Die vorliegende Erfindung betrifft eine Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben die geeignet ist optische Scheiben herzustellen, die unter Verwendung von Licht gelesen und beschrieben werden können, insbesondere die geeignet ist eine optischen Scheibe für Aufzeichnungen mit hoher Dichte herzustellen.

Es wird die Priorität der japanischen Patentanmeldung Nr. 2004-372107, angemeldet am 22. Dezember 2004, beansprucht, deren Inhalt durch Bezugnahme darauf hiermit mit aufgenommen wird.

In den vergangenen Jahren wurden Scheiben der nächsten Generation entwickelt, mit denen es möglich ist Bilder und Videos in HDTV (hochauflösendes Fernsehen) Qualität aufzunehmen und wiederzugeben. Des Weiteren wurde ein Verfahren zur Aufzeichnung mit hoher Dichte entsprechend einem neuen Scheibenaufbau vorgeschlagen, bei dem unter Verwendung eines Haltsleiterlasers (nachfolgend blau violetter Laser) aufgezeichnet wird, dessen Licht mit einer Oszillationswellenlänge von 405 nm oder in der Nähe von 405 nm strahlt, d.h. kürzer als die Wellenlänge bei einer DVD (Digital Versatile Disc). Eine optische Scheibe wird schrittweise erzeugt, beispielsweise durch einem Aufbau bei dem die Informationsaufzeichnungsschicht bereits auf einem Scheibensubstrat von 1,1 mm Dicke ausgebildet ist und eine lichtdurchlässige Schicht von 0,1 mm Dicke auf dem Scheibensubstrat ausgebildet ist, oder durch einen Aufbau, bei dem Informationsaufzeichnungsschichten bereits auf beiden der zwei Scheibensubstraten von 0,6 mm Dicke ausgebildet sind, und wobei Scheibensubstrate unter Verwendung eines Haftmittels, welches eine lichtdurchlässige Schicht nach dem Trocknen oder Härten bildet, zusammengehalten werden. Solche Scheiben der nächsten Generation werden unter Verwendung des blau violetten Lasers über die lichtdurchlässige Schicht ausgelesen oder beschrieben. Dadurch ist eine hohe Durchlässigkeit oder ein hohes Durchlassvermögen für Licht in der lichtdurchlässigen Schicht bei 405 nm oder in der Nähe von 405 nm erforderlich. Des Weiteren hat die Informationsaufzeichnungsschicht eine höhere Dichte als die bei der DVD. Daher ist eine sehr hohe Auflösung oder Definition beim Auslesen und Beschreiben notwendig.

Nicht nur bei DVDs oder CDs (Compact Disc), sondern auch bei den Herstellungsschritten für optischen Scheiben für Aufzeichnungen mit hoher Dichte gibt es Fälle, in denen eine Rotationsantriebsschritt notwendig ist, um eine chemische Flüssigkeit zur Aufzeichnung auf dem Scheibensubstrat durch Drehung bei hoher Geschwindigkeit zu verteilen, nachdem die chemische Flüssigkeit zur Aufzeichnung, die durch Auflösen organischen, farbgebenden Materials/Materie in einer Lösung hergestellt wurde, bereitgestellt wurde. Des weiteren gibt es Fälle in denen ein weiterer Rotationsantriebsschritt notwendig ist, um ein flüssiges, schicht- bzw. filmbildendes Material auf dem Scheibensubstrat zu verteilen, um die lichtdurchlässige Schicht zu bilden, durch die Licht mit einer Wellenlänge von 405 nm oder in der Nähe von 405 nm mit einem hohen Durchlassvermögen dringt. Des Weiteren gibt es Fälle, in denen ein weiterer Rotationsantriebsschritt notwendig ist, um ein schützendes, flüssiges, schichtbildendes Material zu verteilen, um eine Schutzschicht zu bilden, welche die lichtdurchlässige Schicht oder Ähnliches schützt. In diesen Hochgeschwindigkeitsrotationsantriebsschritten ist es notwendig, dass flüssige Materialien, wie die chemische Flüssigkeit zur Aufzeichnung, das flüssige, schichtbildenden Material und das flüssige, schichtbildenden Material zum Schutz, die auf dem Scheibensubstrat bereitgestellt werden, eine sehr hohe Reinheit aufweisen. Falls kleine Partikel oder Blasen in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthalten sind, wird das Scheibensubstrat derart gebildet oder produziert, dass Partikeln oder Blasen wie Staub, sowie ungewünschten Auswirkungen auf Aufzeichnungs- oder Ausleseoperationen enthalten sind. Es wird allmählich verstanden, dass solche Einflüsse in vielen Fällen kein großes Problem für eine konventionelle optische Scheibe wie eine DVD darstellen, aber ein gravierendes Problem für die optische Scheibe zur Aufzeichnung mit hoher Dichte darstellen.

Daher ist, um das flüssige, schichtbildenden Material, das durch eine Drehung mit hoher Geschwindigkeit des Rotationsantriebs abgeschleudert oder abgeschüttelt wurde, in einer Bereitstellungsleitung für flüssiges, schichtbildendes Material, welche eine Düseneinrichtung zur Bereitstellung des oben beschriebenen flüssigen, schichtbildenden Materials auf dem Scheibensubstrat, das auf einem Montagedrehteller einer Rotationsantriebsvorrichtung wie einem Rotationsbeschichter (spin coater), montiert ist, mit einem Tank, in dem das flüssige, schichtbildenden Material vorgehalten wird (siehe zum Beispiel japanische Patentanmeldung, erste Veröffentlichung Nr. H06-124487 und Nr. H08-007347) verbindet, eine Filtereinrichtung vorgesehen. Innerhalb eines abgeschlossenen oder fest verschlossenen Behälter enthält die Filtereinrichtung eine Partikelentfernungseinrichtung, um in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthaltenen Partikel zu entfernen, und eine gasdurchlässige Membran, die nur Gas durchlässt, um Gas zu entfernen. Das flüssige, schichtbildende Material wird in den geschlossenen Behälter durch dessen Eingang geführt, passiert die oben beschriebene Partikelentfernungseinrichtung und die gasdurchlässige Membran, und wird durch einen Ausgang (siehe zum Beispiel japanische Patentanmeldung, erste Veröffentlichung Nr. H11-216338) herausgeführt. Nach der Reinigung, wie in der japanischen Patentanmeldung, erste Veröffentlichung Nr. H06-124487 beschrieben, wird das flüssige, schichtbildende Material über Leitungen, verschieden Ventile und der Düseneinrichtung an dem Scheibensubstrat bereitgestellt.

Ferner ist in der japanischen Patentanmeldung, erste Veröffentlichung Nr. 2004-275859 eine Bereitstellungseinrichtung für flüssiges Material beschrieben, die eine herkömmliche Funktionalität zur Entfernung von Blasen enthält. Diese Bereitstellungsvorrichtung für flüssiges Material enthält einen konkaven oder vertieften Abschnitt, der in einer sich verjüngenden Oberfläche mit einer runden, kegelförmigen Form ausgebildet ist, und einen zweiten Flüssigkeitspfad oder -kanal, der am unteren Ende des konkaven Abschnitts vorgesehen ist, um sich so hin zu einer Flüssigkeitsableiteinrichtung, -düse oder -öffnung zu erstrecken, wobei die Bereitstellungsvorrichtung für flüssiges Material derart gebildet ist, dass dieser zweite Flüssigkeitspfad einen zylindrischen, vorstehenden Abschnitt aufweist, der einstückig ausgebildet ist, um sich so hin zu dem Flüssigkeitsableitabschnitt, -düse oder -öffnung erstrecken. Falls ein großer Durchmesserabschnitt entlang dieses zweiten Flüssigkeitspfads vorgesehen ist, kann dies zu einer Stockung der Flüssigkeit führen und Luft einschließen. Ferner, falls es sehr kleine Lücken, Öffnungen oder Ähnliches gibt, wird Luft in das flüssige Material eingebracht. In Bezug auf den zweiten Flüssigkeitspfad gibt es in der japanischen Patentanmeldung, erste Veröffentlichung Nr. 2004-275859 keine großen Durchmesserabschnitte, Lücken, Öffnungen oder Ähnliches. Dadurch ist es möglich die Erzeugung von Blasen in dem flüssigen Material zu verhindern.

In herkömmlichen Vorrichtungen werden jedoch Partikel oder Blasen in den Leitungen oder Ventilen hinter einem Punkt erzeugt, an dem die Filtereinrichtung eingesetzt wurde, selbst wenn eine Filtereinrichtung mit einem hohen Filterwirkungsgrad verwendet wird, da die Filtereinrichtung in den Leitungen angeordnet ist, und es wurde beobachtet, dass diese Partikel oder Blasen in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthalten ist. Falls eine Filtereinrichtung mit einem hohen Filterwirkungsgrad verwendet wird ist es möglich, die meisten Partikel oder Blasen zu entfernen, und in vielen Fällen ergeben sich daraus kein schwerwiegenden Probleme für herkömmliche optische Scheiben, wie DVDs oder CDs. Es besteht jedoch die Möglichkeit, dass dies zu Problemen bei optischen Scheiben für Aufzeichnungen mit hoher Dichte führt, sowie eine Verschlechterung der Qualität oder der Güte hervorgerufen wird.

Vor diesem Hintergrund hat die vorliegende Erfindung das primäre Ziel, die Probleme des Standes der Technik zu lösen und eine Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben bereitzustellen, die optische Scheiben wie z.B. optische Scheiben für Aufzeichnungen mit hoher Dichte, wie z.B. DVDs oder CDs mit hoher Qualität herstellt.

Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben die enthält: eine Rotationsantriebsvorrichtung, die ein flüssiges, schichtbildendes Material, das auf einem Scheibenträgermaterial bereitgestellt wird, durch Drehen mit hoher Geschwindigkeit verteilt, eine Düseneinrichtung, von der das flüssige, schichtbildende Material auf dem Scheibenträgermaterial bereitgestellt wird, einen Bereitstellungsmechanismus für das flüssige, schichtbildende Material, der das flüssige, schichtbildende Material an der Düseneinrichtung bereitstellt, eine Auslegereinrichtung welche die Düseneinrichtung trägt oder stützt, und eine Düseneinrichtungsantriebseinrichtung. Diese Vorrichtung enthält ferner: ein Ein-/Aus-Ventil für flüssiges, schichtbildendes Material, das an einen Endabschnitt der Auslegereinrichtung angebracht ist und das wahlweise für eine Bereitstellung von flüssigen, schichtbildenden Material entweder den Bereitstellungsmechanismus für das flüssige, schichtbildende Material oder die Düseneinrichtung öffnet/schließt, und eine Filtereinrichtung, die lösbar zwischen dem Ein-/Aus-Ventil für flüssiges, schichtbildendes Material und der Düseneinrichtung angebracht ist. Durch diesen Aufbau kann die Vorrichtungen selbst kleine Partikel entfernen, die in dem Bereitstellungsmechanismus für das flüssige, schichtbildende Material erzeugt werden, und so eine flüssige Schicht von hoher Qualität auf dem Scheibensubstrat bilden.

