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Dokumentenidentifikation DE102007014682A1 18.10.2007
Titel Mikroskop
Anmelder Olympus Corporation, Tokio/Tokyo, JP
Erfinder Matsumoto, Yusuke, Hachioji, Tokyo, JP
Vertreter WUESTHOFF & WUESTHOFF Patent- und Rechtsanwälte, 81541 München
DE-Anmeldedatum 27.03.2007
DE-Aktenzeichen 102007014682
Offenlegungstag 18.10.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 18.10.2007
IPC-Hauptklasse G02B 21/00(2006.01)A, F, I, 20070704, B, H, DE
Zusammenfassung Ein Mikroskop weist eine Objektivlinse (7) und einen Mikroskopkörper (20) zum Tragen der Objektivlinse (7) auf. Der Mikroskopkörper (20) weist in sich einen hohlen Abschnitt (20d) auf. Das Mikroskop enthält weiterhin eine Beleuchtungseinheit (21) mit einem optischen Beleuchtungssystem (29) zum Aufbringen von Beleuchtungslicht auf eine Probe (9) in Zusammenwirkung mit der Objektivlinse (7) und einen Einsetz/Entfernungsmechanismus zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheit (21) in/aus den/dem hohlen Abschnitt (20d).

Beschreibung[de]
HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikroskop mit einem optischen Beleuchtungssystem.

Als ein herkömmliches Mikroskop mit einem optisches Beleuchtungssystem ist ein Mikroskop bekannt, welches eine Koehler-Beleuchtung verwendet, wie in 17 gezeigt. Bezugnehmend auf 17 hat ein Mikroskopkörper 10 von einer Seitenfläche her gesehen eine horizontale U-Form und weist drei Abschnitte auf, d. h. einen Basisabschnitt 10a, einen Tragabschnitt 10b, der sich von einem Ende des Basisabschnittes 10a (rechtes Ende in 17) aus nach oben erstreckt und einen Armabschnitt 10c, der sich vom oberen Ende des Tragabschnitts 10b dem Basisabschnitt 10a gegenüberliegend horizontal erstreckt. Der Armabschnitt 10c enthält ein optisches Beleuchtungssystem 16 mit einer Lichtquelle 1, einer Projektionslinse 13, einer Aperturblende 2, einer Feldblende 3 und einer Beleuchtungslinse 4. Das optische Beleuchtungssystem 16 bildet eine Koehler-Beleuchtung, bei der die Lichtquelle 1, die Aperturblende 2 und die Austrittspupille einer Objektivlinse 7 eine konjugierte Beziehung haben und die Feldblende 3 und eine Probe 9 ebenfalls eine konjugierte Beziehung haben. Für eine Hellfeldbeobachtung wird am distalen Endabschnitt des Armabschnittes 10c ein Hellfeldkubus 5 angebracht.

In diesem Zustand läuft von der Lichtquelle 1 emittiertes Beleuchtungslicht durch die Projektionslinse 13, die Aperturblende 2, die Feldblende 3 und die Beleuchtungslinse 4, um den Hellfeldkubus 5 zu erreichen. Der Hellfeldkubus enthält einen Halbspiegel 5a, der als Teilerelement im optischen Pfad dient. Am Halbspiegel 5a erfolgt eine teilweise Reflektion und teilweise Transmission des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle 1, das durch einen optischen Beleuchtungspfad n in Richtung der Probe 9läuft. Das reflektierte Licht beleuchtet durch die Objektivlinse 7 die Probe 9, die auf einer Stufe 8 angeordnet ist. Objektivlinsen mit unterschiedlichen Vergrößerungen sind an einem Objektivträger 6 angebracht. Die Objektivlinse 7 mit der gewünschten Vergrößerung wird in den optischen Pfad gebracht. Die Stufe 8 kann durch Drehen eines Fokussiergriffs 14 nach oben und unten bewegt werden. Beobachtungslicht von Probe 9, d. h. von der Probe 9 zurückkehrendes Licht, läuft durch die Objektivlinse 7, wird über den Halbspiegel 5a übertragen (teilweise reflektiert) und dann visuell von einem Beobachter durch einen Beobachtungstubus 11 und ein Okular 12 beobachtet, welche oberhalb des Armabschnitts 10c liegen.

In einem solchen Mikroskop werden das optische Beleuchtungssystem 16 und der Hellfeldkubus 5, die in 17 gestrichelt eingefasst sind, entsprechend dem Typ des verwendeten Beobachtungsverfahrens gewechselt. Beispielsweise wird der gesamte Abschnitt, der in 17 mit der gestrichelten Linie eingefasst ist, d. h. die Projektionstubuseinheit ausgetauscht oder Teile hiervon, beispielsweise die Lichtquelle 1 und der Hellfeldkubus 5, werden individuell ausgetauscht.

Das Austauschen eines Bauteils, beispielsweise einer Lichtquelle oder eines Kubus entsprechend einem jeden Typ des verwendeten Beobachtungsverfahrens macht jedoch das Anbringen und Entfernen von Bauteilen bei jedem Bauteilwechselvorgang notwendig. Dies ist für einen Beobachter umständlich und bewirkt eine Verschlechterung bei der Effizienz der mikroskopischen Beobachtung.

Einige Benutzer verwenden solche Mikroskope zur Untersuchung von Wafern, die für Halbleiterelemente verwendet werden und von Glassubstraten, welche Master-Substrate genannt werden und für Füssigkristallschirme verwendet werden. In jüngster Zeit tendiert der Herstellungsvorgang bei Halbleiterelementen zur Verwendung von Wafern großer Abmessung, um viele Chips, ICs oder dergleichen aus einem Wafer aus Gründen der Produktivitätsverbesserung herstellen zu können. Weiterhin sind mit der Vergrößerung von Flüssigkristallanzeigen Glassubstrate größer geworden. Um direkt eine Probe, beispielsweise einen Wafer großer Abmessungen oder ein Glassubstrat auf der Stufe zur mikroskopischen Untersuchung einer derartig großen Probe anordnen zu können, ist es notwendig, die Tiefenabmessung (Tiefe) des Mikroskopkörpers 10 abhängig von der Größe der Stufe zu ändern. Dies macht die Bereitstellung von Armabschnitten unterschiedlicher Längen als Armabschnitt 10c notwendig, der sich horizontal entlang des Basisabschnittes 10a erstreckt. Aus diesem Grund ändert in dem optischen Beleuchtungssystem 16, das die Lichtquelle 1 an der proximalen Endseite des Armabschnittes 10c hat, die Verwendung von Armabschnitten unterschiedlicher Längen die Lagebeziehung zwischen den Linsen und der Projektionsvergrößerung eines Lichtquellenbildes bezüglich der Objektivlinse 7. Dies führt zu umständlichen Einstellungen.

In der japanischen Patentanmeldungs-KOKAI-Veröffentlichung Nr. 6-51204 wird als eine Technik zum Lösen dieses Nachteils vorgeschlagen, eine Anordnung zu verwenden, bei der ein Mikroskopkörper in Einheiten unterteilt ist, um die Auswahl einer Basis, eines horizontalen U-förmigen Trägers und eines Projektionstubusabschnittes abhängig von der Stufengröße zu ermöglichen, wobei mit einer Probe großer Abmessungen dadurch umgegangen wird, dass ohne Änderung der optischen Leistung eine geeignete Kombination hiervon gemacht wird.

Die in der japanischen Patentanmeldungs-KOKAI-Veröffentlichtung Nr. 6-51204 offenbarte Anordnung macht es jedoch notwendig, Steifigkeit für jede Teileinheit sicher zu stellen und somit nimmt jede Einheit unvermeidlich in Gewicht und Größe zu. Da zusätzlich die entsprechenden Einheiten durch eine Schraubenverbindung verbunden werden, ist die Steifigkeit einer jeden Einheit im Verbindungszustand durch die Steifigkeit einer jeden Schraube selbst sichergestellt. Aus diesem Grund ist es notwendig, eine ausreichende Anzahl von Schrauben mit ausreichend großem Durchmesser zu verwenden und sicher zu stellen, dass eine hohe Wanddicke an den Schraubverbindungsabschnitten zwischen den jeweiligen Einheiten vorliegt. Dies bewirkt einen weiteren Anstieg im Gewicht und führt zu Einschränkungen im Freiheitsgrad bei der Gestaltung. Zusätzlich macht die Befestigung der jeweiligen Einheiten unter Verwendung von Schrauben das Anbringen und Lösen von Schrauben jedes Mal dann notwendig, wenn eine Einheit gegen eine andere Einheit ausgetauscht werden soll. Dies ist ein umständlicher Vorgang für eine Bedienungsperson. Weiterhin kann dies eine Verschlechterung der Betriebseffizienz verursachen.

Zusätzlich, wenn beispielsweise eine Autofokus-Einheit (AF) auf die Projektionstubuseinheit gesteckt wird, nimmt die Höhenabmessung der Gesamtanordnung durch die Dicke der aufgesteckten AF-Einheit und die Dicke einer Schwalbenschwanz-Zinkenverbindung oder dergleichen zur Verbindung der AF-Einheit mit der Projektionstubuseinheit zu. Dies erhöht die Länge des optischen Pfads, durch welchen Beobachtungslicht von einer Probe in ein Bild im Okular oder einer Bilderfassungsvorrichtung gebildet wird und kann einen Mangel von Restlichtbetrag im Beobachtungsbild verursachen. Weiterhin erhöht ein Anstieg der Länge des optischen Pfads die Lage des Okularzylinders, was zu einer Anhebung des Beobachtungspunkts führt. Der Beobachtungspunkt ist die Beobachtungsposition durch den Beobachter. Wenn sich der Beobachtungspunkt jedes Mal dann ändert, wenn sich die Art der Verwendung des Mikroskops ändert, bedeutet dies eine unnötige Belastung für den Beobachter. Das heißt, es wäre für den Beobachter bevorzugt, wenn der Beobachtungspunkt unverändert bliebe.

KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Ein Mikroskop gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält eine Objektivlinse und einen Mikroskopkörper zum Tragen der Objektivlinse. Der Mikroskopkörper weist in sich einen hohlen Abschnitt auf. Das Mikroskop enthält weiterhin eine Beleuchtungseinheit mit einem optischen Beleuchtungssystem zum Liefern von Beleuchtungslicht auf eine Probe in Zusammenwirkung mit der Objektivlinse, sowie einen Einsetz/Entfernungsmechanismus zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheit in/aus den/dem hohlen Abschnitt.

Vorteile der Erfindung sind in der folgenden Beschreibung ausgeführt oder ergeben sich teilweise aus der Beschreibung oder können durch Umsetzen der Erfindung in die Praxis erfahren werden. Vorteile der Erfindung lassen sich mittels den Einrichtungen und Kombinationen realisieren und erhalten, wie sie speziell nachfolgend angeführt sind.

KURZE BESCHREIBUNG DER VERSCHIEDENEN ZEICHNUNGSANSICHTEN

Die beigefügte Zeichnung, welche in die Beschreibung aufzunehmen ist und einen Teil hiervon bildet, zeigt Ausführungsformen der Erfindung und zusammen mit der obigen allgemeinen Beschreibung und der nachfolgenden detaillierten Beschreibung der Ausführungsformen dient sie zur Erläuterung der Grundsätze der Erfindung.

1 ist eine Seitenansicht, die schematisch den Aufbau eines Mikroskops gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

2 ist eine Teilschnittdarstellung, die schematisch den vorderen Hauptteil des Mikroskops gemäß der ersten Ausführungsform zeigt;

3 ist eine Seitenansicht, die schematisch den Aufbau einer Beleuchtungseinheit zur Verwendung in einem Mikroskop gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

4 ist eine Teildraufsicht, die schematisch die Anordnung einer Beleuchtungseinheit zur Verwendung im Mikroskop gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt;

5A, 5B und 5C zeigen ein Kubusbefestigungsverfahren zur Anwendung bei der Beleuchtungseinheit gemäß der zweiten Ausführungsform.

6A, 6B und 6C zeigen schematisch die Anordnung einer Beleuchtungseinheit gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

7 ist eine Seitenansicht, die schematisch die Anordnung eines Mikroskops gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

8 ist eine Teilschnittdarstellung, die schematisch den vorderen Hauptteil des Mikroskops gemäß der vierten Ausführungsform zeigt;

9A zeigt schematisch die Anordnung einer Abwandlung der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

9B zeigt schematisch die Anordnung einer anderen Abwandlung der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

10 zeigt schematisch die Anordnung noch einer weiteren Abwandlung der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

11 ist eine Teilschnittdarstellung, die den vorderen Hauptteil eines Mikroskops gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

12 zeigt schematisch die Anordnung einer Abwandlung der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

13 zeigt schematisch die Anordnung einer anderen Abwandlung der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

14 zeigt schematisch die Anordnung noch einer weiteren Abwandlung der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

15 zeigt schematisch die Anordnung noch einer weiteren Abwandlung der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

16 ist eine Seitenansicht, die schematisch die Anordnung eines Mikroskops gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; und

17 zeigt schematisch die Anordnung eines herkömmlichen Mikroskops.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Darstellungen der beigefügten Zeichnung beschrieben.

