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Dokumentenidentifikation DE112005001568T5 23.08.2007
Titel Antrieb und Transferroboter
Anmelder Rorze Corp., Fukuyama, Hiroshima, JP
Erfinder Sato, Masaaki, Fukuyama, Horishima, JP
Vertreter BOEHMERT & BOEHMERT, 28209 Bremen
DE-Aktenzeichen 112005001568
Vertragsstaaten AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW, EP, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR, OA, BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG, AP, BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW, EA, AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM
WO-Anmeldetag 11.07.2005
PCT-Aktenzeichen PCT/JP2005/012746
WO-Veröffentlichungsnummer 2006006554
WO-Veröffentlichungsdatum 19.01.2006
Date of publication of WO application in German translation 23.08.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 23.08.2007
IPC-Hauptklasse H01L 21/68(2006.01)A, F, I, 20070522, B, H, DE
IPC-Nebenklasse B25J 9/06(2006.01)A, L, I, 20070522, B, H, DE   B65G 49/06(2006.01)A, L, I, 20070522, B, H, DE   B65G 49/07(2006.01)A, L, I, 20070522, B, H, DE   

Beschreibung[de]
TECHNISCHES GEBIET

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Antrieb und einen Transferroboter, die in einer Vakuumatmosphäre verwendet werden. Insbesondere betrifft die Erfindung einen Antrieb und einen Transferroboter, der mit dem Antrieb ausgestattet ist, die eine hochreine Umgebung benötigen, wenn eine Übertragung und ein Verfahren ausgeführt werden, und die an der Grenze zwischen solch einer Umgebung und der Luft angeordnet sind, wobei der Transferroboter zum Übertragen eines Substrats oder Ähnlichem eingerichtet ist.

Die Erfindung kann bei jedem Gegenstand angewendet werden, der eine hochreine Umgebung benötigt, wenn eine Übertragung und ein Verfahren durchgeführt werden. Die folgende Beschreibung wird lediglich zum Erklären der Erfindung einen Halbleiterwafer oder ein LCD, die elektronische Komponenten sind, als Beispiele aufführen. Daher sind solche Beispiele nicht gedacht, den Schutzbereich der Erfindung einzugrenzen.

STAND DER TECHNIK

Üblicherweise wird ein Substrat eines Halbleiters, eines LCD oder Ähnlichem in einer hochreinen Umgebung, beispielsweise einem sogenannten Reinraum, hergestellt. Eine Herstellungseinrichtung für einen Halbleiterwafer oder Ähnlichem, die in dem Reinraum angeordnet ist, enthält eine Vielzahl von Verarbeitungseinrichtungen zum Durchführen einer Vielzahl von Arbeitsschritten. Um die Produktionsausbeute eines Produkts zu erhöhen (einem sich anpassenden Produktverhältnis), ist in den Verarbeitungseinrichtungen eine Verarbeitungskammer zum Durchführen eines Verfahrens luftdicht geschlossen, um in der Verarbeitungskammer eine Vakuumatmosphäre herzustellen, wodurch das Innere der Verarbeitungskammer hochreiner gehalten wird, um das Verfahren durchzuführen. Verarbeitungskammern der Verarbeitungseinrichtungen sind an eine Transferkammer zum Transferieren eines Produkts zwischen den Verarbeitungseinrichtungen angeschlossen. Die Transferkammer kann ebenso luftdicht geschlossen sein. Für die Transferkammer ist ein Transferroboter vorgesehen, so dass ein Substrat von einer Ladenschleusenkammer zur Verarbeitungskammer zum Übertragen des Substrats in oder aus der Verarbeitungseinrichtung transferiert werden kann. Transfereinrichtungen sind verbessert worden, um ein Produkt in solch einem Hochvakuumzustand transferieren zu können (siehe Patent 1).

Eine in 10 gezeigte Transfereinrichtung 1A überträgt einen Wafer oder Ähnliches in eine Vielzahl von Kammern in einer Ultravakuumatmosphäre in einem Reinraum.

Die Transfereinrichtung 1A ist auf einem Öffnungsbereich angeordnet, die in einem Bereich einer Wandung einer Vakuumkammer SOS (einem Gehäuse) gebildet ist. Die Transfereinrichtung 1A weist einen Flanschbereich 11S (ein Basiselement) auf, das an der Wandung der Vakuumkammer SOS in luftdichter Weise befestigt ist, um einem Hochvakuum in der Vakuumkammer SOS zu widerstehen.

Der Flanschbereich 11S ist mit einem fixierten Schaft 10S (einem fixierten Schaftelement) versehen, das sich in die Vakuumkammer SOS erstreckt. Auf einer äußeren Seite des fixierten Schafts 10S sind hohle Operationsschäfte 21S, 22S (Rotationselemente) vorgesehen. Die Operationsschäfte 21S, 22S sind mit dem fixierten Schaft 10S koaxial und derart angeordnet, dass sie mittels einer Lagerung in drehbarer Weise vertikal voneinander verdrängt sind.

Auf einer inneren Seite der Operationsschäfte 21S, 22S und einer äußeren Peripherie des fixierten Schafts 10S ist ein elektromagnetischer Stator S (eine Armatur) vorgesehen. Ein Rotor R, der einen Permanentmagneten verwendet, ist auf einer inneren Peripherie der Operationsschäfte 21S, 22S vorgesehen. Der Stator S und der Rotor R sind einander gegenüberliegend angeordnet. Der Stator S und der Rotor R bilden einen elektromagnetischen Motor M. Der Stator S ist in einem eingedrückten Abschnitt 135, der im fixierten Schaft 10S gebildet ist, aufgenommen. Auf einer äußeren Peripherie davon (einer offenen Oberfläche des eingedrückten Abschnitts 13S), ist ein Trennwandelement 14S angeschweißt, so dass die Innenseite des eingedrückten Abschnitts 13S, einschließlich dem Stator S, vom Inneren der Vakuumkammer SOS abgetrennt ist.

Auf der inneren Seite der Operationsschäfte 21S, 22S ist ein Positionsdetektor 40S vom Wandler-Typ zum Detektieren der Positionen der Operationsschäfte 21S, 22S vorgesehen. Der Positionsdetektor 40S ist in einem Bereich angeordnet, der vom Motor. M in einer axialen Richtung des fixierten Schafts 10S verdrängt wird. Ähnlich dem Motor M enthält der Positionsdetektor 40S einen Stator 42S und einen Rotor 41S. Der Stator 42S ist in einem eingedrückten Abschnitt 13S des fixierten Schafts 10S ähnlich dem Motor M aufgenommen. Eine äußere Peripherie des Stators 42S ist durch das Trennwandelement 14S verschlossen.

