufgebauten Feldmagnete sind gut dienlich für die Relaxation jeder benachbarten Feldstärke und stellten auf diese Weise die ideale Verteilung der magnetischen Flussstärke zur Verfügung, um eine glatte Bewegung des Tisches zu realisieren.

Unter einem weiteren anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule offenbart, in der der Eisenkern aus einer Schichtung von dünnen Stahlblechen hergestellt wird, die eines auf das andere gelegt sind. Der wie gerade oben festgestellt aufgebaute Eisenkern ist gut dienlich, um die Erzeugung von Wirbelströmen in dem Eisenkern zu unterdrücken, um diesen davon abzuhalten, aufgeheizt zu werden.

Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden jetzt nur mit Hilfe von Beispielen beschrieben mit Bezugnahme auf die begleitenden Figuren, in denen:

1 einen Aufriss zeigt, der teilweise aufgebrochen ist und eine bevorzugte Ausführungsform einer Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule entsprechend der vorliegenden Erfindung zeigt;

2 eine Draufsicht von oben auf die in 1 veranschaulichte Gleitereinheit zeigt;

3 eine Ansicht im Querschnitt zeigt auf die Gleitereinheit gemäß 2, abgenommen in der Ebene der Linien I-I von dieser Figur einschließlich eines aufgebrochenen Teils;

4 eine Ansicht von links der in 2 gezeigten Gleitereinheit zeigt;

5 eine Draufsicht von unten auf einen von der Gleitereinheit abgetrennten Tisch zeigt;

6 einen unvollständigen longitudinalen Abschnitt in der Ebene der Linien II-II gemäß 2 zeigt;

7 eine Ansicht im Querschnitt auf die durch die Linien III-III gemäß 6 definierte Ebene zeigt;

8 eine Abbildung zeigt, die die Beziehungen zwischen den beweglichen Spulen und den Feldmagneten zeigt, um zu erklären, wie der Linearmotor mit beweglicher Spule arbeitet;

9 einen schematischen unvollständigen longitudinalen Abschnitt zeigt, der eine weitere Ausführungsform der Gleitereinheit mit eingebautem Linearmotor mit beweglicher Spule entsprechend der vorliegenden Erfindung zeigt;

10 einen Querschnitt zeigt, der eine weitere andere Ausführungsform der Gleitereinheit mit eingebautem Linearmotor mit beweglicher Spule entsprechend der vorliegenden Erfindung darstellt;

11 eine perspektivische Ansicht zeigt, die teilweise aufgebrochen ist und eine konventionelle Gleitereinheit mit eingebautem Linearmotor mit beweglicher Spule zeigt; und

12 eine Abbildung zeigt, um zu erklären, wie der Linearmotor mit beweglicher Spule innerhalb der älteren Gleitereinheit gemäß 11 arbeitet.

Bevorzugte Ausführungsformen einer Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule entsprechend der vorliegenden Erfindung werden nachstehend im Detail mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen erklärt. Komponenten und Teile, die in der Funktion identisch sind mit den zuvor in der älteren Gleitereinheit gemäß der 11 und 12 beschrieben, werden mit denselben Bezugszeichen bezeichnet.

Sich jetzt auf die 1 bis 4 beziehend, die die erste bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen, besteht eine Gleitereinheit 1 mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule hauptsächlich aus einem länglichen Bett 2, das aus Sicht einer Draufsicht von oben in eine rechteckige Form ausgeformt ist und aus Aluminiumlegierungen hergestellt ist, aus einer Linearbewegungsführungseinheit 16, die aus einem Paar von Spurschienen 3 zusammengesetzt ist, die der Länge des Betts 2 nach parallel zu einander in einer mit einander identischen Höhe angeordnet sind und aus einem Gleiterelement 11, das zum Zweck der gleitenden Bewegung rittlings auf einem beliebigen der ein Paar bildenden Spurschienen 3 fährt, und aus einem flachen Tisch 10 von rechteckiger Form, der aus Aluminiumlegierungen hergestellt ist und an dem Tisch 10 befestigt ist.

