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Dokumentenidentifikation DE69935717T2 13.12.2007
EP-Veröffentlichungsnummer 0001082720
Titel VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ROHMATRIZE FÜR EIN OPTISCHES SPEICHERMEDIUM
Anmelder Obducat AB, Malmö, SE
Erfinder OLSSON, Lennart, S-216 21 Malmö, SE
Vertreter Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser, 80538 München
DE-Aktenzeichen 69935717
Vertragsstaaten AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE
Sprache des Dokument EN
EP-Anmeldetag 28.05.1999
EP-Aktenzeichen 999300353
WO-Anmeldetag 28.05.1999
PCT-Aktenzeichen PCT/SE99/00910
WO-Veröffentlichungsnummer 1999063535
WO-Veröffentlichungsdatum 09.12.1999
EP-Offenlegungsdatum 14.03.2001
EP date of grant 04.04.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 13.12.2007
IPC-Hauptklasse G11B 7/26(2006.01)A, F, I, 20051017, B, H, EP
IPC-Nebenklasse G11B 23/00(2006.01)A, L, I, 20051017, B, H, EP   

Beschreibung[de]

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Fertigung einer Matrize zum Herstellen von optischen Speichermedien.

Wenn optische Speichermedien hergestellt werden, wie zum Beispiel Compact Disks (CDs), kommt etwas zur Anwendung, was als Matrizen, eine Druckform für die informationstragende Struktur des Speichermediums bezeichnet wird. Die Matrize stellt eine Hälfte einer Form zum Formen des Speichermediums dar. Eine Matrize besteht aus einer kreisförmigen, ebenen Metallplatte, in der eine zentrale Öffnung ausgebildet ist. Die Öffnung wird bei der Herstellung der Speichermedien genutzt.

Bei den Verfahren, die üblicherweise zum Herstellen von optischen Speichermedien verwendet werden, werden Matrizen aus Metall eine nach der anderen durch die Matrizen gefertigt, die auf einem mit einem Muster versehenen Substrat aufgebaut sind. Dabei handelt es sich um einen zeitaufwendigen und kostspieligen Arbeitsaufwand, der eine Vielzahl von Fertigungsschritten aufweist und der hohe Anforderungen an eine hoch entwickelte technische Einrichtung zum Fertigen der Matrizen stellt.

Deshalb ist es Ziel der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Verfahren zur Fertigung von Matrizen zum Herstellen von optischen Speichermedien zu schaffen.

Ein spezielles Ziel liegt darin, ein sinnvolles Verfahren zur Matrizenfertigung zu schaffen.

Ein spezielles Ziel liegt darin, eine hohe Qualität bei der Fertigung von Matrizen sicherzustellen.

Gemäß der Erfindung werden diese und andere Ziele, die aus der folgenden Beschreibung deutlich werden, nun durch ein Verfahren gemäß dem angefügten Anspruch 1 erreicht. Bevorzugte Ausführungen sind in den abhängigen Ansprüchen definiert.

Die Erfindung beruht auf dem Gedanken, in einem ersten Verfahrensschritt eine „Rohmatrize" zu fertigen, die in einem nachfolgenden Verfahrensschritt mit einer Beschriftung versehen wird, in dem die Oberfläche der Rohmatrize bearbeitet wird.

Gemäß einem ersten Gesichtspunkt der Erfindung wird ein plattenförmiger Matrizenkörper gebildet, auf den eine Abdeckbeschichtung, wie zum Beispiel eine lichtundurchlässige Beschichtung, auf einer Seite aufgebracht wird. Dies wird gemäß der Erfindung durch Verspinnen eines Polymers über den Körper, beginnend von einem zentralen Abschnitt des Körpers, erreicht.

Durch Verspinnen des Polymers von einem zentralen Abschnitt aus kann eine gleichmäßige Abdeckbeschichtung über den gesamten plattenförmigen Körper mit Leichtigkeit erreicht werden. Irgendwelche Unregelmäßigkeiten sind auf den zentralen Abschnitt begrenzt.

Nach dem Bilden der Abdeckbeschichtung wird eine zentrale Öffnung in den Körper durch Entfernen des zentralen Abschnitts gebildet, vorzugsweise durch Ausstanzen des zentralen Abschnitts des Körpers. Das hat zur Folge, dass die gesamte Abdeckbeschichtung von der Kante der Öffnung radial nach außen gleichmäßig ausgebildet ist Somit kann die Matrize mit einer qualitativ hohen Beschriftung bis zu der Kante der Öffnung versehen werden.

In Übereinstimmung mit dem Erfindungskonzept wird durch Verspinnen der Abdeckbeschichtung von einer zentralen Position aus und lediglich durch ein darauf folgendes Ausstanzen einer zentralen Öffnung eine höhere Qualität, eine größere Schreibfläche und niedrigere Fertigungskosten als in dem Fall erreicht, in dem die Abdeckbeschichtungen versponnen werden, nachdem die Öffnung ausgestanzt worden ist.