Ein Hochvakuumanatrieb ist durch den Flanschabschnitt 11S, den fixierten Schaft 10S, das Trennwandelement 145, die Operationsschäfte 21S, 22S, den Motor M und den Positionsdetektor 40S gebildet.

Mit den Operationsschäften 21S, 22S ist eine Transferarmbaugruppe 30S verbunden (ein Antriebsarm). Eine Scheibe 31S ist mit dem Operationsschaft 21S verbunden. Ein Arm 32S ist mit dem Operationsschaft 22S verbunden. Die Scheibe 31S und der Arm 32S können die Handhabung eines Produkts, beispielsweise eines Halbleiterwafers, mittels eines bewegbaren Mechanismus (nicht gezeigt), der an einem Ende der Transferarmbaugruppe 30S vorgesehen ist, ausführen.

Die Transfereinrichtung 1A (der Transferroboter) ist durch die Transferarmbaugruppe 30S und den Antrieb gebildet.

  • [Patent Dokument JP 200-167792 A]

OFFENBARUNG DER ERFINDUNG PROBLEME, DIE DURCH DIE ERFINDUNG GELÖST WERDEN

In der oben beschriebenen Transfereinrichtung 1A, ist ein Paar von Lagern B angelegt, um den Motor M für den Operationsschaft 21S, 22S einzukeilen. Daher entspricht die Länge des Operationsschafts 21S, 22S der Summe der Länge des Motors M und des Stators 42 in der axialen Richtung und der Länge der Paar von Lagern B in der axialen Richtung. Daher ist die Länge des Operationsschafts 21S, 22S in der axialen Richtung groß, was ein Problem bei der Verkleinerung ist. Insbesondere wenn die Operationsschäfte 21S, 22S in der axialen Richtung ausgerichtet werden, kann das Problem der oben beschriebenen Länge der axialen Richtung kritisch sein.

Zusätzlich erkennt der Koordinatenwandlertyp Positionsdetektor 40S bei der oben beschriebenen Transfereinrichtung 1A eine Position des Operationsschafts 21, 22. Allgemein kann der Koordinatenwandlertyp Positionsdetektor 40S einfach durch den Stator S beeinflusst werden, so dass der Positionsdetektor 40S vom Stator S in der axialen Richtung entfernt angeordnet werden muss. Daher wird die Gesamtgröße (die Höhe) der Transfereinrichtung 1A in der axialen Richtung noch größer sein.

In der oben beschriebenen Transfereinrichtung 1A ist der Stator S in dem eingedrückten Bereich 13S des fixierten Schafts 10S aufgenommen und auf dessen äußeren Seite ist das Trennwandelement 14S durch Schweißen befestigt. Dadurch wird der Abstand zwischen dem Stator S und dem Rotor R weit sein, wenn die Dicke des Trennwandelements groß ist, wodurch das Drehmoment des Motors reduziert wird und die Genauigkeit der Stopppositionen.

Weiterhin sind der fixierte Schaft 10S und der Operationsschaft 215, 22S einander mittels einem Paar von Lagern B verbunden. Daher müssen in Anbetracht von Ablenkung, Vibration oder Ähnlichem des Operationsschafts 21S, 225, die durch Drehung des Operationsschafts 21S, 22S verursacht werden, das Trennwandelement 14S und der Rotor R mit einem genügenden Abstand zwischen diesen ausgestattet sein, was zu einer Reduzierung des Drehmoments und der Genauigkeit beim Positionieren führen kann.

In der Transfereinrichtung 1A wird die Transferarmbaugruppe 30 durch einen Gurt durch Drehung der Scheibe, die am Operationsschaft 21S im Arm 32S befestigt ist, betrieben. Der Arm 32S der Transfereinrichtung 1A ist in einer Vakuumatmosphäre und keine Maßnahmen gegen Staub, beispielsweise einer magnetischen Versiegelung, sind unternommen, um das Innere des Arms 32S vor der Vakuumatmosphäre zu schützen. Wenn die Transfereinrichtung in einer Ultrahochvakuum (10-6Pa) Atmosphäre von hoher Temperatur verwendet wird, verdampft organische Substanz, die in einem Gurt enthalten ist und fliegt in der Vakuumkammer SOS, was Verunreinigungen verursachen kann, wodurch die Produktionsausbeute (ein sich anpassendes Produktverhältnis) verringert.

MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME

Ein Antrieb nach einem ersten Gesichtspunkt der Erfindung weist auf: ein an einem Gehäuse angeordnetes Basiselement; einen fixierten Schaft, der sich vom Basiselement in das Gehäuse erstreckt; ein Rotationselement, das zum fixierten Schaft koaxial ist; ein Lager, das Rotationselement stützt, so dass es um den fixierten Schaft drehbar ist; ein Statorelement, das koaxial zum fixierten Schaft ist; einen Rotor, der auf dem Rotationselement angeordnet ist, so dass er dem Statorelement gegenüberliegt; und ein Trennwandelement, das zwischen dem Statorelement und dem Rotor angeordnet ist, so dass es mit dem fixierten Schaft koaxial ist, wobei das Trennwandelement eine Luftatmosphäre außerhalb des Gehäuses von einer Vakuumatmosphäre in dem Gehäuse trennt. In dem Antrieb ist das Statorelement auf einem eines äußeren Umfangs des fixierten Schafts und einem inneren Umfang des äußeren Umfangselements angeordnet. Das Lager ist dem anderen des äußeren Umfangs fixierten Schafts und dem inneren Umfang des äußeren Umfangselements angeordnet. Das Statorelement und das Lager sind in einem gemeinsamen Bereich in einer axialen Richtung des fixierten Schafts koaxial angeordnet.

Im Antrieb nach der Erfindung sind das Statorelement und der Rotor, die einen Motor bilden, und das Lager in einem gemeinsamen Bereich in der axialen Richtung der Rotationsachse des Rotationselements koaxial angeordnet, wodurch die Länge des Antriebs in der axialen Richtung verringert ist. Daher wird, auch wenn mehrere Motoren oder Rotationselemente in der axialen Richtung angeordnet sind, die Länge des Antriebs in der axialen Richtung nicht groß sein.

In einem Antrieb nach der Erfindung kann das Basiselement auf einem Öffnungsbereich des Gehäuses angeordnet sein und das äußere Umfangselement und der fixierte Schaft können auf einer gemeinsamen Seite des Basiselements angeordnet sein, wobei die gemeinsame Seite in das Innere des Gehäuse weist.

Bei solch einer Anordnung kann der Öffnungsbereich des Gehäuses verschlossen werden, so dass das Basiselement an dem Gehäuse in einfachster Weise befestigt werden kann.

