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Dokumentenidentifikation DE102006024209A1 29.11.2007
Titel Verfahren und Vorrichtung zum Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund von Substratscheiben
Anmelder STEAG HamaTech AG, 75447 Sternenfels, DE
Erfinder Kern, Thomas, 75038 Oberderdingen, DE;
Mahner, Bernd, 75015 Bretten, DE;
Mößner, Frank, 75438 Knittlingen, DE;
Reinhold, Til, 75417 Mühlacker, DE
Vertreter WAGNER & GEYER Partnerschaft Patent- und Rechtsanwälte, 80538 München
DE-Anmeldedatum 23.05.2006
DE-Aktenzeichen 102006024209
Offenlegungstag 29.11.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 29.11.2007
IPC-Hauptklasse G11B 7/26(2006.01)A, F, I, 20060523, B, H, DE

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund von zwei Substratscheiben mit einer dazwischen befindlichen Kleberschicht.

Bei der Herstellung von doppelseitigen optischen Datenträgern, die aus mehreren Substratscheiben bestehen und reflektierende und halbtransparente Datenschichten aufweisen können (z.B. DVD-14, DVD-18), ist es bekannt, eine der reflektierenden Datenschichten über eine Substratscheibe (auch als Abformscheibe bezeichnet) aufzubringen. Dabei wird zunächst eine Substratscheibe über eine Kleberschicht mit der anderen Substratscheibe verbunden. Die später zu lösende Substratscheibe besitzt eine Groove-Struktur, die durch das Verbinden der beiden Substratscheiben in die Kleberschicht eingeprägt wird. Danach wird die eine Substratscheibe wieder aus dem Verbund der zwei Substratscheiben derart gelöst, dass die Kleberschicht auf der anderen Substratscheibe verbleibt. Dabei dürfen weder die Substratscheiben noch die in die Kleberschicht eingeprägte Groove-Struktur beschädigt werden. Jede Beschädigung der Substratscheiben oder der Kleberschicht kann die Lesbarkeit des optischen Datenträgers gefährden.

Eine Möglichkeit zum Lösen einer Abformscheibe aus einem Verbund von Substratscheiben ist in der EP-A-1 026 677, mit dem Titel „Manufacturing method and apparatus for optical disc", vom 02.02.2000 offenbart. Dieses Dokument zeigt das Lösen der zwei Substratscheiben mit Hilfe eines mechanisch wirkenden Elements, das zwischen die Substratscheiben eingeführt wird, und einen Spalt zwischen den Substratscheiben öffnet. Anschließend wird in diesen Spalt komprimierte Luft eingeblasen, um die Substratscheiben vollständig zu lösen. Bei diesem Verfahren können sich durch die Benutzung eines mechanisch wirkenden Elements (z.B. ein Trennmesser), das zwischen die Substratscheiben eingeführt wird jedoch Probleme ergeben. Das Einführen kann beispielsweise zu Beschädigungen der Substratscheiben führen und somit die Datenstruktur gefährden. Ebenso können von den Substratscheiben abgespaltene Teilchen die Umgebung verunreinigen.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, beim Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund von Substratscheiben keine Beschädigungen der Substratscheiben oder der in der Kleberschicht eingeprägten Groove-Struktur zu verursachen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zum Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund von zwei Substratscheiben mit einer dazwischen befindlichen Kleberschicht gelöst, bei dem durch Anlegen eines Drucks gegen eine Seitenkante wenigstens einer der beiden Substratscheiben mit wenigstens einer Trennvorrichtung ein Spalt zwischen den Substratscheiben erzeugt wird. Dabei wird lediglich ein leichter Druck gegen die Seitenkante ausgeübt und nicht, wie im Stand der Technik, ein mechanisch wirkendes Element zwischen die Substratscheiben eingeführt. Vorzugsweise wird dieser Druck gegen die Seitenkante der Abformscheibe angelegt. Durch Blasen eines Gases in den Spalt hinein, wird die eine Substratscheibe vollständig von der anderen Substratscheibe gelöst, und zwar derart, dass die Kleberschicht vollständig an der anderen Substratscheibe verbleibt.

In einer bevorzugten Ausführungsform wird der Verbund der Substratscheiben vor dem Anlegen des Drucks gebogen. Dies vereinfacht die Bildung des Spalts, da die Substratscheiben schon leicht vorgespannt sind und sich dadurch nach dem Anlegen des Drucks automatisch auseinander ziehen können. Ferner kann der benötigte Druck, der an die Seitenkante angelegt wird, niedriger sein.