Das Bett 2 ist mit Löchern 4 hergestellt, in die Befestigungsschrauben passen, um das Bett 2 auf irgendeines von relativ beweglichen Teilen zu montieren, zum Beispiel auf einen Sockel usw. Im Gegensatz dazu ist der Tisch 10 ein Gegenstück von den relativ beweglichen Teilen und ist mit nach oben offen Gewindelöchern 12 ausgeführt, in die Befestigungsschrauben geschraubt werden, um jegliches Werkstück zu befestigen, das in Bezug auf den fest stehenden Teil in Richtung jeder gewünschten Position zu bewegen ist. Das entlang der zugehörigen Spurschiene 3 bewegbare Gleiterelement 11 wird an dem Tisch 10 befestigt durch Eindrehen von Befestigungsschrauben 46 in Gewindelöcher, die in dem Tisch 10 ausgeführt sind.

Befestigt an der Länge nach entgegen gesetzten Enden des Betts 2 sind Endblöcke 5, um den Tisch 10 gegen Fahren über die Enden des Betts 2 hinaus zu schützen. Aussparungen 7 sind an den äußersten Stirnflächen der Endblöcke 5 ausgeformt. Eine Bedienperson kann die Gleitereinheit 1 leicht hochheben oder tragen, in dem sie ihre Hände in die Aussparungen 7 legt. Anschläge 8 mit elastischem Aufbau, wie zum Beispiel aus Urethangummi, sind an den inneren Oberflächen der Endplatten 5 befestigt und weisen in Richtung des vorderen und hinteren Endes des Tisches 10, um Puffer für den Schutz des Tisches 10 vor einem Zusammenstoß gegen die Endplatten 5 zur Verfügung zu stellen.

Außerdem wird die Gleitereinheit 1 ausgestattet mit Sensormitteln 33 von einem optischen linearen Geber für das Wahrnehmen der Position des Tisches 2 in Bezug auf das Bett 2. Die Sensormittel 33 umfassen ein Streifen mit einer linearen optischen Skala 34, die der Länge nach angeordnet ist auf einer inneren Oberfläche einer Aussparung 19, die in der Nähe einer seitlichen Öffnung 32a des Magnetbügels 21 in das Bett 2 abgesenkt ist. Auf dem Boden der Aussparung 19 wird eine in 3 gezeigtes Anfangspunktkennzeichnung 35 zur Verfügung gestellt, während Begrenzungsplatten 13 an den der Länge nach entgegen gesetzten Enden der Aussparung 19, eine an jedem Ende, angeordnet sind, um einen zulässigen Bereich zu definieren, in dem der Tisch 10 sich bewegen darf.

Mit Bezug auf die 3 und 5 bis 7, wird im Detail ein Linearmotor mit beweglicher Spule 20 innen liegend in der Gleitereinheit 1 gezeigt. Der Linearmotor mit beweglicher Spule 20 besteht aus einem Magnetbügel 21 mit seitlicher U-förmiger Anordnung im Querschnitt, offen belassen an jeder der längs gerichteten Seiten davon, dem Magnetbügel, der der Länge des Betts 2 nach zwischen der Breite nach entgegen gesetzten linearen Bewegungsführungseinheiten 16 angeordnet ist, einem Paar Feldmagnete 30, 31, wovon jeder Pole aufweist, die eng nebeneinander auf solch eine Weise angeordnet sind, dass die Pole in ihrer Polarität der Länge nach abwechseln, mit ungleichen Polen auf jedem der Feldmagnete, die sich über einen Luftspalt hinweg direkt gegenüber stehen, und eine Anordnung einer beweglichen Spule 40, gelagert von einem Paar von nichtmagnetischen Messingarmen 43, die vom Boden des Tisches 10 herabhängen. Die nichtmagnetischen Arme 43 sind durch Befestigungsschrauben mit dem Tisch 10 verbunden. Die Feldmagnete 30, 31 sind aus Magneten aus seltenen Erden wie zum Beispiel Neodym usw. hergestellt, das eine hohe magnetische Kraft aufweist.

Die Anordnung der beweglichen Spule 40 ist an ihren vorderen und hinteren Enden mit den Armen 43 verbunden, die von dem Tisch 10 auf solch eine Weise herabhängen, dass sich die Anordnung 40 im Zentrum des Luftspalts 32 zwischen den einander gegenüber liegenden Feldmagneten 30, 31 erstreckt. Die Anordnung der beweglichen Spule 40 umfasst einen Eisenkern 41, der im Querschnitt eine grob rechteckig geformte Anordnung aufweist und der sich der Länge nach parallel zur Gleitrichtung erstreckt, und Ankerspulen 42, achtzehn Spulen insgesamt, die in der Form eines flachen Rechtecks um den Eisenkern 41 herum gewickelt sind und entlang der Gleitrichtung nebeneinander angeordnet sind.