<Erste Ausführungsform>

Die 1 und 2 zeigen schematisch die Anordnung eines Mikroskops gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei 1 eine Seitenansicht auf das Mikroskop ist und 2 eine Teilschnittdarstellung des vorderen Hauptteils des Mikroskops ist. Eine Beschreibung des gleichen Teils wie desjenigen, der in oben beschriebener 17 gezeigt ist, entfällt und unterschiedliche Punkte zwischen diesen Mikroskopen werden unter Bezugnahme auf die 1 und 2 beschrieben.

Bezugnehmend auf 1 weist ein Mikroskopkörper 20, der von einer Seitenfläche her gesehen horizontale U-Form hat, drei Abschnitte auf, d. h. einen Basisabschnitt 20a, der auf einer horizontalen Aufstellfläche angeordnet wird, einen Tragabschnitt 20b, der sich von einem Ende des Basisabschnittes 20a (rechtes Ende in 1) aus nach oben erstreckt und einen Armabschnitt 20c, der sich horizontal vom oberen Ende des Tragabschnitts 20b aus dem Basisabschnitt 20a gegenüber liegend erstreckt. Der Armabschnitt 20c weist in seinem Inneren einen hohlen Abschnitt 20d auf. Der hohle Abschnitt 20d erstreckt sich horizontal von der distalen Endfläche des Armabschnitts 20c in Richtung des Tragabschnitts 20b und weist zum Basisabschnitt 20a.

Der hohle Abschnitt 20d des Armabschnitts 20c weist einen Schwalbenschwanzvorsprung 20e (siehe 2) auf. Der Schwalbenschwanzvorsprung 20e ist an der Bodenfläche des hohlen Abschnitts 20d so ausgebildet, dass er sich entlang der Längsrichtung des hohlen Abschnittes 20d (eines optischen Beleuchtungspfads n, der nachfolgend beschrieben wird) erstreckt. Eine Beleuchtungseinheit 21 ist entfernbar im hohlen Abschnitt 20d angeordnet. Die Beleuchtungseinheit 21 weist eine Schwalbenschwanznut 21a auf. Der Schwalbenschwanzvorsprung 20e ist in die Schwalbenschwanznut 21a eingesetzt. Die Schwalbenschwanznut 21a und der Schwalbenschwanzvorsprung 20e bilden einen Einsetz/Entfernungsmechanismus zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheit 21 in/aus den/dem Armabschnitt 20c. Dieser Einsetz/Entfernungsmechanismus erlaubt, dass die Beleuchtungseinheit 21 durch einen Gleitvorgang der Beleuchtungseinheit 21 gegenüber dem hohlen Abschnitt 20d eingesetzt und entfernt wird. Der hohle Abschnitt 20d weist in sich einen gestuften Abschnitt mit einer Anlagefläche 20f auf. Die Beleuchtungseinheit 21, die in den hohlen Abschnitt 20d eingesetzt ist, liegt an der Anlagefläche 20f an, so dass die Beleuchtungseinheit 21 in einer Position angeordnet wird, wo der optische Beleuchtungspfad n des optischen Beleuchtungssystems 29 einen optischen Beobachtungspfad m schneidet, der durch die Objektlinse 7 verläuft. Die Anlagefläche 20f bildet einen Positioniermechanismus zum Positionieren der Beleuchtungseinheit 21.

Der hohle Abschnitt 20d des Armabschnitts 20c ist nahe der Anlagefläche 20f mit einem Verbinderabschnitt 22 versehen. Wenn die Beleuchtungseinheit 21 im Anschlag an der Anlagefläche 20f liegt, ist der Verbinderabschnitt 22 mit dem Verbinderabschnitt 21d der Beleuchtungseinheit 21 verbunden. Der Verbinderabschnitt 22 ist über ein Kabel 23 mit einer Steuerung 24 verbunden. Die Steuerung 24 ist über ein Kabel 25 mit einer Energieversorgung 28 und weiterhin mit einem Lichtsteuerknopf 26 verbunden. Die Steuerung 24 steuert das EIN/AUS einer Lichtquelle 31 (LED 31a) (wird später beschrieben) der Beleuchtungseinheit 21 gemäß der Betätigung eines Netzschalters (nicht gezeigt) und steuert auch die Helligkeit durch Einstellung der von der Energieversorgung 28 an die Lichtquelle 31 gelieferten Energie abhängig von der Betätigung des Lichtsteuerknopfs 26 durch den Beobachter. Die Energieversorgung 28 ist wünschenswerterweise in einem Bereich angeordnet, wo Wärme wenig Einfluss auf das Mikroskop hat oder in einer Position, wo es nicht notwendig ist, den Wärmeeinfluss zu berücksichtigen. Der Lichtsteuerknopf 26 ist im Hinblick auf die Bedienbarkeit des Mikroskopkörpers 20 durch den Beobachter bevorzugt nahe dem Betätigungsabschnitt angeordnet, z. B. an einer Position hinterhalb eines Fokussiergriffs 14. Die Steuerung 24 und die Kabel 23 und 25 sind in geeigneter Weise an einer Stelle angeordnet, wo sie keinen Einfluss auf den Betrieb des Mikroskops haben.

Eine Seitenwand der Schwalbenschwanznut 21a der Beleuchtungseinheit 21 ist mit einer Schraubenöffnung 21b (siehe 2) versehen. Die Schraubenöffnung 21b verläuft zu der Schwalbenschwanzausnehmung 20e durch die Seitenwand der Schwalbenschwanznut 21a. Eine lösbare Schraube 27 als Befestigungsmittel ist in die Schraubenöffnung 21b geschraubt und das distale Ende der lösbaren Schraube 27 drückt auf eine Seitenfläche des Schwalbenschwanzvorsprungs 20e, so dass die Beleuchtungseinheit 21 durch die Anlagefläche 20f festgelegt ist. Die lösbare Schraube 27 und die Schraubenöffnung 21b bilden einen Befestigungsmechanismus zum Befestigen der Beleuchtungseinheit 21 am Armabschnitt 20c.

Wie in 2 gezeigt, ist eine Seitenwand des Armabschnitts 20c mit einem Lochabschnitt 20g versehen, der mit der Schraubenöffnung 21b in Verbindung steht. Der Lochabschnitt 20g dient zum Einführen der lösbaren Schraube 27 und eines Werkzeugs (nicht gezeigt) zum Anziehen der lösbaren Schraube 27.

Die Beleuchtungseinheit 21 hat einen Rahmenkörper 21c, der in den Armabschnitt 20c einsetzbar und hieraus entfernbar ist. Der Rahmenkörper 21c ist an zwei Endabschnitten entlang des optischen Beleuchtungspfads n mit einem Paar von vorstehenden Wänden 21c1 und 21c2 versehen, die aufeinander zu weisen und hat U-förmigen Querschnitt. Am Bodenabschnitt des Rahmenkörpers 21c, der zwischen dem Paar von vorstehenden Wänden 21c1 und 21c2 liegt, sind eine Lichtquelle 31, eine Aperturblende 32, eine Feldblende 33, eine Hellfeldbeleuchtungslinse 34 und ein Hellfeldkubus 35, welche ein optisches Beleuchtungssystem 29 bilden, entlang des optischen Beleuchtungspfads n angeordnet, so dass eine Hellfeldbeobachtungs-Beleuchtungseinheit gebildet wird. Die Lichtquelle 31 enthält die LED 31a als lichtemittierendes Halbleiterelement und einen Sockel 31b, der an der vorstehenden Wand 21c1 angeordnet ist. Die LED 31a wird am Sockel 31b beispielsweise durch eine Schraubverbindung angebracht und wird positioniert, während sie in das Ende des Sockels 31b eingeschraubt wird. Die LED 31a ist nahe der Aperturblende 32 angeordnet. Eine Positionierung der LED 31a im Sockel 31b bestimmt die Anordnungsposition der LED 31a. Dies erlaubt, dass die LED 31a ausgetauscht wird, wenn sie beispielsweise überprüft wird oder ausgefallen ist. Die Lichtquelle 31 kann LEDs und ein einzelnes Substrat enthalten, auf welchem sie angeordnet sind und zu positionieren und zu befestigen sind, wenn das Substrat durch einen Anbring/Lösmechanis-mus (nicht gezeigt) am Sockel 31b oder der vorstehenden Wand 21c1 befestigt wird. Der Sockel 31b steht elektrisch mit dem Verbinderabschnitt 21d in Verbindung. Während der Verbinderabschnitt 21d mit dem Verbinderabschnitt 22 auf Seiten des hohlen Abschnittes 21d verbunden ist, steuert die Steuerung 24 das EIN/AUS der LED 31a und die Helligkeit. Wenn die Beleuchtungseinheit 21 durch die Anlagefläche 20f positioniert ist, bildet das optische Beleuchtungssystem 29 eine Koehler-Be-leuchtung, in der die Lichtquelle 31, die Aperturblende 32 und die Austrittspupille der Objektivlinse 7 in einer konjugierten Beziehung positioniert sind und die Feldblende 33 und eine Probe 9 in einer konjugierten Beziehung positioniert sind. In diesem Zustand läuft von der Lichtquelle 31 (LED 31a) emittiertes Beleuchtungslicht durch die Aperturblende 32, die Feldblende 33 und die Hellfeldbeleuchtungslinse 34, um den Hellfeldkubus 35 zu erreichen. Der Hellfeldkubus 35, der einen Halbspiegel 35a enthält, reflektiert das Beleuchtungslicht, das durch den optischen Beleuchtungspfad n in Richtung Probe 9 läuft teilweise und lässt es teilweise durch, was die Probe 9, die auf der Stufe 8 angeordnet ist, durch die Objektivlinse 7 beleuchtet. Beobachtungslicht von der Probe 9, d. h. von der Probe 9 zurückkehrendes Licht, läuft durch die Objektivlinse 7, wird durch den Halbspiegel 35a durchgelassen (teilweise reflektiert) und wird dann von einem Beobachter durch einen Beobachtungstubus 11 und ein Okular 12 visuell betrachtet, welches oberhalb des Armabschnittes 20c liegt.

Der Armabschnitt 20c des Mikroskopkörpers 20 ist mit einer Abdeckung 36 versehen, um den Öffnungsabschnitt des hohlen Abschnittes 20d abzudecken. Die Abdeckung 36, die entfernt wird, wenn die Beleuchtungseinheit 21 in den hohlen Abschnitt 20d eingesetzt/hieraus entfernt wird, ist normalerweise mit einer Schraube 37 befestigt.

In der vorliegenden Ausführungsform wurde als Beleuchtungseinheit 21 die Hellfeldbeobachtungs-Beleuchtungseinheit beschrieben. Es werden jedoch Beleuchtungseinheiten entsprechend verschiedenen Arten von Beobachtungsverfahren bereitgestellt: eine Fluoreszenzbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, eine Differentialinterferenzbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, eine Dunkelfeldbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, eine Phasendifferenzbeobachtungs-Beleuchtungseinheit etc. Jede dieser Beleuchtungseinheiten enthält einen Rahmenkörper mit der gleichen Form wie der Rahmenkörper 21c der Beleuchtungseinheit 21 und enthält auch ein optisches Beleuchtungssystem und ein optisches Element, beispielsweise einen Kubus entsprechend dem Typ des verwendeten Beobachtungsverfahrens, welche vom Rahmenkörper gehalten werden. Beispielsweise wird bei einer Fluoreszenzbeobachtung eine Quecksilberlampe oder ein lichtemittierendes Halbleiterelement, beispielsweise eine LED einer bestimmten Wellenlänge als Lichtquelle verwendet und weiterhin wird eine Fluoreszenzbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, die Fluoreszenzkuben entsprechend bestimmten Wellenlängen zu schalten vermag, anstelle des Hellfeldkubus 35 verwendet. Für eine Differentialinterferenzbeobachtung wird anstelle des Hellfeldkubus 35 eine Differentialinterferenzbeleuchtungseinheit, die einen Differentialinterferenzkubus mit einem Analysierer und einem Polarisierer enthält, verwendet. Für eine Differentialinterferenzbeobachtung wird eine Anordnung benötigt, bei der ein DIC-Gleiter vom Halter 6 in einen optischen Pfad einführbar ist. Beleuchtungseinheiten entsprechend diesen Typen von Beobachtungsverfahren sind so gestaltet, dass sie Kompatibilität hinsichtlich der Lagebeziehung zwischen der Beleuchtungseinheit 21 und der Anlagefläche 20f und der Positionsbeziehung zwischen den Verbinderabschnitt 21d und 22 haben. Es sei angenommen, dass die Armabschnitte 20c der Mikroskopkörper 20 von Mikroskopen unterschiedliche Höhen oder Breiten haben. Auch in diesem Fall erlaubt die Ausbildung der hohlen Abschnitte 20d der Armbabschnitte 20c mit gemeinsamen Aufbau, dass Beleuchtungseinheiten entsprechend den jeweiligen Typen von Beob-achtungsverfahren gemeinsam verwendet werden können. Dies beseitigt die Notwendigkeit, spezielle Beleuchtungseinheiten zu gestalten.