Es ist möglich, dass das flüssige, schichtbildenden Material ein lichtdurchlässiges, schichtbildendes Material zur Bildung einer lichtdurchlässigen Schicht, ein schutzschichtbildendes Material zu Bildung einer Schutzschicht oder ein Haftmittel ist, um das Scheibensubstrat an ein anderes Scheibensubstrat anzuhaften.

Es ist möglich, dass die Filtereinrichtung enthält: einen Zuflussabschnitt, der lösbar an dem Ein-/Aus-Ventil für flüssiges, schichtbildendes Material angebracht ist und in den das flüssige, schichtbildende Material hinein fließt, einen Abflussabschnitt, der lösbar an der Düseneinrichtung angebracht ist und aus dem das flüssige, schichtbildende Material heraus fließt, und ein Filtermaterial das zwischen dem Zuflussabschnitt und dem Abflussabschnitt angeordnet ist, wobei das Filtermaterial das flüssige, schichtbildende Material das aus dem Zuflussabschnitt heraus fließt und in den Abflussabschnitt hinein fließt filtert.

Es ist möglich, dass die Filtereinrichtung ferner ein Gasauslassventil enthält, um Gas freizugeben welches sich innerhalb der Filtereinrichtung angesammelt hat oder gesammelt wurde.

Es ist möglich, dass das Gasauslassventil öffnet wenn das Ein-/Aus-Ventil für flüssiges, schichtbildendes Material geschlossen ist, um einen Fluss von flüssigen, schichtbildenden Material zu verhindern.

Es ist möglich, dass das Gasauslassventil elektrisch öffnet, basierend auf einem elektrischen Signal das ausgegeben wird, wenn das Gas, das sich innerhalb des Filterabschnitts angesammelt hat oder gesammelt wurde, einen vorbestimmten Wert überschreitet.

Es ist möglich, dass die Herstellungsvorrichtung, ferner eine Zeitgebereinrichtung zur Steuerung des Gasauslassventils enthält, wobei sich das Gasauslassventil, basierend auf Ausgangssignalen, die in einem bestimmten zuvor eingestellten Zeitintervall von der Zeitgebereinrichtung ausgegeben werden öffnet/schließt, um automatisch das Gas freizusetzen.

Es ist möglich, dass die Herstellungsvorrichtung, ferner eine Zähleinrichtung enthält, welche die Anzahl der Öffnungen/Schließungen des Ein-/Aus-Ventils für flüssiges, schichtbildendes Material zählt, und ein Ausgangssignal ausgibt, wenn die Anzahl der Öffnungen/Schließungen eine vorbestimmte Anzahl erreicht, wobei das Gasauslassventil basierend auf dem Ausgangssignal öffnet um automatisch das angesammelte oder gesammelte Gas innerhalb der Filtereinrichtung freizusetzen.

Es ist möglich, dass die Herstellungsvorrichtung ferner einen Massenstrommesser oder ein Manometer enthält, das in einer Leitung zwischen dem Bereitstellungsmechanismus für das flüssige, schichtbildende Material und dem Ein-/Aus-Ventil für das flüssige, schichtbildende Material angeordnet ist, wobei das Gasauslassventil öffnet, um automatisch das innerhalb der Filtereinrichtung angesammelte oder gesammelte Gas freizusetzen, falls ein Massenstrom des flüssigen, schichtbildenden Materials geringer als ein vorbestimmter Wert ist, wenn das Ein-/Aus-Ventil für das flüssige, schichtbildende Material geöffnet ist, oder falls ein Druck des flüssigen, schichtbildenden Materials geringer als ein vorbestimmter Wert ist, wenn das Ein-/Aus-Ventil für das flüssige, schichtbildende Material geöffnet ist.

Es ist möglich, dass die Herstellungsvorrichtung einen Filterbehälter in einem Flüssigkeitspfad des flüssigen, schichtbildenden Materials aufweist, der Filterbehälter einen Zuflussabschnitt, in den das flüssige, schichtbildende Material hinein fließt, und einen Abflussabschnitt, aus dem das flüssige, schichtbildende Material heraus fließt, aufweist, der Filterbehälter an einem Punkt zwischen dem Zuflussabschnitt und dem Abflussabschnitt geteilt ist, und der Filterbehälter ein Gasauslassventil aufweist, das auf Seiten des Zuflussabschnittes vorgesehen ist und welches Gas freisetzt das sich innerhalb der Filtereinrichtung angesammelt hat oder gesammelt wurde.

Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben enthaltend: eine Rotationsantriebsvorrichtung, die ein flüssiges, schichtbildendes Material, das auf einem Scheibenträgermaterial bereitgestellt wird, durch Drehen mit hoher Geschwindigkeit verteilt, eine Düseneinrichtung, von der das flüssige, schichtbildende Material auf dem Scheibenträgermaterial bereitgestellt wird, einen Bereitstellungsmechanismus für das flüssige, schichtbildende Material, der das flüssige, schichtbildende Material an er Düseneinrichtung bereitstellt, eine Auslegereinrichtung welche die Düseneinrichtung trägt oder stützt, wobei der Bereitstellungsmechanismus für das flüssige, schichtbildende Material aufweist: einen Filterbehälter im Flüssigkeitspfad des flüssigen, schichtbildenden Materials, ein Filtermaterial, welches den Filterbehälter an einem Punkt zwischen dem Zuflussabschnitt und dem Abflussabschnitt teilt, und ein Gasauslassventil das auf Seiten des Zuflussabschnittes vorgesehen ist, und welches Gas freisetzt das sich innerhalb der Filtereinrichtung angesammelt hat oder gesammelt wurde.

Es ist möglich, dass die Herstellungsvorrichtung eine Zeitgebereinrichtung zur Steuerung des Gasauslassventils enthält, wobei sich das Gasauslassventil öffnet/schließt, um automatisch das sich innerhalb des Filterbehälters angesammelte oder gesammelte Gas in zuvor bestimmten Zeitintervallen automatisch freizusetzen.

Es ist möglich, dass die Herstellungsvorrichtung ferner eine Zähleinrichtung enthält, welche die Anzahl der Öffnungen/Schließungen des Ein-/Aus-Ventils für flüssiges, schichtbildendes Material zählt und ein Ausgangssignal ausgibt, wenn die Anzahl der Öffnungen/Schließungen eine vorbestimmte Anzahl erreicht, wobei sich das Gasauslassventil basierend auf dem Ausgangssignal öffnet, um automatisch das angesammelte oder gesammelte Gas innerhalb der Filtereinrichtung freizusetzen.

Es ist möglich, dass die Herstellungsvorrichtung ferner einen Massenstrommesser oder ein Manometer enthält, das an einer Leitung zwischen dem Bereitstellungsmechanismus für das flüssige, schichtbildende Material und dem Ein-/Aus-Ventil für das flüssige, schichtbildende Material angebracht ist, wobei sich das Gasauslassventil öffnet, um automatisch das innerhalb des Filterbehälters angesammelte oder gesammelte Gas freizugeben, falls ein Massenstrom des flüssigen, schichtbildenden Materials geringer als ein vorbestimmter Wert ist, wenn das Ein-/Aus-Ventil für das flüssige, schichtbildende Material geöffnet ist, oder falls ein Druck des flüssigen, schichtbildenden Materials geringer als ein vorbestimmter wert ist, wenn das Ein-/Aus-Ventil für das flüssige, schichtbildende Material geöffnet ist.

Es ist möglich, dass das Ein-/Aus-Ventil für das flüssige, schichtbildende Material enthält: ein Gehäuse, welches enthält: einen vertieften Abschnitt, der durch eine sich verjüngende Oberfläche mit einer runden, kegelförmigen Form gebildet wird, einen ersten Flüssigkeitspfad, der sich von außen zu dem vertieften Abschnitt hin erstreckt, und einem zweiten Flüssigkeitspfad, der sich von einem unteren Ende des vertieften Abschnitts hin zu der Filtereinrichtung erstreckt, und eine Ventileinrichtung, welche eine Födereinrichtung aufweist, die den Volumenstrom des von dem ersten Flüssigkeitspfad zu dem zweiten Flüssigkeitspfad über den vertieften Abschnitt fließenden flüssigen Materials steuert, wobei die Fördereinrichtung eine sich verjüngende Oberfläche mit der gleichen Form und Steigung wie die sich verjüngende Oberfläche mit runder, kegelförmiger Form aufweist, und die sich verjüngende Oberfläche des Gehäuses und die sich verjüngende Oberfläche des Förderabschnitts nahe aneinander angeordnet sind.

Es ist möglich, dass ein größter Abschnitt der runden Form des Förderabschnitts einen Radius von 1–10 mm aufweist.

Es ist möglich, dass eine Länge des zweiten Flüssigkeitspfades 50 mm oder weniger beträgt.

Es ist möglich, dass der zweite Flüssigkeitspfad einen Radius von 0,2–2,0 mm aufweist.

Es ist möglich, dass ein Volumen eines gesamten Flüssigkeitspfades, bestehend aus dem zweiten Flüssigkeitspfad, einem Flüssigkeitspfad der Filtereinrichtung und dem Zuflussabschnitt 0,9 cm³ oder weniger beträgt.

1A ist eine Zeichnung die einen Umriss einer Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben nach einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.

1B ist eine Zeichnung die einen Umriss einer Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben nach einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.

2 ist eine vergrößerte Zeichnung, die einen Teil einer Düsenvorrichtung einer Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben nach der vorliegenden Erfindung zeigt.

3 ist eine Zeichnung, die ein Beispiel einer Ventileinrichtung zeigt, die in der vorliegenden Erfindung verwendet wird.

4 ist eine Zeichnung, die ein weiteres Beispiel der Ventileinrichtung zeigt, die in der vorliegenden Erfindung verwendet wird.

