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Dokumentenidentifikation DE60032535T2 04.10.2007
EP-Veröffentlichungsnummer 0001041717
Titel Resonator mit akustischen Volumenwellen mit verbesserter lateralen Modeunterdrückung
Anmelder Avago Technologies Wireless IP (Singapore) Pte. Ltd., Singapore, SG
Erfinder Larson, III, John D., Palo Alto, California 94301, US;
Ruby, Richard C., Menlo Park, California 94025, US;
Bradley, Paul, Mountain View, California 94040, US
Vertreter BOEHMERT & BOEHMERT, 80336 München
DE-Aktenzeichen 60032535
Vertragsstaaten DE, FR, GB
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 08.02.2000
EP-Aktenzeichen 001026244
EP-Offenlegungsdatum 04.10.2000
EP date of grant 27.12.2006
Veröffentlichungstag im Patentblatt 04.10.2007
IPC-Hauptklasse H03H 9/17(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP
IPC-Nebenklasse H03H 9/13(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   

Beschreibung[de]
Erfindungsgebiet

Die vorliegende Erfindung betrifft akustische Resonatoren, und genauer akustische Resonatoren, die als Filter für elektronische Schaltkreise verwendet werden können.

Hintergrund der Erfindung

Die Notwendigkeit, Kosten und Größe von elektronischer Ausrüstung zu verringern, hat zu einem andauernden Bedarf nach kleineren Filterelementen geführt. Unterhaltungselektronik, wie etwa Mobiltelefone und Miniaturradios, legen sowohl Größe wie Kosten der darin enthaltenen Komponenten enge Grenzen auf. Viele solche Vorrichtungen verwenden Filter, die auf exakte Frequenzen gestimmt werden müssen. Daher hat es andauernde Bemühungen gegeben, preiswerte, kompakte Filterelemente bereitzustellen.

Eine Klasse von Filterelementen, die das Potential hat, diesen Bedarf zu befriedigen, wird aus akustischen Resonatoren konstruiert. Diese Vorrichtungen verwenden akustische longitudinale Volumenwellen in dünnem piezoelektrischem (PZ) Material. In einer einfachen Anordnung wird eine Schicht aus PZ-Material zwischen zwei Metallelektroden geschichtet. Die Schichtstruktur wird in der Luft aufgehängt, indem sie rings um ihren Außenumfang gehalten wird. Wenn ein elektrisches Feld über eine aufgedrückte Spannung zwischen den zwei Elektroden erzeugt wird, verwandelt das PZ-Material einen Teil der elektrischen Energie in mechanische Energie in Form von Schallwellen. Die Schallwellen können sich longitudinal in der selben Richtung wie das elektrische Feld ausbreiten und von der Elektrode/Luft-Grenzfläche reflektiert werden oder sich in einer Richtung transversal zum elektrischen Feld ausbreiten und von verschiedenen Diskontinuitäten an den Rändern der Elektroden oder der Struktur reflektiert werden.

Die Vorrichtung stellt einen mechanischen Resonator dar, der elektronisch gekoppelt werden kann; daher kann die Vorrichtung als Filter dienen. Bei einer gegebenen Phasengeschwindigkeit des Schalls in dem Material ist die mechanische Resonanzfrequenz diejenige, bei der die halbe Wellenlänge der sich in der Vorrichtung longitudinal ausbreitenden Schallwelle gleich der gesamten Dicke der Vorrichtung ist. Da die Schallgeschwindigkeit vier Größenordnungen kleiner als die Lichtgeschwindigkeit ist, kann der sich ergebende Resonator recht klein sein. Resonatoren für Anwendungen im GHz-Bereich können in physischen Abmessungen in der Größenordnung von 100 Mikrometern im Durchmesser und wenigen Mikrometern Dicke konstruiert werden.

Im Zentrum der akustischen Volumenwellen-Dünnschichtresonatoren („Thin Film Bulk Acoustic Resonator", FBAR) und der akustischen Volumenwellen-Dünnschicht-Stapelresonatoren und -Filter („Stacked Thin Film Bulk Acoustic Resonator", SBAR) liegt ein dünner gesputterter piezoelektrischer Film mit einer Dicke in der Größenordnung von einem oder zwei Mikrometern. Das Piezoelektrikum wird zwischen Elektroden oben und unten geschichtet, um ein elektrisches Feld durch das piezoelektrische Material bereitzustellen. Das Piezoelektrikum wiederum wandelt einen Anteil des elektrischen Feldes in ein mechanisches Feld um. Ein FBAR besteht aus einer einzelnen Schicht von PZ-Material und wirkt als ein Absorptionsfilter. Ein SBAR wird konstruiert, indem zwei oder mehr Schichten von PZ-Material mit Elektroden zwischen den Schichten und auf der Ober- und Unterseite des Stapels geschichtet werden. Ein SBAR wird normalerweise als Übertragungsfilter verwendet.