Die Arbeitsweise der Ausführungsform mit obigem Aufbau wird nachfolgend beschrieben.

Zunächst wird der Fall beschrieben, bei dem die Beleuchtungseinheit 21 gemäß obiger Beschreibung für die Hellfeldbeobachtung anzuordnen ist. In diesem Fall wird die Abdeckung 36, die die Öffnung des hohlen Abschnittes 20d des Armbabschnittes 20c abdeckt, entfernt und der Schwalbenschwanzvorsprung 20e auf Seiten des hohlen Abschnittes 20d wird in die Schwalbenschwanznut 21a der Beleuchtungseinheit 21 eingeführt und die Beleuchtungseinheit 21 wird gleitverschoben. Dieser Gleitvorgang bringt die Beleuchtungseinheit 21 in Anlage an der Anlagefläche 20f und positioniert die Beleuchtungseinheit 21 innerhalb des hohlen Abschnittes 20d. In diesem Zustand wird der Verbinderabschnitt 21d der Beleuchtungseinheit 21 mit dem Verbinderabschnitt 22 verbunden, so dass die LED 31a in der Beleuchtungseinheit 21 über das Kabel 23 mit der Steuerung 24 verbunden ist. Wenn die Beleuchtungseinheit 21 positioniert ist, wird ein Werkzeug (nicht gezeigt) in den Lochabschnitt 20g der Seitenwand des Armabschnittes 20c eingeführt, um die lösbare Schraube 27 anzuziehen, so dass die Beleuchtungseinheit 21 innerhalb des hohlen Abschnittes 20d festgelegt ist. Danach wird die Öffnung des hohlen Abschnittes 20d mit der Abdeckung 36 bedeckt, die am Armabschnitt 20c mit der Schraube 37 befestigt wird.

In diesem Zustand ist eine Hellfeldbeobachtung verfügbar. In diesem Fall schaltet die Steuerung 24 die LED 31a der Lichtquelle 31 ein und steuert die Helligkeit abhängig von der Betätigung des Lichtsteuerknopfs 26. Licht von der LED 31a läuft durch die Aperturblende 32, die Feldblende 33 und die Hellfeldbeleuchtungslinse 34, um den Hellfeldkubus 35 zu erreichen. Das Licht wird vom Halbspiegel 35a in Richtung der Probe 9 reflektiert (teilweise durchgelassen) und beleuchtet durch die Objektivlinse 7 die Probe 9, die auf der Stufe 8 angeordnet ist. Beobachtungslicht von der Probe 9 (von der Probe 9 zurückkehrendes Licht) läuft durch die Objektivlinse 7, wird durch den Halbspiegel 35a durchgelassen (teilweise reflektiert) und dann von einem Beobachter durch den Beobachtungstubus 11 und das Okular 12 visuell betrachtet, die oberhalb des Armabschnitts 20c liegen.

Danach erfolgt eine Entfernung der Beleuchtungseinheit 21 durch Umkehrung des oben beschriebenen Vorgangs.

Zum Tauschen der LED 31a der Lichtquelle 31 wird die Beleuchtungseinheit 21 vom Armbabschnitt 20c entfernt, die LED 31a wird dann aus dem Sockel 31b durch Drehen der LED 31a entfernt und eine neue LED 31a wird durch Schrauben der LED 31a in den Sockel 31b mit diesem verbunden.

Zur Beobachtung einer Probe durch eine der verschiedenen Arten von Beobachtungsverfahren, z. B. Fluoreszenzbeobachtung, Differentialinterferenzbeobachtung, Dunkelfeldbeobachtung und Phasendifferenzbeobachtung anstelle der Hellfeldbeobachtung wird eine gewünschte Beleuchtungseinheit aus Fluoreszenzbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, Differentialinterferenzbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, Dunkelfeldbeobachtungs-Beleuchtungseinheit und Phasendifferenzbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, die vorab bereitgestellt werden, entsprechend den Beobachtungsverfahren ausgewählt und die ausgewählte Beleuchtungseinheit wird im hohlen Abschnitt 20d des Armabschnittes 20c anstelle der Beleuchtungseinheit 21 angeordnet. Der Einsetz/Entfernungsvorgang für diese Beleuchtungseinheiten ist der gleiche wie bei der Hellfeldbeobachtungs-Beleuchtungseinheit 21 gemäß obiger Beschreibung.

Da bei dieser Ausführungsform der Armabschnitt 20c des Mikroskopkörpers 20 den hohlen Abschnitt 20d hat, wird die Beleuchtungseinheit 21, die durch Ausbilden eines optischen Beleuchtungssystems in einer Einheit erhalten wird, in den hohlen Abschnitt 20d eingesetzt oder hieraus entfernt und die Beleuchtungseinheit 21 wird aus verschiedenen Arten von Beleuchtungseinheiten ausgewählt, einschließlich der Hellfeldbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, der Fluoreszenzbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, der Differentialinterferenzbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, der Dunkelfeldbeobachtungs-Beleuchtungseinheit, der Phasendifferenzbeobachtungs-Beleuchtungseinheit etc. und ein Mikroskop, das für jede der verschiedenen Arten von Beobachtungsverfahren geeignet ist, wird gebildet. Dies verbessert wesentlich den Freiheitsgrad der mikroskopischen Beobachtung durch den Benutzer. Zusätzlich vermag diese Anordnung die Beleuchtungseinheit 21 alleine durch den Armabschnitt 20c des Mikroskopkörpers 20 zu halten, für den ein gewisser Steifigkeitsgrad sichergestellt ist, im Gegensatz zu einer herkömmlichen Anordnung, die so gestaltet ist, dass eine Steifigkeit für jede der Teileinheiten sichergestellt ist, die Einheiten kombiniert und mit Schrauben befestigt werden, für welche ausreichend Steifigkeit sichergestellt ist. Dies erlaubt, dass das Gesamtgewicht und die Größe des Mikroskops verringert werden können. Da es für die Bedienungsperson unnötig ist, viele Schrauben anzubringen und zu lösen, um Einheiten zu befestigen, wie im Stand der Technik, kann die Bedienungsperson Mikroskope bilden, die für verschiedene Arten von Beobachtungsverfahren geeignet sind, was durch einen einfachen Vorgang ohne umständliche Arbeit möglich ist. Weiterhin kann die Bereitstellung von Beleuchtungseinheiten entsprechend den verschiedenen Arten von Beobachtungsverfahren umständliche Arbeit beim Wechseln des optischen Beleuchtungssystems gemäß dem Beobachtungsverfahren einsparen.

Die Verwendung einer Lichtquelle, die eine Entladungslampe verwendet, beispielsweise eine Halogenlampe oder Xenonlampe wie im Stand der Technik, verursacht eine thermische Ausdehnung des Mikroskopkörpers etc. aufgrund des Einflusses der hohen Wärmemenge, die durch Lichtemission erzeugt wird und ist oft von einem Teileaustausch begleitet, da eine derartige Lampe ein Verbrauchsgegenstand ist. Somit ist es schwierig, eine Lichtquelle in einem Mikroskopkörper aufzunehmen. Eine Lichtquelle, beispielsweise eine Halogenlampe oder eine Quecksilber/Xenon-Lampe ist in einem Lampengehäuse angeordnet, das hinterhalb des Mikroskopkörpers angeordnet ist. Zusätzlich ist es notwendig, auch die Wärmeerzeugung durch einen Lichtquellenabschnitt für eine derartige Lichtquelle zu berücksichtigen und somit wird die Lichtquelle üblicherweise in einem hinteren Abschnitt des Mikroskops angeordnet. Im Gegensatz hierzu verwendet das Mikroskop dieser Ausführungsform die LED 31a als Lichtquelle 31, die ein lichtemittierendes Halbleiterelement ist und somit nur eine geringe Wärmemenge erzeugt. Dies verringert wesentlich einen Temperaturanstieg des Mikroskopkörpers im Vergleich zu einem herkömmlichen Mikroskop, das eine Lichtquelle, beispielsweise eine Halogenlampe verwendet. Zusätzlich ist die Energieversorgung 28 der Lichtquelle 31 außerhalb der Beleuchtungseinheit 21 angeordnet und die Energie wird der Beleuchtungseinheit 21 von außen her zugeführt. Dies macht es unwahrscheinlich, dass sich Probleme aufgrund der Erzeugung von Wärme ergeben. Zusätzlich verringert die Anordnung der LED 31a auf der optischen Achse innerhalb der Beleuchtungseinheit 21 vorab die Belastung durch umständliche Arbeit beim Durchführen einer Einstellung der optischen Achse nach Anordnen einer Lichtquelle in einem Mikroskopkörper, wie es im Stand der Technik der Fall ist. Weiterhin erlaubt, auch wenn unterschiedliche Mikroskope verwendet werden, die Mikroskopkörper unterschiedlicher Höhen oder Breiten haben, die Ausbildung der hohlen Abschnitte 20d der Armabschnitte 20c mit einem gemeinsamen Aufbau, dass eine Beleuchtungseinheit entsprechend einem jeden Typ von Beobachtungsverfahren gemeinsam verwendet werden kann. Dies beseitigt die Notwendigkeit, eine spezielle Beleuchtungseinheit zu gestalten und liefert für einen Hersteller hohe Annehmlichkeiten und Vorteile hinsichtlich der Kosten.

Auf obige Weise wird ein Mikroskop geschaffen, das eine Beobachtung mit hoher Arbeitsleistung für den Benutzer durchführen kann.

Bei der obigen Ausführungsform ist der Einsetz/Entfernungsmechanismus zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheit 21 in/aus den/dem Armabschnitt 20c gebildet durch den Schwalbenschwanzmechanismus mit dem Schwalbenschwanzvorsprung 20e und der Schwalbenschwanznut 21a. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Beispielsweise kann dieser Mechanismus durch andere Positionier/Befestigungstechniken gebildet werden, z. B. durch Bereitstellen einer mechanischen Bezugsoberfläche an der Innenwand des hohlen Abschnitts 20d des Armabschnitts 20c und durch Befestigen der Beleuchtungseinheit 21 mit einer Schraube unter Verwendung eines bekannten Führungsmechanismus. Zusätzlich ist die Form des Rahmenkörpers 21c der Beleuchtungseinheit 21 nicht auf die oben beschriebene Form beschränkt und es kann eine schachtelartige Form oder eine Rohrform, beispielsweise eine Zylinderform, vorliegen.

Weiterhin hat die obige Ausführungsform den Aufbau, bei dem die Beleuchtungseinheit 21 die Lichtquelle 31 integral enthält. Es genügt jedoch, eine Anordnung zu verwenden, bei der die Lichtquelle 31 in dem optischen Beleuchtungspfad n des hohlen Abschnittes 21d des Armabschnittes 20c separat von der Beleuchtungseinheit 21 liegt und optische Elemente anders als die Lichtquelle 31 sind auf dem Rahmenkörper 21c der Beleuchtungseinheit 21 angeordnet. Diese Anordnung macht die Lichtquelle für Beleuchtungseinheiten entsprechend verschiedenen Arten von Beobachtungsverfahren gemeinsam und liefert somit weitere Vorteile hinsichtlich der Kosten. In diesem Fall ist es ausreichend, die Aperturblende 32, die Feldblende 33 und die Lichtquelle 31 auf Seiten des hohlen Abschnittes 21d des Armabschnittes 20c festzulegen, um die sich ergebende Struktur für Beleuchtungseinheiten entsprechend den verschiedenen Arten von Beobachtungsverfahren gemeinsam zu machen.