5 ist eine Zeichnung, die ein weiteres Beispiel der Ventileinrichtung zeigt, die in der vorliegenden Erfindung verwendet wird.

6 ist ein Querschnitt, der einen Abschnitt einer Düsenvorrichtung der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben zeigt, in der eine Filtereinrichtung mit einem Ein-/Aus-Ventil für flüssiges, schichtbildendes Material nach der vorliegenden Erfindung verbunden ist.

7 ist eine Zeichnung, die ein weiteres Beispiel eines Ein-/Aus-Ventils für flüssiges, schichtbildendes Material nach der vorliegenden Erfindung und einen Abschnitt einer Düsenvorrichtung der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben zeigt.

Nachfolgend werden bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Es wird darauf hingewiesen, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die folgenden Ausführungsformen oder -beispiele beschränkt ist, und dass es beispielsweise möglich ist, gestaltende Elemente der Ausführungsformen geeignet anzuordnen oder zu kombinieren.

Als erstes wird eine Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben nach einer ersten Ausführungsform, welche eine der besten Arten zur Ausführung ist, mit Bezug auf die 1–3 erläutert. Die 1A und 1B sind Zeichnungen, welche die Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben nach der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei 1A einen Teil der Vorrichtung zur Bildung einer flüssige Schicht zeigt, und 1B eine Bereitstellungseinrichtung für ein flüssiges, schichtbildendes Material der Vorrichtung zeigt. 2 ist ein teilweiser Querschnitt, der vergrößert ist, und der einen Abschnitt einer Düsenvorrichtung 3 des in 1A gezeigten Teils zu Bildung einer flüssigen Schicht zeigt. 3 ist ein Querschnitt, zur Erläuterung der Steuerung einer Filtereinrichtung 3E.

In 1A und 1B sind eine Rotationsantriebsvorrichtung 2 und die Düsenvorrichtung 3 auf einem Basisbauteil 1 angeordnet. Die Rotationsantriebsvorrichtung 2 ist eine im Allgemeinen verwendete Vorrichtung, die gebildet ist aus: einem Montagedrehteller 2A, auf dem ein Scheibensubstrat D montiert ist, einer Rotationsantriebseinrichtung 2B, der den Montagedrehteller 2A in eine hohe Drehgeschwindigkeit, wie beispielsweise 3.000 bis 10.000 U/min, versetzen kann, einer Abdeckeinrichtung 2C, die verhindert, dass das flüssige, schichtbildenden Material auf dem Scheibensubstrat D aufgrund einer Zentrifugalkraft oder Ähnlichen durch Spritzen abgeschleudert oder abgeschüttelt wird. Es wird daraufhingewiesen, dass die vorliegenden Erfindung weder ein Einsammelmechanismus für das flüssige, schichtbildenden Material noch Ähnliches nicht direkt betreffen. Daher wurden solche Einrichtungen nicht in den Figuren weggelassen. Eine Düsenvorrichtung 3, die beispielhafte Eigenschaften der vorliegenden Erfindung angibt, ist gebildet aus: einer Düsenantriebseinrichtung 3A, einer Antriebsachseneinrichtung 3B, die vertikal bewegt wird und in einem vorbestimmten Winkel durch die Düsenantriebseinrichtung 3A in Drehung versetzt wird, einer Auslegereinrichtung 3C, die an der Antriebsachseneinrichtung 3B im wesentlichen im rechten Winkel angebracht ist, einem Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material, das an einem Endabschnitt der Auslegereinrichtung 3C befestigt ist, einer Filtereinrichtung 3E, die lösbar an dem Ein/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material angebracht ist, einer Düseneinrichtung 3F, die in einem bevorzugten Fall lösbar an der Filtereinrichtung 3E angebracht ist oder Ähnlichem. Es wird darauf hingewiesen, dass ein Ventil zur Flussregulierung oder Ähnliches in den Zeichnungen weggelassen wurde.

Die Filtereinrichtung 3E ist klein und leicht, und enthält wie in 2 gezeigt: einen geschlossenen Behälter 3Ea, ein Filtermaterial 3Eb, vorgesehen um den geschlossenen Behälter 3Ea in zwei Teilbereiche zu teilen, Anschlussabschnitte 3Ec/3Ed, die an einem oberen Abschnitt und einem unteren Abschnitt ausgebildet sind, und einen Gasauslassöffnungsabschnitt 3Ee, der an einem oberen Abschnitt des geschlossenen Behälters 3Ea ausgebildet ist. Der Anschlussabschnitt 3Ec, der auf einer Einlassseite des Filterabschnitts 3Ea angeordnet ist kann leicht an einem zylindrischen, vorstehenden Abschnitt 3Db angebracht und davon gelöst werden. Der zylindrische, vorstehende Abschnitt hat eine sich verjüngende Oberfläche Tm, die leicht abgeschrägt oder geneigt ist, und die einen trapezförmigen Querschnitt hat. Der Anschlusseinrichtung 3Ec, der auf einer Einlassseite des Filterabschnitts 3Ea angeordnet ist, hat eine sich verjüngende Oberfläche Tf mit einer vertieften Form, um die sich verjüngende Oberfläche Tm des zylindrischen, vorstehenden Abschnitts 3Db aufzunehmen, und nahe zu umschließen. Es gibt einen geschraubten Anschlussabschnitt, um einen mechanisch festen Anschluss- oder Anhaftungszustand zwischen der sich verjüngenden Oberfläche Tm des zylindrischen, vorstehenden Abschnitts 3Db und dem Anschlussabschnitt 3Ec auf der Einlassseite der Filtereinrichtung 3E zu erhalten. Der geschraubte Anschlussabschnitt ist jedoch nicht in den Figuren gezeigt. Ferner hat der Anschlussabschnitt 3Ed, der auf einer Auslassseite der Filtereinrichtung 3E angeordnet ist, eine sich verjüngende Oberfläche tm, die leicht abgeschrägt oder geneigt ist, und welche einen trapezförmigen Querschnitt hat. Die Düseneinrichtung 3F hat einen Anschlussabschnitt 3Fa, der eine sich verjüngende Oberfläche tf in Form einer Vertiefung hat, um darin die sich verjüngende Oberfläche tm des Anschlussabschnitts 3Ed an einer Auslassseite der Filtereinrichtung 3E aufzunehmen und nahe zu umschließen, und die Düseneinrichtung 3F hat einen Düsenendabschnitt 3Fb, der einstückig mit der Anschlusseinrichtung 3F ausgebildet ist. Es wird bevorzugt, dass der Aufbau zwischen der Filtereinrichtung 3E und der Düseneinrichtung 3F wie oben beschrieben und leicht lösbar ist. Es ist jedoch möglich, dass die Filtereinrichtung 3E und die Düseneinrichtung 3F fixiert sind.

Andererseits ist eine Leitung 4A für einen Bereitstellungsmechanismus 4 für flüssiges, schichtbildendes Material, die in 1B gezeigt ist und aus einem flexiblen Material besteht, mit einem Eingangsabschnitt 3Da des Ein-/Aus-Ventils 3D für flüssiges, schichtbildendes Material verbunden. Diese Leitung 4A ist z.B. ein Schlauch, der das flüssige, schichtbildende Material von dem Bereitstellungsmechanismus 4 für flüssiges, schichtbildendes Material an dem Ein/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material bereit stellt, und ist aus einem flexiblen Material gefertigt, um einen Betrieb oder eine Bewegung der Düsenvorrichtung 3 nicht zu verhindern. Ein Endabschnitt der Leitung 4A erstreckt sich in den Behälter 4B hinein, um sich so bis zu einem unteren Ende des Behälters 4B zu erstrecken, von wo das flüssige, schichtbildende Material bezogen werden kann oder vorgehalten wird, wie zum Beispiel eine chemische Flüssigkeit für Aufzeichnungen, die durch Lösen von organischen, farbgebenden Material in einer Lösung erzeugt wird, ein flüssiges Material zur Bildung einer lichtdurchlässigen Schicht von vorbestimmter Dicke, einem Schutzmaterial, zum Schutz des optischen Scheibensubstrats oder eines Haftmittels, um zwei Scheibensubstrate aneinander zu haften. Innerhalb des Behälters 4B wird der Luftdruck, durch Zuführung von Luft oder Stickstoffgas aus einem Pumpmechanismus, der nicht in den Zeichnungen gezeigt ist, auf einen vorbestimmten Druck eingestellt, der höher als der atmosphärische Druck ist und das flüssige, schichtbildende Material wird unter Verwendung des Drucks gepresst und befördert. Eine Filtereinrichtung 4C, die Partikel und Blasen entfernt, die in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthalten sind, ist in der Mitte der Leitung 4A vorgesehen, und eine Gasauslassventil 4D, um das Gas, das sich in der Filtereinrichtung 4C gesammelt hat oder sich angesammelt hat, freizusetzen ist vorgesehen. Es wird darauf hingewiesen, dass ein Druckmechanismus zur Komprimierung des flüssigen, schichtbildenden Materials in den Zeichnungen weggelassen wird, da es keinen direkten Bezug zu der vorliegenden Erfindung gibt. Ferner, falls beide, der Behälter 4B und die Filtereinrichtung 4C, an vorbestimmten Positionen befestigt sind, und die Positionen sich nicht ändern, dann ist es nicht notwendig flexibles Material für die sie verbindende Leitung 4A zu verwenden. Die Filtereinrichtung 4C wird ungefähr aus einem Filterbehälter 4Ca und einem Filtermaterial 4Cb, das den Filterbehälter 4Ca in zwei Teilbereiche unterteilt, gebildet. Das Gas wird gesammelt oder sammelt sich auf einer Eingangsseite des Filterbehälters 4Ca für flüssiges, schichtbildendes Material, das einer oberen Seide des Filtermaterials 4Cb in der Zeichnung entspricht, und das Gas wird in der Luft durch Öffnen des Gasauslassventils 4D freigesetzt. Ein Gasauslassverfahren des Gasauslassventils 4D wird nachfolgend erläutert.