In einem Antrieb nach der Erfindung kann das Basiselement auf einer äußeren Seite des Gehäuses derart angeordnet sein, dass es von dem Öffnungsbereich des Gehäuses entfernt ist und das Basiselement und das Gehäuse können durch das äußere Umfangselement miteinander verbunden sein.

In einer solchen Anordnung kann ein Basisbereich mittels des äußeren Umfangselements gestützt sein und der Antrieb kann so angeordnet sein, dass er sich in Richtung des Äußeren des Gehäuses erstreckt. Daher nimmt der Antrieb nicht den gesamten Platz im Gehäuse ein.

In einem Antrieb nach der Erfindung kann das Basiselement auf einer inneren Seite des Gehäuses derart angeordnet sein, dass es von dem Öffnungsbereich des Gehäuses beabstandet ist und das Basiselement und das Gehäuse können durch den fixierten Schaft verbunden sein.

In einer solchen Anordnung kann der Basisbereich mittels des fixierten Schafts gestützt sein. Wenn ein bewegliches Element oder der Motor zweifach ausgeführt ist, ist diese Anordnung geeignet für denjenigen, der weiter vom Öffnungsbereich des Gehäuses entfernt ist.

In einem Antrieb nach der Erfindung können mehrere Gruppen von Rotationselementen, der Rotor, das Statorelement und das Lager an Positionen angeordnet sein, die durch einander in der axialen Richtung eines gemeinsamen fixierten Schafts ersetzt sind.

In einer solchen Anordnung ist die Größe auch dann kompakt, wenn, beispielsweise, zwei Antriebe für einen Froschbein-Typ Transferroboter benötigt werden.

In einem Antrieb mit den vorgenannten mehreren Gruppen, kann ein Lager der Gruppen ein Rotationselement der Gruppen und den fixierten Schaft drehbar verbinden und ein anderes Lager der Gruppen kann das eine Rotationselement und ein anderes Rotationselement der Gruppen drehbar verbinden.

Bei einer solchen Anordnung können die Lager einer jeden Gruppe doppelt in einem gemeinsamen Bereich der axialen Richtung angeordnet sein, wodurch der Antrieb verkleinert wird.

Ein Antrieb nach einem Gesichtspunkt der Erfindung ist ein Antrieb, der auf einem Gehäuse angeordnet ist, auf dessen Innenseite eine Vakuumatmosphäre sein kann. Der Antrieb enthält: ein Basiselement, das am Gehäuse befestigt ist, ein Trennwandelement, das auf dem Basiselement angeordnet ist und eine Luftatmosphäre und eine Vakuumatmosphäre trennt, eine Armatur, die in einer Ringform auf einer inneren Seite des Trennwandelements auf einer Luftatmosphärenseite angeordnet ist, wobei die Armatur dem Trennwandelement benachbart ist und ein Rotationselement, das drehbar auf dem Basiselement einer Position angeordnet ist, die sich von dem Trennwandelement unterscheidet mit einem vorbestimmten Absatz zum Trennwandelement.

In einem Antrieb nach der Erfindung kann die Armatur eine Vielzahl von Armaturen aufweisen, die dazu eingerichtet sind, in Richtung der Höhe von einander ersetzt zu werden und das Rotationselement kann für jede der Vielzahl von Armaturen eingerichtet sein.

Das Gehäuse nach einem Gesichtspunkt der Erfindung kann eine Verarbeitungskammer (eine Vakuumkammer) einer Verarbeitungseinrichtung sein, die ein Verfahren für ein Substrat ausführt oder eine Transferkammer zum Übertragen des Substrats oder Ähnlichem zur Verarbeitungskammer mittels eines Transferroboters. Die Innenseite des Gehäuses kann luftdicht sein oder kann einen Zustand einnehmen, gefüllt mit einem Gas niedrigeren Drucks als ein normaler Luftdruck mittels einer Vakuumpumpe (im Folgenden Vakuumatmosphäre genannt).

In einem Antrieb nach der Erfindung kann ein Abstand zwischen der Armatur und dem Trennwandelement konstant sein.

Der vorbestimmte Abstand kann beispielsweise von 0,2 bis 1,0 mm, bevorzugt zwischen 0,2 bis 0,5 mm und besonders bevorzugt zwischen 0,2 bis 0,3 mm sein. Obwohl es weiterhin bevorzugt ist, dass der vorbestimmte Abstand gleich oder geringer als 0,2 mm ist, wird der Wert gleich oder größer als 0,2 hierin enthalten in Anbetracht der Verdrängung des Rotationszentrums verursacht durch Drehung des Rotationselements oder einer leichten Ausdehnung (oder einem Zusammenziehen) des Trennwandelements in der Vakuumatmosphäre nach einem Gesichtspunkt der Erfindung. Beispielsweise, wenn das Trennwandelement aus Edelstahl hergestellt ist und eine Dicke von 0,05 mm hat, kann das Trennwandelement einem ultrahohen Vakuum während einem Verfahren in der Verarbeitungseinrichtung widerstehen. Jedoch sind die oben genannten Werte der Dicken in Abwägung der individuellen Variabilität der in großen Mengen herstellten Antriebe dargelegt.

In einem Antrieb nach einem Gesichtspunkt der Erfindung kann ein Magnet für das Rotationselement vorgesehen sein, so dass ein Positionsdetektor, der auf der Innenseite des Trennwandelements angeordnet ist, eine Position des Rotationselements erfassen kann.

In einem Antrieb nach einem Gesichtspunkt der Erfindung kann ein Material des Trennwandelements eine Nickellegierung sein.

In einem Antrieb nach einem Gesichtspunkt der Erfindung kann das Rotationselement auf dem Basiselement auf einer Position, unterschiedlich von dem Trennwandelement mittels eines Lagerelements angeordnet sein.

Solch eine Anordnung beseitigt die Notwendigkeit der Steifheit zum drehbaren Stützen des Rotationselements, so dass die Dicke lediglich in Abwägung der Anforderung zum Widerstehen im Vakuum bestimmt werden kann. Im Vergleich mit einer Anordnung, in der das Rotationselement an dem Trennwandelement vorgesehen ist, kann die Anordnung darin die durch Rotation des Rotationselements oder Verdrängung des Rotationszentrums des Rotationselements, verursachte Vibration des Rotationselements verringern. Aus den oben genannten Gründen kann der Abstand zwischen dem Trennwandelement und dem Rotationselement verglichen mit dem Stand der Technik enger sein.

Das Trennwandelement nach einem Gesichtspunkt der Erfindung kann eine zylindrische Form haben und kann mit einem flachen Blech, einem gewellten Blech oder einer anderen Art von Blech gebildet sein, dessen Deckenbereich eine größere Dicke als ein Seitenbereich (der Zylinderabschnitt) ist, so dass der Deckenabschnitt des Trennwandelements eine Druckdifferenz zwischen der Vakuumatmosphäre und der Luft widerstehen kann. Das Trennwandelement muss nicht aus Metall, beispielsweise Edelstahl, sein, kann aber unter Verwendung eines Materials hoher Permeabilität, beispielsweise einem Kristallglas, einer Nickellegierung oder Ähnlichem, gebildet sein.