Beim Biegen des Verbunds der Substratscheiben wird vorzugsweise eine Saugvorrichtung an den radial äußeren Bereich der einen Substratscheibe und eine Saugvorrichtung an den radial inneren Bereich der anderen Substratscheibe angelegt. Durch anschließendes Bewegen der Saugvorrichtungen relativ zueinander wird der Verbund der Substratscheiben gebogen. Dabei werden die zwei Saugvorrichtungen vorzugsweise in entgegen gesetzte Richtungen bewegt. Nach dem Lösen kann beispielsweise die von einer Saugvorrichtung angesaugte eine Substratscheibe von der anderen Substratscheibe weg gezogen werden, um sie beispielsweise in einen Behälter zur Aufbewahrung oder Entsorgung ablegen zu können.

Um die Abformscheibe rasch und sicher von der Substratscheibe zu lösen, wird das Gas vorzugsweise mit einem Druck von wenigstens 2 bar in den Spalt geblasen.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weisen die beiden Substratscheiben des Verbunds unterschiedliche Durchmesser auf. Damit wird beim Anlegen des Drucks an die Seitenkante der größeren Substratscheibe, die vorzugsweise die Abformscheibe ist, die andere Substratscheibe nicht berührt und somit vor Beschädigungen geschützt.

In einer weiteren Ausführungsform werden die Substratscheiben nach Anlegen des Drucks gegen die Seitenkante wenigstens einer Substratscheibe gedreht. Dies hat den Vorteil den Spalt je nach Anwendung größer oder kleiner zu gestalten und die Abformscheibe dann leichter mit der Druckluft wegblasen zu können. Als Alternative kann beispielsweise auch die Trennvorrichtung entlang der Seitenkante bewegt werden. Vorzugsweise erfolgt diese Drehung bzw. Bewegung über einen Winkelbereich von wenigstens 10°. Vorzugsweise legen eine Vielzahl von Trennvorrichtungen an mehreren Punkten an der Seitenkante wenigstens einer der beiden Substratscheiben Druck an.

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird auch durch ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Datenträgers gelöst, bei dem zuerst zwei Substratscheiben mit einer dazwischen befindlichen Kleberschicht derart zusammengefügt werden, dass sich eine Groove-Struktur der einen Substratscheibe in die Kleberschicht einprägt. Anschließend wird die eine Substratscheibe durch das oben genannte Verfahren gelöst, ohne die eingeprägte Groove-Struktur zu beschädigen. Vorzugsweise werden die zwei zusammenzufügenden Substratscheiben vorher mit unterschiedlichen Durchmessern hergestellt und die eine Substratscheibe kann beispielsweise im Vergleich zur anderen Substratscheibe aus einem unterschiedlichen Material bestehen, wobei das Material eine geringere Haftung gegenüber der Kleberschicht aufweist. Dadurch kann ferner sichergestellt werden, dass beim Lösen der einen Substratscheibe keine Teile der Kleberschicht an ihr hängen bleiben und sie sich leichter lösen lässt. In einer weiteren Ausführungsform kann das oben genannte Verfahren zur Herstellung eines optischen Datenträgers ferner das Ausbilden einer reflektierenden Schicht auf der freiliegenden Groove-Struktur und das Zusammenfügen mit einer weiteren Substratscheibe aufweisen.

Die, der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe, wird auch durch eine Vorrichtung zum Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund von zwei Substratscheiben mit einer dazwischen befindlichen Kleberschicht, mit wenigstens einer Trennvorrichtung zum Trennen der beiden Substratscheiben gelöst. Die Trennvorrichtung weist ein Druckelement auf, und zwar mit wenigstens einer Druckkante zum Anlegen eines Drucks gegen eine Seitenkante wenigstens einer der Substratscheiben, um einen Spalt dazwischen zu erzeugen und wenigstens eine zu der wenigstens einen Druckkante benachbarte Düse, die in eine Druckrichtung des Druckelements gerichtet ist, um einen Gasstrom in den Spalt zu lenken, um die beiden Substratscheiben vollständig voneinander zu trennen.