<Zweite Ausführungsform>

3 ist eine Seitenansicht einer Beleuchtungseinheit zur Verwendung mit einem Mikroskop gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 4 ist eine Draufsicht auf einen Teil der Beleuchtungseinheit. Eine Beschreibung eines gleichen Teils bei der ersten Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung entfällt und nur unterschiedliche Punkte zwischen diesen Ausführungsformen werden unter Bezugnahme auf die 3 und 4 näher beschrieben.

Eine Beleuchtungseinheit 41 hat einen Rahmenkörper 41a, der in einen Armabschnitt 20c eingesetzt und hieran entfernt wird. Der Rahmenkörper 41a ist an beiden Endabschnitten entlang eines optischen Beleuchtungspfads n mit einem Paar von vorstehenden Wänden 41a1 und 41a2 versehen, die aufeinander zu weisen. Die vorstehende Wand 41a1 des Rahmenkörpers 41a ist mit einer Lichtquelle 42 versehen. Die Lichtquelle 42 weist einen Sockel 42b auf, der an der vorstehenden Wand 41a1 angeordnet ist und eine LED 42a, die durch eine Verschraubung an dem Sockel 42b angebracht ist. Diese Ausführungsform erlaubt das Umschalten zwischen verschiedenen Arten von LEDs 45a entsprechend dem Beobachtungsverfahren.

Verschiedene Arten von Kuben gemäß dem Beobachtungsverfahren können an der vorstehenden Wand 41a2 des Rahmenkörpers 41a angebracht werden. Wie in 4 gezeigt, ist eine Seitenfläche der vorstehenden Wand 41a2 mit einem Schwalbenschwanzvorsprung 43 versehen. Der Schwalbenschwanzvorsprung 43 erstreckt sich in Richtung des optischen Beobachtungspfads m, der durch eine Objektivlinse 7 verläuft. Der Schwalbenschwanzvorsprung 43 ist an einem Hellfeldkubus 44 mit einem Halbspiegel 44a zur Verwendung bei der Hellfeldbeobachtung angebracht. Der Hellfeldkubus 44 ist mit einer Schwalbenschwanznut 44b an einer Seitenfläche entsprechend der vorstehenden Wand 41a2 versehen. Die Schwalbenschwanznut 44b wird auf den Schwalbenschwanzvorsprung 43 gesetzt, so dass der Hellfeldkubus 44 durch einen Gleitvorgang eingeführt und entfernt wird. Der proximale Endabschnitt der vorstehenden Wand 41a2 ist mit einem abgestuften Abschnitt mit einer Anlagefläche 41a3 versehen. Der Hellfeldkubus 44 wird entlang des Schwalbenschwanzvorsprungs 43 eingeführt und liegt an der Anlagefläche 41a3 für eine Positionierung an. Die Anlagefläche 41a3 bildet einen Positioniermechanismus zum Positionieren des Hellfeldkubus 44.

Wie in den 5A, 5B und 5C gezeigt, ist der Schwalbenschwanzvorsprung 43 mit einem Kerbenabschnitt 43a versehen. In dem Kerbenabschnitt 43a ist ein Befestigungsteil 45 angeordnet. Eine Seitenfläche des Befestigungsteils 45 ist in einer schrägen Fläche 45a mit der gleichen Neigung wie einer Seitenfläche des Schwalbenschwanzvorsprungs 43 ausgebildet und die andere Seitenfläche ist in einer schrägen Fläche 45b für eine Lageeinstellung ausgebildet. Das Befestigungsteil 45 ist an der Bodenfläche des Kerbenabschnitts 43a mittels einer Schraube 46 befestigt. Ein Lochabschnitt 45c, der ein Einführen der Schraube 46 des Befestigungsteils 45 erlaubt, hat einen größeren Durchmesser als die Schraube 46, so dass das Befestigungsteil 45 von einer Seitenfläche des Schwalbenschwanzvorsprungs 43 aufgrund des Durchmesserunterschieds vorstehen kann. Der Schwalbenschwanzvorsprung 43 ist mit einem Gewindeabschnitt 43b versehen, der sich durch ihn von seiner Endfläche zu dem Kerbenabschnitt 43a erstreckt. Eine lösbare Schraube 47 ist in den Gewindeabschnitt 43b eingeschraubt. Das distale Ende der lösbaren Schraube 47 ist in Anlage mit der schrägen Fläche 45b des Befestigungsteils 45. Wenn die lösbare Schraube 47 in den Gewindeabschnitt 43b eingeschraubt wird, steht die schräge Fläche 45a des Befestigungsteils 45 von einer Seitenfläche des Schwalbenschwanzvorsprungs 43 vor und drückt gegen eine Seitenfläche der Schwalbenschwanznut 44b des Hellfeldkubus 44, so dass der Hellfeldkubus 44 positioniert und festgelegt wird. Das Befestigungsteil 45, die lösbare Schraube 47 und der Gewindeabschnitt 43b bilden einen Anbring/Lösemechanismus zum Anbringen/Lösen des Kubus 44 oder eines Kubus 48 an/von dem Rahmenkörper 41a.

Der verbleibende Aufbau ist gleich wie bei der ersten Ausführungsform.

Die Arbeitsweise der zweiten Ausführungsform mit obigem Aufbau wird nachfolgend beschrieben.

Zunächst wird ein Fall beschrieben, bei dem der Hellfeldkubus 44 an der Beleuchtungseinheit 41 angebracht wird. In diesem Fall wird der Schwalbenschwanzvorsprung 43 auf der Seitenfläche der vorstehenden Wand 41a2 des Rahmenkörpers 41a in die Schwalbenschwanznut 44b des Hellfeldkubus 44 eingesetzt und der Hellfeldkubus 44 wird gleitverschoben. Bei diesem Gleitvorgang legt sich der Hellfeldkubus 44 an die Anlagefläche 41a3 an und ist innerhalb der Beleuchtungseinheit 41 positioniert. In diesem Zustand positioniert und befestigt ein Anziehen der lösbaren Schraube 47 den Hellfeldkubus 44. Als Lichtquelle 42 wird die LED 42a entsprechend der Hellfeldbeobachtung am Sockel 42b angebracht.

Um beispielsweise anstelle der Hellfeldbeobachtung eine Fluoreszenzbeobachtung durchzuführen, wird der Hellfeldkubus 44 durch einen umgekehrten Vorgang wie oben beschrieben entfernt und der Hellfeldkubus 44 wird durch den Fluoreszenzbeobachtungskubus 48 ersetzt. Der Fluoreszenzbeobachtungskubus 48 enthält einen Erregungsfilter 48a, einen Absorptionsfilter 48b und einen dichroitischen Spiegel 48c und ist ähnlich wie der Hellfeldkubus 44 mit einer Schwalbenschwanznut (nicht gezeigt) versehen.

Der Vorgang des Anbringens/Lösens des Fluoreszenzbeobachtungskubus 48 an/von der Beleuchtungseinheit 41 ist gleich wie bei dem oben beschriebenen Hellfeldkubus 44. Zusätzlich wird eine LED 49 entsprechend der Fluoreszenzbeoachtung anstelle der LED 42a für Hellfeldbeobachtung am Sockel 42b angebracht, um die Lichtquelle 42 zu bilden.

In anderen Fällen, beispielsweise einer Differentialinterferenzbeobachtung, einer Dunkelfeldbeobachtung und einer Phasendifferenzbeobachtung werden Kuben, die entsprechend diesen Beobachtungsverfahren bereitgestellt werden, auf gleiche Weise wie oben beschrieben an der Beleuchtungseinheit 41 angebracht, so dass den jeweiligen Beobachtungsverfahren Rechnung getragen werden kann.

Diese Anordnung liefert die gleichen Effekte wie bei der ersten Ausführungsform. Indem zusätzlich der Hellfeldkubus 44 gegenüber der Beleuchtungseinheit 41 entfernbar gemacht wird, erlaubt dieses einen einfachen Teileaustausch und eine Wartung/Überprüfung, so dass ein bequemes Mikroskop geschaffen wird, welches gut zu warten ist. Weiterhin besteht keine Notwendigkeit, verschiedene Arten von Beleuchtungseinheiten 41 bereit zu stellen. Anstelle hiervon stellt diese Ausführungsform Kuben entsprechend den jeweiligen Typen von Beobachtungsverfahren bereit und vermag nur diese Kuben gemäß dem Beobachtungsverfahren auszutauschen, das verwendet wird, so dass auch ein Vorteil hinsichtlich der Kosten erzielt wird.

<Dritte Ausführungsform>

Die 6A, 6B und 6C zeigen eine Beleuchtungseinheit gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Diese Beleuchtungseinheit enthält Kuben, um ein Umschalten von einer Hellfeldbeobachtung auf eine Differentialinterferenzbeobachtung zu ermöglichen. 6A ist eine Draufsicht, die einen Teil der Beleuchtungseinheit zum Zeitpunkt der Hellfeldbeoachtung zeigt. 6B ist eine Draufsicht, die einen Teil der Beleuchtungseinheit zum Zeitpunkt der Differentialinterferenzbeobachtung zeigt. 6C ist eine Schnittdarstellung entlang Linie A-A' der Beleuchtungseinheit von 6A. Eine Beschreibung eines gleichen Teils wie bei der ersten Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung erfolgt nicht und nur unterschiedliche Punkte zwischen diesen Ausführungsformen werden unter Bezugnahme auf die 6A, 6B und 6C näher beschrieben.

Eine Beleuchtungseinheit 51 hat einen Rahmenkörper 51a, der in einen Armabschnitt 20c eingesetzt und hiervon entfernt werden kann. Der Rahmenkörper 51a ist mit einem Paar von vorstehenden Wänden 51a1 und 51a2 versehen, die einander in einer Richtung senkrecht zu einem optischen Beleuchtungspfad n gegenüber liegen. Schaltführungen 52a und 52b für den optischen Pfad sind zwischen den Tragrahmen 51a1 und 51a2 angeordnet. Die Schaltführungen 52a und 52b für den optischen Pfad liegen parallel in einem bestimmten Abstand einer Richtung senkrecht zum optischen Beobachtungspfad n.

Die Schaltführungen 52a und 52b für den optischen Pfad haben ein Kubushalteteil 53. Das Kubushalteteil 53 vermag sich entlang der Schaltführungen 52a und 52b für den optischen Pfad geradlinig gleitend zu bewegen.

Das Kubushalteteil 53 ist mit Seite an Seite liegenden Schwalbenschwanzvorsprüngen 53a und 53b versehen. Eine Schwalbenschwanznut 54a eines Hellfeldkubus 54 ist auf einen Schwalbenschwanzvorsprung 53a gesetzt und mit einer lösbaren Schraube 55 festgelegt. Eine Schwalbenschwanznut 56a eines Differentialinterferenzkubus 56 ist auf den anderen Schwalbenschwanzvorsprung 53b gesetzt und mit einer lösbaren Schraube 57 festgelegt. Eine Anlagefläche 53c positioniert den Hellfeldkubus 54 gegenüber dem Kubushalteteil 53 (siehe 6C). Der Differentialinterferenzkubus 56 ist auch durch eine andere Anlagefläche (nicht gezeigt) auf gleiche Weise wie oben beschrieben positioniert. Die Anlagefläche 53c bildet einen Positioniermechanismus zum Positionieren des Hellfeldkubus 54 und des Differentialinterferenzkubus 56. Eine Technik zum Befestigen des Hellfeldkubus 54 und des Differentialinterferenzkubus 56 unter Verwendung der lösbaren Schraube 55 und 57 ist die gleiche Technik, wie sie bei der zweiten Ausführungsform beschrieben wurde.

Das Kubushalteteil 53 ist mit einer Konsole 58 versehen. Die Konsole 58 steht von einem Lochabschnitt 36a nach außen vor, der in einer Abdeckung 36 ausgebildet ist, die am distalen Ende eines Armabschnittes 20c angebracht ist und ist mit einem Schaltknopf 59 für den optischen Pfad an einem Ende des Kubushalteteils versehen. Der Schaltknopf 59 für den optischen Pfad dient zum Gleitenlassen des Kubushalteteils 53 entlang der Schaltführungen 52a und 52b für den optischen Pfad, um selektiv den Hellfeldkubus 54 oder den Differentialinterferenzkubus 56 in den optischen Beobachtungspfad m zu bringen. Das Kubushalteteil 53 gelangt in Kontakt mit dem Tragrahmen 51a1 oder 51a2 zum Begrenzen des Gleitbereichs des Kubushalteteils 53 und zum Positionieren des Hellfeldkubus 54 oder des Differentialinterferenzkubus 56 im optischen Beobachtungspfad m. Das Kubushalteteil 53 und die Schaltführungen 52a und 52b für den optischen Pfad bilden einen Schaltmechanismus für eine optischen Beobachtungspfad, um selektiv entweder den Hellfeldkubus 54 oder den Differentialinterferenzkubus 56 in den optischen Beobachtungspfad m zu bringen.