Der Antrieb nach einem Gesichtspunkt nach der Erfindung kann für Roboter des skalaren Typs beispielsweise einem Verbindungstyp Roboter mit einer Froschbeinform verwendet werden.

Ein Transferroboter nach einem Gesichtspunkt der Erfindung ist ein Transferroboter für ein Substrat. Der Transferroboter weist auf: den vorgenannten Antrieb, einen Antriebsarm, der an ein Rotationselement des Antriebs derart angeordnet ist, dass er sich von diesem erstreckt, einen angetriebenen Arm, der drehbar mit einem Ende des Antriebsarms verbunden ist, an dessen Ende der Antriebsarm nicht mit dem Rotationselement fixiert ist und einen Endeffektor, der an einem Ende des angetriebenen Arms drehbar verbunden ist, an dessen Ende der angetriebene Arm verbunden ist. Der Betrieb einer Armatur dreht den Antriebsarm und der angetriebene Arm greift mit der Rotation des Antriebsarms ein, um den Endeffektor voranzubringen und zurückzuziehen.

In einem Transferroboter nach einem Gesichtspunkt der Erfindung können zwei Antriebsarme auf einer seitlichen Oberfläche oder einer oberen Oberfläche des Rotationselements vorgesehen sein. Zwei Antriebsarme können nahe den Enden der zwei Antriebsarme verbunden sein, so dass zwei Endeffektoren in einer gemeinsamen Richtung oder in verschiedenen Richtungen, die in einer Drehrichtung ersetzt sind, vortreten und sich zurückziehen.

Ein Transferroboter nach einem Gesichtspunkt der Erfindung kann enthalten: den vorgenannten Antrieb; einen ersten Antriebsarm, der an einem Rotationselement des Antriebs fixiert ist, so dass er sich von diesem erstreckt; ein zweiter Antriebsarm mit einem Drehzentrum, das von demjenigen des ersten Antriebsarms verschieden ist, die Position in der axialen Richtung versetzt ist; einem ersten angetriebenen Arm und einem zweiten angetriebenen Arm, die mit dem ersten Antriebsarm und dem zweiten Antriebsarm verbunden sind; einem Rotationsübertrager, der die Drehung des ersten Antriebsarms und/oder eines zweiten Antriebs für den ersten angetriebenen Arm und/oder dem zweiten angetriebenen Arm überträgt; einen Endeffektor, der vom ersten angetriebenen Arm und dem zweiten angetriebenen Arm gestützt wird.

In dem oben beschriebenen Antrieb nach einem Gesichtspunkt der Erfindung ist die Armatur auf der Luftseite der Trennwand vorgesehen, wodurch der Antrieb vom Staub isoliert ist. Zusätzlich ist das Rotationselement auf der Seite der Vakuumatmosphäre der Trennwandung vorgesehen und ein Lagerelement, das das Rotationselement drehbar stützt, ist im Inneren des Gehäuses aber nicht auf der Trennwand, vorgesehen. Daher ist es, anders als bei einer Anordnung, bei der das Rotationselement drehbar auf der Trennwand vorgesehen ist, nicht notwendig, eine Auslenkung, Vibration oder Ähnliches, verursacht durch Drehung des Rotationselements, zu berücksichtigen, und es ist möglich, den Abstand zwischen der Trennwand und den beweglichen Elementen zu verringern, so dass die Trennwand nicht genug Steifigkeit zum Stützen des Rotationselements hat. Daher kann die Trennwand dünner sein, verglichen mit dem Stand der Technik, welches erlaubt, dass die Armatur dichter an dem Rotationselement angeordnet ist, wodurch die Anregung und die Genauigkeit beim Positionieren erhöht werden.

In solche einem Antrieb, da die Trennwand am Basiselement unabhängig vom fixierten Schaftelement oder dem Rotationsschaftelement vorgesehen ist, ist es nur notwendig, dass die Trennwand eine ausreichende Dicke hat, um einer Ultrahochvakuumatmosphäre stand zu halten, wodurch die Struktur vereinfacht und das Aufrechterhalten einer Vakuumatmosphäre erleichtert wird.

In dem Antrieb nach einem Gesichtspunkt der Erfindung ist eine magnetische Schirmeinheit zwischen der Armatur und dem Sensor vorgesehen, so dass ein Abstand zwischen der Armatur und dem Sensor schmaler sein kann ohne Einfluss auf den Betrieb des Sensors. Daher kann die Gesamthöhe des Antriebs verkürzt werden, wodurch eine Verkleinerung verwirklicht wird.

Der Transferroboter mit dem oben beschriebenen Antrieb benötigt keine Gurt oder Ähnliches, was eine Staubquelle sein kann. Die Anordnung, in der das Trennwandelement die Armatur, den Sensor oder Ähnliches des Antriebs isoliert, kann den Staub reduzieren.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

1 ist ein vertikaler Querschnitt, der einen Antrieb mit einem Rotationselement nach einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;

2 ist ein vertikaler Querschnitt, der einen Antrieb mit zwei Rotationselementen nach einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;

3 ist eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht des Antriebs aus 2;

4 ist eine perspektivische Ansicht eines Transferarms des zweiten Ausführungsbeispiels;

5 ist eine perspektivische Ansicht einer Modifikation des Transferarms des zweiten Ausführungsbeispiels;

6 ist eine perspektivische Ansicht einer anderen Modifikation des Transferarms des zweiten Ausführungsbeispiels;

7 ist eine teilweise ausgeschnittene perspektivische Ansicht eines Verbindungsabschnitts des Transferarms aus 6;

8 ist ein vertikaler Querschnitt, der einen Antrieb mit zwei Rotationselementen nach einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;

9 ist ein vertikaler Querschnitt, der einen Antrieb mit zwei Rotationselementen nach einem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt; und

10 ist eine perspektivische Ansicht eines Antriebs nach dem Stand der Technik.

1
Antrieb
2
Gehäuse
3
Basiselement
4
O-Ring
5
Trennwandelement
6, 6a, 6b
Armatur (Statorelement)
7a bis 7h
Sensor
8
Fixiertes Schaftelement
9, 9a, 9b
Magnet (Rotor)
10, 10a, 10b
Rotationselement
11, 11a, 11b
Lager
12
Transferroboter
13, 13a, 13b
Antriebsarm
14, 14a, 14b
Angetriebener Arm
15
Endeffektor
16
Substrat
17a, 17b
Spindel
18
Stahlband
19
Rotationsübertrager
20
Gehäuse

BEISPIELE [Erstes Ausführungsbeispiel]

1 zeigt einen Antrieb 1a eines ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung.