Um die folgende Diskussion zu vereinfachen, wird die vorliegende Erfindung anhand eines FBAR erklärt; es wird jedoch aus der Diskussion deutlich werden, daß die Lehre der vorliegenden Erfindung auch auf SBARs anwendbar sind. Der Bereich der PZ-Schicht, der zwischen den Elektroden enthalten ist, bildet eine akustische Kavität. Die primäre Schwingungsmode dieser Kavität ist diejenige, bei der Schallwellen, entweder von der Kompressions-, Scher-, oder Plattenwellenart, sich in einer zur Ebene der Elektroden senkrechten Richtung fortpflanzen. Bedauerlicherweise gibt es andere Schwingungsmoden, die angeregt werden können. Diese Moden gehören zu Schallwellen, die parallel zur Ebene der Elektroden wandern und von den Wänden der Kavität oder der Bruchstelle am Rand der Elektrodenschichten zurückgeworfen werden. Die Primärfrequenz dieser Moden ist viel niedriger als die der Primärmode, die höheren Oberschwingungen dieser Transversalmoden können jedoch innerhalb des Frequenzbandes der Primärmode erscheinen. Diese Oberschwingungen führen zu einer Anzahl von „Spitzen" oder andern Unregelmäßigkeiten im Absorptionsspektrum des FBAR. Während die Gesamtleistung, die von diesen Spitzen absorbiert wird, relativ gering ist, können die Unregelmäßigkeiten dennoch Probleme in Schaltkreisen, die Filter vom FBAR- oder SBAR-Typ verwenden, hervorrufen.

Die WO 9856049 offenbart Elektroden-Wellenmuster bei piezoelektrischen Resonatoren.

Generell ist es das Ziel der vorliegenden Erfindung, einen verbesserten akustischen Volumenwellen-Resonator anzugeben.

Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, einen akustischen Volumenwellen-Resonator anzugeben, der ein Absorptions- und/oder Transmissionsspektrum umfaßt, das keine Unregelmäßigkeiten, die von transversalen Resonanz-Moden erzeugt werden, enthält.

Diese und andere Ziele der vorliegenden Erfindung werden für den Fachmann aus der folgenden detaillierten Beschreibung der Erfindung und den beigefügten Zeichnungen deutlich werden.

Zusammenfassung der Erfindung

Die vorliegende Erfindung umfaßt einen akustischen Volumenwellen-Filter, der aus einem Piezoelektrikum (PZ) mit einer ersten und zweiten Oberfläche und einer ersten und zweiten Elektrode konstruiert wird. Die erste Elektrode umfaßt eine elektrisch leitende Schicht auf der ersten Oberfläche, und die zweite Elektrode umfaßt eine elektrisch leitende Schicht auf der zweiten Oberfläche. Die erste Elektrode überlappt zumindest einen Teil der zweiten Elektrode, und der Teil der ersten Elektrode, der die zweite Elektrode überlappt bestimmt die Verteilung des elektrischen Feldes. Die sich ergebende planare Form des elektrischen Feldes ist so entworfen, daß sie eine Peripherie umfaßt, die aus einem nicht rechteckigen, unregelmäßigen Polygon oder einem Dreieck, wie in Anspruch 1 definiert ist, besteht. Die Peripherie kann eine vierseitige Form haben, in der die Seiten paarweise nicht parallel sind.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

1 ist ein Querschnitt eines FBAR-Resonators.

2 ist ein Querschnitt eines SBAR-Resonators.

3A ist eine Draufsicht einer akustischen Kavität eines FBAR in einem typischen FBAR vom Stand der Technik, in dem die obere und untere Elektrode einen rechteckig überlappenden Bereich bilden.

3B ist eine Seitenansicht der in 3A gezeigten akustischen Kavität des FBAR.

4 ist eine Draufsicht der akustischen Kavität des FBAR nach der vorliegenden Erfindung, in der der überlappende Bereich der Elektroden eine unregelmäßige Figur bildet.

5 ist eine Draufsicht eines Beispiels einer akustischen Kavität eines FBAR.

6 ist eine Draufsicht einer Elektrode mit einem Bereich, der von ihr entfernt wurde.