Ferner hat die Filtereinrichtung 3E einen Gasauslassöffnungsabschnitt 3Ee an einem oberen Abschnitt des geschlossenen Behälters 3Ea. Eine Gasauslassleitung 5 ist mit dem Gasauslassöffnungsabschnitt 3Ee verbunden, und ein Gasauslassventil 6 ist in der Mitte der Gasauslassleitung 5 vorgesehen. Das Gasauslassventil 6 ist ein allgemein verwendetes kleines Ventil, und wird aus einer Ein-/Aus-Einrichtung 6A und einer elektromagnetischen Antriebseinrichtung 6B, gebildet, welche die Ein-/Aus-Einrichtung 6A öffnet/schließt. Für eine einfachere Erklärung sind die Ein-/Aus-Einrichtung 6A und die elektromagnetischen Antriebseinrichtung 6B als unabhängige Einrichtungen gezeigt. Es bilden jedoch beide, die Ein-/Aus-Einrichtung 6A und die elektromagnetischen Antriebseinrichtung 6B, ein Gasauslassventil 6. Das Gasauslassventil 6 wird automatisch zur gegebenen Zeit entsprechend einer Ventilsteuereinrichtung 7 geöffnet oder geschlossen. Ferner ist das Gasauslassventil 6 an einer befestigbaren Platte fixiert, die nicht in den Zeichnungen gezeigt ist, wobei die befestigbare Platte vorzugsweise an der in 1 gezeigten Auslegereinrichtung 3C fixiert ist. Damit wird das Gasauslassventil 6 über die Auslegereinrichtung 3C entsprechend dem Ein-/Aus-Ventil 3D für das flüssige, schichtbildende Material, der Filtereinrichtung 3 und der Düseneinrichtung 3F betrieben. Der Betrieb der Ventilsteuereinrichtung 7 wird mit Bezug auf mehrere folgende Ausführungsformen beschrieben.

Als nächstes wird der Betrieb der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben erläutert. Am Beginn jedes Betriebsablaufes hält die Düsenvorrichtung 3 die Düseneinrichtung 3F an einem Startpunkt, der von der Rotationsantriebsvorrichtung 2 entfernt ist. Falls das Scheibensubstrat D auf dem Montagedrehteller 2A der Rotationsantriebsvorrichtung 2 durch eine Transferausleger, der nicht in den Zeichnungen gezeigt ist, montiert ist, fährt die Düsenantriebseinrichtung 3A der Düsenvorrichtung 3 die Antriebsachseneinrichtung 3E auf eine vorbestimmten Länge aus, dreht die Antriebsachseneinrichtung 3B um einen vorbestimmten Winkel, und verkürzt anschließend die Antriebsachseneinrichtung 3B um eine vorbestimmte Länge. Somit werden die Auslegereinrichtung 3C, das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material, der Filtereinrichtung 3E und die Düseneinrichtung 3F zusammen angetrieben und bewegt, und die Düseneinrichtung 3F stoppt an einer vorbestimmten Position über einer Oberfläche des Scheibensubstrat D in der Nähe des Mittelpunkts der Scheibe. Gleichzeitig dreht sich die Rotationsantriebseinrichtung 2B des Montagedrehtellers 2A mit geringer Geschwindigkeit, und entsprechend einem Ein-/Aus-Signal das an das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material von einer Ablaufsteuerung, die nicht in den Zeichnungen gezeigt ist, ausgegeben wird, wird das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material für eine vorbestimmte Zeit geöffnet. Das von dem Bereitstellungsmechanismus 4 für flüssiges, schichtbildendes Material bereitgestellte flüssige, schichtbildende Material wird donutförmig bzw. ringförmig an einer vorbestimmten Position auf dem Scheibensubstrat D bereit gestellt d.h. in Ringform von einem Ende der Düseneinrichtung 3F über das Ein/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material, der Filtereinrichtung 3E und der Düseneinrichtung 3F. Als nächstes dreht die Rotationsantriebseinrichtung 2B den Montagedrehteller 2A mit hoher Geschwindigkeit, wobei sich das flüssige, schichtbildende Material in Ringform auf dem Scheibensubstrat D ausbreitet und sich gleichmäßig über die gesamte Oberfläche aufgrund der Zentrifugalkraft erstreckt, wobei das überschüssige, flüssige, schichtbildende Material abgeschüttelt oder abgeschleudert wird. Auf die oben beschriebene Weise wird eine ebene Schicht von flüssigen, schichtbildenden Material auf dem Scheibensubstrat D gebildet.

Das auf diese Weise bereitgestellte flüssige, schichtbildende Material wird durch die Filtereinrichtung 4C gefiltert, nachdem es durch die Leitung 4A' von dem Behälter 4B, in dem das flüssige, schichtbildende Material vorgehalten wird, befördert wird, wobei kleine Partikel wie Staub und Blasen durch das Filtermaterial 4Cb entfernt werden, und das flüssige, schichtbildende Material wird an dem Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material über die flexible Leitungen 4A bereitgestellt. Es ist möglich, dass beispielsweise ein Ein-/Aus-Aufbau, der in einer anderen Anmeldung von dem gleichen Anmelder (Japanischen Patentanmeldung, erste Veröffentlichung Nr. 2004-275859) vorgeschlagen wurde, auf das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material angewendet wird. Wenn das von der Ablaufsteuerung, die nicht in den Zeichnungen gezeigt ist, ausgegebene Ein-/Aus-Signal dem Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material zugeführt wird, öffnet sich das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material um das flüssige, schichtbildende Material an der Filtereinrichtung 3E bereitzustellen. Wenn das Ein-/Aus-Signal stoppt, schließt sich das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material um die Bereitstellung des flüssigen, schichtbildenden Materials an der Filtereinrichtung 3E zu stoppen. Das an der Filtereinrichtung 3E bereitgestellte flüssige, schichtbildende Material wird durch das Filtermaterial 3Eb gefiltert. Es wird daraufhingewiesen, dass das flüssige, schichtbildende Material in den Behälter 4B Partikel und Blasen enthält. Wie oben beschrieben werden diese Partikel und Blasen durch die Filtereinrichtung 4C entfernt, wobei jedoch, falls es sehr kleine Partikel oder Blasen gibt, die nicht durch die Filtereinrichtung C entfernt werden können, diese Partikel und Blasen die Filtereinrichtung passieren und so die Erzeugung von neuen Partikel und Blasen hervorrufen, wenn sie das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material und die Leitung 4A passieren. In Bezug auf die optische Scheibe für Aufzeichnungen mit hoher Dichte ist es nicht möglich, diese neu erzeugten Partikel und Blasen und deren ungewünschten Einfluss auf die Qualität, zu vernachlässigen.

In der vorliegenden Erfindung werden die oben beschriebenen Partikel und Blasen, die in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthalten sind, kurz vor Erreichen der Düseneinrichtung 3F, unter Verwendung der Filtereinrichtung 3E, entfernt. Daher ist es möglich, das oben beschriebene Problem zu lösen, und es ist möglich optische Scheiben mit sehr hoher Qualität bereit zu stellen. Die durch die Filtereinrichtung gefilterten Blasen werden jedoch angesammelt oder sammeln sich an der Filtereinrichtung. Daher ist es notwendig die an der Filtereinrichtung gesammelten oder sich ansammelnden Blasen durch Öffnen des Gasauslassventils zur gegebenen Zeit freizusetzen. In dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird ein Aufbau angewendet, in dem die Ventilsteuereinrichtung 7 die elektromagnetischen Antriebseinrichtung 6B des Gasauslassventils 6 steuert, um er Ein-/Aus-Einrichtung 6A zur gegebenen Zeit zu öffnen/zu schließen. Mit Bezug auf 3 ist ein Beispiel einer Ventilsteuereinrichtung 7 gezeigt. In diesem Beispiel wird das Gasauslassventil 6 wiederholt oder periodisch in einem vorbestimmten Intervall unter Verwendung einer Zeitgebervorrichtung 8 geöffnet, um das angesammelte Gas freizusetzen. Diese Zeitgebervorrichtung 8 wird gebildet aus: einer Takteinrichtung 8A, um die Betriebszeit der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben zu Takten, einer Zeiteinstelleinrichtung 8B, um ein Öffnungs-/Schließ-Intervall T einzustellen, und einer Vergleicheinrichtung 8C, welche die durch die Takteinrichtung getaktete Zeit und das vorbestimmte Intervall miteinander vergleicht. Das durch die Zeiteinstelleinrichtung 8B eingestellte Öffnungs-/Schließ-Intervall T ist eine vorbestimmte Zeit, die zuvor, durch beobachten des Beginns eines ungewünschten Einflusses auf eine Bereitstellung des flüssigen, schichtbildenden Materials durch die Düseneinrichtung, aufgrund von Blasen die sich an der Filtereinrichtung in Relationen zu einer Betriebszeit der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben angesammelt haben, bestimmt wurde.

Wenn die Herstellungsvorrichtung für optische Platten ihren Betrieb aufnimmt wird ein Betriebssignal an die Zeitgebervorrichtung 8 ausgegeben und die Takteinrichtung 8A führt den Taktbetrieb aus. Wenn der Betrieb der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben angehalten wird, wird der Taktbetrieb angehalten und die gemessene Zeit wird beibehalten, und wenn der Betrieb der Herstellungsvorrichtung für optische Platten wieder aufgenommen, wird der Taktbetrieb wieder aufgenommen um anzusteigen oder erhöht zu werden. Wenn der angegestiegene/erhöhte Takt das offen/geschlossen Intervall die elektromagnetische Antriebseinrichtung 6B des Gasauslassventils 6. Entsprechend diesem Betrieb gibt die elektromagnetische Antriebseinrichtung 6B einen Befehl zum Öffnen der Ein-/Aus-Einrichtung 6A für eine vorbestimmte Zeit aus, und danach wird die Ein-/Aus-Einrichtung 6A geschlossen. Während die Ein-/Aus-Einrichtung 6A geöffnet ist, wird das an der Filtereinrichtung 3E angesammelte oder gesammelte Gas über die Gasauslassleitung 5 und das Gasauslassventil 6 freigesetzt. In diesem Betrieb wird, um einen ungewünschten Einfluss auf eine Bereitstellung des flüssigen, schichtbildenden Materials an der Düseneinrichtung 3F, zu verhindern, wie mit einer gestrichelten Linie gezeigt, während das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material entsprechend dem zugeführten Signal an das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material geöffnet, ist vorzugsweise die elektromagnetische Antriebseinrichtung 6B entsprechend dem empfangenen Signal nicht in Betrieb. Ferner wird das Ausgangssignal von der Vergleichseinrichtung 8C an die Takteinrichtung 8A als ein Rücksetzsignal bereitgestellt, und ein berechneter Wert für den Takteinrichtung 8A wird auf Null gesetzt. Wie oben beschrieben steuert die Ventilsteuereinrichtung 7, die wie in 3 aufgebaut ist, derart, dass das Gasauslassventil 6 geöffnet wird, um das sich in der Filtereinrichtung 3E gesammelte oder ansammelnde Gas freizusetzen, wenn die Betriebszeit der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben die vorbestimmte Zeit erreicht hat.

