Die Erfindung betrifft ein Einspritzsystem mit einem im
Hochdruckraum angeordneten Piezo-Aktor und ein Verfahren zum Herstellen eines solchen
Einspritzsystems.
Einspritzsysteme und insbesondere lecköllose Common-Rail-Einspritzsysteme
erfordern ein Steuerelement, wie beispielsweise einen Piezo-Aktor im Hochdruckraum.
Um die Arbeitsfähigkeit des Piezo-Aktors auch unter hohen Drücken bis
über 2000 bar zu gewährleisten, muss der Druck auch seitlich auf den Piezo-Stapel
beziehungsweise Piezo-Keramikkörper wirken können, um die Dehnungsfähigkeit
des Piezo-Stapels des Piezo-Aktors zu unterstützen.
Ein solcher Piezo-Aktor ist beispielsweise in der
WO 02/061856 A1
beschrieben. Dabei ist der Keramikkörper dieses Piezo-Aktors mit
einer Polymer- oder Plastikmanschette umhüllt. Allerdings ist eine hermetische
Abdichtung des Keramikkörpers gegenüber dem Kraftstoff unter einem hohen
Kraftstoffdruck, wie beispielsweise 2000 bar, bei den zum Anmeldetag der vorliegenden
Patentanmeldung bekannten Kunststoffen kaum oder nicht machbar. Wegen einer fallweise
unvermeidbaren elektrischen Leitfähigkeit handelsüblicher Kraftstoffe,
zum Beispiel aufgrund eines geringen Säuregehalts, kann es schon bei geringer
Benetzung der Piezo-Keramik zu Spannungsüberschlägen zwischen den Innenelektroden
des Piezo-Aktors kommen. Zudem treten an den Polungsrissen hohe Dehnungen der Kunststoffumhüllung
auf, die dieses Problem verschärfen. Außerdem ist in der
WO 02/061856
die Verwendung eines Füllmaterials zwischen dem Piezo-Stapel und
der Polymer- oder Plastikmanschette beschrieben. Bei dem beschriebenen Füllmaterial
besteht allerdings das Problem, dass es bei einer Dehnung des Piezo-Stapels in entstehende
Zwischenräume oder Fugen fließen kann und bei einer entgegengesetzt gerichteten
Bewegung des Piezo-Stapels zerstört werden kann. Somit wird über die Betriebsdauer
des Piezo-Aktors das Füllmaterial aufgebraucht oder zerstört. Das verminderte
Füllmaterial bedingt allerdings, dass der außen an dem Piezo-Aktor anliegende
Druck nicht mehr effizient auf den Piezo-Stapel übertragen werden kann.
Außerdem ist der Anmelderin zur Übertragung des
Druckes auf den Piezo-Stapel des Piezo-Aktors intern eine Lösung mit einer
hermetisch dichten, metallischen Hülse bekannt, die zwischen dem Piezo-Stapel
und der Hülse einen Aktor-Innenraum bereitstellt. In dem Aktor-Innenraum wird
ein Füllstoff, z.B. ein Silikonöl, zur Übertragung der hydraulischen
Kräfte auf die Seitenflächen des Piezo-Keramikkörpers vorgesehen.
Diese der Anmelderin intern bekannte Lösung hat allerdings den Nachteil, dass
die Abdichtung zwischen dem Piezo-Stapel und der Hülse an der Stelle, an welcher
eine elektrische Pindurchführung oder Kontaktvorrichtung zur Kontaktierung
und Steuerung des Piezo-Stapels durch die Abdichtung geführt ist, nicht bei
längeren Betriebsdauern und insbesondere nicht bei hohen Drücken, wie
2000 bar, hermetisch dicht bleibt. Somit besteht bei einer Undichtheit die Gefahr,
dass der Füllstoff aus dem Aktor-Innenraum austreten könnte. Ein Austreten
des Füllstoffs könnte den Piezo-Aktor und damit das Einspritzsystem betriebsunfähig
machen.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht daher darin,
ein Einspritzsystem mit einem im Hochdruckraum angeordneten Piezo-Aktor bereitzustellen,
das eine hermetische und insbesondere langzeitstabile Abdichtung des Aktor-Innenraums,
insbesondere im Bereich der Durchführung der Kontaktvorrichtung, sicherstellt.
Eine weitere Aufgabe ist es, eine temperaturstabile Abdichtung
des Aktor-Innenraums sicherzustellen.
Erfindungsgemäß wird zumindest eine dieser gestellten
Aufgaben durch ein Einspritzsystem mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und/oder
durch ein Verfahren zum Herstellen eines Einspritzsystems mit den Merkmalen des
Patentanspruchs 18 gelöst.