Das heißt, während das Kubushalteteil 53 in Kontakt mit dem Tragrahmen 51a2 bei einer Bewegung des Schaltknopfes 59 für den optischen Pfad in einer Richtung von D nach C ist (siehe 6A), liegt der Hellfeldkubus 54 in dem optischen Beleuchtungspfad n und dem optischen Beobachtungspfad m, so dass eine Hellfeldbeobachtung ermöglicht ist. Im Gegensatz hierzu, wenn das Kubushalteteil 53 in Kontakt mit dem Tragrahmen 51a1 bei einer Bewegung des Schaltknopfs 59 für den optischen Pfad in Richtung von C nach D ist (wie in 6B gezeigt), ist der Differentialinterferenzkubus 56 in dem optischen Beleuchtungspfad n und dem optischen Beobachtungspfad m, so dass eine Differentialinterferenzbeobachtung ermöglicht ist.

Die Arbeitsweise der dritten Ausführungsform mit obigen Aufbau wird nachfolgend beschrieben.

Für eine Hellfeldbeobachtung wird der Schaltknopf 59 für den optischen Pfad in einer Richtung von D nach C bewegt, um das Kubushalteteil 53 in Kontakt mit dem Tragrahmen 51a2 zu bringen (siehe 6A). In diesem Zustand ist der Hellfeldkubus 54 im optischen Beleuchtungspfad n und im optischen Beobachtungspfad m angeordnet, so dass eine Hellfeldbeobachtung ermöglicht ist.

Zum Schalten vom Zustand der Hellfeldbeobachtung in den Zustand der Differentialinterferenzbeobachtung wird der Schaltknopf 59 für den optischen Pfad in Richtung von C nach D bewegt, um das Kubushalteteil 53 in Kontakt mit dem Tragrahmen 51a1 zu bringen (siehe 6B). In diesem Zustand ist der Hellfeldkubus 54 vollständig außerhalb des optischen Beleuchtungspfads n und des optischen Beobachtungspfads m und der Differentialinterferenzkubus 56 liegt im optischen Beleuchtungspfad n und im optischen Beobachtungspfad m, so dass eine Differentialinterferenzbeobachtung ermöglicht ist.

Gleiches trifft auf das Umschalten vom Zustand der Differentialinterferenzbeobachtung auf den Zustand der Hellfeldbeobachtung zu.

Diese Anordnung kann somit die gleichen Effekte wie die zweite Ausführungsform erreichen. Da zusätzlich eine Beobachtung entsprechend einem jeden Typ von Beobachtungsverfahren lediglich dadurch durchgeführt wird, dass der Schaltknopf 59 für den optischen Pfad betätigt wird, um abwechselnd auf beliebige Kuben zu schalten, d. h. den Hellfeldkubus 54 und den Differentialinterferenzkubus 56, wird ein Mikroskop mit guter Arbeitsleistung geschaffen.

Diese Ausführungsform hat als Beispiel den Hellfeldkubus 54 und den Differentialinterferenzkubus 56 als zu schaltende Kuben angegeben. Es genügt jedoch, eine Kombination von Kuben zu verwenden, die für andere Beobachtungsverfahren verwendet werden. Zusätzlich ist die Anzahl von Kuben nicht auf zwei beschränkt und kann erhöht werden. Weiterhin kann, obgleich nicht gezeigt, die Ausführungsform Lichtquellen entsprechen den jeweiligen Typen von Beobachtungsverfahren bereitstellen und die Lichtquellen können gemäß den zu verwendeten Beobachtungsverfahren geschaltet und verwendet werden.

<Vierte Ausführungsform>

Die 7 und 8 zeigen ein Mikroskop gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Mikroskop enthält zwei Einheiten, die der hohle Abschnitt eines Armabschnitts aufnimmt. 7 ist eine Seitenansicht des Mikroskops. 8 ist eine Teilschnittansicht, die den vorderen Hauptteil des Mikroskops zeigt. Eine Beschreibung eines gleichen Teils wie bei der ersten Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung entfällt und nur unterschiedliche Punkte zwischen den Ausführungsformen werden unter Bezugnahme auf die 7 und 8 näher beschrieben.

Ein Armabschnitt 20c eines Mikroskopkörpers 20 hat einen hohlen Abschnitt 60a, der groß genug ist, eine Beleuchtungseinheit 61 für eine Hellfeldbeobachtung und eine AF-Einheit (Autofokus) 62 zur Fokuserkennung in einem aufeinander gestapelten Zustand aufzunehmen. Die Beleuchtungseinheit 61 ist ähnlich zur Beleuchtungseinheit 21, wie sie in der ersten Ausführungsform beschrieben wurde. Die AF-Einheit 62 ist eine zusätzliche Einheit zur automatischen Fokussierung auf eine Probe 9 und hat einen üblichen Aufbau unter Verwendung einer bekannten Technik.

Oberflächen des hohlen Abschnittes 60a, die aufeinander zu weisen, d. h. die Bodenfläche und die obere Fläche in diesem Fall haben entsprechende Schwalbenschwanzvorsprünge 60b und 60c entlang der Mittelachse (optischer Beleuchtungspfad n) des hohlen Abschnittes 60a (siehe 8). Die Beleuchtungseinheit 61 ist entfernbar an dem Schwalbenschwanzvorsprung 60b angebracht. Die Beleuchtungseinheit 61 ist mit einer Schwalbenschwanznut 61a entsprechend dem Schwalbenschwanzvorsprung 60b versehen. Die Schwalbenschwanznut 61a ist auf den Schwalbenschwanzvorsprung 60b aufgesetzt, so dass die Beleuchtungseinheit 61 durch einen Gleitvorgang in den hohlen Abschnitt 60a eingesetzt und hieraus entfernt werden kann. Die Schwalbenschwanznut 61a und der Schwalbenschwanzvorsprung 60b bilden einen Einsetz/Entfernungsmechanismus zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheit 61 in/aus den/dem Armabschnitt 20c. Auf ähnliche Weise ist die AF-Einheit 62 entfernbar an dem Schwalbenschwanzvorsprung 60c angebracht. Die AF-Einheit 62 ist mit einer Schwalbenschwanznut 62a entsprechend dem Schwalbenschwanzvorsprung 60c versehen. Die Schwalbenschwanznut 62a ist auf den Schwalbenschwanzvorsprung 60c aufgesetzt, so dass die AF-Einheit 62 durch einen Gleitvorgang in den hohlen Abschnitt 60a eingesetzt und hieraus entfernt werden kann. Die Schwalbenschwanznut 62a und der Schwalbenschwanzvorsprung 60c bilden einen zusätzlichen Einsetz/Entfernungsmechanismus zum Einsetzen/Entfernen der AF-Einheit 62 in/aus den/dem Armabschnitt 20c.

Der hohle Abschnitt 60a ist mit einer Anlagefläche 60d und einer Anlagefläche 60e entsprechend der Beleuchtungseinheit 61 und der AF-Einheit 62 versehen. Die Beleuchtungseinheit 61 und die AF-Einheit 62, die in dem hohlen Abschnitt 60a eingesetzt werden, liegen an der Anlagefläche 60d bzw. der Anlagefläche 60e an, um positioniert zu werden. Die Anlagefläche 60d und die Anlagefläche 60e bilden einen Positioniermechanismus zum Positionieren der Beleuchtungseinheit 61 und der AF-Einheit 62. Wie in der ersten Ausführungsform ist die Beleuchtungseinheit 61 durch Schrauben einer lösbaren Schraube 63 in eine Schraubenöffnung festgelegt, die in der Beleuchtungseinheit 61 ausgebildet ist, indem ein Werkzeug (nicht gezeigt) verwendet wird, dass durch einen Lochabschnitt 60f eingeführt wird. Auf ähnliche Weise wird die AF-Einheit 62 durch Schrauben einer lösbaren Schraube 64 in eine Schraubenöffnung festgelegt, die in der AF-Einheit 62 ausgebildet ist, indem ein Werkzeug (nicht gezeigt) verwendet wird, das durch einen Lochabschnitt 60g eingeführt wird. Die lösbare Schraube 63 und das Schraubenloch in der Beleuchtungseinheit 61 bilden einen Befestigungsmechanismus zum Befestigen der Beleuchtungseinheit 61 an dem Armabschnitt 20c. Die lösbare Schraube 64 und das Schraubenloch in der AF-Einheit 62 bilden einen Befestigungsmechanismus zum Befestigen der AF-Einheit 62 am Armabschnitt 20c.

Der hohle Abschnitt 60a ist mit Verbinderabschnitten 65 und 66 nahe den Anlageflächen 60d und 60e versehen. Wenn die Beleuchtungseinheit 61 an der Anlagefläche 60d zur Positionierung anliegt, ist der Verbinderabschnitt 65 in Verbindung mit einem Verbinderabschnitt 61b auf Seiten der Beleuchtungseinheit 61. Wenn die AF-Einheit 62 an der Anlagefläche 60e zur Positionierung anliegt, ist der Verbinderabschnitt 66 mit einem Verbinderabschnitt 62b auf Seiten der AF-Einheit 62 in Verbindung. Die Verbinderabschnitte 65 und 66 stehen über Kabel 67 und 68 mit einer Steuerung 24 in Verbindung.

Die Steuerung 24 ist mit einem AF-EIN/AUS-Schalter 69, einem Wahlschalter 70 für eine Vorwärts/Rückwärts-Drehung des Halters und einem Wahlschalter 71 zum Heben/Senken eines Fokussierabschnitts in Verbindung. Die Steuerung 24 ist auch mit einem Motor 72a eines elektrischen Halters 72 und einem Motor 73 eines elektrischen Fokussierabschnittes 73 über Kabel (nicht gezeigt) verbunden.

Der elektrische Halter 72 dient zum Halten von Objektivlinsen 7. Die Steuerung 24 treibt den Motor 22a gemäß einer Betätigung des Wahlschalters 70 für eine Vorwärts/Rückwärts-Drehung des Halters, so dass automatisch die gewünschte Objektivlinse 7 im optischen Pfad positioniert wird. In dem elektrischen Fokussierabschnitt 73 betreibt die Steuerung 24 den Motor 23a entsprechend der Betätigung des Wahlschalters 71 für das Anheben/Absenken des Fokussierabschnittes, so dass die Bewegung einer Stufe 8 mit einer Probe 9 darauf in einer Richtung (Z-Richtung) entlang des optischen Beobachtungspfads m gesteuert wird. Der AF-EIN/AUS-Schalter 69 dient zum Ein/Ausschalten der AF-Einheit 62.

Der verbleibende Aufbau ist der gleiche wie bei der ersten Ausführungsform.

Die Arbeitsweise dieser Ausführungsform mit obigem Aufbau wird nachfolgend beschrieben. Für eine manuelle Fokussierung auf die Probe 9 wird der Wahlschalter 71 zum Anheben/Absenken des Fokussierabschnitts betätigt. Die Steuerung 24 betreibt dann den Motor 73a, um die Stufe in einer Richtung (Z-Richtung) entlang des optischen Beobachtungspfades m zu bewegen, um auf die Probe 9 zu fokussieren. Zum Schalten zwischen Objektivlinsen unter Verwendung des elektrischen Halters 72 wird der Wahlschalter 70 für eine Vorwärts/Rückwärtsdrehung des Halters betätigt. Die Steuerung 24 betreibt dann den Motor 72a, um automatisch die gewünschte Objektivlinse 7 im optischen Pfad anzuordnen.

Zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheit 61 und der AF-Einheit 62 in/aus den/dem hohlen Abschnitt 60a des Armabschnitts 20c wird die Schwalbenschwanznut 61a der Beleuchtungseinheit 61 auf den Schwalbenschwanzvorsprung 60b gesetzt und die Beleuchtungseinheit 61 wird in diesem Zustand gegenüber dem hohlen Abschnitt 60a verschoben. Auf ähnliche Weise, was die AF-Einheit betrifft, wird die Schwalbenschwanznut 62a auf den Schwalbenschwanzvorsprung 60c gesetzt und die AF-Einheit 62 wird gegenüber dem hohlen Abschnitt 60a in diesem Zustand verschoben. Wenn die Beleuchtungseinheit 61 an der Anlagefläche 60d zur Positionierung anschlägt, wird die Beleuchtungseinheit 61 mit der Steuerung 24 über die Verbinderabschnitte 61b und 65 verbunden. Wenn die AF-Einheit 62 an der Anlagefläche 60e zur Positionierung anschlägt, wird die AF-Einheit 62 mit der Steuerung 24 über die Verbinderabschnitte 62b und 66 verbunden. Wenn der AF-EIN/AUS-Schalter 69 eingeschaltet wird, erfolgt eine automatische Fokussteuerung. Wenn der AF-EIN/AUS-Schalter 69 ausgeschaltet wird, wird die automatische Fokussteuerung aufgehoben.