Die Ankerspulen 42 sind in sechs dreiphasige Spulensätze 42a bis 42f gruppiert, von denen jeder drei Spulen für die U-, V- beziehungsweise W-Phase umfasst. Jegliche benachbarten Spulensätze von 42a bis 42f sind in Gegenrichtung zu einander gewickelt. Auf diese Weise ändern sich die Spulen in jedem Spulensatz in der Richtung der Windung der Länge des Tisches 10 nach, wie in 6 veranschaulicht, wo die Spulen in jedem Spulensatz, die in der Richtung der Windung entgegen gesetzt sind zu den Spulen in den benachbarten Spulensätzen, mit den Bezugszeichen U, V und W unter den Leitungen bezeichnet werden.

Wie aus 6 verstanden werden wird, wird der Abstand Pm zwischen ungleichen Polen in den Feldmagneten 30, 31 gleich gemacht mit einer Polbreite Wm: Pm = Wm, während eine in der Gleitrichtung des Tisches 10 gemessene Spulendicke T von jeder der Ankerspulen 42, so bestimmt wird, dass sie eine Beziehung einhält in der die Dicke Lt von jeder der Spulensätze identisch ist mit der Polbreite: 3T = Wm. Außerdem ist der Eisenkern 41, wie in 7 gezeigt, so definiert, dass er eine Beziehung in den Abmessungen einhält, in der eine Länge Lm des Feldmagneten 30, 31, gemessenen senkrecht zur Gleitrichtung des Tisches 10, grob gleich ist mit einer Breite Wy des Eisenkerns 41: Wy = Lm. Eine wirkungsvolle Länge Lc, die zum Antrieb in jeder der Ankerspulen 42 beiträgt, wird ein wenig größer gemacht als die Länge Lm der Feldmagnete 30, 31. Wie in

6 gezeigt, ist eine Länge Ly des Eisenkerns in der Gleitrichtung des Tisches 10 gegeben durch Ly = n × Wm + 1/2 Wm, wobei n eine ganze Zahl ist.

Da der Eisenkern in der Länge größer ausgeführt ist als die gesamte Länge der Ankerspulen 42, sind Abstandsstücke 44 am vorderen und hinteren Ende des Eisenkerns 41 eingefügt, eines an jedem Ende, um Spiel zwischen jeder der Spulen am vorderen und hinteren Ende und dem jeweils zugehörigen Halterungsarm 43 zu kompensieren, der mit dem Eisenkern 41 durch eine Befestigungsschraube 48 verbunden ist.

Installiert unter dem Tisch 10 und gegenüber liegend zu dem Bett 2, wie in 5 gezeigt, ist ein optischer Sensorkopf 37 um ein in die Sensormittel 33 einbezogenes Gegenstück zur Verfügung zu stellen, um die Position des Tisches 10 in Bezug auf das Bett 2 zu überwachen. Der optische Sensorkopf 37 wird grob auf halbem Weg zwischen dem vorderen und hinteren Ende des Tisches 10 angeordnet, gegenüber der linearen optischen Skala 34. Der optische Sensorkopf 37 stellt, wenn er eine Anfangspunktkennzeichnung 35 auf dem Bett 2 wahrnimmt, eine Position fest, die dem Anfangspunkt des Tisches 10 relativ zum Bett 2 entspricht. Begrenzungssensoren 39 sind ebenfalls unter dem Tisch 10 befestigt, um die Grenzplatten 13 zu erkennen, die an den der Länge nach entgegen gesetzten Enden des Betts 2 angeordnet sind, eine an jedem Ende, um die Grenze des Hubbereichs des Tisches 10 zu erkennen, um auf diese Weise den Tisch 10 daran zu hindern, über den zulässigen Hubbereich hinaus zu fahren, in dem der Tisch 10 sich bewegen darf. In der Nähe jedes der Begrenzungssensoren 39 ist außerdem ein „vor dem Anfangspunkt" Sensor 39a unter dem Tisch 10 installiert. Der „vor dem Anfangspunkt" Sensor 39a dient dazu, jegliche Grenzplatte 13 vor der Erkennung der Anfangspunktkennzeichnung 35 durch den optischen Sensorkopf 37 zu erkennen, wodurch die Erkennung der Situation möglich wird, in der der Tisch 10 gerade vor dem Anfangspunkt angekommen ist. Auf diese Weise kann die Steuerung in Abhängigkeit von einem Signal, das von dem „vor dem Anfangspunkt" Sensor 39a ausgegebenen wird, den gegen den Anfangspunkt laufenden Tisch 10 verlangsamen.