Als nächstes wird eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert. Der Aufbau einer Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben dieser Ausführungsform ist ungefähr der gleiche wie der der ersten Ausführungsform, und wird mit Bezug auf die 1, 2 und 4 erläutert. Wie in der ersten Ausführungsform erläutert, wird zu Beginn des Betriebsablaufes der Düsenvorrichtung 3 die Düseneinrichtung 3F auf einen Startpunkt, der von der Rotationsantriebsvorrichtung 2 verschieden ist eingestellt, und dort gehalten. Falls das Scheibensubstrat D auf dem Montagedrehteller 2A der Rotationsantriebsvorrichtung 2 durch eine Transferausleger, der nicht in den Zeichnungen gezeigt ist, montiert ist, dehnt die Düsenantriebseinrichtung 3 der Düsenvorrichtung 3F, entsprechend einem Signal einer Ablaufsteuerung, die nicht in den Zeichnungen gezeigt ist, die Antriebsachseneinrichtung 3B auf eine vorbestimmte Länge, dreht die Antriebsachseneinrichtung 3B um einen vorbestimmten Winkel, um danach die Antriebsachseneinrichtung 3B um eine bestimmte Länge zu verkürzen. Daher wird die Auslegereinrichtung 3C, das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material, die Filtereinrichtung 3E und die Düseneinrichtung 3F zusammen betrieben und bewegt, und die Düseneinrichtung 3F stoppt bei einer vorbestimmten Position über einer Oberfläche des Scheibensubstrat D. Als nächstes bewegt die Düsenantriebseinrichtung 3A die Antriebsachseneinrichtung 3B in eine horizontale Richtung in den Zeichnungen und in eine senkrechte Richtung oder in eine Richtung von hinten nach vorne in den Zeichnungen, mit anderen Worten, in x-y Richtung, und es ist möglich die Düseneinrichtung 3F kreisförmigen entlang einem inneren Kantenabschnitt über dem Scheibensubstrat D zu bewegen. Gleichzeitig mit dieser Drehung, entsprechend einem Ein-/Aus-Signal, welches an das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material von einer Ablaufsteuerung, die nicht in Zeichnung gezeigt ist, ausgegeben wird, wird das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material für eine vorbestimmte Zeit geöffnet, um das flüssige, schichtbildende Material auf einer Oberfläche in der Nähe des Zentrums des Scheibensubstrat D bereitzustellen, so dass eine Ringform von einem Ende der Düseneinrichtung 3F über das Ein/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material, die Filtereinrichtung 3E und die Düseneinrichtung 3F entsteht. Es ist möglich anstelle der Düseneinrichtung 3F den Montagedrehteller 2A mit geringer Geschwindigkeit zu drehen. Als nächstes dreht die Rotationsantriebsvorrichtung 2 den Montagedrehteller 2A mit hoher Geschwindigkeit, wodurch sich das flüssige, schichtbildende Material in Ringform auf dem Scheibensubstrat D ausdehnt und gleichmäßig über die gesamte Oberfläche, aufgrund der Zentrifugalkraft, verteilt, und das überflüssige, flüssige, schichtbildende Material abgeschüttelt oder abgeschleudert wird. Auf die oben beschriebene Weise wird eine ebene Schicht aus flüssigen, schichtbildenden Material auf dem Scheibensubstrat D gebildet. Im Bezug auf andere Punkte dieser Ausführungsform gibt es kleine Unterschiede im Aufbau und dem entsprechenden Betrieb der Ventilsteuereinrichtung 7. Aufgrund dessen wird auf Erläuterungen verzichtet.

Diese zweite Ausführungsform wird von einem Blickpunkt basierend auf Wissen und Erfahrung erläutert, bei dem, da die Gesamtmenge des flüssigen, schichtbildenden Materials, das durch die Düseneinrichtung 3F auf dem Scheibensubstrat D bereitgestellt, wird proportional zu der Anzahl der Öffnungen/Schließungen des Ein-/Aus-Ventils 3D für flüssiges, schichtbildendes Materials ist, auch die Gesamtmenge des flüssigen, schichtbildenden Materials, das durch die Filtereinrichtung 3E gefiltert wird, proportional zu der Anzahl der Öffnungen/Schließungen des Ein-/Aus-Ventils 3D für flüssiges, schichtbildendes Materials ist. Daher stellt diese Ausführungsform bereit: Eine Zählereinrichtung 9A, welche die Anzahl der empfangenen Ein-/Aus-Signale zum Öffnen/Schließen des Ein-/Aus-Ventils 3D für flüssiges, schichtbildendes Materials zählt oder berechnet, eine Anzahleinstelleinrichtung 9B, die eine vorbestimmte Anzahl N einstellt, und eine Vergleichereinrichtung 9C, welche die von der Zählereinrichtung 9A erhaltene, gezählte Zahl mit der aus der Anzahleinstelleinrichtung 9B ausgelesene Zahl vergleicht, und ein Ausgangssignal erzeugt, falls die gezählte Anzahl größer ist als die vorbestimmte Anzahl N. Die Anzahl der Öffnungen/Schließungen des Ein-/Aus-Ventils 3D für flüssiges, schichtbildendes Materials, die dem Beginn von ungewünschten Einflüssen aufgrund von Blasen entsprechen, die sich an der Filtereinrichtung 3E ansammeln, während das flüssige, schichtbildende Material durch die Düseneinrichtung 3F bereitgestellt wird, wird im Voraus gezählt. Die vorbestimmte Anzahl N der Anzahleinstelleinrichtung 9B wird so eingestellt, dass sie kleiner ist oder gerade ein bisschen kleiner ist als die im Voraus gezählte Anzahl der Öffnungen/Schließungen des Ein-/Aus-Ventils 3D für flüssiges, schichtbildendes Material.

Nach Beginn des Betriebs der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben, wie oben beschrieben, wird jedes Mal wenn das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material geöffnet/geschlossen wird, das flüssige, schichtbildende Material auf dem Scheibensubstrat D von der Düseneinrichtung 3F bereitgestellt, und das flüssige, schichtbildende Material, welches das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material passiert wird durch die Filtereinrichtung 3E gefiltert. Dadurch werden, obwohl es nur eine sehr geringe Menge ist, Blasen allmählich gesammelt oder sammeln sich an der Filtereinrichtung 3E des geschlossenen Behälters 3Ea, und sehr kleine Partikel, wie z.B. Staub werden allmählich gesammelt oder sammeln sich an dem Filtermaterial 3Eb. Während das Bereitstellen des flüssigen, schichtbildenden Materials an das Scheibensubstrat D von der Düseneinrichtung 3F viele Male wiederholt wird, gibt die Vergleichereinrichtung 9C ein Ausgangssignal mit einer vorbestimmten Pulsweite an die elektromagnetischen Antriebseinrichtung 6B des Gasauslassventils 6 aus, wenn die durch die Zähleinrichtung 9A gezählte Anzahl N eine vorbestimmte Anzahl N1 überschreitet, die zuvor in der Anzahleinstelleinrichtung 9B eingestellt wurde. Entsprechend diesem Ausgangssignal öffnet die elektromagnetische Antirebseinrichtung 6B die Ein-/Aus-Einrichtung 6A für ein vorbestimmtes Intervall, und schließt danach die Ein-/Aus-Einrichtung 6A. Während die Ein-/Aus-Einrichtung 6A geöffnet ist, wird das in der Filtereinrichtung 3E gesammelte oder ansammelnde Gas über die Gasauslassleitung 5 und das Gasauslassventil 6 freigesetzt. Bei diesem Betrieb wird, um irgendwelche ungewünschten Einflüsse von der Düseneinrichtung 3F auf die Bereitstellung des flüssigen, schichtbildenden Materials zu vermeiden, vorzugsweise ein Aufbau angewendet, bei dem die elektromagnetische Antriebseinrichtung 6B nicht betrieben wird während das Ein-/Aus-Signal an das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material ausgegeben wird, und das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material geöffnet ist. Mit anderen Worten wird bevorzugt, dass das Gasauslassventil 6 geöffnet wird, während das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material geschlossen ist, das heißt, während von der Düseneinrichtung 3F kein flüssiges, schichtbildendes Material abgegeben wird. Es sollte darauf hingewiesen werden, dass die Zähleinrichtung 9A entsprechend dem Ausgangssignal von der Vergleichereinrichtung 9C zurückgesetzt wird, und der Zählbetrieb von einem Anfangswert aus fortgesetzt wird.

Ferner stellt diese Ausführungsform eine zweite Zähleinrichtung 10, die einen ähnlichen Aufbau wie die Zähleinrichtung 9 hat, und eine Alarmeinheit 11 bereit. Wie oben beschrieben, werden, während ein Bereitstellungsbetrieb des flüssigen, schichtbildenden Materials an dem Scheibensubstrat D durch die Düseneinrichtung 3F viele Male wiederholt wird, sehr kleine Partikel, wie z.B. Staub in dem Filtermaterial 3Eb langsam gesammelt oder sammeln sich an. Daher ist es notwendig die Filtereinrichtung durch eine neue Filtereinrichtung zu ersetzen, bevor ungewünschte Einflüsse auf das flüssige, schichtbildende Material durch die Düseneinrichtung 3F entstehen. Aufgrund dieser Notwendigkeit, nimmt die zweite Zähleinrichtung 10 die an das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material ausgegebenen Ein-/Aus-Signale auf und zählt diese, und gibt ein Ausgangssignal an die Alarmeinheit 11 aus, falls das gezählte Ergebnis eine vorbestimmte Anzahl N2, die zuvor eingestellt wurde, erreicht. Die voreingestellte Anzahl N2 ist eine Zahl, die zuvor, basierend auf dem Betrieb der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben, berechnet und erhalten wurde, und ist eine größere Zahl als die voreingestellte Anzahl N1 der Zähleinrichtung 9. Die Alarmeinheit 11 ist eine allgemein verwendete Einrichtung, wie beispielsweise eine Leuchtdiode, eine Lampe, ein Summer, eine Einheit, die einen Alarm über einen PC eines Anwenders auslöst, oder einer Kombination davon. Wenn die Alarmeinheit 11 einen Alarm ausgibt, ersetzt der Anwender die Filtereinrichtung 3E.