Detaillierte Beschreibung der Erfindung

Die vorliegende Erfindung kann leichter mit Bezug auf die 1 und 2 verstanden werden, die Querschnittdarstellungen von einem FBAR bzw. einem SBAR sind. Mit Bezug auf 1 umfaßt FBAR 20 untere und obere Elektroden 23 bzw. 21, zwischen die ein Teil einer Schicht von piezoelektrischem (PZ) Material 22 geschichtet ist. Die PZ-Schicht 22 wird über einer Kavität aufgehängt, um eine Luft/Elektrode-Grenzfläche an der Unterseite des FBAR bereitzustellen. Die Kavität wird üblicherweise hergestellt, indem ein Teil der Stützschicht 27 weggeätzt wird. Das bevorzugte PZ-Material ist Aluminiumnitrid, oder AlN. Die im Resonator 20 verwendeten Elektroden werden vorzugsweise aus Molybdän gefertigt; es können jedoch auch Ausführungsformen konstruiert werden, die andere Materialien verwenden. Das Koordinatensystem 28 ist so orientiert, daß die z-Achse longitudinal ausgerichteten Wellen aller Modenarten entspricht, während die x- oder y-Achse transversal ausgerichtete Wellen betrifft, wiederum von der Kompressions-, Scher-, oder Platten-Modenart.

Diese Vorrichtungen sind entworfen, akustische Volumenkompressions- oder Scherwellen, die sich in einer zur z-Achse parallelen Richtung in dem Dünnfilm-PZ-Material fortpflanzen, als die angestrebte Resonator-Mode zu verwenden. Wenn über eine aufgedrückte Spannung ein elektrisches Feld zwischen den beiden Elektroden erzeugt wird, verwandelt das PZ-Material einen Teil der elektrischen Energie in mechanische Energie in Form von Schallwellen. Die Schallwellen pflanzen sich in die selbe, mit 24 bezeichnete Richtung fort wie das elektrische Feld und werden von der Elektrode/Luft-Grenzfläche reflektiert. Bezug nehmend auf die 3A-B ist die primäre longitudinale Resonanz-Mode der Kavität um cL/(2t0) zentriert, wobei cL die Schallgeschwindigkeit der longitudinalen Resonanz-Mode und t0 die Dicke der PZ-Schicht ist.

Bei mechanischer Resonanz erscheint die Vorrichtung als ein elektronischer Resonator; daher kann die Vorrichtung als ein Kerbfilter dienen. Die mechanische Resonanzfrequenz ist die Frequenz, bei der die halbe Wellenlänge der Schallwellen, die sich in der Vorrichtung fortpflanzen, bei einer gegeben zusammengesetzten Phasengeschwindigkeit des Schalls in dem Material gleich der gesamten Dicke der Vorrichtung ist. Da die Schallgeschwindigkeit um vier Größenordnungen kleiner als die Lichtgeschwindigkeit ist, kann der sich ergebende Resonator recht klein sein. Resonatoren für Anwendungen im GHz-Bereich können in physischen Abmessungen in der Größenordnung von 100 &mgr;m im Durchmesser und wenigen &mgr;m Dicke konstruiert werden.

Betrachten Sie nun 2, die eine Querschnittdarstellung eines SBAR 40 ist. Ein SBAR stellt elektrische Funktionen bereit, die denen eines Bandpaßfilters analog sind. Der SBAR 40 besteht grundsätzlich aus zwei FBAR-Filtern, die mechanisch gekoppelt sind. Die Kavität unter der Unterseite des PZ-Materials wurde in der Zeichnung weggelassen. Ein Signal zwischen den Elektroden 43 und 44 bei der Resonanzfrequenz der PZ-Schicht 41 kann akustische Energie auf die PZ-Schicht 42 übertragen. Die mechanischen Schwingungen in der PZ-Schicht 42 werden durch das PZ-Material in ein elektrisches Signal zwischen den Elektroden 44 und 45 verwandelt.