Eine Verkabelungsanordnung 45 ist unter dem Tisch 10 befestigt. Die Verkabelungsanordnung 45 umfasst eine gedruckte Schaltung, um die Ankerspulen 42, die Begrenzungssensoren 39 und den „vor dem Anfangspunkt" Sensor 39a mit einer Spannungsversorgungsleitung 15 und einer Signalleitung 14 zu verbinden, die mit externen Instrumenten verbunden sind, wodurch auf diese Weise die Zuführung elektrischer Stromversorgung zu den Ankerspulen 42 und Signalübertragung von den Begrenzungssensoren 39 und von dem „vor dem Anfangspunkt" Sensor 39a ermöglicht wird.

Bei der wie zuvor festgelegt aufgebauten Gleitereinheit 1, interagiert, wenn die Ankerspulen 42 Strom führen, der magnetische Fluss, der so erzeugt wird, dass er sich um die Spulenseiten der Ankerspulen herum dreht, mit dem magnetischen Fluss, der ständig senkrecht vorhanden ist zur Gleitrichtung des Tisches 10 zwischen den Feldmagneten 30, 31 und dem Eisenkern 41, der an seinen beiden Seiten den Feldmagneten 30, 31 gegenüber steht. Auf diese Weise erfahren die Ankerspulen 42 eine Kraft in der Gleitrichtung entsprechend der Regel von Fleming, wodurch der Tisch 10, auf dem sich die Anordnung der beweglichen Spule 40 aus mehr als einer Ankerspule 42 und der Eisenkern 41 befindet gezwungen wird, sich zu bewegen. Durch Umdrehen der Richtung des Stroms in den Ankerspulen 42 gemäß der Richtung des von den Feldmagneten 30, 31 erzeugten magnetischen Flusses wird es ermöglicht, dass sich der Tisch 10 auf eine gleitende Weise in jede gewünschte Position bewegt.

Mit Bezug auf 8 wird als nächstes ein Zustand gezeigt, in dem die Anordnung aus Ankerspulen 40 einen Strom führt. In (a), (b) und (c) von 8 wird die Anordnung aus Ankerspulen 40 in von einander durch einen elektrischen Winkel von 30 Grad verschobenen Zuständen gezeigt. Bei der Ankerspulenanordnung 40, in der die Ankerspulensätze 42a bis 42f, jeder drei Spulen mit U-, V- und W-Phase umfassend, entlang der Länge des Tisches 10 sich in der Richtung der Wicklung abwechseln, führt die Ankerspulenanordnung 40 einen Strom in jeder Position oder negativer Richtung gemäß der Richtung des magnetischen Flusses, wodurch sich diese aufgrund der linke Hand Regel von Fleming auf diese Weise in der Abbildung nach rechts bewegt.

Da jede Spule 42 einen Strom führt, der sinusförmig über der Zeit variiert, pausiert jede Ankerspule 112 wie in (b) gezeigt an einer Grenze zwischen jeglichen zwei benachbarten Polen damit, den Strom zu leiten. Im Gegensatz dazu führen andere Ankerspulen 42 den Strom entweder in Richtung des Lesers oder vom Leser weg und fahren auf diese Weise fort, die Ankerspulenanordnung 40 in die Richtung F zu bewegen. Als Ergebnis ist es dem Tisch 10 möglich, die gewünschte lineare Bewegung auszuführen.

Bei der ursprünglichen Stromführung werden in der Steuerung zuvor Information gespeichert bezüglich des Abstandes ungleicher Pole Pm in den Feldmagneten 30, 31, des Auflösungsvermögens des Sensormittels 33, der Richtung in Richtung des Anfangspunktes usw. In dem Moment, wenn die Ankerspulen 42 Strom führen, wird die Position der Stromleitung erkannt und die Steuerung beginnt, den Betrieb der Anordnung der beweglichen Spule 40 zu regulieren. Die Anordnung der beweglichen Spule 40 wird zunächst servoschlüssig und dann in eine gewünschte Position gefahren, die entsprechend dem erkannten Signal gefunden wird, das die stromführende Position darstellt. Wenn es gewünscht wird, dass der Anfangspunkt zur Endposition des Betriebs gemacht wird, wird die Anordnung der beweglichen Spule 40 zu Anfang in Richtung der Anfangspunktkennzeichnung 35 gefahren. Bei Stillstand fließt kein Strom in der Anordnung der beweglichen Spule 40. Um dementsprechend die Anordnung der beweglichen Spule 40 in Bewegung zu bringen, sobald sich der Tisch 10 bewegt, beginnt die Steuerung zu arbeiten, um die Anordnung der beweglichen Spule 40 an die Position zurückzubringen, bei der sie zum Stillstand gekommen ist. Auf diese Weise kann die Anordnung der beweglichen Spule 40 in jeder beliebigen Position verbleiben, in der die Anordnung der beweglichen Spule 40 zuletzt aufgehört hat, sich zu bewegen. Es wird verstanden werden, dass die Steuerung es der Gleitereinheit 1 ermöglicht, sich sowohl der Länge nach zu bewegen als auch an jeder gewünschten Position zu stoppen.