Vorzugsweise weist die Vorrichtung ferner eine Vorrichtung zum Biegen des Verbunds der Substratscheiben auf. In einer bevorzugten Ausführungsform weist die Vorrichtung eine erste Saugvorrichtung auf, die eine der beiden Substratscheiben in einem radial inneren Bereich ansaugt, und eine zweite Saugvorrichtung, die die andere Substratscheibe, in einem radial äußeren Bereich ansaugt. Um den Verbund der Substratscheiben Biegen zu können, sind bei dieser Ausführungsform Mittel zum Bewegen der ersten und/oder zweiten Saugvorrichtung vorgesehen. Das Biegen der Substratscheiben vereinfacht dabei erheblich die Öffnung eines Spalts zwischen den beiden Substratscheiben. Die Biegung erzeugt eine Vorspannung, sodass ein sehr niedriger Druck ausreicht, damit sich die eine Substratscheibe zu lösen beginnt. Vorzugsweise weist dabei die erste und/oder zweite Saugvorrichtung eine Vielzahl von Saugern auf, die beispielsweise ringförmig angeordnet sein können. Die Saugvorrichtungen können auch als Ringsauger ausgebildet sein.

Um das Druckelement wenigstens einer Trennvorrichtung an der Seitenkante wenigstens eines Substrats entlang bewegen zu können und dadurch die Öffnung des Spalts über einen größeren Bereich zu ermöglichen, wird in einer weiteren Ausführungsform der Verbund von Substratscheiben mit einer Drehvorrichtung gedreht. Alternativ oder auch zusätzlich weist eine Ausführungsform ferner eine Bewegungsvorrichtung für die Trennvorrichtung auf, um die Trennvorrichtung auf die Substratscheiben zu und/oder entlang der Seitenkante zu bewegen.

Vorzugsweise ist dabei eine Vielzahl von Trennvorrichtungen vorgesehen, die mit gleichem Winkelabstand um die Substratscheiben herum angeordnet sind. Der Vorteil davon liegt in der gleichmäßigeren Verteilung des angelegten Drucks an die Seitenkante und das Lösen der Abformscheibe ist besser kontrollierbar.

Um den Gasstrom gezielt in den Spalt hinein zu blasen und ein seitliches entweichen zu verhindern, besitzt bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel das Druckelement zwei Druckkanten, die auf gegenüberliegenden Seiten der Düse angeordnet sind. Vorzugsweise besteht dabei das Druckelement aus Kunststoff, um es weicher als die Substratscheiben zu gestalten. Die Substratscheibe wird somit vor einer Beschädigung durch die Druckkante geschützt. Dies gilt insbesondere dann, wenn das Druckelement entlang der Seitenkante wenigstens einer Substratscheibe bewegt wird. Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist das Druckelement wenigstens ein drehbares Element auf, welches die Druckkante bildet. Dadurch wird bei seitlicher Bewegung des Druckelements entlang einer Seitenkante einer Substratscheibe kein Abrieb erzeugt.

Bei einer alternativen Ausführungsform der Erfindung ist die Düse eine Schlitzdüse. Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist die Düse als Punktdüse ausgestattet und weist einen Austrittsbereich mit einem Durchmesser von 0,5-1,0 mm auf. Die Düse wird vorzugsweise an einer Gasquelle angeschlossen, die wenigstens einen Druck von 2 bar liefern kann, um einen genügend hohen Druck für eine rasche und vollständige Trennung der Substratscheiben vorsehen zu können.

Beschreibung der Zeichnungen

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert; in den Zeichnungen zeigen:

1 eine Schnittansicht der Vorrichtung zum Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund von zwei Substratscheiben;

2 eine Draufsicht auf die Vorrichtung zum Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund von zwei Substratscheiben gemäß 1;

3 eine Schnittansicht einer alternativen Ausführungsform einer Vorrichtung zum Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund von zwei Substratscheiben;

4 eine Schnittansicht einer alternativen Ausführungsform einer Vorrichtung zum Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund von zwei Substratscheiben;

5a, 5b, 5c und 5d Schnittansichten der Vorrichtung gemäß 1 in unterschiedlichen Positionen während eines Ablösevorgangs; und

6a, 6b, 6c und 6d Schnittansichten eines alternativen Ausführungsbeispiels der Vorrichtung gemäß 1 in unterschiedlichen Positionen während eines Ablösevorgangs.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele

Die Vorrichtung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert.

1 zeigt eine Vorrichtung 1 zum Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund 2 von zwei Substratscheiben, die eine Haltevorrichtung 3 und eine Trennvorrichtung 4 aufweist.

