| Dokumentenidentifikation |
DE60215827T8 06.12.2007 |
| EP-Veröffentlichungsnummer |
0001426771 |
| Titel |
IMPEDANZMESSSCHALTUNG UND KAPAZITÄTSMESSSCHALTUNG |
| Anmelder |
Tokyo Electron Ltd., Tokio/Tokyo, JP;
Hokuto Electronics, Inc., Nishinomiya, Hyogo, JP |
| Erfinder |
YAKABE, M., Amagasaki-shi, Hyogo 660-0891, JP;
IKEUCHI, N., Amagasaki-shi, Hyogo 660-0891, JP;
MATSUMOTO, T., Amagasaki-shi, Hyogo 660-0891, JP;
NAKANO, Koichi, Nishinomiya-shi, Hyogo 669-1148, JP |
| Vertreter |
BOEHMERT & BOEHMERT, 80336 München |
| DE-Aktenzeichen |
60215827 |
| Vertragsstaaten |
AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR |
| Sprache des Dokument |
EN |
| EP-Anmeldetag |
06.09.2002 |
| EP-Aktenzeichen |
027679208 |
| WO-Anmeldetag |
06.09.2002 |
| PCT-Aktenzeichen |
PCT/JP02/09136 |
| WO-Veröffentlichungsnummer |
2003023419 |
| WO-Veröffentlichungsdatum |
20.03.2003 |
| EP-Offenlegungsdatum |
09.06.2004 |
| EP date of grant |
02.11.2006 |
| Date of publication of correction |
06.12.2007 |
| Information on correction |
Berichtigung zu INID-Code (72) |
| IPC-Hauptklasse |
G01R 27/26(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP
|
| IPC-Nebenklasse |
G01D 5/24(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP
G01N 27/22(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP
H04R 3/06(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP
|
|
|