Betrachten Sie nun wieder 1. Wenn ein Potential zwischen den Elektroden in z-Richtung angelegt wird, um die angestrebte Wellenart zu erzeugen, kann eine transversal gerichtete mechanische Dehnung entweder durch die piezoelektrische d31-Komponenten-Kopplung (siehe J. F. Nye, „Physical Properties of Crytals", Oxford Press, 1957, S. 143), oder durch Poisson-Kopplung (siehe J. F. Nye, S. 143) erzeugt werden, was Schallwellen, die lateral in der PZ-Schicht wandern, anregen kann. Diese Wellen werden hauptsächlich von den sprunghaften Änderungen der Dichte am mit 25 bezeichneten Rand der Elektroden reflektiert, können aber auch von Rändern der Kavität oder den Rändern der PZ-Schicht reflektiert werden. Die PZ-Schicht unter den Elektroden kann als eine akustische Kavität angesehen werden, obwohl die PZ-Schicht viel größer als die Elektroden ist. Diese Kavität kann eine Anzahl von Resonanz-Moden haben, die zu Ausbreitungspfaden des Schalls gehören, in denen parallel zur Ebene der Elektroden wandernde Schallwellen von den Wänden oder Elektrodenrändern einige Male zurückgeworfen werden und schließlich an den selben Punkt auf der Wand der Kavität zurückkehren.

Betrachten Sie wieder 3A, die eine Draufsicht einer akustischen Kavität eines FBAR 50 in einem typischen FBAR vom Stand der Technik ist, bei dem die obere und die untere Elektrode rechteckig sind. Für jeden Punkt auf der Peripherie der Kavität 50 gehört eine transversale Mode zu einem Schallwellenweg, der diesen Punkt verläßt und dann, nachdem er von einer oder mehreren Wänden der Kavität zurückgeworfen wurde, wieder zu dem selben Punkt zurückkehrt. Die Schallwellen beispielsweise, die Punkt 55 verlassen, können von der dem Punkt 55 gegenüberliegenden parallelen Wand abprallen und zu Punkt 55 entlang des Pfades 51 zurückkehren. Diese transversale Mode gehört zu einer Oberschwingungs-Folge von Absorptionsbändern im Absorptionsspektrum des FBAR. Diese Bänder haben Frequenzen, die bei cTN/(2W) zentriert sind, wobei cT die Geschwindigkeit der sich transversal in dem PZ-Medium ausbreitenden Schallwelle, W die Breite des FBAR, und N = 1, 2,... ist. Die primäre longitudinale Resonanz-Mode der Kavität ist bei cL/(2t0) zentriert, wobei cL die Schallgeschwindigkeit der sich longitudinal ausbreitenden Mode und t0 die Dicke der PZ-Schicht ist. Wenn daher W/N ungefähr gleich t0*(cT/cL) für ein N ist, wird die transversale Mode eine Spitze oder Spitzen in das Frequenzspektrum des FBAR innerhalb des interessierenden Frequenzbereichs einführen. Die Größe der Spitze(n) wird von N und von der Anzahl anderer Punkte auf der Peripherie der Kavität, die transversale Moden mit derselben Resonanzfrequenz erzeugen können, abhängen. Generell wird der Kopplungskoeffizient für eine parasitäre laterale Mode mit N abnehmen und mit der Anzahl der Punkte, die die selbe Resonanzfrequenz haben, zunehmen.

Wenn zwei Punkte auf der Peripherie transversale Moden haben, die dieselbe Frequenz haben, wird die transversale Mode entartet genannt. Die Amplitude der Spitze, die bei der Frequenz der transversalen Mode in das Spektrum eingeführt wird, wird mit der Anzahl solcher Punkte, die diese resonante Weglänge haben, erhöht. Wieder Bezug nehmend auf 3 wird klar, daß alle Punkte entlang der Wand, an der Punkt 55 liegt, einen Resonanzweg der Länge 2W haben, der zu Schallwellen, die diesen Punkt verlassen und von der gegenüberliegenden parallelen Wand zurückgeworfen werden, gehört. Dieser hohe Grad von Entartung führt zu einer Reihe von signifikanten Spitzen im Absorptionsspektrum mit den oben beschriebenen Abständen. Ein ähnliches Problem gibt es für Pfade auf der Wand 57, wie etwa Pfad 52.

Die vorliegende Erfindung beruht auf der Beobachtung, daß die von den transversalen Moden hervorgerufenen Absorptionsanomalien wesentlich verringert werden, wenn jeder Punkt auf der Peripherie der Kavität eine transversale Mode hat, die sich von der jedes anderen Punktes auf dem Rand unterscheidet, und wenn die zugehörigen Weglängen verglichen mit den physischen Abmessungen des FBAR groß sind. In diesem Fall ist der Anteil des Absorptionsspektrums, der von den transversalen Moden erzeugt wird, im wesentlichen in dem interessierenden Frequenzbereich konstant und würde daher keine Anomalien in den interessierenden Absorptionsbereich einführen.