Der Ersetzungsbetrieb wird in den folgenden Schritten ausgeführt. Der Anschlussabschnitt 3Ec an einer Einlassseite der Filtereinrichtung 3E aus 2 wird von dem zylindrischen, vorstehenden Abschnitt 3Db gelöst. Dabei werden erst die geschraubten Anschlussabschnitte des Anschlussabschnitts 3Ec und des zylindrischen, vorstehenden Abschnitts 3Db, die nicht in den Zeichnungen gezeigt sind, abgeschraubt und gelöst, und danach ist es leicht möglich die sich verjüngende Oberfläche Tf aus einer vertieften Form eines Anschlussabschnitts 3Ec von der sich verjüngenden Oberfläche Tm eines zylindrischen, vorstehenden Abschnitts 3Ed zu lösen. Auf die gleiche Weise wird der Anschlussabschnitt 3Fa der Düseneinrichtung 3F von dem Anschlussabschnitt 3Ed an einer Auslassseite der Filtereinrichtung 3E gelöst. Eine neue Filtereinrichtung wird als Ersatz eingesetzt, die Düseneinrichtung 3F wird an der neuen Filtereinrichtung 3E wie oben beschrieben angebracht, und die neue Filtereinrichtung 3E wird an dem Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material angebracht. Entsprechend dieser Vorgehensweise ist es möglich, die Filtereinrichtung 3E zu einer gegebenen Zeit zu ersetzen, bevor ungewünschte Einflüsse auf die Bereitstellung des flüssigen, schichtbildenden Materials an der Düseneinrichtung 3F auftreten.

Als nächstes wird ein drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung erläutert. Der Aufbau einer Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben ist ungefähr der gleiche wie in dem ersten Ausführungsbeispiel und dem zweiten Ausführungsbeispiel, und nur die Ventilsteuereinrichtung 7 und der Betrieb der Ventilsteuereinrichtung 7 sind von dem ersten und zweiten Ausführungsbeispiel verschieden. Daher wird auf eine Beschreibung von anderen Einrichtungen als der Ventilsteuereinrichtung 7 und dem Betrieb der Ventilsteuereinrichtung 7 verzichtet. In dieser Ausführungsform wird anstelle der in 2 gezeigten Ventilsteuereinrichtung 7 die Ventilsteuereinrichtung 7 aus 4 verwendet. In 4 ist ein Massenstrommesser 12 (Durchflussmesser) in der Leitung 4A angeordnet, die das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material und die in 1 gezeigte Filtereinrichtung 4C miteinander verbindet. Der Massenstrommesser 12 misst ein Durchflussvolumen des flüssigen, schichtbildenden Materials, das durch die Leitung 4A fließt. Während das Gas sich allmählich in der Filtereinrichtung 3E des geschlossenen Behälters 3Ea ansammelt oder gesammelt wird, steigt im Folgenden ein Druck innerhalb des geschlossenen Behälters 3Ea an. Daher ist es bekannt, dass eine Durchflussmenge des flüssigen, schichtbildenden Materials, das innerhalb der Leitung 4A fließt, reduziert wird. In der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird das Gasauslassventil 6 zur gegebenen Zeit, basierend auf diesem Effekt, geöffnet.

Wenn das Signal zum Öffnen/Schließen (hoher Pegel) angelegt wird, wird das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material geöffnet, und das flüssige, schichtbildende Material fließt in der Leitung 4A. Der hier verwendete Massenstrommesser 12 misst die Durchflussmenge während der Zeit, in der das Signal zum Öffnen/Schließen angelegt ist. Es ist auch möglich, das der Massenstrommesser 12 eine Funktion zur Addition oder Berechnung des Durchflussvolumens für eine bestimmte Anzahl, wie z.B. 10 Ein-/Aus-Signale hat, um das Durchflussvolumen genau zu messen. Ein durch den Massenstrommesser 12 gemessener Wert, der das Durchflussvolumen des flüssigen, schichtbildenden Materials, das in der Leitung 4A fließt angibt, wird durch einen elektrischen Durchflusssignalwandler 13 in ein elektrisches Signal umgewandelt, welches die Durchflussmenge des flüssigen, schichtbildenden Materials angibt. Die Vergleichseinrichtung 15 empfängt dieses elektrische Signal via einer Toreinheit 14.

Die Toreinheit 14 hat einen Aufbau derart, dass ein Tor geschlossen ist, falls das Ein-/Aus-Signal (hoher Pegel) an das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material angelegt wird, und das Tor geöffnet ist, um das elektrische Signal nur dann durchzulassen, wenn das Ein-/Aus-Signal (niedriger Pegel) nicht an das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material angelegt wird.

Die Vergleichereinrichtung 15 vergleicht das elektrische Signal, das einem Wert entspricht, welcher das Durchflussvolumen des flüssigen, schichtbildenden Materials angibt, mit einem vorbestimmten Wert, der zuvor in einer Durchflussvolumeneinstelleinrichtung 16 eingestellt wurde. Danach, falls der erste Wert geringer ist als der letzte Wert, gibt die die Vergleichereinrichtung 15 ein Ausgangssignal an das Gasauslassventil 6 aus. Wenn das Gasauslassventil 6 dieses Signal empfängt, öffnet das Gasauslassventil 6 und das Gas, das sich innerhalb des geschlossenen Behälters 3Ea der Filtereinrichtung 3E angesammelt hat, oder gesammelt wurde, wird freigesetzt. Während das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material geöffnet ist, und das flüssige, schichtbildende von der Düseneinrichtung 3F dem Scheibensubstrat D bereitgestellt wird, wird das Gasauslassventil 6 nie durch die Toreinheit 14 geöffnet. Daher gibt es keine ungewünschten Einflüsse auf die Bereitstellung des flüssigen, schichtbildenden Materials. In dieser Ausführungsform ist es möglich, eine Zeitgebereinrichtung 10 und eine Alarmeinheit 11, wie in 4 gezeigt, vorzusehen.

Falls das Gasauslassventil, das den gleichen Aufbau wie das Gasauslassventil 6 hat, auf das Gasauslassventil 4D der Bereitstellungseinrichtung 4 für flüssiges, schichtbildendes Material angewendet wird, und falls ferner eine Ventilsteuereinrichtung den gleichen Aufbau wie in 3–5 gezeigt hat auf die Ventilsteuereinrichtung 7 angewendet wird, ist es möglich das Gas, das sich an dem Filterbehälter 4Ca der Filtereinrichtung 4C angesammelt hat oder gesammelt wurde, automatisch durch Öffnen des Gasauslassventils 4D zur gegebenen Zeit freizusetzen. Ferner, falls grundlegende Elemente wie z.B. die in 4 gezeigte zweite Zähleinrichtung 10 und die Alarmeinheit 11 vorgesehen sind, ist es möglich, einen Alarm auszulösen, um auf einen Zeitpunkt zur Ersetzung der Filtereinrichtung 4C hinzuweisen. Ferner ist es in der ersten Ausführungsform möglich, dass die Ventilsteuereinrichtung 7 eine zweite Zeitgebereinrichtung, ähnlich der Zeitgebereinrichtung 8, und eine Alarmeinrichtung vorsieht, und es möglich ist, auf einen Zeitpunkt zur Ersetzung der Filtereinrichtung hinzuweisen wenn die Betriebszeit eine vorbestimmte Zeit überschreitet.

Unter den organischen, farbgebenden Materiallösungen, inklusive des organischen, farbgebenden Materials, das zur Bildung der Aufzeichnungsschicht mit flüssigen, schichtbildenden Material verwendet wird, des flüssigen Materials zur Bildung der lichtdurchlässigen Schicht, dem Schutzmaterial zum Schutz der optischen Scheibe und dem Haftmittel, um Scheibensubstrate aneinander zu haften, gibt es, darauf soll hingewiesen werden, eine Variation in der Materialqualität, Viskosität, enthaltenen Partikeln und der Anzahl an Blasen. Daher sind im dem oben beschriebenen vorbestimmten Intervall die vorbestimmte Anzahl, ein vorbestimmtes Durchflussvolumen und ähnliches sehr verschieden, und es wird keine Offenbarung bezüglich konkreten Wertebeispielen oder Zahlen gegeben. Ferner, falls das flüssige, schichtbildende Material, das nach Verwendung in der Rotationsantriebsvorrichtung 2 gesammelt wurde, nicht wieder verwendet wird, können die Partikel und Blasen, die in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthalten sind, reduziert werden. Somit ist es möglich beides, die Filtereinrichtung 4C und das Gasauslassventil 4D in dem Bereitstellungsmechanismus 4 für flüssiges, schichtbildendes Material wegzulassen. Ferner ist es möglich, dass beide, die Filtereinrichtung 3E und die Düseneinrichtung 3F einstückig gebildet werden. In diesem Fall werden beide, die Filtereinrichtung 3E und die Düseneinrichtung 3F ersetzt, wenn eines von beiden ersetzt werden muss.

Als nächstes wird eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert. 6 zeigt einen Querschnitt, der einen Anteil einer Düseneinrichtung der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben zeigt, bei dem die Filtereinrichtung 3E mit dem Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material verbunden ist. Dieses Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material hat beides, einen ersten Flüssigkeitspfad 22, der innerhalb des Gehäuses 21 ausgebildet ist und einen zweiten Flüssigkeitspfad, der an einem unteren Abschnitt einer runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25, entlang einer längeren Richtung oder einer Längsrichtung des Gehäuses 21 ausgebildet ist. Der erste Flüssigkeitspfad 22 ist zum Transport und Befördern des flüssigen, schichtbildenden Materials vorgesehen, das durch den Bereitstellungsmechanismus 4 für flüssiges, schichtbildendes Material bereit gestellt wird. Der zweite Flüssigkeitspfad 22 stellt den zylindrischen, vorstehen Abschnitt 3Db bereit, der eine Auslasseinrichtung 6C hat.

Ferner hat in 6 ein Förderabschnitt 23a einer Ventileinrichtung 23 eine runde, kegelförmige und sich verjüngende Oberfläche 2ts, die einer runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25 des Gehäuses 21 gegenüberliegt, und die eine Steigung oder Neigung gleich der runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25 hat. Ein Bestimmungsmechanismus 24' für einen Ventileinrichtungsbetriebsbereich ist vorgesehen, um, durch Anpassen eines Hubs der Fördereinrichtung 23a, d.h. eines Betriebsbereichs, ein Durchflussvolumen des flüssigen, schichtbildenden Materials anzupassen und ist aus einem Anpassantriebsabschnitt 24'a und einem Einstellblockabschnitt 24'b gebildet. Das Gasbereitstellungsventil und das Gasauslassventil, die nicht in den Zeichnungen gezeigt sind, sind mit ein er Luftkammer 2S verbunden, und es ist möglich, die Ventileinrichtung 23 durch Anpassen des Drucks innerhalb der Luftkammer 2S zu steuern. Es ist möglich, einen Spalt oder Abstand zwischen der sich verjüngenden Oberfläche 2ts der Fördereinrichtung 23a und der sich verjüngenden Oberfläche 25, die auf dem Gehäuse 25 ausgebildet ist, mit hoher Genauigkeit durch Steuerung der Ventileinrichtung 23 einzustellen.