Diese Anordnung liefert die gleichen Effekte wie bei der ersten Ausführungsform. Zusätzlich wird die Länge des optischen Pfads, durch den Licht von der Probe 9 in einem Okular 12 als ein Bild ausgebildet wird, konstant gemacht und Einheiten wie die Beleuchtungseinheit 63 und die AF-Einheit 62 sind in dem konstanten optischen Pfad angeordnet. Mit anderen Worten, selbst eine Anordnung, bei der Einheiten aufeinander gestapelt werden, ändert nicht die Länge des optischen Pfads. Somit gibt es keine Möglichkeit, dass sich im Restlichtbetrag eines Beobachtungsbilds eine Verschlechterung ergibt. Da weiterhin die optische Pfadlänge sich nicht ändert, ändert sich nicht die Augenpunkthöhe. Das heißt, diese Anordnung hat gute ergonomische Eigenschaften. Da zusätzlich diese Anordnung das Gewicht einer jeden Einheit im Vergleich zu dem Fall verringert, bei dem verschiedene Arten von Einheiten, wie die AF-Einheit 62, als externe Einheiten vorbereitet werden, kann ein leichtgewichtiges Mikroskop mit hoher Steifigkeit sichergestellt werden.

In der vierten Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung ist die Kombination aus Beleuchtungseinheit 61 und AF-Einheit 62 im hohlen Abschnitt 60a des Armabschnitts 20c des Mikroskopkörpers 20 angeordnet. Die Kombination ist jedoch nicht hierauf begrenzt. Beispielsweise können Einheiten entsprechend den verschiedenen Typen von Beobachtungsverfahren und andere Typen von Einheiten zusätzlich zu der AF-Einheit 62 wahlweise kombiniert und angeordnet werden.

<Abwandlungen>

Die 9A, 9B und 9C zeigen Abwandlungen des Mikroskops gemäß der vierten Ausführungsform. Diese Mikroskope enthalten jeweils zwei Einheiten, die der hohle Abschnitt eines Armabschnitts aufnimmt. Eine Beschreibung des gleichen Teils wie bei der dritten Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung erfolgt nicht und nur unterschiedliche Punkte zwischen der Ausführungsform und den Abwandlungen werden unter Bezugnahme auf die 9A, 9B und 9C näher beschrieben. Im Mikroskop gemäß 9A ist der Armabschnitt 20c mit einer Trennplatte 60h versehen, die den hohlen Abschnitt 60a des Armabschnittes 20c vertikal in zwei Abschnitte unterteilt. Die Bodenflächen des hohlen Abschnittes 60a und der Trennplatte 60h haben jeweils Schwalbenschwanzvorsprünge 60b bzw. 60c, die sich entlang der Mittelachse (optischer Beleuchtungspfad n) des hohlen Abschnittes 60a erstrecken. Die Schwalbenschwanznut 61a der Beleuchtungseinheit 61 ist auf den Schwalbenschwanzvorsprung 60b an der Bodenfläche des hohlen Abschnittes 60a aufgesetzt, so dass die Beleuchtungseinheit 61 in den Raum zwischen der Bodenfläche des hohlen Abschnittes 60a und der Trennplatte 60h durch einen Gleitvorgang eingesetzt und hieraus entfernt werden kann. Auf ähnliche Weise ist die Schwalbenschwanznut 62a der AF-Einheit 62 auf den Schwalbenschwanzvorsprung 60c der Bodenfläche der Trennplatte 60h aufgesetzt, so dass die AF-Einheit 62 in den Raum zwischen der Bodenfläche der Trennplatte 60h und der oberen Fläche des hohlen Abschnittes 60a durch einen Gleitvorgang eingesetzt und hieraus entfernt werden kann. Die Beleuchtungseinheit 61 und die AF-Einheit 62 sind in den jeweiligen Räumen durch die gleiche Tätigkeit wie bei der vierten Ausführungsform positioniert und mit lösbaren Schrauben (nicht gezeigt) festgelegt. Diese Einheiten werden dann mit der Steuerung über Verbinderabschnitte (nicht gezeigt) verbunden.

Diese Anordnung liefert die gleichen Effekte wie bei der vierten Ausführungsform.

In dem Mikroskop gemäß 9B ist die Bodenfläche des hohlen Abschnittes 60a des Armabschnittes 20c mit dem Schwalbenschwanzvorsprung 60b versehen, der sich entlang der Mittelachse (optischer Beleuchtungspfad n) des hohlen Abschnittes 60a erstreckt. Die Schwalbenschwanznut 61a der Beleuchtungseinheit 61 ist auf den Schwalbenschwanzvorsprung 60b an der Bodenfläche des hohlen Abschnittes 60a aufgesetzt, so dass die Beleuchtungseinheit 61 in den Raum zwischen der Bodenfläche des hohlen Abschnittes 60a und der Trennplatte 60h durch einen Gleitvorgang eingesetzt und hieraus entfernt werden kann. Die obere Fläche der Beleuchtungseinheit 61 ist mit einem Schwalbenschwanzvorsprung 61c versehen, der sich entlang der Mittelachse (optischer Beleuchtungspfad n) des hohlen Abschnittes 60a erstreckt. Die Schwalbenschwanznut 62a der AF-Einheit 62 ist auf den Schwalbenschwanzvorsprung 61c der Beleuchtungseinheit 61 aufgesetzt, so dass die AF-Einheit 62 auf den Schwalbenschwanzvorsprung 61c der Beleuchtungseinheit 61 durch einen Gleitvorgang aufgesetzt oder hiervon entfernt werden kann. Die Beleuchtungseinheit 61 und die AF-Einheit 62 sind innerhalb des hohlen Abschnittes 60a durch eine gleiche Technik wie bei der vierten Ausführungsform positioniert und mit lösbaren Schrauben (nicht gezeigt) festgelegt. Diese Einheiten werden dann über Verbinderabschnitte (nicht gezeigt) mit der Steuerung verbunden.

Diese Anordnung liefert die gleichen Effekte wie bei der vierten Ausführungsform.

10 zeigt eine weitere Abwandlung des Mikroskops gemäß 9B. Während im Mikroskop gemäß 10 die Beleuchtungseinheit 61 und die AF-Einheit 62 durch Anlageflächen (nicht gezeigt) in dem hohlen Abschnitt 60a positioniert und mit lösbaren Schrauben (nicht gezeigt) festgelegt sind, ist ein Verbinderabschnitt 75 an einem äußeren Abschnitt der AF-Einheit 62 mit einem Verbinderabschnitt 74 verbunden, der an einem äußeren Abschnitt der Beleuchtungseinheit 61 vorgesehen ist. Die Beleuchtungseinheit 61 ist mit der Steuerung über einen Verbinderabschnitt (nicht gezeigt) verbunden. Der Verbinderabschnitt 74 ist mit der Steuerung (nicht gezeigt) durch die Beleuchtungseinheit 61 verbunden. Die AF-Einheit 62 ist mit der Steuerung (nicht gezeigt) über den Verbinderabschnitt 75 und den Verbinderabschnitt 74 in Verbindung mit dem Verbinderabschnitt 75 verbunden. Diese Anordnung verbindet auch sowohl die Beleuchtungseinheit 61 als auch die AF-Einheit 62 mit der Steuerung (nicht gezeigt) und liefert die gleichen Effekte wie bei der vierten Ausführungsform.

<Fünfte Ausführungsform>

11 ist eine Teilschnittdarstellung, die einen vorderen Hauptteil eines Mikroskops gemäß der fünften Ausführungsform zeigt. Eine Beschreibung des gleichen Teils wie bei der ersten Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung entfällt und nur unterschiedliche Punkte dieser Ausführungsform werden unter Bezugnahme auf 11 näher beschrieben.

Wie in der ersten Ausführungsform hat ein Armabschnitt 90 im Inneren einen hohlen Abschnitt 90a. Die Vorderwand des Armabschnittes 90 ist mit einem Öffnungsabschnitt versehen. Eine Seitenwand 90b des Armabschnitts 90 ist mit einer Schwalbenschwanznut 90c versehen. Die Schwalbenschwanznut 90c erstreckt sich in Längsrichtung des hohlen Abschnittes 90a an der Seitenfläche des hohlen Abschnitts 90a. Eine Beleuchtungseinheit 91 ist mit einem Schwalbenschwanzvorsprung 91a versehen. Die Schwalbenschwanznut 90c ist auf den Schwalbenschwanzvorsprung 91a aufgesetzt, so dass die Beleuchtungseinheit 91 in den hohlen Abschnitt 90a durch den Öffnungsabschnitt durch einen Gleitvorgang eingesetzt und hieraus entfernt werden kann. Das heißt, der Schwalbenschwanzvorsprung 91a der Beleuchtungseinheit 91 und die Schwalbenschwanznut 90c des Armabschnitts 90 bilden einen Einsetz/Entfernmechanismus zum Einsetzen/Entfernen des Armabschnittes 90 in/aus die/der Beleuchtungseinheit 91.

Wie bei der ersten Ausführungsform wird die Beleuchtungseinheit 91 durch einen Positionierabschnitt, beispielsweise einen abgestuften Abschnitt (nicht gezeigt) in dem hohlen Abschnitt 90a positioniert und durch ein Befestigungsteil wie eine lösbare Schraube (nicht gezeigt) festgelegt, um mit der Steuerung über einen Verbinderabschnitt (nicht gezeigt) verbunden zu sein.

Diese Anordnung liefert die gleichen Effekte wie bei der ersten Ausführungsform. Zusätzlich verringert die Bereitstellung des Einsetz/Entfernmechanismus an der Seitenfläche des hohlen Abschnittes 90a die äußeren Abmessungen des Armabschnitts und der Beleuchtungseinheit in einem optischen Beobachtungspfad m, so dass eine weitere Verringerung von Gewicht und Größe des gesamten Mikroskopkörpers erreicht wird.

In dieser Ausführungsform ist eine Seitenwand innerhalb des hohlen Abschnittes 90a mit einem Einsetz/Entfernmechanismus versehen, der die Schwalbenschwanznut 90c und den Schwalbenschwanzvorsprung 91a aufweist. Die beiden Seitenwände im Inneren des hohlen Abschnittes 90a können jedoch mit zwei ähnlichen Einsetz/Entfern-mechanismen versehen sein. In diesem Fall ist die Beleuchtungseinheit 91 zuverlässig in dem hohlen Abschnitt 90a mit höherer Positioniergenauigkeit festgelegt, wenn die Beleuchtungseinheit 91 in den hohlen Abschnitt 90a eingeführt ist.

<Erste Abwandlung der fünften Ausführungsform>

12 zeigt schematisch den Aufbau einer Abwandlung des Mikroskops gemäß der fünften Ausführungsform. Wie bei der vierten Ausführungsform ist dieses Mikroskop so konfiguriert, dass unterschiedliche Arten von Beleuchtungseinheiten, eine AF-Einheit etc. zusätzlich zu der Beleuchtungseinheit 91 in den hohlen Abschnitt 90a eingeführt/hieraus entfernt werden können. Das heißt, dieses Mikroskop erlaubt die selektive Hinzufügung von Einheiten zusätzlich zu der Beleuchtungseinheit 91. Eine Beschreibung des gleichen Teils wie bei der fünften Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung erfolgt nicht und nur unterschiedliche Punkte zwischen der Ausführungsform und der Abwandlung werden unter Bezugnahme auf 12 näher beschrieben.