Der Antrieb 1a ist auf einem Öffnungsbereich eines Gehäuses 2 angeordnet, auf dessen Innenseite eine Vakuumatmosphäre sein kann, wobei der Antrieb 1a einen Transferroboter antreibt, der eine Übertragung eines Produkts oder Ähnlichem im Gehäuse 2 durchführt.

Der Antrieb 1a weist ein Basiselement 3 auf. Das Basiselement 3 ist an dem Gehäuse 2 derart befestigt, dass es den Öffnungsbereich des Gehäuses 2 abdeckt. Ein O-Ring 4 ist in einem kontaktierenden Bereich des Basiselements 3 und einem Rand des Öffnungsbereichs des Gehäuses 2 angeordnet, so dass dazwischen ein luftdichter Zustand erhalten ist. Ein fixiertes Schaftelement 8 ist auf einem mittleren Abschnitt des Basiselements 3 angeordnet, so dass es sich in das Gehäuse 2 erstreckt. Das fixierte Schaftelement 8 ist hohl und ein innerer Raum des fixierten Schaftelements 8 kommuniziert mit dem Basiselement 3. Beachte, dass auf derselben Seite des Basiselements 3 ein Trennwandelement 5 mit einer zylindrischen Form mit einer Bodenfläche angeordnet ist, um das fixierte Schaftelement 8 abzudecken. Das Trennwandelement 5 trennt einen Vakuumbereich IV im Inneren des Gehäuses 2 und einen Luftbereich IA außerhalb des Gehäuses 2, so dass diese luftdicht gegeneinander abgeschlossen sind.

Das Basiselement 3 erstreckt sich in der Fig. in kastenähnlicher Form nach unten. Ein aufrechter Abschnitt (ein äußeres Umfangselement) ist mit dem Trennwandelement 5 koaxial. Auf einer inneren Seite des äußeren Umfangselements sind Lager 11 in zwei Linien ausgerichtet angeordnet, durch die ein zylindrisches Rotationselement 10 drehbar gestützt ist. Das Rotationselement 10 ist dadurch gestützt, dass ein innerer Umfang des Rotationselements 10 mit einem vorbestimmten Abstand relativ zu einem äußeren Umfang des Trennwandelements 5 angeordnet ist.

Auf dem inneren Umfang des Rotationselements 10 sind ein Magnet 9 (ein Rotor) und Sensoren 7a, 7b koaxial angeordnet. Auf einem äußeren Umfang des fixierten Schaftelements 8, sind eine Armatur 6 (ein Statorelement) und Sensoren 7e, 7f koaxial angeordnet. Der Magnet und die Armatur 6 sind so angeordnet, dass sie gegenüberliegend mit dem Trennwandelement 5 dazwischen angeordnet sind. Die Sensoren 7a, 7b sind so angeordnet, dass sie den Sensoren 7e, 7f mit dem Trennwandelement dazwischen angeordnet gegenüberliegen. Jedes Paar der einander gegenüberliegenden Komponenten ist so angeordnet, dass die Enden der Komponenten ausreichend nah dem Trennwandelement 5 sind, um sich mit einem minimalen Abstand zwischen ihnen gegenüber zu liegen.

In dem oben beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel sind nicht nur die Armatur 6 als Statorelement und der Magnet 9 als Rotor, sondern auch das Paar Lager 11 koaxial in einem gemeinsamen Bereich in der axialen Richtung des fixierten Schaftelements 8 angeordnet. Daher kann die Länge des Antriebs 1a in der axialen Richtung verkürzt werden.

[Zweites Ausführungsbeispiel]

Die 2 und 3 zeigen einen Antrieb 1b, dessen fixiertes Schaftelement 8 zwei Rotationselemente 10a, 10b hat, die in der Höhe versetzt sind.

Der Antrieb 1b ist auf dem Gehäuse 2 angeordnet, auf dessen Innenseite eine Vakuumatmosphäre sein kann. Das Basiselement 3 und sein äußeres Umfangselement, das Trennwandelement 5, das fixierte Schaftelement 8 und Ähnliche sind in ähnlicher Weise wie beim ersten Ausführungsbeispiel angeordnet, so das dieselbe Erklärung unterbleibt.

Im zweiten Ausführungsbeispiel ist das fixierte Schaftelement 8 mit zwei Rotationselementen 10a, 10b ausgestattet. Wie am ersten Ausführungsbeispiel beschrieben, ist das Rotationselement 10a aus zwei Elementen 10a, 10b drehbar durch das äußere Umfangselement des Basiselements 3 mittels Lagern 11a, die in zwei Linien ausgerichtet sind, gestützt. Das andere Rotationselement 10b ist drehbar auf einer oberen inneren Seite des Rotationselements 10a mittels Lagern 11b, die in zwei Linien ausgerichtet sind verbunden und ist durch das Basiselement 3 mittels des Rotationselements 10a gestützt. In solch einer Anordnung sind das Basiselement 3 und das Rotationselement 10a drehbar und die Rotationselemente 10a, 10b sind ebenso drehbar. Entsprechend sind beide Rotationselemente 10a, 10b relativ zum Basiselement 3 drehbar.

Auf dem inneren Umfang des Rotationselement 10a sind die Sensoren 7b, 7f und Magneten 9a, 9b (Rotoren) angeordnet. Ihnen gegenüberliegend mit dem Trennwandelement dazwischen angeordnet sind die Sensoren 7a, 7b und die Armaturen 6a, 6b als Statorelemente, die auf dem äußeren Umfang des fixierten Schaftelements 8 angeordnet sind. Die Enden dieser sich gegenüberliegenden Komponenten sind nahe dem Trennwandelement 5 angeordnet, so dass sie sich mit einem vorbestimmten kleinen Abstand zwischen ihnen gegenüberliegen.

Auf dem inneren Umfang des Rotationselements 10b sind die Sensoren 7g, 7h und Magneten 9c, 9d (Rotoren) angeordnet. Gegenüberliegend mit dem Trennwandelement 5 dazwischen angeordnet sind Sensoren 7c, 7d und Armaturen 6c, 6d (Statorelemente), die auf dem äußeren Umfang des fixierten Schaftelements 8 angeordnet sind. Die Enden dieser Komponenten, die einander gegenüberliegen, sind nahe dem Trennwandelement 5 angeordnet, so dass sie sich mit einem vorbestimmten geringen Abstand zwischen ihnen gegenüberliegen.