In Bezug auf die Steuerung des Spalts oder des Abstands zwischen der sich verjüngende Oberfläche 2ts und der runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25 wird beispielsweise, falls der Druck in der Luftkammer 2S hoch ist, die Fördereinrichtung 23a nach unten gedrückt, Steuerung des Spalts oder des Abstands zwischen der sich verjüngende Oberfläche 2ts und der runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25 wird bestimmt, und die Menge an flüssigen, schichtbildenden Material, die von dem ersten Flüssigkeitspfad 22 bereit gestellt und die durch die Auslasseinrichtung 6C ausgestoßen wird, wird reduziert. Ferner, wenn der Druck in der Luftkammer 2S verringert wird, wird die Fördereinrichtung 23a durch den Effekt bzw. die Auswirkung einer Blattfedereinrichtung 23b angehoben. Dadurch wird der Spalt oder der Abstand zwischen der sich verjüngenden Oberfläche 2ts und der runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25 erweitert oder vergrößert. Dadurch wird die Menge an flüssigen, schichtbildenden Material, das von dem ersten Flüssigkeitspfad 22 bereit gestellt und das durch die Auslasseinrichtung 6C ausgestoßen wird, erhöht.

Des Weiteren ist die Fördereinrichtung 23a der Ventileinrichtung 23 in 6 aus Fluorkohlenstoff Polymeren oder Fluorkohlenstoff Harzen hergestellt, und in einer runden, konischen Form ausgebildet. Der maximale Radius der runden, konischen Form liegt in dem Bereich von 1 mm–10 mm. Durch die Verwendung einer solchen Form ist die Berührungsfläche der runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25 des Gehäuses 21 größer als in herkömmlichen Fällen. Daher ergibt sich ein signifikanter Effekt, da das flüssige, schichtbildende Material nicht in kurzer Zeit ausläuft, selbst falls Kratzer oder Beschädigungen an der sich verjüngende Oberfläche 2ts und der runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25 durch harte externe oder fremde Materie, die in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthalten ist, auftreten.

Ferner ist in 6 ein zylindrischer, vorstehender Abschnitt 3Db vorgesehen, der aus dem Gehäuse 21 von einer gegenüberliegenden Seite der runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25 derart hervorsteht, dass der zylindrische, vorstehende Abschnitt 3Db sich den Abschnitt des zweiten Flüssigkeitspfads 26, der sich von der unteren Position der der runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25 und gerade durch das Gehäuse 21 erstreckt, teilt oder diesem zugewiesen ist. Der zylindrische, vorstehende Abschnitt 3Db ist einstückig mit dem Gehäuse 21 ausgebildet und aus einem Material aus Polyethylen mit einem ultrahohen Molekulargewicht gefertigt. Die Länge des zweiten Flüssigkeitspfads 26 inklusive des zylindrischen, vorstehenden Abschnitts 3Db, der auf dem Gehäuse 21 ausgebildet ist, beträgt 50 mm oder weniger, wobei die Länge vorzugsweise 30 mm oder weniger beträgt. Der Radius des zweiten Flüssigkeitspfads 26 liegt in dem Bereich von 0,2 mm–2,0 mm, wobei der Radius vorzugsweise in dem Bereich von 0,4 mm–0,75 mm liegt.

Hier ist die Filtereinrichtung 3E lösbar an dem zylindrischen, vorstehenden Abschnitt 3Db angebracht. Ein Flüssigkeitspfad 20A der Filtereinrichtung 3E hat den gleichen Radius wie der zweite Flüssigkeitspfad 26 des Ein-/Aus-Ventils 3D für flüssiges, schichtbildendes Material. Das flüssige, schichtbildende Material wird direkt an eine Einlasseinrichtung 20B der Filtereinrichtung 3E durch den zweiten Flüssigkeitspfad 26 und den Flüssigkeitspfad 20A der Filtereinrichtung 3E bereitgestellt, da der Flüssigkeitspfad 20A der Filtereinrichtung 3E und der zweite Flüssigkeitspfad 26 den gleichen Radius aufweisen.

Das Volumen eines gesamten Flüssigkeitspfades, bestehend aus dem zweiten Flüssigkeitspfad 26, dem Flüssigkeitspfad 20A der Filtereinrichtung 3E und einer Einlasseinrichtung 20B, liegt im Bereich vom 0,9 cm³ oder weniger und liegt vorzugsweise im Bereich von 0,2 cm³ oder weniger. Es besteht keine Möglichkeit, dass in diesen Flüssigkeitspfaden ein Stocken eintritt oder Luft eingeschlossen wird. Damit gibt es keine Möglichkeit, dass die Ausstoßgenauigkeit für flüssiges, schichtbildendes Material verschlechtert werden kann, und es gibt keine Möglichkeit, dass Blasen in dem ausgestoßenen flüssigen, schichtbildenden Material enthalten sind. Es gibt im Besonderen einen signifikanten Effekt dahingehend, dass es möglich ist, ein flüssiges, schichtbildendes Material mit einer Viskosität von 0,3–30 cP bei 0,05 ml/s oder mehr stabil auszustoßen.

Des Weiteren ist in dieser Ausführungsform, wie in 6 gezeigt, der erste Flüssigkeitspfad 22 so ausgebildet, dass er sich derart erstreckt, dass er eine Stelle der runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 25 des Gehäuses 21 erreicht, mit anderen Worten, ist der erste Flüssigkeitspfad 22 an einer Stelle gegenüber der runden, kegelförmigen, sich verjüngenden Oberfläche 2ts ausgebildet. Somit öffnet und schließt die runde, kegelförmige, sich verjüngende Oberfläche 2ts der Fördereinrichtung 23a direkt den ersten Flüssigkeitspfad 22 und den zweiten Flüssigkeitspfad 26. Daher ist es möglich, den ersten Flüssigkeitspfad 22 und den zweiten Flüssigkeitspfad 26 nicht nur mit einer kurzen Verzögerung, sondern auch zuverlässig zu öffnen/zu schließen, was zu einem signifikanten Vorteil führt, da es möglich ist, die Zufuhr von flüssigen, schichtbildenden Material mit hoher Genauigkeit zu beginnen und zu beenden. Dies führt zu dem Effekt, dass es möglich ist, Unterschiede an angestoßenen, flüssigen, schichtbildenden Material zu verhindern, was im Stand der Technik zu einem Problem führt, wenn ein Filter oder Ähnliches nahe an der Auslasseinrichtung 6C angeordnet ist. Ferner ist es möglich, die Antwortzeit auf ein Anhalten der Bereitstellung des flüssigen, schichtbildenden Materials zu erhöhen. Dies hat den Vorteil, dass es möglich ist, den Einschluss von Blasen, aufgrund unnötig ausgelaufenen flüssigen, schichtbildenden Materials, zu verhindern.

Als nächstes wird eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert. 7 ist eine Zeichnung, die ein weiteres Beispiel des Ein-/Aus-Ventils 3D für flüssiges, schichtbildendes Material der vorliegenden Erfindung zeigt und einen Abschnitt einer Düsenvorrichtung der Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben darstellt. Ein Hauptunterschied zwischen dieser Ausführungsform und der in 6 gezeigten Ausführungsform ist, dass ein Punkt zu dem sich der erste Flüssigkeitspfad 22 hin erstreckt, und an dem er die runde, kegelförmige, sich verjüngende, auf dem Gehäuse 21 ausgebildete, Oberfläche 25 erreicht, nicht direkt der Fördereinrichtung 23a gegenüberliegt, oder dieser entspricht.

In dieser Ausführungsform, hat die sich verjüngende Oberfläche der Fördereinrichtung 23a eine viel größere Oberfläche als im Stand der Technik, und der Punkt zu dem sich der erste Flüssigkeitspfad 22 hin erstreckt, und an dem er die runde, kegelförmige, sich verjüngende, auf dem Gehäuse 21 ausgebildete, Oberfläche 25 erreicht liegt, weder direkt der Fördereinrichtung 23a gegenüber, noch entspricht er dieser. Das führt zu dem signifikanten Effekt, dass es möglich ist, Kratzer oder Schäden an dem Punkt zu vermeiden, an dem der erste Flüssigkeitspfad 22 der sich verjüngenden Oberfläche 25 gegenüberliegt, selbst wenn harte, externe oder fremde Materie in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthalten ist, wodurch es möglich ist die Produktlebensdauer zu verlängern.

In den oben beschriebenen Ausführungsformen, sind bevorzugte Ausbildungen erläutert. Es wird jedoch darauf hingewiesen, dass es möglich ist, die gleichen Vorteile und Effekte selbst dann zu erhalten, wenn die sich verjüngende Oberflächen in eine Richtung in einem Winkel gekrümmt sind, der kein Problem darstellt.

Wie oben beschrieben wird ein Aufbau verwendet, in dem das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material und die Filtereinrichtung 3E miteinander kombiniert sind. Daher werden Blasen und Partikel kaum erzeugt. Somit ist es möglich, dass flüssige, schichtbildende Material mit hoher Genauigkeit dauerhaft bereitzustellen, und es ist möglich die Blasen und Partikel ausreichend zu entfernen. Daraus folgt, dass es möglich ist optische Scheiben zur Aufzeichnung mit hoher Dichte in hoher Qualität zu erhalten.

Während bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung beschrieben und mit Bezug auf die Zeichnungen dargestellt wurden, sollte darauf hingewiesen werden, dass diese beispielhaft sind und nicht als Beschränkung für die Erfindung aufgefasst werden sollen. Hinzufügungen, Weglassungen, Ersetzungen und andere Änderungen können durchgeführt werden, ohne von dem Erfindungsgedanken oder -umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen.