Die Seitenwand 90b des Armabschnittes 90 ist mit zwei Schwalbenschwanzvorsprüngen 90d und 90e versehen. Die Schwalbenschwanzvorsprünge 90d und 90e erstrecken sich in dem hohlen Abschnitt 90a in dessen Längsrichtung an der Seitenfläche des hohlen Abschnitts 90a. Die Beleuchtungseinheit 91 und eine Beleuchtungseinheit 101 sind entsprechend mit Schwalbenschwanznuten 91b bzw. 101a versehen. Die Schwalbenschwanzvorsprünge 90d und 90e und die Schwalbenschwanznuten 91b und 101a bilden jeweils Einsetz/Entfernmechanismen zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheiten 91 und 101 in/aus den/dem Armabschnitt 90. Die Schwalbenschwanznut 91b ist auf den Schwalbenschwanzvorsprung 90d gesetzt, so dass die Beleuchtungseinheit 91 durch einen Gleitvorgang in den hohlen Abschnitt 90a eingesetzt und hieraus entfernt wird. Auf ähnliche Weise ist die Schwalbenschwanznut 101a auf den Schwalbenschwanzvorsprung 90e aufgesetzt, so dass die Beleuchtungseinheit 101 in den hohlen Abschnitt 90a durch einen Gleitvorgang eingesetzt und hieraus entfernt werden kann. Der Einsetz/Entfernmechanismus mit dem Schwalbenschwanzvorsprung 90d und der Schwalbenschwanznut 91b ist von gleichem Aufbau wie der Einsetz/Entfernmechanismus mit dem Schwalbenschwanzvorsprung 90e und der Schwalbenschwanznut 101a. Dies erlaubt, dass die Positionen der Beleuchtungseinheiten 91 und 101 ausgetauscht werden können. Das Mikroskop kann drei oder mehr Einsetz/Entfernmechanismen, sowie zwei Einsett/Entfernmechanismen haben. Zusätzlich kann der hohle Abschnitt 90a des Armabschnittes 90 eine Kombination von drei oder mehr Einheiten aufnehmen, z. B. Beleuchtungseinheiten, eine AF-Einheit und andere Einheiten.

Die obige Anordnung liefert die gleichen Effekte wie bei der fünften Ausführungsform und erlaubt auch eine Kombination von Einheiten, z. B. Beleuchtungseinheiten entsprechend den jeweiligen Typen von Beobachtungsverfahren, einer AF-Einheit und anderen Einheiten zum Einbau, was ein Mikroskopsystem mit hoher Funktionalität bildet.

<Zweite Abwandlung der fünften Ausführungsform>

13 zeigt schematisch den Aufbau einer anderen Abwandlung des Mikroskops der vorliegenden Ausführungsform. Bei diesem Mikroskop bildet ein Gleitführungsmechanismus einen Einsetz/Entfernmechanismus zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheit 91 in/aus den/dem Armabschnitt 90 anstelle des Schwalbenschwanzmechanismus mit der Schwalbenschwanznut 90c und dem Schwalbenschwanzvorsprung 91a gemäß 11 der fünften Ausführungsform. Eine Beschreibung des gleichen Teils wie bei der fünften Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung entfällt und nur unterschiedliche Punkte zwischen der Ausführungsform und der Abwandlung werden unter Bezugnahme auf 13 näher beschrieben.

Seitenwände 90b1 und 90b2 innerhalb des Armabschnitts 90 haben Passausnehmungen 90f und 90g, die sich in dem hohlen Abschnitt 90a des Armabschnitts 90 in Längsrichtung des Armabschnitts 90 (einer Richtung senkrecht zur Zeichenebene) erstrecken. Beide Seitenflächen der Beleuchtungseinheit 91 haben vorstehende Abschnitt 91m und 91n, die sich in Längsrichtung der Beleuchtungseinheit 91 erstrecken. Die vorstehenden Abschnitte 91m und 91n sind in die Passausnehmungen 90f bzw. 90g eingesetzt, so dass die Beleuchtungseinheit 91 durch einen Gleitvorgang in den hohlen Abschnitt 90a eingeführt und hieraus entfernt wird. Die Passausnehmungen 90f und 90g des Armabschnitts 90 und die vorstehenden Abschnitte 91m und 91n der Beleuchtungseinheit 91 bilden einen Gleitführungsmechanismus als Einsetz/Entfernmechanismus.

Die vorstehenden Abschnitte 91m bzw. 91n haben Durchgangsöffnungen 91o bzw. 91p, die sich in Richtung des optischen Beobachtungspfads m erstrecken. Die Seitenwände 90b1 und 90b2 haben Schraubenöffnungen 90h und 90i, die sich in die Passausnehmungen 90f und 90g von ihren unteren Oberflächen her in Richtung des optischen Beobachtungspfads m erstrecken. Die Seitenwände 90b1 und 90b2 haben jeweils Durchgangsöffnungen 93a bzw. 93b, die sich in Richtung des optischen Beobachtungspfads m durch die oberen Flächen der Seitenwände 90b1 und 90b2 und die oberen Flächen der Passausnehmungen 90f und 90g erstrecken. Die Durchgangsöffnungen 93a und 93b und die Schraubenöffnungen 90h und 90i sind jeweils an Positionen so ausgebildet, dass sie in Fluchtung mit den Durchgangsöffnungen 91o und 91p der vorstehenden Abschnitte 91m und 91n der Beleuchtungseinheit 91 sind, die in dem hohlen Abschnitt 90a eingesetzt und positioniert ist. Die Durchgangsöffnungen 93a und 93b dienen zum Einführen von lösbaren Schrauben 92a und 92b als Befestigungen und eines Werkzeugs (nicht gezeigt) zum Anziehen der lösbaren Schraube 92a und 92b und haben Innendurchmesser, die größer als die Durchmesser der lösbaren Schrauben 92a und 92b sind. Die lösbaren Schrauben 92a und 92b, die Durchgangsöffnungen 91o und 91p und die Schraubenöffnungen 90h und 90i bilden einen Befestigungsmechanismus zum Befestigen der Beleuchtungseinheit 91 am Armabschnitt 90.

Die vorstehenden Abschnitte 91m und 91n sind jeweils in die Passausnehmungen 90f bzw. 90e eingesetzt und die Beleuchtungseinheit 91 ist in dem hohlen Abschnitt 90a eingesetzt und von einem Positionierabschnitt, beispielsweise einem abgestuften Abschnitt (nicht gezeigt) positioniert. Ein Einführen der lösbaren Schrauben 92a und 92b in die Durchgangsöffnungen 91o und 91p und ein Anziehen der lösbaren Schrauben 92a und 92b in den Schraubenöffnungen 90h und 90i unter Verwendung eines Werkzeugs (nicht gezeigt) befestigt die Beleuchtungseinheit 91 in dem hohlen Abschnitt 90a des Armabschnitts 90.

Ein zu verwendender Einsetz-/Entfernungsmechanismus ist nicht auf denjenigen beschränkt, wie er in dieser Abwandlung beschrieben ist und ein anderer bekannter Führungsmechanismus kann bei dieser Ausführungsform verwendet werden.

<Dritte Abwandlung der fünften Ausführungsform>

14 zeigt schematisch den Aufbau einer weiteren Abwandlung eines Mikroskops gemäß der fünften Ausführungsform. Bei der fünften Ausführungsform wird eine Beleuchtungseinheit durch die Vorderfläche des Armabschnitts im Mikroskopkörper eingesetzt und entfernt. Bei dieser Abwandlung wird eine Beleuchtungseinheit durch die obere Fläche des Armabschnitts des Mikroskopkörpers eingesetzt und entfernt. Eine Beschreibung des gleichen Teils wie bei der fünften Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung wird weggelassen und nur unterschiedliche Punkte zwischen der Ausführungsform und der Abwandlung werden unter Bezugnahme auf 14 näher beschrieben.

14 ist eine Ansicht, die den Armabschnitt 90 von oben gesehen zeigt. Der Armabschnitt 90 im Inneren den hohlen Abschnitt 90a und die obere Oberflächenwand des Armabschnitts 90 ist mit einem Öffnungsabschnitt 94a versehen. Der hohle Abschnitt 90a des Armabschnitts 90 ist mit einem Schwalbenschwanzvorsprung 90j versehen. Der Schwalbenschwanzvorsprung 90j erstreckt sich in einer Richtung parallel zum optischen Beobachtungspfad m. Die Beleuchtungseinheit 91 ist mit einer Schwalbenschwanznut 91q versehen. Die Schwalbenschwanznut 91q ist auf den Schwalbenschwanzvorsprung 90j gesetzt, so dass die Beleuchtungseinheit 91 in den hohlen Abschnitt 90a durch den Öffnungsabschnitt 94a in der oberen Oberflächenwand des Armabschnitts 90 durch einen Gleitvorgang eingesetzt und hieraus entfernt wird. Das heißt, der Schwalbenschwanzvorsprung 90j und die Schwalbenschwanznut 91q bilden einen Einsetz-/Entfernungsmechanismus zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheit 91 in/aus den/dem Armabschnitt 90.

Die Beleuchtungseinheit 91 ist mit einer Schraubenöffnung 91s versehen, die sich durchgängig zwischen einer Seitenfläche der Beleuchtungseinheit 91 und einer Seitenfläche der Schwalbenschwanznut 91q erstreckt. Der Armabschnitt 90 ist mit einer Durchgangsöffnung 93c versehen, die in einer Position in Fluchtung mit der Schraubenöffnung 91s der Beleuchtungseinheit 91 ausgebildet ist, welche im hohlen Abschnitt 90a eingesetzt und positioniert ist. Die Durchgangsöffnung 93c dient zum Einführen einer lösbaren Schraube 92c als Befestigung und eines Werkzeugs (nicht gezeigt) zum Anziehen der lösbaren Schraube 92c und hat einen Innendurchmesser größer als der Durchmesser der lösbaren Schraube 92c. Die lösbare Schraube 92c und die Schraubenöffnung 91s bilden einen Befestigungsmechanismus zum Befestigen der Beleuchtungseinheit 91 im Armabschnitt 90.

Die Schwalbenschwanznut 91q ist auf den Schwalbenschwanzvorsprung 90j gesetzt, so dass die Beleuchtungseinheit 91 im hohlen Abschnitt 90a eingesetzt ist, um einen Positionierabschnitt, beispielsweise einen abgestuften Abschnitt (nicht gezeigt) positioniert zu sein. Zusätzlich befestigt ein Anziehen der lösbaren Schraube 92c in der Schraubenöffnung 91s unter Verwendung eines Werkzeugs (nicht gezeigt) durch die Durchgangsöffnung 93c die Beleuchtungseinheit 91 im hohlen Abschnitt 90a des Armabschnitts 90.

Eine Befestigungstechnik zur Verwendung ist nicht auf diese beschränkt und eine andere Technik kann bei dieser Ausführungsform angewendet werden. Zusätzlich ist es bevorzugt, ein Abdeckteil am Armabschnitt 90 zum Abdecken des Öffnungsabschnittes 94a lösbar anzuordnen.

<Vierte Abwandlung der fünften Ausführungsform>

15 zeigt schematisch den Aufbau noch einer weiteren Abwandlung des Mikroskops gemäß der fünften Ausführungsform. Bei der oben beschriebenen fünften Ausführungsform wird eine Beleuchtungseinheit durch die Vorderfläche des Armabschnitts des Mikroskopkörpers eingesetzt und entfernt. Bei dieser Abwandlung wird eine Beleuchtungseinheit durch eine Seitenfläche des Armabschnitts des Mikroskopkörpers eingesetzt und entfernt. Eine Beschreibung des gleichen Teils wie bei der fünften Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung erfolgt nicht und nur unterschiedliche Punkte zwischen der Ausführungsform und der Abwandlung werden unter Bezugnahme auf 15 näher beschrieben.

15 ist eine Ansicht, die den Armabschnitt 90 von einer Seitenfläche her betrachtet zeigt. Eine Seitenwand des Armabschnitts 90 ist mit einem Öffnungsabschnitt 94b versehen. Der Öffnungsabschnitt 94b kann in nur wenigstens einer der beiden Seitenwänden des Armabschnitts 90 ausgebildet sein. Der Armabschnitt 90 ist mit einem Schwalbenschwanzvorsprung 90k versehen. Der Schwalbenschwanzvorsprung 90k erstreckt sich in einer Richtung senkrecht zum optischen Beobachtungspfad m am hohlen Abschnitt 90a des Armabschnitts 90. Die Beleuchtungseinheit 91 ist mit einer Schwalbenschwanznut 91r versehen. Die Schwalbenschwanznut 91r ist auf den Schwalbenschwanzvorsprung 90k gesetzt, so dass die Beleuchtungseinheit 91 in den hohlen Abschnitt 90a durch den Öffnungsabschnitt 94b in der Seitenwand des Armabschnitts 90 durch einen Gleitvorgang eingesetzt und entfernt wird. Das heißt, der Schwalbenschwanzvorsprung 90k und die Schwalbenschwanznut 91r bilden einen Einsetz/Entfernmechanismus zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheit 91 in/aus den/dem Armabschnitt 90. Wie bei der fünften Ausführungsform ist es ausreichend, zu ermöglichen, dass die Beleuchtungseinheit 91 und der Armabschnitt 90 durch eine Befestigung (nicht gezeigt) festgelegt werden. Ein Abdeckteil 95 ist entfernbar am Armabschnitt 90 angeordnet, um den Öffnungsabschnitt 94b abzudecken.