Im zweiten Ausführungsbeispiel sind nicht nur die Armaturen 6a, 6b als Statorelemente und die Magneten 9a, 9b als Rotoren, sondern ebenso die Lager 11a, 11b in einem gemeinsamen Bereich in der axialen Richtung des fixierten Schaftelements 8 koaxial angeordnet. Entsprechend kann die Länge des Antriebs 1b in der axialen Richtung verkürzt werden.

Beachte, dass das Trennwandelement 5 des zweiten Ausführungsbeispiel eine Dicke von ungefähr 0,3 mm besitzt. Diese Dicke wird für das Trennwandelement 5 benötigt, damit es nicht deformiert oder beschädigt wird und um ein Verfahren für einen Halbleiterwafer oder Ähnliches in einem Hochvakuum von beispielsweise ungefähr 10-1 Pa bis 10-5 Pa oder in einem Ultrahochvakuum von beispielsweise 10-6 Pa durchzuführen.

Das zweite Ausführungsbeispiel verwendet einen Transferroboter 12a, der mit einem Transferarm ausgestattet ist, der mit den Rotationselementen 10a, 10b verbunden ist und ein Produkt innerhalb des Gehäuses 2 transferiert.

In 4 ist eine voranbringende und zurückziehende Richtung eines Endeffektors, der ein Substrat 16 oder Ähnliches hält eines Transferroboters 12a angepasst, um verschieden zu sein von einer Drehrichtung des Endeffektors. Der Transferroboter 12a ist mit Antriebsarmen 13a, 13b ausgestattet, die sich von lateralen Oberflächen und oberen Oberflächen der Rotationselemente 10a, 10b des Antriebs 1b horizontal erstrecken. Im Transferroboter 12a treibt der Antrieb die Antriebsarme 13a, 13b an, um derart zu drehen, dass die angetriebenen Arme 14a, 14b, die an den Enden der oberen Oberflächen der Antriebsarme 13a, 13b gestützt sind, eingreifen, wodurch der Endeffektor 15, der drehbar durch die angetriebenen Arme 14a, 14b in einer horizontalen Ebene gestützt ist, vorangebracht und zurückgezogen werden.

Zwei Stahlbänder 18 sind an seitlichen Oberflächen von Spindeln 17a, 17b vorgesehen, dass sie den Endeffektor 15 der angetriebenen Arme 14a, 14b drehbar stützen, wobei die Stahlbänder 18 in Richtung der Höhe einander verdrängen und in S und umgekehrter S Form gewunden sind. Daher sind die Spindeln 17a und 17b relativ zum Endeffektor 15 in entgegengesetzten Richtungen durch einen gemeinsamen Winkel drehbar. Solch ein Drehungsübertrager ist ein Mechanismus, der einem unten beschriebenen Rotationsübertrager, gezeigt in 7, ähnlich ist.

In dem Transferroboter 12a, der in 4 gezeigt ist, ist ein angetriebener Arm 14 am Antriebsarm 13 an einem Ende der oberen Oberfläche des Antriebsarms 13 ausgebildet.

Im Gegensatz sind in einem Transferroboter 12b, der in 5 gezeigt ist, die zwei angetriebenen Arme 14a, 14b an einem Antriebsarm 13 und einem Ende der Oberfläche des Antriebsarms 13 ausgebildet. Endeffektoren 15a, 15b sind nahe den Enden der angetriebenen Arme 14a, 14b vorgesehen. Daher können voranbringende und rückziehende Bewegungen in 180° entgegengesetzten Richtungen verwirklicht werden, so dass der eine Endeffektor durch den Antrieb in einer voranbringenden Richtung bewegt wird und der andere Endeffektor eingreift zum Zurückziehen, wodurch ein Geben und Nehmen eines Substrats ausgeführt wird.

Ein Transferroboter 12c, der in 6 gezeigt ist, weist auf den Antrieb 1a, der in 1 gezeigt ist, den Antriebsarm 13a, der an dem Rotationselement 10 des Antriebs 1a befestigt ist, so dass er sich vom Rotationselement 10 erstreckt, den Antriebsarm 13b, dessen Rotationsmittelpunkt an einer Position ist, die unterschiedlich von dem des Antriebsarms 13a ist, einem Rotationsübertrager 19, der die Antriebsarme 13a, 13b und die angetriebenen Arme 14a, 14b drehbar stützt und die Drehung der Antriebsarme 13a, 13b zu den angetriebenen Armen 14a, 14b überträgt und den Endeffektor 15, der von den angetriebenen Armen 14a, 14b drehbar gestützt ist.

7 ist eine teilweise ausgeschnittene perspektivische Ansicht des Rotationsübertragers 19 des Transferroboters 12c, der in 6 gezeigt ist. Der Rotationsübertrager 19 weist ein Gehäuse 20 auf und unterstützt die Spindel 17a drehbar, die an dem Antriebsarm 13a, 13b und der Spindel 17b, die an den angetriebenen Armen 14a, 14b vorgesehen ist. Um die seitlichen Seiten der Spindeln 17a, 17b sind zwei Stahlbänder 18 in S und umgekehrter S Form gewunden. Daher kann die Drehung der Antriebsarme 13a, 13b auf die angetriebenen Arme 14a, 14b übertragen werden.

[Drittes Ausführungsbeispiel]

8 zeigt einen Antrieb 1c dessen fixiertes Schaftelement 8 zwei Rotationselemente 10a, 10b hat, die in Richtung der Höhe versetzt sind.

Der Antrieb 1c ist an dem Gehäuse 2, auf dessen Innenseite eine Vakuumatmosphäre herrschen kann, angeordnet. Das Basiselement 3 und ein äußeres Umfangelement 3a davon, das Trennwandelement 5, das fixierte Schaftelement 8 und Ähnliches sind in ähnlicher Weise wie beim zweiten Ausführungsbeispiel angeordnet, so dass dieselbe Erklärung unterbleibt. Beachte, dass beim dritten Ausführungsbeispiel das äußere Umfangselement 3a in der axialen Richtung gebildet verhältnismäßig lang ausgebildet ist und nahezu alle Armaturen 6a, 6b und Magneten 9a, 9b der zwei Paare von Rotationselementen 10a, 10b außerhalb des Gehäuses 2 angeordnet sind.

Im dritten Ausführungsbeispiel ist das Rotationselement 10b drehbar auf dem äußeren Umfang des fixierten Schaftelements 8 über die Lager 11a, die in vier Linien ausgerichtet sind, gestützt und das Rotationselement 10a ist drehbar auf der äußeren Seite des Rotationselements 10a über die Lager 11b, die in zwei Linien ausgerichtet sind, gestützt. Daher sind die Rotationselemente 10a, 10b, ähnlich dem zweiten Ausführungsbeispiel, zum Basiselement 3 drehbar.