Der Verbund 2 setzt sich zusammen aus einer oberen Substratscheibe 10, die beispielsweise auch als Abformscheibe bezeichnet werden kann, einer mittleren Kleberschicht 11 und einer unteren Substratscheibe 12. Dabei besteht die obere Substratscheibe 10 aus einem unterschiedlichen Material im Vergleich zur unteren Substratscheibe 12, und zwar mit einer vergleichsweise geringeren Haftung gegenüber der Kleberschicht 11. Es ist aber auch möglich Substratscheiben aus demselben Material vorzusehen.

Die Haltevorrichtung 3 besteht aus einer oberen Saugvorrichtung 15, einer unteren Saugvorrichtung 16 und aus zur Vereinfachung der Darstellung nicht gezeigten Mitteln zum Bewegen der unteren/oberen Saugvorrichtungen 15 und 16. Wie aus der 1 ersichtlich ist, ist die untere Saugvorrichtung 16 im radial inneren Bereich der unteren Substratscheibe 12 angelegt und die obere Saugvorrichtung 15 im radial äußeren Bereich der oberen Substratscheibe 10. Beide Saugvorrichtungen 15 und 16 weisen eine Vielzahl von Saugern auf, die aber zur Vereinfachung der Darstellung nicht gezeigt sind. Die Vielzahl von Saugern ist dabei ringförmig angeordnet. Es ist alternativ möglich eine oder beide der Saugvorrichtungen 15 und 16 als Ringsauger auszubilden.

Die Trennvorrichtung 4 zum Trennen der beiden Substratscheiben 10 und 12 besteht aus einem Druckelement 20, das, wie in 2 gezeigt, zwei Druckkanten 21 aufweist. Ferner ist eine zu den Druckkanten 21 benachbarte Düse 22 vorgesehen, die in eine Druckrichtung des Druckelements 20 gerichtet ist. Die Druckrichtung ist in den Figuren mit einem Pfeil e an der Trennvorrichtung 4 angedeutet. Die Düse 22 ist zwischen den Druckkanten 21 angeordnet.

Wie in 2 gezeigt ist, weist die Vorrichtung 1 mehrere Trennvorrichtungen 4 mit dem oben beschriebenen Aufbau auf, die mit gleichem Winkelabstand um den Verbund 2 der Substratscheiben herum angeordnet sind. Eine nicht gezeigte Bewegungsvorrichtung für die Trennvorrichtung 4 ermöglicht deren Bewegung auf den Verbund 2 der Substratscheiben 10 und 12 zu und/oder entlang der Seitenkante 14. Dies ist in 2 mit Pfeilen c, d angedeutet. Die Trennvorrichtung 4 weist ein entsprechendes Anschlusselement auf, um die Düse 22 mit einer nicht dargestellten Gasquelle zu verbinden. Die Düse 22 der Trennvorrichtung 4 ist als Punktdüse ausgebildet, und ein Austrittsbereich 24 der Düse 22 besitzt dabei einen Durchmesser von 0,5 bis 1,0 mm. Alternativ kann die Düse 22 aber auch als Schlitzdüse ausgebildet sein.

Das Druckelement 20 der Trennvorrichtung 4 oder wenigstens die Druckkante 21 besteht aus einem Material, das sowohl weicher als härter sein kann, als die Substratscheiben 10,12 des Verbunds 2. Alternativ oder auch zusätzlich kann das Druckelement 20 wenigstens ein drehbares Element 23 aufweisen, das die Druckkante 21 bildet. Das drehbare Element 23 ist drehbar gelagert und dreht sich in Bewegungsrichtung der Trennvorrichtung 4. Dieses Ausführungsbeispiel mit drehbarer Druckkante der Trennvorrichtung 4 ist in 3 gezeigt. Natürlich kann die Trennvorrichtung 4 auch mehrere drehbare Elemente 23 aufweisen.

Nachfolgend wird die Funktionsweise der zuvor beschriebenen Vorrichtung unter Bezugnahme auf die 5 und 6 näher erläutert, die die Vorrichtung gemäß 1 und 2 während unterschiedlicher Phasen eines Abtrennvorgangs zeigen. Zur Vereinfachung der Darstellung sind in der 5 und 6 die Bezugszeichen nicht durchgängig vorgesehen.