Eine andere Ausführungsform der Gleitereinheit entsprechend der vorliegenden Erfindung wird nachstehend mit Bezug auf 9 beschrieben, in der die zusammen wirkende Anordnung der Anordnung der beweglichen Spule mit den Feldmagneten in der Gleitereinheit veranschaulicht wird. Da die später erläuterte Gleitereinheit in der Anordnung identisch ist mit der ersten, zuvor erläuterten Ausführungsform, anders als die Anordnung der Feldmagnete, bezeichnen die gleichen Bezugsziffern die Komponenten oder Teile, die identisch oder äquivalent in ihrer Funktion sind mit den in derjenigen Gleitereinheit verwendeten, die zuvor erläutert wurde, so dass die vorherige Beschreibung anwendbar sein wird.

Gemäß der zweiten Ausführungsform sind aneinander angrenzende Pole 52, 53 von Feldmagneten 50, 51 beide abgefast, um schräge Bereiche 54 an ihren Ecken zur Verfügung zu stellen, die in Angrenzung an einander kommen und dem Luftspalt 32 gegenüber liegend sind. Im Detail ist jeder an seinen entgegen gesetzten Ecken abgeschrägte Pol 52, 53 hergestellt durch das Abfasen der der Breite nach entgegen gesetzten Ecken, von denen jede etwa ein Drittel der Polbreite in der Länge und etwa zwei Drittel der Poldicke in der Tiefe beträgt. Die an 54 abgefasten Pole 52, 53 dienen zur Relaxation jeder Beeinflussung durch die Feldstärke und stellen auf diese Weise die ideale Verteilung oder sinusförmige Verteilung der magnetischen Flussstärke zur Verfügung, um eine glatte Bewegung des Tisches 10 zu realisieren.

Schließlich wird mit Bezug auf 10 ein weitere andere Ausführungsform der Gleitereinheit entsprechend der vorliegenden Erfindung gezeigt.

Da eine Anordnung der Feldmagnete 30, 31 mit einer Anordnung der beweglichen Spule 60 für die Gleitereinheit in 10 in der Anordnung im Wesentlichen gleich ist zur ersten, zuvor erläuterten Ausführungsform, außer der Anordnung eines Eisenkerns 61, bezeichnen die gleichen Bezugsziffern die Komponenten oder Teile, die identisch oder äquivalent sind in ihrer Funktion mit denen, die bei der zuvor erläuterten Gleitereinheit verwendet werden, so dass die vorherige Beschreibung anwendbar sein wird.

In der später erläuterten Ausführungsform wird der Eisenkern 61 aus einer Schichtung von dünnen Stahlblechen hergestellt, die eines über das andere gelegt sind. Obwohl der Eisenkern 41 gemäß der ersten Ausführungsform, wie in 7 gezeigt, in einer Anordnung von im Querschnitt grob rechteckigen Platten ausgeformt ist, ist der Eisenkern 61 gemäß 10 aus mehr als einem dünnen Stahlblech 62 ausgeformt, das der Länge nach senkrecht zu den gepaarten Feldmagneten 30, 31 angeordnet ist und in eng verbindender Kontaktierung laminiert ist mit einer isolierenden Schicht, die zwischen jede zwei benachbarten Stahlbleche eingebracht wird, um die Anordnung einer rechteckiger Platte auszuformen, die dem Eisenkern 41 gemäß der ersten Ausführungsform ähnlich ist. Der wie gerade weiter oben erläutert aufgebaute Eisenkern 61 ist sehr dienlich, um die Erzeugung von Wirbelströmen in dem Eisenkern 61 zu unterdrücken, der davon abgehalten werden soll, aufgeheizt zu werden.