Im dritten Ausführungsbeispiel sind die Armaturen 6a, 6b als Statorelemente auf einer äußeren Seite der Magneten 9a, 9b als Rotoren angeordnet, welches dem zweiten Ausführungsbeispiel entgegengesetzt ist. Eingedrückte Abschnitte sind an einem inneren Umfang des äußeren Umfangselements 3a des Basiselements 3 gebildet. Die Armaturen 6a, 6b sind in den eingedrückten Abschnitten aufgenommen. Öffnungen der eingedrückten Abschnitte sind durch das Trennwandelement 5a verschlossen.

Die Magneten 9a, 9b sind den Armaturen 6a, 6b gegenüberliegend auf dem äußeren Umfang der Rotationselemente 10a, 10b angeordnet, so dass sie einander mit einem vorbestimmten Abstand zwischen diesen nahe sind, ähnlich dem zweiten Ausführungsbeispiel.

Beachte, dass die Sensoren 7a bis 7h in zum zweiten Ausführungsbeispiel entgegengesetzter Weise angeordnet sind.

Im dritten Ausführungsbeispiel sind nicht nur die Armaturen 6a, 6b als Statorelemente und die Magneten 9a, 9b als Rotoren, sondern auch die Lager 11a, 11b in einem gemeinsamen Bereich in der axialen Richtung des fixierten Schaftelements 8 koaxial angeordnet.

Entsprechend kann die Länge des Antriebs 1c in axialer Richtung verkürzt werden.

[Viertes Ausführungsbeispiel]

9 zeigt einen Antrieb 1d, dessen fixiertes Schaftelement 8 vier Rotationselemente 10a bis 10d hat, die in Richtung der Höhe versetzt sind.

Der Antrieb 1d ist auf dem Gehäuse 2 angeordnet, auf dessen Innenseite eine Vakuumatmosphäre sein kann. Das Basiselement 3, das Trennwandelement 5, das fixierte Schaftelement 8 und Ähnliches sind in ähnlicher Weise wie das zweite Ausführungsbeispiel angeordnet, so dass dieselbe Erklärung unterbleibt.

Im vierten Ausführungsbeispiel steigt das zylindrische äußere Umfangselement 3a in axialer Richtung vom Basiselement 3 in das Gehäuse 2. An dem Ende des fixierten Schaftelements 8 befestigt ist ein Endelement 130. Dieses Endelement 130 hat eine scheibenähnliche Form, die dem Basiselement 3 entspricht. Auf einem äußeren Umfang des Endelements 130, ist ein äußeres Umfangelement 130a vorgesehen, das sich gegen das Basiselement 3 erstreckt.

Das Rotationselement 10a ist auf dem inneren Umfang des äußeren Umfangelements 3a mittels Lagern 11a, die in zwei Linien ausgerichtet sind gestützt und das Rotationselement 10b ist auf der Innenseite des Rotationselements 10a mittels den Lagern 11b, die in zwei Linien ausgerichtet sind, gestützt. Daher sind die Rotationselemente 10a, 10b relativ zum Basiselement 3 drehbar.

Das Rotationselement 10c ist auf einem inneren Umfang des äußeren Umfangelements 130a mittels Lager 11c, die in zwei Linien ausgerichtet sind, gestützt und das Rotationselement 10d ist auf einer inneren Seite des Rotationselements 10c mittels Lagern 11d, die in zwei Linien ausgerichtet sind, gestützt. Daher sind die Rotationselemente 10c, 10d relativ zum Endelement 130 und dem Basiselement 3 drehbar.

Auf dem inneren Umfang der Rotationselemente 10a bis 10d sind die Magneten 9s bis 9d als Rotoren angeordnet. Die Armaturen 6a bis 6d als Statorelemente sind auf dem äußeren Umfang des fixierten Schaftelements 8 so angeordnet, dass sie den Rotationselementen 10a bis 10d gegenüberliegen. Ein zylindrisches Trennwandelement 5b ist zwischen den Armaturen 6a bis 6d und den Magneten 9a bis 9d derart angeordnet, dass die Armaturen 6a bis 6d jeweils den Magneten 9a bis 9d mit einem vorbestimmten Abstand mit dem Trennwandelement 5b in dem Abstand dazwischen angeordnet gegenüberliegend sind.

Beachte, dass die Sensoren 7a bis 7h und die Sensoren 7i bis 7p nahe den Armaturen 6a bis 6d und die Magneten 9a bis 9d angeordnet sind.

Ebenso sind in dem vierten Ausführungsbeispiel nicht nur die Armaturen 6a bis 6d als Statorelemente und die Magneten 9a bis 9d als Rotoren, sondern ebenso die Lager 11a bis 11d in einem gemeinsamen Abschnitt in der axialen Richtung des fixierten Schaftelements 8 koaxial angeordnet. Daher kann die Länge des Antriebs 1d in axialer Richtung verkürzt sein.

Beachte, dass der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung nicht auf die vorgenannten Ausführungsbeispiele begrenzt ist und dass Detailbereiche der Strukturen bei der Ausgestaltung eines Gesichtspunkts der Erfindung angeordnet werden können.

Zusätzlich kann jede funktionelle Komponente der Ausführungsbeispiele durch eine andere ähnliche Komponente ersetzt werden. Beispielsweise muss das Lager nicht ein sogenanntes Welslager sein, sondern kann ein Gleitlager aus synthetischem Harzmaterial oder Ähnlichem sein. Weiter hin kann ein Aufbau einer jeden Komponente oder einer Verbindungsstruktur ähnlich ausgebildet sein und Material einer jeden Komponente in Übereinstimmung mit Anforderungen entsprechend ausgesucht sein.

Zusammenfassung

Die Erfindung weist auf ein Basiselement, das an einem Gehäuse befestigt ist, auf. Das Innere des Gehäuses kann eine Vakuumatmosphäre sein. Eine Trennwandung ist auf dem Basiselement vorgesehen, wobei das Basiselement eine Luftatmosphäre und eine Vakuumatmosphäre trennt. Ein Rotationselement (ein drehender Abschnitt eines Antriebs) ist auf dem Basiselement an einer Position unterschiedlich von dem Rotationselement vorgesehen. Eine Armatur, die eine Staubquelle ist, ist auf der Seite der Luftatmosphäre der Trennwandung vorgesehen, wodurch hohe Sauberkeit auf der Seite der Vakuumatmosphäre erhalten wird. Das Vorsehen der Trennwandung und der Rotationselemente an unterschiedlichen Positionen beseitigt die Notwendigkeit von Überlegungen bezüglich der Steifigkeit der Trennwandung zum Stützen von Rotationselementen wodurch die Dicke der Trennwandung verringert wird. Zusätzlich ist es möglich, die Beeinflussung durch Trägheit oder Vibration erzeugte Ablenkung, durch Drehung des Rotationselements verursacht, zu verringern, so dass ein Abstand zwischen der Armatur und einem Magnet im Rotationselement schmaler sein kann, als im Stand der Technik. Daher kann eine hohe Genauigkeit in Stopppositionen verwirklicht werden.