Die Öffnung, die nach einer Entfernung des zentralen Abschnitts gebildet worden ist, stellt die endgültige Öffnung dar, die bei der Herstellung von optischen Speichermedien Verwendung findet. Vorzugsweise bedeckt der Matrizenkörper den gesamten zentralen Abschnitt, wenn die Schutzmasse aufgebracht wird, da das Material der Schutzmasse auf diese Weise von einer einzelnen zentralen Stelle aus versponnen werden kann. Jedoch ist die Erfindung nicht in dieser Hinsicht beschränkt. Es kann in manchen Fällen vorteilhaft sein, eine kleinere Öffnung in den Körper zu bilden und die Schutzmasse, beginnend von dem zentralen Bereich, um die kleinere Öffnung aufzubringen, worauf daraufhin der zentrale Bereich entfernt wird. Das Erfindungskonzept umfasst auch diese Ausführung, wie dies in den beigefügten Ansprüchen zum Ausdruck kommt.

In einer bevorzugten Ausführung wird in einem nachfolgenden Verfahrensschritt eine informationstragende Aufschrift in die Abdeckbeschichtung durch einen Bestrahlungs-(Exposition) und Entwicklungsprozess auf irgendeine herkömmliche Art gebildet, woraufhin eine entsprechende Struktur in dem Matrizenkörper durch einen Ätz- oder Anwendungsprozess gebildet wird.

Gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung wird in einem ersten Verfahrensschritt ein Rohling für eine Matrize vorgesehen, die einen plattenförmigen Matrizenkörper hat, der sich von einem zentralen Abschnitt bis zu einer kreisförmigen Umfangslinie erstreckt, wobei sich des Weiteren eine Abdeckbeschichtung von dem zentralen Abschnitt des Körpers radial nach außen erstreckt. Der zentrale Abschnitt wird in einem nachfolgenden Verfahrensschritt entfernt. Auf diese Weise ist jedoch noch keine endgültige zentrale Öffnung in dem Matrizenkörper gebildet worden. In einer insbesondere bevorzugten Ausführung weist der Rohling in dem ersten Verfahrensschritt überhaupt keine Öffnung innerhalb der Umfangslinie auf.

Gemäß einem dritten Gesichtspunkt der Erfindung ist in einem ersten Verfahrensschritt eine Rohmatrize mit einem plattenförmigen Matrizenkörper versehen, der eine zentrale Öffnung und eine Abdeckbeschichtung hat, die sich von der Umfangskante der zentralen Öffnung erstreckt und eine gleichmäßige Dicke aufweist. Die Rohmatrize, die selbst ein Zwischenprodukt bei der Fertigung einer vollständigen Matrize darstellt, ist somit durch Bilden einer zentralen Öffnung in dem oben beschriebenen Matrizenrohling gefertigt worden. Anschließend wird nach Exposition oder Bilden einer Struktur, zum Beispiel einem Ätz- oder Anwendungsprozess, keine weitere Veränderung oder Bearbeitung des Innendurchmessers oder Außendurchmessers vollzogen.

Eine bevorzuge Ausführung der Erfindung wird nun zum Zweck der Erläuterung beschrieben.

Ein Matrizenkörper in der Form einer kreisförmigen Scheibe aus Nickel wird gebildet. Ein passendes Volumen eines geeigneten Materials einer Abdeckmasse wird in der Mitte der Scheibe platziert, anschließend wird die Scheibe so gedreht, dass das Material der Abdeckmasse zu einer gleichmäßigen Schicht über den Matrizenkörper versponnen wird, der dann einen Rohling für eine Matrize darstellt. Darauf folgend wird der zentrale Abschnitt der Scheibe ausgestanzt, wodurch eine Rohmatrize gebildet wird. Die Rohmatrize wird einem lithographischen Verfahren unterzogen, bei dem ein eine Information tragendes Muster einer Strahlung ausgesetzt und gemäß herkömmlicher Verfahren entwickelt wird, so dass der Matrizenkörper an ausgewählten Oberflächenabschnitten in einem Muster unbedeckt bleibt, das der Information entspricht, mit der die Matrize zu versehen ist. Anschließend wird eine Struktur in den Matrizenkörper an unbedeckten Oberfächenabschnitten geätzt Zum Schluss wird der Rest der Abdeckbeschichtung entfernt, wodurch eine vollständige Matrize mit einer eine informationstragende Flächenstruktur gebildet wird. Wahlweise wird die Oberflächenstruktur einer Schutzbehandlung unterzogen, bevor die Matrize fertig für den Gebrauch ist.


Anspruch[de]
Verfahren zur Fertigung einer Matrize zum Herstellen von optischen Speichermedien, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte:

Bilden eines plattenförmigen Matrizenkörpers,

Auftragen einer Abdeckbeschichtung auf einer Seite des Körpers durch Verspinnen eines Polymers über dem Körper, beginnend von einem zentralen Abschnitt des Körpers, und

nach diesem Anwendungsschritt Bilden einer zentralen Öffnung in dem mit einer Deckungsbeschichtung versehenen Körper durch Entfernen des zentralen Abschnitts, vorzugsweise durch Ausstanzen des zentralen Abschnitts des Körpers.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Öffnung so ausgebildet ist, dass sich die Abdeckbeschichtung von einer Umfangskante erstreckt, die die Öffnung abgrenzt. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die zentrale Öffnung in dem Körper gebildet wird, bevor die Abdeckbeschichtung mit einer eine Information tragenden Beschriftung versehen wird. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die eine Information tragende Beschriftung in der Abdeckbeschichtung durch einen nachfolgenden Expositions- und Entwicklungsprozess gebildet wird. Verfahren nach Anspruch 4, wobei eine der Beschriftung in der Abdeckbeschichtung entsprechenden Struktur in dem Matrizenkörper durch einen Ätz- oder Anwendungsprozess gebildet wird.






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