Im Prinzip können die Weglängen vergrößert werden, indem die Ausmaße des Resonators vergrößert werden. Andere Überlegungen beschränken jedoch die Größe des Resonators, und daher steht diese Art, N zu vergrößern, nicht zur Verfügung. Beispielsweise bestimmt die Größe des Resonators seine elektrische Impedanz bei der angestrebten Filterfrequenz. Da die Impedanz durch die elektrischen Parameter des Schaltkreises, in dem der Resonator arbeiten soll, festgelegt ist, kann der Designer die Größe nicht frei festlegen. Zusätzlich sprechen wirtschaftliche Überlegungen für kleinere Resonatoren. Wie unten im Detail behandelt wird, sieht die vorliegende Erfindung ein Mittel vor, die Weglängen zu vergrößern, ohne die Ausmaße des Resonators wesentlich zu vergrößern.

Generell sollte bemerkt werden, daß die Unterdrückung der oben beschriebenen Resonanzen der lateralen Moden durch Formung der akustischen Kavität und Stützstruktur des Resonators erreicht wird. Eine solche Ausformung kann 1) durch Ausformung des Überlappungsbereichs der Elektroden des Resonators, 2) durch Ausformung des ausgeätzten Kavitätsbereichs, 3) durch Ausformung der Ränder der PZ-Region, 4) durch Verwendung von sich unterscheidenden Materialien in der Elektrodenstruktur erreicht werden. Andere Arten von ungleichmäßig geformten Strukturen von akustischen Resonatoren, die fähig sind, Resonanzen der lateralen Moden zu unterdrücken, können ebenfalls verwendet werden, ohne von der Lehre der vorliegenden Erfindung abzuweichen.

Die Art, in der die vorliegende Erfindung die Entartung der transversalen Moden verringert, kann besser mit Bezug auf 4 verstanden werden, die eine Draufsicht einer akustischen Kavität eines FBAR 60 nach der vorliegenden Erfindung ist. Die Kavität 60 unterscheidet sich von der in 3 gezeigten Kavität 50 darin, daß gegenüberliegende Wände der Kavität nicht mehr parallel sind. Daher wird eine Schallwelle, die einen Punkt auf einer Wand verläßt, von der gegenüberliegenden Wand nicht auf denselben Punkt, von dem die Welle ausgegangen ist, zurückreflektiert. Im Allgemeinen ist der Pfad von einem beliebigen festen Punkt zurück in die Umgebung dieses Punktes viel länger als die Abmessungen des FBAR, wie durch den Pfad, der von Punkt 61 ausgeht, dargestellt wird. Entwürfe, in denen die effektiven Weglängen 10 mal so groß wie der maximale Durchmesser der Kavität sind, können leicht erhalten werden. Des weiteren haben verschiedene Punkte auf der Peripherie Weglängen, die sich von denen ihrer benachbarten Punkte unterscheiden, und daher wird die Entartung, die zu Spitzen im Absorptionsspektrum bei den Kavitäten vom Stand der Technik geführt haben, wesentlich verringert. Man beachte zusätzlich, daß die Pfade sich nicht völlig schließen. Das heißt, daß die Schallwellen nur an einen Punkt in der Nähe des Punkts, von dem sie ausgegangen sind, zurückkehren. Als Ergebnis sind die zugehörigen Absorptionsspitzen flacher als die, die mit Vorrichtungen vom Stand der Technik erhalten werden können. Daher wird das parasitische Spektrum der transversalen Moden von isolierten scharfen Spitzen in eine viel größere Zahl flacher, einander überlappender Spitzen verwandelt, um einen mehr oder weniger durchgängigen Hintergrund auszubilden, dem Spitzen, die die Charakteristika des FBAR in dem interessierenden Bereich stören können, fehlen.

Wie oben angemerkt, bestimmt die Überlappung der Elektroden die Form der darunter liegenden Kavität. Demgemäß genügt es, die Form und Überlappung der Elektroden anzupassen, um sich transversal fortpflanzende Wellen zu unterdrücken. Wenn die Peripherie der Elektrode durch geradlinige Bereiche definiert ist, d. h. ein Polygon ist, sollten je zwei Segmente im Idealfall nicht parallel zueinander sein. Ein kompaktes, unregelmäßiges Polygon kann im allgemeinen gefunden werden, das diese Bedingung erfüllt. Die in 4 gezeigte Kavität ist eine solche Kavität. Man beachte, daß reguläre Polygone mit einer ungeraden Zahl von Seiten die obige Bedingung erfüllen, aber immer noch stark entartete transversale Moden aufweisen. Daher werden unregelmäßige Polygone verwendet. In der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird ein vierseitiges Polygon verwendet, in dem keine zwei Seiten parallel sind.