Anspruch[de]
Antrieb mit

– einem an einem Gehäuse angeordneten Basiselement;

– einem fixierten Schaft, der sich vom Basiselement in das Gehäuse erstreckt;

– einem Rotationselement, das koaxial am Schaft befestigt ist;

– einer Lagerung, die das Rotationselement stützt, damit es um den fixierten Schaft drehbar ist;

– einem Statorelement, das koaxial am fixierten Schaft befestigt ist;

– einem an dem Rotationselement derart angeordneten Rotor, dass dieser dem Statorelement gegenüberliegt;

– einem Trennwandelement, das zwischen dem Statorelement und dem Rotor derart angeordnet ist, dass dieses mit dem fixierten Schaft koaxial ist, wobei das Trennwandelement eine Luftatmosphäre außerhalb des Gehäuses von einer Vakuumatmosphäre im Gehäuse trennt; und

– einem äußeren Umfangselement, das auf einer äußeren Seite des fixierten Schafts derart angeordnet ist, dass dieses koaxial zum fixierten Schaft ist, wobei

– das Statorelement auf einem eines äußeren Umfangs des äußeren Schafts und einem inneren Umfang des äußeren Umfangselements angeordnet ist,

– die Lagerung auf dem anderen des äußeren Umfangs des fixierten Schafts und des inneren Umfangs des äußeren Umfangselements angeordnet ist, und

– das Statorelement und die Lagerung in einem gemeinsamen Bereich koaxial in einer axialen Richtung des fixierten Schafts angeordnet sind.
Antrieb nach Anspruch 1, wobei das Basiselement auf einem Öffnungsbereich des Gehäuses angeordnet ist und das äußere Umfangsteil und der fixierte Schaft auf einer gemeinsamen Seite des Basiselements angeordnet sind, wobei die gemeinsame Seite der Innenseite des Gehäuses zugewandt ist. Antrieb nach Anspruch 1, wobei das Basiselement auf einer äußeren Seite des Gehäuses derart angeordnet ist, dass es von dem Öffnungsbereich des Gehäuses beabstandet ist und das Basiselement und das Gehäuse durch das äußere Umfangselement verbunden sind. Antrieb nach Anspruch 1, wobei das Basiselement auf einer inneren Seite des Gehäuses derart angeordnet ist, dass es von dem Öffnungsbereich des Gehäuses beabstandet ist und das Basiselement und das Gehäuse durch den fixierten Schaft verbunden sind. Antrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei mehrere Gruppen von Rotationselement, Rotor, Statorelement und der Lagerung an Positionen angeordnet sind, die durch einander in der axialen Richtung eines gemeinsamen fixierten Schafts ersetzten ersetzt sind. Antrieb nach Anspruch 5, wobei eine Lagerung der Gruppen ein Rotationselement der Gruppen drehbar mit dem fixierten Schaft verbindet und eine andere Lagerung der Gruppen das eine Rotationselement und ein anderes Rotationselement der Gruppen verbindet. Antrieb, das auf einem Gehäuse angeordnet ist, in dem sich eine Vakuumatmosphäre befinden kann, mit:

– einem am Gehäuse befestigten Basiselement,

– einem Trennwandelement, das am Basiselement angeordnet ist und eine Luftatmosphäre und eine Vakuumatmosphäre voneinander trennt,

– einer in einer Ringform auf einer inneren Seite des Trennwandelements auf einer Luftatmosphärenseite angeordneten Armatur, die dem Trennwandelement benachbart ist, und

– einem Rotationselement, das drehbar auf dem Basiselement an einer anderen Position als dem Trennwandelement mit einem vorbestimmten Abstand zum Trennwandelement angeordnet ist.
Antrieb nach Anspruch 7, wobei die Armatur eine Vielzahl von Armaturen aufweist, die dazu eingerichtet sind, in Richtung der Höhe gegeneinander versetzt zu werden und das Rotationselement für jede der Vielzahl von Armaturen eingerichtet ist. Antrieb nach Anspruch 7, wobei ein Abstand zwischen der Armatur und dem Trennwandelement konstant ist. Antrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei ein Magnet für das Rotationselement vorgesehen ist, damit ein auf der Innenseite des Trennwandelements angeordneter Positionsdetektor eine Position des Rotationselements erfassen kann. Antrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei ein Material des Trennwandelements eine Nickellegierung ist. Transferroboter mit:

– einem Antrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 11,

– einem Antriebsarm, der an einem Rotationselement des Antriebs befestigt ist, um sich davon zu erstrecken,

– ein Antriebsarm, der drehbar mit einem Ende des Antriebsarms verbunden ist, wobei das Ende des Antriebsarms nicht mit dem Antriebsarm verbunden ist, wobei

– der Antrieb den Antriebsarm dreht und der Antriebsarm mit der Drehung des Antriebsarms ineinandergreift, um den Endeffektor voranzubringen und zurückzuziehen.
Transferroboter nach Anspruch 12, wobei die Anzahl des Antriebsarms zwei ist und die beiden Antriebsarme auf einer seitlichen Fläche oder einer oberen Fläche des Rotationselements vorgesehen sind, die Anzahl des Antriebsarms zwei ist und die beiden Antriebsarme nahe den Enden der beiden Antriebsarme verbunden sind, die Anzahl des Endeffektors zwei ist und die beiden Endeffektoren nahe den Enden der zwei Antriebsarme verbunden sind und die beiden Endeffektoren in einer gemeinsamen Richtung oder in verschiedenen Richtungen, die in einer Drehrichtung ersetzt sind, vortreten und sich zurückziehen. Transferroboter mit

– einem Antrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 11,

– einem ersten Antriebsarm, der an einem Rotationselement des Antriebs befestigt ist, um sich davon zu erstrecken,

– einem zweiten Antriebsarm, mit einem Drehzentrum, das von demjenigen des ersten Antriebsarms verschieden ist,

– einem Rotationsübertrager, der den ersten Antriebsarm, den zweiten Antriebsarm und einen ersten angetriebenen Arm und einen zweiten angetriebenen Arm stützt, wobei der Rotationsübertrager die Drehung des ersten Antriebsarms und/oder eines zweiten Antriebs zum ersten angetriebenen Arm und/oder dem zweiten angetriebenen Arm überträgt, und

– ein Endeffektor drehbar vom ersten angetriebenen Arm und dem zweiten angetriebenen Arm gestützt ist.






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