Demnach wird erfindungsgemäß ein Einspritzsystem
zum Einspritzen von Kraftstoff mit einem vorbestimmten Kraftstoffdruck vorgeschlagen,
das aufweist:
- ein Gehäuse, welches einen Gehäuseinnenraum, der den Kraftstoff aufweist,
einen ersten Gehäusedurchlass und einen zweiten Gehäusedurchlass aufweist,
- einen in dem Gehäuseinnenraum angeordneten Piezo-Aktor, der eine Kopfplatte,
welche einen ersten Kopfplattendurchlass und einen zweiten Kopfplattendurchlass
aufweist, einen zwischen der Kopfplatte und der Bodenplatte angeordneten, steuerbaren
Piezo-Stapel, eine zwischen der Kopfplatte und der Bodenplatte angeordnete, zumindest
den Piezo-Stapel seitlich umgebende, dichte Umhüllung und ein in einem Aktor-Innenraum
angeordnetes Übertragungsmittel aufweist, welches zumindest eine Flüssigkeit
mit einem Flüssigkeitsdruck aufweist,
- eine erste Kontaktvorrichtung, welche durch den ersten Gehäusedurchlass
und den ersten Kopfplattendurchlass geführt ist,
- eine zweite Kontaktvorrichtung, welche durch den zweiten Gehäusedurchlass
und den zweiten Kopfplattendurchlass geführt ist,
- eine erste Abdichtvorrichtung, welche die Kontaktvorrichtungen im Bereich der
Gehäusedurchlässe umgibt und eine Abdichtung zwischen dem Gehäuseinnenraum
und einem Außenraum mit einem vorbestimmten Außenraumdruck, beispielsweise
Atmosphärendruck, bereitstellt, und
- eine zweite Abdichtvorrichtung, welche die Kontaktvorrichtungen im Bereich der
Kopfplattendurchlässe umgibt und eine Abdichtung zwischen dem Gehäuseinnenraum
und dem Aktor-Innenraum bereitstellt.
Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass
der Aktor-Innenraum gegenüber dem Gehäuseinnenraum oder Hochdruckraum
des Einspritzsystems hermetisch dicht ist, so dass kein Stoffaustausch zwischen
dem Aktor-Innenraum und dem Gehäuseinnenraum stattfinden kann.
Das Einspritzsystem der vorliegenden Erfindung stellt eine
Funktionstrennung bereit, welche die hermetische Abdichtung des Aktor-Innenraums
sicherstellt. Die Abdichtung des Kraftstoffs mit dem Kraftstoffdruck von beispielsweise
2000 bar (erste Funktion) gegenüber dem Außenraum mit Außenraumdruck,
beispielsweise Atmosphärendruck, wird durch die erste Abdichtvorrichtung bereitgestellt.
Die erste Abdichtvorrichtung hat demnach einen Druckunterschied von nahezu 2000
bar abzudichten. Allerdings muss die erste Abdichtvorrichtung nicht unbedingt eine
hermetische Abdichtung sicherstellen, da Kraftstoff stets mit 2000 bar nachgeführt
wird. Die zweite Funktion, nämlich das Abdichten des Aktor-Innenraums gegenüber
dem Gehäuseinnenraum, wird durch die zweite Abdichtvorrichtung bereitgestellt.
Im Gehäuseinnenraum herrscht ein Kraftstoffdruck von beispielsweise 2000 bar,
der mittels des Übertragungsmittels, das die Flüssigkeit mit dem Flüssigkeitsdruck
beinhaltet, auf den Piezo-Stapel übertragen wird. Folglich herrschen zwischen
dem Gehäuseinnenraum und dem Aktor-Innenraum Druckunterschiede, die im Vergleich
zu den Druckunterschieden zwischen Gehäuseinnenraum und Außenraum sehr
klein sind und beispielsweise maximal 200 bar betragen können. Diese Druckunterschiede
sind insbesondere von der Ausgestaltungsform der Umhüllung, beispielsweise
als Wellrohr, abhängig. Somit hat die zweite Abdichtvorrichtung im Gegensatz
zur ersten Abdichtvorrichtung nur Partialdruckunterschiede, die allenfalls 200 bar
betragen können, abzudichten. Infolge der geringen Druckunterschiede, welche
die zweite Abdichtvorrichtung abzudichten hat, ist der Aktor-Innenraum hermetisch
dicht. Insbesondere kann diese Dichtheit auch für lange Betriebsdauern, und
insbesondere für beim Betrieb auftretende Temperaturen und Temperaturunterschiede
sichergestellt werden.
Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung
ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie der Beschreibung unter Bezugnahme
auf die Zeichnungen.
Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung
ist das Übertragungsmittel dazu geeignet, den außen an der Umhüllung
anliegenden Kraftstoffdruck auf den Piezo-Stapel zu übertragen.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung
stellt der steuerbare Piezo-Stapel einen Hub in Abhängigkeit einer Steuerspannung
zum Betätigen einer Düsennadel bereit.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung
kontaktieren die erste Kontaktvorrichtung und die zweite Kontaktvorrichtung den
Piezo-Stapel zur Steuerung des Piezo-Stapels. Dabei kontaktiert beispielsweise die
erste Kontaktvorrichtung eine erste Außenelektrode des Piezo-Stapels und die
zweite Kontaktvorrichtung kontaktiert eine zweite Außenelektrode des Piezo-Stapels.
Zur Steuerung des Piezo-Stapels wird die erste Kontaktvorrichtung auf ein erstes
elektrisches Potenzial und die zweite Kontaktvorrichtung auf ein zweites elektrisches
Potenzial gesetzt. Dazu ist beispielweise die erste Kontaktvorrichtung mit einem
Pluspol einer Spannungsversorgung und die zweite Kontaktvorrichtung mit einem Minuspol
der Spannungsversorgung verbunden. Die Differenz zwischen dem ersten elektrischen
Potenzial und dem zweiten elektrischen Potenzial bildet die Steuerspannung aus.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung
ist der Aktor-Innenraum durch die Bodenplatte, die Kopfplatte, die Umhüllung
und durch den Piezo-Stapel begrenzt.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung
weist das Gehäuse eine Zufuhrvorrichtung zum Zuführen des Kraftstoffs
mit dem vorbestimmten Kraftstoffdruck in den Gehäuseinnenraum auf.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung
weist die erste Abdichtvorrichtung ein erstes O-Ring-förmiges Dichtelement,
welches die erste Kontaktvorrichtung im Bereich des ersten Gehäusedurchlasses
abdichtend umgibt, und ein zweites O-Ring-förmiges Dichtelement auf, welches
die zweite Kontaktvorrichtung im Bereich des zweiten Gehäusedurchlasses abdichtend
umgibt.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung
sind/ist das erste O-Ring-förmige Dichtelement und/oder das zweite O-Ring-förmige
Dichtelement aus einem Kunststoff, insbesondere aus einem Elastomer, ausgebildet.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung
weist die zweite Abdichtvorrichtung ein erstes Abdichtelement, welches die erste
Kontaktvorrichtung im Bereich des ersten Kopfplattendurchlasses abdichtend umgibt,
und ein zweites Abdichtelement auf, welches die zweite Kontaktvorrichtung im Bereich
des zweiten Kopfplattendurchlasses dichtend umgibt.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung
bestehen das erste Abdichtelement und/oder das zweite Abdichtelement aus einem Glas.
Glas als Abdichtelement zwischen dem Aktor-Innenraum und dem Gehäuseinnenraum
hat die vorteilhafte Eigenschaft, sehr temperaturstabil zu sein. Damit wird die
Dichtheit des Aktor-Innenraums selbst bei extremen Temperaturschwankungen und/oder
sehr langen Belastungen bei hoher Temperatur sichergestellt.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung
ist der Kraftstoffdruck im Gehäuseinnenraum größer als 1500 bar,
insbesondere größer als 2000 bar.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung
entsteht bei der Übertragung des Kraftstoffdruckes auf den Piezo-Stapel ein
Druckunterschied zwischen dem Kraftstoffdruck und dem Flüssigkeitsdruck im
Aktor-Innenraum, der kleiner oder gleich 200 bar ist. Ein Druckunterschied von 200
bar ergibt sich nur bei extremen Randbedingungen, so dass im Allgemeinen der Kraftstoffdruck
und der Flüssigkeitsdruck nahezu gleich sind. Somit existiert ein Partialdruckunterschied
zwischen dem Kraftstoffdruck und dem Flüssigkeitsdruck, der im Allgemeinen
nahezu Null ist, so dass infolge der erfindungsgemäßen Funktionstrennung
von hermetischer Abdichtung und der Abdichtung des Kraftstoffdruckes gegen Atmosphärendruck
Glas als hermetisch abdichtendes Dichtmittel zwischen Aktor-Innenraum und Gehäuseinnenraum
verwendet werden kann.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung
weist das Übertragungsmittel die Flüssigkeit und zumindest einen vorgeformten
Körper, der insbesondere aus einer Keramik besteht, auf.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung
ist die Umhüllung als ein Wellrohr ausgebildet, welches eine Vielzahl von Wellen
aufweist und insbesondere metallisch ist.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung
ist die Flüssigkeit temperaturbeständig und/oder wärmeleitend und/oder
elektrisch isolierend. Vorteilhafterweise ist die Flüssigkeit temperaturbeständig,
so dass sich Temperaturschwankungen nicht auf die Eigenschaften der Flüssigkeit
auswirken. Vorteilhafterweise ist die Flüssigkeit auch wärmeleitend, so
dass keine wesentlichen Dehnungsunterschiede bei der Umhüllung und dem Piezo-Stapel
bei einer Temperaturänderung auftreten können. Weiterhin ist die Flüssigkeit
auch vorzugsweise elektrisch isolierend, so dass kein elektrischer Überschlag
zwischen der Außenelektrode des Piezo-Stapels und der metallischen Umhüllung
entstehen kann. Vorzugsweise ist die Flüssigkeit ein Silikonöl.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung
ist das Einspritzsystem ein Common-Rail-Einspritzsystem.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der in den schematischen
Figuren der angegebenen Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es
zeigen:
- Fig. 1
- eine schematische Längsschnittansicht eines bevorzugten Ausführungsbeispiels
des erfindungsgemäßen Einspritzsystems; und
- Fig. 2
- ein schematisches Ablaufdiagramm des erfindungsgemäßen Verfahrens
zur Herstellung eines Einspritzsystems.