5 ist unterteilt in die 5a, 5b, 5c und 5d, wobei die Unterteilungen die einzelnen Zustände in dem Ablauf des Lösens der oberen Substratscheibe 10 aus dem Verbund 2 zeigen.

In einem ersten Schritt, der durch die 5a dargestellt ist, wird der Verbund 2 der beiden Substratscheiben 10 und 12 durch die Saugvorrichtungen 15 und 16 angesaugt. Durch Bewegen der beiden Saugvorrichtungen 15 und 16 mittels einer nicht gezeigten Bewegungsvorrichtung relativ zueinander wird der Verbund 2 gebogen, indem die obere Saugvorrichtung 15 nach oben und die untere Saugvorrichtung nach unten zieht. In einer alternativen Ausführungsform zieht nur die obere Saugvorrichtung 15 nach oben und die untere Saugvorrichtung 16 bleibt stationär oder umgekehrt.

In einem nächsten Schritt, der durch die 5b dargestellt ist, wird das Druckelement 20 der Trennvorrichtung 4 gegen eine Seitenkante 14 der oberen Substratscheibe 10 bewegt, um daran einen Druck anzulegen. Durch diesen Druck wird die obere Substratscheibe leicht abgehoben und ein Spalt zwischen den Substratscheiben 10 und 12 erzeugt. Durch eine Bewegung der Trennvorrichtung 4 entlang der Seitenkante 14 der oberen Substratscheibe 10, wie durch die Pfeile c, d in 2 angedeutet ist, wird der Spalt über einen größeren Winkelbereich geöffnet. Die Bewegungspfeile c, d sind zwar nur für eine Trennvorrichtung 4 angedeutet, gelten aber in entsprechender Weise für alle in der Zeichnung dargestellten Trennvorrichtungen. Um eine optimale Größe des Spalts zu erreichen, sollte die Bewegung über einen Winkelbereich von wenigstens 10 Grad erfolgen. Das Gleiche gilt, wenn nicht die Trennvorrichtung 4 bewegt wird, sondern der Verbund 2 durch nicht gezeigte Drehvorrichtungen der Saugvorrichtungen 15 und 16 gedreht wird.

Um die zwei Substratscheiben vollständig voneinander zu lösen, wird in einem nächsten Schritt, der in 5c gezeigt ist, ein Gas mit einem Druck von mindestens 2 bar in den Spalt hinein geblasen. Hierdurch wird eine rasche Lösung der oberen Substratscheibe 10 derart bewirkt, dass die Kleberschicht 11 vollständig an der unteren Substratscheibe 12 verbleibt. Dieses Gas kann z.B. gefilterte Luft oder ein sonstiges geeignetes Gas sein.

Nach dem Lösen wird in einem nächsten Schritt, der in 5d gezeigt ist, die Trennvorrichtung 4 von den beiden Substratscheibe 10 und 12 wegbewegt, und die obere Substratscheibe 10 wird durch die Saugvorrichtung 15 von der unteren Substratscheibe 12 weg gezogen und abtransportiert.

Nachfolgend wird eine alternative Funktionsweise der zuvor beschriebenen Vorrichtung anhand der 6a, 6b, 6c und 6d erläutert.

Im Unterschied zur vorhergehenden Funktionsweise, die anhand der 5a bis 5d beschrieben wurde, wird der Verbund 2 der beiden Substratscheiben 10 und 12, wie gezeigt in 6a, nicht gebogen, sondern nur von den Saugvorrichtungen 15 und 16 gehalten. Um trotzdem die obere Substratscheibe 10 aus dem Verbund 2 lösen zu können, wird der Druck über das Druckelement 20 der Trennvorrichtung 4, wie in 6b gezeigt ist, in einem schrägen Winkel an die obere Substratscheibe 10 angelegt, um die obere Substratscheibe 10 nach oben zu drücken. Dadurch entsteht wiederum ein Spalt.

Anschließend werden die Substratscheiben durch Einleiten von Gas vollständig voneinander getrennt, und die obere Substratscheibe 10 durch die Saugvorrichtung abtransportiert, wie in 6c und 6d dargestellt ist.

Bei einem alternativen Ausführungsbeispiel, das in 4 dargestellt ist, besitzt die obere Substratscheibe 10 im Vergleich zur unteren Substratscheibe 12 einen größeren Durchmesser. Dies erleichtert es, die obere Substratscheibe 10 aus dem Verbund 2 der beiden Substratscheiben 12 und 10 zu lösen, ohne dabei die untere Substratscheibe 12 zu berühren.