Während die Leistungskapazität der Gleitereinheit entsprechend den zuvor erläuterten Ausführungsformen bis zu 200 W beträgt, würde die Leistungskapazität von 100 W genügen. Jedoch ist die Leistungskapazität von 200 W zu bevorzugen, um einen starken Antrieb zur Verfügung zu stellen.


Anspruch[de]
Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule, die ein Bett (2) mit einem darauf gelagerten Magnetbügel (21) umfasst, einen in Bezug auf das Bett (2) auf gleitende Weise beweglichen Tisch (10), ein Paar von Feldmagneten (30, 31), die angeordnet sind auf nach innen gerichteten Oberflächen (27, 28) von gegenüber gestellten Abschnitten (22, 23) des Magnetbügels (21) auf solch eine Weise, dass die Pole (52, 53) auf jedem der Feldmagnete sich in der Polarität abwechseln entlang einer Bewegungsrichtung des Tisches (10) und gleiche Pole einander gegenüber gestellt sind über einen Luftspalt (32) zwischen den Feldmagneten (30, 31), und eine Anordnung einer beweglichen Spule (40), die so an dem Tisch (10) befestigt ist, dass sie in dem Luftspalt zwischen den gegenüber gestellten Feldmagneten (30, 31) liegt,

wobei die Anordnung der beweglichen Spule (40) aus einem Eisenkern (41, 61) in flacher Bauform zusammengesetzt ist, der sich im Luftspalt (32) entlang der Bewegungsrichtung erstreckt, und mindestens eine Reihe von dreiphasigen Ankerspulen (42) umfasst, die um den Eisenkern (41, 61) herum gewickelt sind in einer Richtung, die sich mit der Bewegungsrichtung schneidet und die an dem Eisenkern (41, 61) befestigt sind,

wodurch ein Strom in den Ankerspulen (42) elektromagnetisch mit einem durch die Feldmagnete (30, 31) erzeugten Feldfluss interagiert, um zu erzwingen, dass sich der Tisch (10) in Bezug auf das Bett (2) bewegt;

die gegenüber gestellten Abschnitte (22, 23) des Magnetbügels (21) sind miteinander verbunden entlang der jeweiligen Seite (24) von der Breite nach entgegen gesetzten Seiten davon; die Anordnung der beweglichen Spule (40) wird von Armen (43) gehalten, die sich vom Tisch (10) durch eine seitliche Öffnung (32a) erstrecken, die an einer anderen Seite der gegenüber gestellten Abschnitte (22, 23) des Magnetbügels (21) belassen ist;

die Anordnung der beweglichen Spule (40) ist aus mehr als einer Reihe von Ankerspulen (42) zusammengesetzt und jede Reihe von Ankerspulen (42) entspricht einer Polbreite; und

der Eisenkern (41, 61) ist in einer im Querschnitt rechteckigen flachen Bauform ausgeformt und länger ausgeführt als eine gesamte Länge der Ankerspulen (42), dadurch gekennzeichnet, dass der Eisenkern in einer Länge festgelegt ist, die im Wesentlichen einer Summierung von mehrmals der Polbreite in den Feldmagneten (30, 31) und einer Hälfte der Polbreite entspricht, und der Eisenkern (41) weiterhin an seinen vorderen und hinteren Enden an den Armen (43) befestigt ist.
Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule, die ausgeführt ist, wie in Anspruch 1 vorgetragen, wobei der Tisch (10) für eine gleitende Bewegung in Bezug auf das Bett (2) angeordnet ist durch eine Linearbewegungsführungseinheit (16), die eine an dem Bett (2) befestigte Führungsschiene (3) umfasst und einen gleitendes Element (11), das an dem Tisch (10) befestigt ist. Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule, die ausgeführt ist, wie in Anspruch 1 oder Anspruch 2 vorgetragen, wobei jegliche benachbarte Pole (52, 53) der Feldmagnete (30, 31) abgeschrägt (54) ausgeführt sind an ihren Ecken, die in Angrenzung zu einander kommen und dem Luftspalt (32) gegenüber liegen. Gleitereinheit mit einem eingebauten Linearmotor mit beweglicher Spule, die ausgeführt ist, wie in den Ansprüchen 1 bis 3 vorgetragen, wobei der Eisenkern (41, 61) aus einer Schichtung von Stahlblechen (62) ausgeführt ist, die eines über dem anderen liegen.






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