Man kann auch mehrfach verbundene Bereiche für die obere Elektrode verwenden, wie in 6, die eine Draufsicht einer Elektrode 80 mit einem von ihr entfernten Bereich 81 ist, dargestellt wird. Der entfernte Bereich teilt im Ergebnis die Elektrode in zwei bei 82 und 83 dargestellte Abschnitte, die durch Bereiche 84 und 85 verbunden sind.

Es wird jedoch für den Fachmann aus der vorangegangenen Abhandlung deutlich geworden sein, daß ein Rand, bei dem ein kleiner Anteil des Randes zwei lineare Abschnitte enthält, die einander gegenüber liegen und zueinander parallel sind, immer noch eine wesentliche Verbesserung gegenüber Vorrichtungen vom Stand der Technik sein wird, in denen die meisten, wenn nicht alle, Ränder aus linearen Abschnitten mit paarweise einander gegenüberliegenden und paarweise zueinander parallelen Abschnitten bestehen.

Resonatoren mit kreisförmigen Elektroden können starke transversale Moden hervorrufen. „Flüstergewölbe"-Resonatoren verwenden diese Moden. Daher ist eine kreisförmige Elektrode eine schlechte Wahl für einen FBAR.

Das einfachste Verfahren zur Messung der Wirksamkeit eines bestimmten Designs ist es, das Absorptionsspektrum der transversalen Moden dieses Designs mit dem zu vergleichen, das mit einer rechteckigen Elektrode erhalten wird. Wie oben angemerkt, führt die rechteckige Elektrode zu einer Kavität mit einem Absorptionsspektrum, das eine Anzahl klar unterschiedener Spitzen in dem Frequenzbereich, in dem der Filter arbeiten soll, enthält. Jede Abweichung in der Form der Ränder von der eines Rechtecks, die die Amplituden dieser Spitzen deutlich verringert, stellt eine Verbesserung gegenüber FBARs vom Stand der Technik dar. Die vorliegende Erfindung verringert diese Spitzen vorzugsweise mindestens um den Faktor 10; sogar ein Faktor von Zwei stellt jedoch eine wesentliche Verbesserung dar.

Man beachte, daß die akustische Kavität in dem Bereich der PZ-Schicht ausgebildet wird, in dem die obere Elektrode die untere Elektrode überlappt. Die Elektroden haben oft nicht-überlappende Fortsätze, die verwendet werden, um elektrische Verbindungen zu den Elektroden herzustellen. Diese Verbindungen kommen auch mit der PZ-Schicht in Verbindung. Es ist jedoch nur der Bereich, in dem sich die Elektroden überlappen, der zu der akustischen Kavität wird.

Verschiedene Änderungen an der vorliegenden Erfindung werden aus der vorangegangen Beschreibung und den beigefügten Zeichnungen für den Fachmann deutlich werden. Daher soll die vorliegende Erfindung nur durch den Schutzumfang der folgenden Ansprüche beschränkt sein.


Anspruch[de]
Filter (20, 40), umfassend eine piezoelektrische Schicht (22, 41, 42) mit einer ersten und einer zweiten Oberfläche, eine erste Elektrode (21), die eine elektrisch leitende Schicht auf der ersten Oberfläche umfaßt, und eine zweite Elektrode (23), die eine elektrisch leitende Schicht auf der zweiten Oberfläche umfaßt, wobei die erste Elektrode (22) zumindest einen Teil der zweiten Elektrode (23) überlagert, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil der zweiten Elektrode (23) eine Peripherie (60) eines nicht rechteckigen unregelmäßigen Polygons aufweist und dadurch, daß das Polygon ein vier- oder fünfseitiges Polygon, das keine zwei zueinander parallele Seiten umfaßt, oder ein Dreieck mit Seiten ungleicher Länge ist. Filter (20, 40) nach Anspruch 1, der des weiteren eine Struktur zur Unterstützung des Teils der piezoelektrischen Schicht über einer Kavität umfaßt, so daß die erste Elektrode eine Grenzfläche zur Luft auf der Seite derselben aufweist, die sich nicht in Kontakt mit der piezoelektrischen Schicht befindet. Filter (20, 40) nach Anspruch 1 oder 2, wobei die erste Elektrode eine leitende Schicht aufweist, die einen darin enthaltenen nicht leitenden Bereich umfaßt.






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