Die oben beschriebene Vorrichtung und das Verfahren wird vorzugsweise in einer Anlage zur Herstellung eines doppelseitigen optischen Datenträgers eingesetzt, die zur Vereinfachung nicht dargestellt ist. Die Anlage weist in bekannter Weise Mittel auf, um die Substratscheiben 10, 12 herzustellen und gegebenenfalls mit reflektierenden Schichten zu versehen und anschließend zwei Substratscheiben mit einer dazwischen befindlichen Kleberschicht 11 zusammenzufügen, so dass sich eine Groove-Struktur der Substratscheiben in die Kleberschicht 14 einprägt. Zum Lösen der oberen Substratscheibe 10 aus dem Verbund 2 der beiden Substratscheiben 10 und 12 wird die oben beschriebene Vorrichtung und das Verfahren verwendet, wobei die eingeprägte Groove-Struktur nicht beschädigt wird. Bei diesem Verfahren zur Herstellung eines doppelseitigen optischen Datenträgers, werden die Substratscheiben vor dem Zusammenfügen mit unterschiedlichen Durchmessern vorgesehen (siehe 4). Dabei besteht die zu lösende Substratscheibe aus unterschiedlichem Material, das im Vergleich zur anderen Substratscheibe eine geringere Haftung gegenüber der Kleberschicht 14 aufweist. Nach dem Lösen der oberen Substratscheibe 10 wird eine reflektierende Schicht auf der freiliegenden Groove-Struktur ausgebildet und mit einer weiteren Substratscheibe, die beispielsweise in gleicher Weise hergestellt wurde, zusammengefügt.

Die Erfindung wurde zuvor anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung näher erläutert. Die Erfindung ist jedoch nicht auf das konkret dargestellte Ausführungsbeispiel, sondern nur auf die nachfolgenden Ansprüche beschränkt.


Anspruch[de]
Verfahren zum Lösen einer Substratscheibe aus einem Verbund von zwei Substratscheiben mit einer dazwischen befindlichen Kleberschicht, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:

Anlegen eines Drucks gegen eine Seitenkante wenigstens einer der beiden Substratscheiben mit wenigstens einer Trennvorrichtung, um einen Spalt zwischen den Substratscheiben zu erzeugen; und

Blasen eines Gases in den Spalt hinein, um die eine Substratscheibe vollständig von der anderen Substratscheibe zu lösen, und zwar derart, dass die Kleberschicht vollständig an der anderen Substratscheibe verbleibt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Substratscheiben vor dem Anlegen des Drucks gebogen werden. Verfahren nach Anspruch 2, wobei das Biegen die folgenden Schritte aufweist:

Anlegen einer ersten Saugvorrichtung an einen radial äußeren Bereich einer der Substratscheiben;

Anlegen einer zweiten Saugvorrichtung an den radial inneren Bereich der anderen Substratscheibe;

Bewegen wenigstens einer Saugvorrichtung relativ zu der anderen Saugvorrichtung, um die beiden Substratscheiben zu biegen.
Verfahren nach Anspruch 3, wobei die beiden Saugvorrichtungen in entgegen gesetzter Richtung bewegt werden. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Gas mit einem Druck von wenigstens 2 bar in den Spalt geblasen wird. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die beiden Substratscheiben einen unterschiedlichen Durchmesser aufweisen. Verfahren einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Substratscheiben nach Anlegen des Drucks gegen die Seitenkante wenigstens einer Substratscheibe gedreht werden. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Trennvorrichtung entlang der Seitenkante wenigstens einer der beiden Substratscheiben bewegt wird. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 und 8, wobei die Drehung der Substratscheiben bzw. die Bewegung der Trennvorrichtung entlang der Seitenkante über einen Winkelbereich von wenigstens 10° erfolgt. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine Vielzahl von Trennvorrichtungen an mehreren Punkten an der Seitenkante wenigstens einer der beiden Substratscheiben Druck anlegen. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die zweite Substratscheibe beim Lösen durch eine Saugvorrichtung von der ersten Substratscheibe weggezogen wird. Verfahren zur Herstellung eines optischen Datenträgers, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:

Zusammenfügen von zwei Substratscheiben mit einer dazwischen befindlichen Kleberschicht derart, dass sich eine Groove-Struktur der einen Substratscheibe in die Kleberschicht einprägt und anschließendes Lösen der einen Substratscheibe durch ein Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, ohne die eingeprägte Groove-Struktur zu beschädigen.
Verfahren nach Anspruch 12, wobei die Substratscheiben vor dem Zusammenfügen mit unterschiedlichen Durchmessern hergestellt werden. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 und 13, wobei die eine Substratscheibe, die von der anderen Substratscheibe gelöst wird, aus unterschiedlichem Material besteht, das im Vergleich zur anderen Substratscheibe eine geringere Haftung gegenüber der Kleberschicht aufweist. Verfahren nach Anspruch 12, wobei das Verfahren ferner das Ausbilden einer reflektierenden Schicht auf der freiliegenden Groove-Struktur und das Zusammenfügen mit einer weiteren Substratscheibe aufweist. Vorrichtung (1) zum Lösen einer Substratscheibe (10) aus einem Verbund (2) von zwei Substratscheiben (10, 12) mit einer dazwischen befindlichen Kleberschicht (11), mit wenigstens einer Trennvorrichtung (4) zum Trennen der beiden Substratscheiben (10, 12), die Folgendes aufweist:

Ein Druckelement (20) mit wenigstens einer Druckkante (21) zum Anlegen eines Drucks gegen eine Seitenkante wenigstens einer der Substratscheiben (10, 12), um einen Spalt dazwischen zu erzeugen; und

Wenigstens eine zu der wenigstens einen Druckkante (21) benachbarte Düse (22), die in eine Druckrichtung des Druckelements (20) gerichtet ist, um einen Gasstrom in den Spalt zu lenken, um die beiden Substratscheiben (10, 12) vollständig voneinander zu trennen.
Vorrichtung (1) nach Anspruch 16, die ferner eine Vorrichtung (3) zum Biegen des Verbunds (2) aus Substratscheiben aufweist. Vorrichtung (1) nach Anspruch 16 oder 17, die ferner Folgendes aufweist:

eine erste Saugvorrichtung (16) zum Ansaugen einer der beiden Substratscheiben (10, 12), in einem radial inneren Bereich;

eine zweite Saugvorrichtung (15) zum Ansaugen der anderen Substratscheibe (10, 12), in einem radial äußeren Bereich;

Mittel zum Bewegen der ersten und/oder zweiten Saugvorrichtung (15, 16), um die Substratscheiben (10, 12) zu verbiegen.
Vorrichtung (1) nach Anspruch 18, wobei die erste und/oder zweite Saugvorrichtung (15, 16) eine Vielzahl von Saugern aufweist. Vorrichtung (1) nach Anspruch 19, wobei die Vielzahl von Saugern ringförmig angeordnet ist. Vorrichtung (1) nach Anspruch 18, wobei die erste und/oder zweite Saugvorrichtung (15, 16) einen Ringsauger aufweist. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 16 bis 21, wobei das Druckelement (20) mit einer Vielzahl von Druckkanten (21) beidseitig zur Düse ausgebildet ist. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 16 bis 23, wobei das Druckelement (20) aus Kunststoff besteht. Vorrichtung (1) nach einem der Anspruch 16 bis 23, wobei das Druckelement (20) wenigstens ein drehbares Element (23) aufweist, das eine Druckkante (21) bildet. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 16 bis 24, die ferner eine Drehvorrichtung für den Verbund (2) von Substratscheiben aufweist. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 16 bis 25, die ferner eine Bewegungsvorrichtung für die Trennvorrichtung (4) aufweist, um die Trennvorrichtung (4) auf die Substratscheiben (10, 12) zu und/oder entlang der Seitenkante zu bewegen. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 16 bis 26, wobei eine Vielzahl von Trennvorrichtungen (4) vorgesehen ist, die mit gleichem Winkelabstand um die Substratscheiben (10, 12) herum angeordnet ist. Die Vorrichtung (1) nach den Ansprüchen 16 bis 27, wobei die Düse (22) eine Schlitzdüse ist. Die Vorrichtung (1) nach den Ansprüchen 16 bis 28, wobei ein Austrittsbereich (24) der Düse (22) einen Durchmesser von 0,5-1,0 mm aufweist. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 16-29, die ferner eine Gasquelle zum Liefern von Gas an die Düse (22) mit einem Druck von wenigstens 2 bar aufweist.






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