Beispielsweise kann die Filtereinrichtung 3E, die in 2 gezeigt ist, einen Aufbau mit zwei oder mehr Filtermaterialien 3Eb haben. Des Weiteren ist es in diesem Mehrschichtaufbau möglich, verschiedene Filtermaterialien zu verwenden, die von dem Filtermaterial 3Eb verschiedene Dichten aufweisen. Ferner ist es in diesem Fall des Mehrschichtaufbaus möglich, die Filtermaterialen in der Art anzuordnen, dass die Dichten der Filtermaterialien allmählich entlang der Richtung der Auslasseinrichtung 6C zunehmen. Dadurch wird es möglich, einen Effekt dahingehend zu erreichen, dass in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthaltene Blasen oder Partikel noch zuverlässiger verhindert werden können.

Ferner ist es möglich einen Aufbau zu verwenden, bei dem eine obere Oberfläche der Filtereinrichtung 3E eine Schräge oder eine Neigung in vertikaler Richtung aufweist, und bei dem die Gasauslassöffnungseinrichtung 3Ee an einem oberen Abschnitt der Schräge oder der Neigung angeordnet ist. Entsprechend dieser Anordnung werden Blasen oder Ähnliches, die in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthalten sind, leicht an der Gasauslassöffnungseinrichtung 3Ee gesammelt oder sammeln sich dort an. Daher ist es möglich einen Effekt dahingehend zu erreichen, dass es möglich ist, die Blasen oder Ähnliches zuverlässiger freizusetzen. Es soll darauf hingewiesen werden, dass die Schräge oder die Neigung gering sein kann.

Ferner ist es möglich, anstelle der in 2 gezeigten Gasauslassleitung 5, einen ausreichend engen oder kleinen Flüssigkeitspfad vorzusehen, wie z.B. eine Kapillare. Auf diese Weise wird, wenn der geschlossene Behälter mit Druck beaufschlagt wird, eine immer geringe Menge flüssigen, schichtbildenden Materials aus dem Flüssigkeitspfad, zusammen mit Blasen oder Ähnlichem, herausgedrückt oder entnommen. Somit sind die Ventilsteuereinrichtung 7 und das Gasauslassventil 6 nicht länger nötig, und es ist möglich, einen einfacheren Aufbau der Gesamtvorrichtung zu erlangen. In diesem Fall ist es möglich, das aus dem Flüssigkeitspfad herausgedrückte flüssige, schichtbildende Material wieder zu verwenden.

Ferner stellt in den 6 und 7 der zweite Flüssigkeitspfad 26 den zylindrischen, vorstehenden Abschnitt 3Db bereit, wobei in diesem Aufbau der zylindrische, vorstehen Abschnitt 3Db in die Filtereinrichtung 3E eingeführt wird. Es ist jedoch möglich, dass ein Aufbau verwendet wird, bei dem der zylindrische, vorstehende Abschnitt 3Db auf einer Seite der Filtereinrichtung 3E vorgesehen ist, und in das Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material eingeführt wird, oder andersherum.

Des Weiteren ist es möglich, dass der oben beschriebene Filterabschnitt 3Eb eine Filtermembran ist.

Es soll darauf hingewiesen werden, dass es entsprechend der vorliegenden Erfindung, möglich ist, Blasen, kleine Partikel, oder Ähnliches zuverlässig zu entfernen, die in Transportleitungen für das flüssige, schichtbildende Material, verschiedenen Ein-/Aus-Ventilen, einem Durchflusseinstellventil, oder Ähnlichem erzeugt werden. Daher ist es möglich, nicht nur DVDs und CDs, sondern auch optischen Scheiben für Aufzeichnungen mit hoher Dichte in einer hohen Qualität zu erhalten.

Ferner besteht entsprechend der vorliegenden Erfindung keine Möglichkeit, dass sich kleine Partikel in einer Aufzeichnungsschicht, einer Schutzschicht oder einer Anhaftungsschicht befinden. Daher ist es möglich, optische Scheiben in hoher Qualität, ohne unerwünschte Einflüsse auf die Schichten zu produzieren, und ferner ist es möglich ungewünschte Einflüsse auf Aufzeichnungen oder Wiedergaben zu verhindern.

Ferner besteht entsprechend der vorliegenden Erfindung keine Möglichkeit, dass unerwünschte Einflüsse entstehen, wenn die Düseneinrichtung das flüssige, schichtbildende Material an dem Scheibensubstrat bereitstellt, da es möglich ist, das gesammelte oder sich innerhalb der Filtereinrichtung ansammelnde Gas freizusetzen, und es somit möglich ist optische Scheiben hoher Qualität zu erzeugen.

Ferner ist es entsprechend der vorliegenden Erfindung möglich, das Gas, das sich innerhalb der Filtereinrichtung gesammelt oder angesammelt hat, periodisch freizusetzen, und es ist möglich optische Scheiben in hoher Qualität effizienter zu erzeugen.

Ferner ist es entsprechend der vorliegenden Erfindung möglich, automatisch freizusetzen, falls eine Zähleinrichtung einen bestimmten Zählerstand angibt, und es ist möglich optische Scheiben in hoher Qualität effizienter zu erzeugen.

Des Weiteren ist es entsprechend der vorliegenden Erfindung möglich, das Gas, das sich innerhalb der Filtereinrichtung gesammelt oder angesammelt hat, automatisch an dem Zeitpunkt freizusetzen, zu dem eine vorbestimmte Menge an flüssigen, schichtbildenden Material ausgestoßen wurde, welches an dem Scheibensubstrat von der Düseneinrichtung bereitgestellt wurde, und es ist möglich optische Scheiben in hoher Qualität effizienter zu erzeugen.

Ferner ist es entsprechend der vorliegenden Erfindung möglich, die Filtereinrichtung zur gegebenen Zeit zu ersetzen, da der Zeitpunkt zum Ersetzen der Filtereinrichtung angegeben wird, und es ist möglich optische Scheiben in hoher Qualität effizienter zu erzeugen ohne die Produktivität zu verringern.

Ferner ist es entsprechend der vorliegenden Erfindung möglich, Blasen und kleine Partikel, die in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthalten sind, mit hoher Zuverlässigkeit zu entfernen, da eine weitere Filtereinrichtung zusammen mit der Filtereinrichtung, die zwischen dem Ein-/Aus-Ventil 3D für flüssiges, schichtbildendes Material und der Düseneinrichtung vorgesehen ist, vorhanden ist. Des Weiteren ist es möglich den Zeitpunkt zum Ersetzen der Filtereinrichtung zu verzögern.

Ferner ist es entsprechend der vorliegenden Erfindung möglich, das Gas, das sich innerhalb des Filtergehäuses des Filters gesammelt oder angesammelt hat, automatisch freizusetzen, um Blasen und kleine Partikel, die in dem flüssigen, schichtbildenden Material enthalten sind zu entfernen. Somit ist es möglich, die vorliegende Erfindung nicht nur auf DVDs und CDs anzuwenden, sondern auch auf die Produktion von optischen Platten für Aufzeichnungen mit hoher Dichte in hoher Qualität, während eine Verringerung der Produktivität verhindert wird.

Ferner hat die oben beschriebene Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben eine Vorteil dahingehend, besonders wenn eine organische, farbgebende Materialschicht als Aufzeichnungsschicht auf einer einmalbeschreibbaren optischen Platte erzeugt wird, wie z.B. einer CD, DVD oder Ähnlichem, dass es möglich ist, zuverlässig eine vorbestimmte Menge farbiger Flüssigkeit, die mit einem organischen Lösungsmittel als Lösungsmittel versehen ist, auszustoßen. Des Weiteren gibt es den Vorteil, besonders wenn eine Haftschicht durch einen Anhaftungsschritt bei optischen Scheiben wie einer DVD gebildet wird, dass es möglich ist, einen vorbestimmte Menge eines durch ultraviolettes Licht aushärtenden Haftmittels auf die Scheibe mit hoher Zuverlässigkeit auszustoßen.

Ferner besteht der Vorteil, besonders wenn die oben beschriebene Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben zusammen mit dem Ein-/Aus-Ventil für flüssiges, schichtbildendes Material und der Filtereinrichtung eine harte Umhüllungsschicht bilden, um die Oberfläche zum Auslesen von Daten auf den optischen Scheiben, wie z.B. CDs und DVDs, oder magneto-optischen Scheiben wie MO (Magneto-Optische Disc) oder MD (Mini Disc), zu schützen, dass eine vorbestimmte Menge an flüssigen, schichtbildenden Material, das ein mittels ultraviolettem Licht aushärtbares Material ist, mit hoher Zuverlässigkeit ausgestoßen werden kann. Des Weiteren besteht der Vorteil, besonders während des Waschens, um das an den Kanten der optischen Scheiben, wie z.B. CDs oder DVDs, anhaftende, flüssige, schichtbildende Material zu entfernen, dass es möglich ist, wiederholt eine vorbestimmte Menge an organischer Lösung als Reinigungsflüssigkeit mit hoher Zuverlässigkeit auszustoßen.

Es soll darauf hingewiesen werden, dass es entsprechend der vorliegenden Erfindung, möglich ist, Blasen, kleine Partikel, oder Ähnliches zuverlässig zu entfernen, die in Transportleitungen für das flüssige, schichtbildende Material, verschiedenen Ein-/Aus-Ventilen, einem Durchflusseinstellventil, oder Ähnlichem erzeugt werden. Daher ist es möglich, nicht nur DVDs und CDs, sondern auch optischen Scheiben für Aufzeichnungen mit hoher Dichte in einer hohen Qualität zu erhalten.

Eine Herstellungsvorrichtung für optische Scheiben umfassend: eine Rotationsantriebsvorrichtung, die ein Material, das von einer Düseneinrichtung bereitgestellt wird, zur Bildung einer flüssigen Membran unter Verwendung einer Zentrifugalkraft verteilt, die durch Drehung mit hoher Geschwindigkeit erzeugt wird, und einer Auslegereinrichtung, welche die Düseneinrichtung stützt, wobei ein Kopf des Auslegers ein Ventil zur Bereitstellung und Anhalten des Materials zur Bildung der flüssigen Membran, das sich abwechselnd öffnet und schließt, und welchen zwischen einer Bereitstellungseinrichtung für das Material zur Bildung der flüssigen Membran installiert ist, und einer lösbar angebrachten Filtereinrichtung. Die Düseneinrichtung ist an einem Auslass der Filtereinrichtung angebracht, und Partikel, selbst wenn sie sehr klein sind, die innerhalb der Bereitstellungseinrichtung für das Material zur Bildung der flüssigen Membran erzeugt werden, können entfernt werden.