<Sechste Ausführungsform>

16 ist eine Seitenansicht, die schematisch den Aufbau eines Mikroskops gemäß der sechsten Ausführungsform zeigt. Eine Beschreibung des gleichen Teils wie bei der ersten Ausführungsform gemäß obiger Beschreibung wird weggelassen und nur unterschiedliche Punkte zwischen diesen Ausführungsformen werden unter Bezugnahme auf 16 näher beschrieben. In dieser Ausführungsform ist der Armabschnitt des obigen Mikroskopkörpers als entfernbar an einem Hauptkörper ausgestaltet, der einen Basisabschnitt 20a und einen Tragabschnitt 20b aufweist.

Ein Armrahmenkörper 110 ist lösbar am Tragabschnitt 20b mittels eines Befestigungsteils (nicht gezeigt) angeordnet. Der Armrahmenkörper 110 weist in sich einen hohlen Abschnitt auf. Eine Seitenwand des Armrahmenkörpers 110 ist mit einem Öffnungsabschnitt 115 versehen. Ein Abdeckteil 112 ist an einer Seitenfläche des Armrahmenkörpers 110 angeordnet, um den Öffnungsabschnitt 115 abzudecken. Das Abdeckteil 112 ist entfernbar an einer Seitenfläche des Armrahmenkörpers mittels eines Befestigungsmittels, beispielsweise eine Schraube, angeordnet. Ein Einsetz/Entfernungsmechanismus 114 ordnet eine Beleuchtungseinheit 113 entfernbar in einem hohlen Abschnitt 110a des Armrahmenkörpers 110 an. Als Einsetz/Entfernungsmechanismus 114 kann der Einsetz/Entfernungsmechanismus verwendet werden, wie er in einer der obigen Ausführungsformen beschrieben wurde. Der Einsetz/Entfernungsmechanismus 114 ist nicht auf den Schwalbenschwanzmechanismus und den Gleitführungsmechanismus beschränkt, wie er in den obigen Ausführungsformen beschrieben wurde und ein anderer bekannter Führungsmechanismus kann verwendet werden.

Wie der Armrahmenkörper 110 ist ein Armrahmenkörper 120 entfernbar am Tragabschnitt 20b mittels eines Befestigungsteils (nicht gezeigt) angeordnet. Der Armrahmenkörper 120 hat in sich einen hohlen Abschnitt. Eine Seitenwand des Armrahmenkörpers 120 ist mit einem Öffnungsabschnitt 125 versehen. Ein Abdeckteil 12 ist an einer Seitenfläche des Armrahmenkörpers 120 angeordnet, um den Öffnungsabschnitt 125 abzudecken. Das Abdeckteil 122 ist entfernbar an einer Seitenfläche des Armrahmenkörpers mittels einer Schraube angeordnet. Ein Einsetz/Entfernungsme-chanismus 124 ordnet entfernbar eine Beleuchtungseinheit 113 oder 123 in einem hohlen Abschnitt 120a des Armrahmenkörpers 120 an. Es genügt, den Einsetz/Entfernungsmechanismus, wie er in der obigen Ausführungsform beschrieben wurde, als Einsetz-/Entfernungsmechanismus 124 zu verwenden. Der Einsetz-/Entfernungsmechanismus 114 ist nicht auf den Schwalbenschwanzmechanismus und Gleitführungsmechanismus begrenzt, wie er in den obigen Ausführungsformen beschrieben wurde und andere bekannte Führungsmechanismen können verwendet werden.

Ein Befestigungsmechanismus (nicht gezeigt) ordnet entfernbar die Armrahmenkörper 110 und 120 am Tragabschnitt 120b an. Als Befestigungsmechanismus genügt es, irgendeine bekannte Befestigungstechnik anzuwenden, beispielsweise die Befestigung durch Einsetzen mittels eines Schwalbenschwanzmechanismus oder eine Befestigung mittels eines Bolzens.

Bei dieser Ausführungsform wird ein Mikroskop mit hoher Systemleistung geschaffen, indem einer von unterschiedlichen Typen von Armabschnittrahmenkörpern gemäß der Anwendung der Mikroskopbeobachtung gewählt wird.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt und die Ausführungsformen können auf verschiedene Art im Rahmen und Umfang der vorliegenden Erfindung abgewandelt werden. Beispielsweise werden bei den obigen Ausführungsformen verschiedene Arten von Einheiten, z. B. eine Beleuchtungseinheit und eine AF-Einheit, in den hohlen Abschnitt des Armabschnitts von der distalen Endseite, von der Seite her oder von der Oberseite des Armabschnitts her eingesetzt und entfernt. Eine solche Einheit kann jedoch auch in den hohlen Abschnitt des Armabschnitts von der Unterseite her oder dem rückwärtigen Ende des Armabschnitts her eingesetzt und entfernt werden.

Zusätzliche Vorteile und Abwandlungen ergeben sich ohne weiteres dem Fachmann auf dem Gebiet. Daher ist die Erfindung in ihren breiteren Aspekten nicht auf die speziellen Details und repräsentativen Ausführungsformen beschränkt, wie sie hier gezeigt und beschrieben werden. Folglich können verschiedene Abwandlungen gemacht werden, ohne vom Wesen oder Umfang des allgemeinen erfinderischen Konzepts abzuweichen, wie es durch die beigefügten Ansprüche und deren Äquivalente definiert ist.


Anspruch[de]
Ein Mikroskop, aufweisend:

eine Objektivlinse (7);

einen Mikroskopkörper (20) zum Tragen der Objektivlinse (7); und

eine Beleuchtungseinheit (21; 41; 51; 61; 91; 113, 123) mit einem optischen Beleuchtungssystem (29) zum Aufbringen von Beleuchtungslicht einer Lichtquelle (31; 42) auf eine Probe (9) in Zusammenwirkung mit der Objektivlinse (7),

dadurch gekennzeichnet, dass

der Mikroskopkörper (20) in seinem Inneren einen hohlen Abschnitt (20d; 60a; 90a; 110a; 120a) aufweist, und

dass das Mikroskop weiterhin einen Einsetz/Entfernungsmechanismus (20e, 21a; 60b, 61a; 90d, 91b; 90f, 90g, 91m, 91n; 90j, 91q; 90k, 91r; 114, 124) aufweist zum Einsetzen/Entfernen der Beleuchtungseinheit (21; 41; 51; 61; 91; 113, 123) in/aus den/dem hohlen Abschnitt (20d; 60a; 90a; 110a; 120a).
Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinheit (21; 41; 51; 61; 91; 113, 12) ausgewählt ist aus Beleuchtungseinheiten, welche jeweils optische Beleuchtungssysteme enthalten, die verschiedenen Arten von Beobachtungsverfahren entsprechen. Mikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinheiten (21; 41; 51; 61; 91; 113, 123) Beleuchtungseinheiten enthalten, die optische Beleuchtungssysteme aufweisen, die jeweils einem Hellfeldbeobachtungsverfahren, einem Dunkelfeldbeobachtungsverfahren, einem Differentialinterferenzbeobachtungsverfahren, einem Phasendifferenzbeobachtungsverfahren und einem Fluoreszenzbeobachtungsverfahren entsprechen. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es weiterhin einen Positioniermechanismus (20f; 41a3; 53c; 60d) zur Positionierung der Beleuchtungseinheit (21; 41; 51; 61; 91; 113, 123) aufweist. Mikroskop nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass es weiterhin einen Befestigungsmechanismus (21b, 27; 63; 90h, 90i, 91o, 91p, 92a, 92b; 91s, 92c) aufweist, um die Beleuchtungseinheit (21; 41; 51; 61; 91; 113, 123) am Mikroskopkörper (20) zu befestigen. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinheit (21; 41; 51; 61; 91; 113, 123) einen Rahmenkörper (21c; 41a; 51a) zum Einsetzen in und zum Entfernen aus dem hohlen Abschnitt (20d; 60a; 90a; 110a; 120a) und einem Kubus (35; 44, 48; 54, 56) aufweist, der an dem Rahmenkörper (21c, 41a; 51a) angeordnet ist. Mikroskop nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinheit (41; 51) weiterhin einen Einsetz/Entfernungsmechanismus (43b, 45, 47; 55, 57) aufweist, um den Kubus (44, 48; 54, 56) in den Rahmenkörper (41a; 51a) einzusetzen/hieraus zu entfernen. Mikroskop nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Kubus (44, 48; 54, 56) ausgewählt ist aus Kuben entsprechend verschiedenen Arten von Beobachtungsverfahren. Mikroskop nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinheit (51) Kuben (54, 56) aufweist, die in dem Rahmenkörper (51a) angeordnet sind, sowie einen Schaltmechanismus (52a, 52b, 53) für den optischen Beobachtungspfad, um selektiv einen der Kuben (54, 56) in den optischen Beobachtungspfad zu bringen. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Einsetz-/Entfernungsmechanismus (20e, 21a; 60b, 60a; 90d, 91b; 90j, 91q; 90k, 91r; 114, 124) einen Schwalbenschwanzmechanismus aufweist. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Einsetz-/Entfer-nungsmechanismus (90f, 90g, 91m, 91n; 114, 124) einen Gleitführungsmechanismus aufweist. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es weiterhin eine zusätzliche Einheit (62; 101) und einen zusätzlichen Einsetz-/Entfernungsmechanis-mus (62a, 60c; 90e, 101a) zum Einsetzen/Entfernen der zusätzlichen Einheit (62; 101) in/aus den/dem hohlen Abschnitt (60a; 90a) aufweist. Mikroskop nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die zusätzliche Einheit (62) eine Autofokuseinheit aufweist. Mikroskop nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Einsetz-/Entfernungsmechanismus (60b, 61a) von gleichem Aufbau wie der zusätzliche Einsetz-/Entfernungsmechanismus (62a, 60c) ist. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikroskopkörper (20) einen Rahmenkörper (110, 120) aufweist, der in sich den hohlen Abschnitt (110a; 120a) hat, sowie einen verbleibenden Hauptkörper (20a, 20b), wobei der Rahmenkörper (110, 120) gegenüber dem Hauptkörper (20a, 20b) entfernbar ist. Mikroskop nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Rahmenkörper (110, 120) aus Rahmenkörpern gewählt ist, an denen Beleuchtungseinheiten entsprechend verschiedenen Arten von Beobachtungsverfahren angeordnet sind. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (31; 42) ein lichtemittierendes Halbleiterelement (31a; 42a, 49) aufweist. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Mikroskopkörper (20) eine Basis (20a), einen Träger (20b), der sich von der Basis (20a) nach oben erstreckt und einen Arm (20c; 110a, 110b) aufweist, der sich von dem Träger (20b) aus horizontal erstreckt, wobei der hohle Abschnitt (20d; 60a; 90a; 110a; 120a) in dem Arm (20c; 110a, 110b) ausgebildet ist. Ein Mikroskop, dadurch gekennzeichnet, dass es aufweist:

eine Stufe (8), auf der eine Probe (9) anordenbar ist;

eine Objektivlinse (7), die zu der Stufe (8) weist;

einen Mikroskopkörper (20) mit: einem Basisabschnitt (20a) zum Tragen der Stufe (8), einem Tragabschnitt (20b), der sich vom Basisabschnitt (20a) aus nach oben erstreckt und einem Armabschnitt (20c; 110a; 110b), der sich horizontal von dem Tragabschnitt (20b) aus erstreckt, wobei der Armabschnitt (20c; 110a, 110b) die Objektivlinse (7) trägt und in sich einen hohlen Abschnitt (20d; 60a; 90a; 110a; 120a) hat;

eine Beleuchtungseinheit (21; 41; 51; 61; 91; 113, 123) mit einem optischen Beleuchtungssystem (29) zum Aufbringen von Beleuchtungslicht von einer Lichtquelle (31; 42) auf einen Probe (9) in Zusammenwirkung mit der Objektivlinse (7); und

einen Einsetz-/Entfernungsmechanismus (20e, 21a; 60b, 61a, 62a, 60c; 90d, 91b, 90e, 101a; 90f, 90g, 91m, 91n; 90j, 91q; 90k, 91r; 114, 124) zum Einsetzen/Ent-fernen der Beleuchtungseinheit 21; 41; 51; 61; 91; 113, 123) in/aus den/dem hohlen Abschnitt (20d; 60a; 90a; 110a; 120a).






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