In allen Figuren sind gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente
und Einheiten - sofern nichts anderes angegeben ist - mit denselben Bezugszeichen
versehen worden.
In Fig. 1 ist eine schematische Längsschnittansicht
eines bevorzugten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Einspritzsystems
1 zum Einspritzen von Kraftstoff K mit einem vorbestimmten Kraftstoffdruck P1 in
eine Düse oder ein Ventil (nicht gezeigt) abgebildet.
Das Einspritzsystem 1 weist ein Gehäuse 2 auf, das
einen Gehäuseinnenraum 3, der den Kraftstoff K beinhaltet, einen ersten Gehäusedurchlass
4 zur Durchführung einer ersten Kontaktvorrichtung 5 und einen zweiten Gehäusedurchlass
6 zur Durchführung einer zweiten Kontaktvorrichtung 7 aufweist.
In dem Gehäuseinnenraum 3 ist ein Piezo-Aktor 8 angeordnet.
Der Piezo-Aktor 8 weist eine Kopfplatte 9, eine Bodenplatte 10, einen Piezo-Stapel
11 und eine Umhüllung 14 auf. Die Kopfplatte 9 hat einen ersten Kopfplattendurchlass
12 zur Durchführung der ersten Kontaktvorrichtung 5 und einen zweiten Kopfplattendurchlass
13 zur Durchführung der zweiten Kontaktvorrichtung 7. Der Piezo-Stapel 11 ist
mittels einer Steuerspannung U steuerbar und zwischen der Kopfplatte 9 und der Bodenplatte
10 angeordnet. Der steuerbare Piezo-Stapel 11 stellt einen Hub in Abhängigkeit
der Steuerspannung U zum Betätigen einer Düsennadel (nicht gezeigt) bereit.
Zwischen der Kopfplatte 9 und der Bodenplatte 10 ist eine
zumindest den Piezo-Stapel 11 seitlich umgebende, dichte Umhüllung 14 angeordnet.
Die Umhüllung 14 ist vorzugsweise als ein Wellrohr ausgebildet, das eine Vielzahl
von Wellen aufweist und insbesondere metallisch ist.
Die Kopfplatte 9, die Bodenplatte 10, die Umhüllung
14 und der Piezo-Stapel 11 begrenzen einen Aktor-Innenraum 15. In dem Aktor-Innenraum
15 ist ein Übertragungsmittel 16 angeordnet, welches dazu geeignet ist, den
außen an der Umhüllung 14 anliegenden Kraftstoffdruck P1 auf den Piezo-Stapel
11 zu übertragen. Dazu weist das Übertragungsmittel 17 zumindest eine
Flüssigkeit F mit einem Flüssigkeitsdruck P2 auf. Der Kraftstoffdruck
P1 ist vorzugsweise größer als 1500 bar, insbesondere größer
als 2000 bar. Bei der Übertragung des Kraftstoffdruckes P1 auf den Piezo-Stapel
11 wird der Druck auf das Übertragungselement 16 übertragen, so dass der
Flüssigkeitsdruck P2 im Wesentlichen dem Kraftstoffdruck P1 entspricht. Der
Druckunterschied zwischen dem Kraftstoffdruck P1 und dem Flüssigkeitsdruck
P2 beträgt höchstens 200 bar. Insbesondere ist die Flüssigkeit F
temperaturbeständig und/oder wärmeleitend und/oder elektrisch isolierend.
Beispielsweise ist die Flüssigkeit F ein Silikonöl.
Die erste Kontaktvorrichtung 5 wird durch den ersten Gehäusedurchlass
4 und den ersten Kopfplattendurchlass 12 geführt. Analog wird die zweite Kontaktvorrichtung
7 durch den zweiten Gehäusedurchlass 6 und den zweiten Kopfplattendurchlass
13 geführt. Die beiden Kontaktvorrichtungen 5, 7 sind insbesondere aus Metall
oder Invar. Die erste Kontaktvorrichtung 5 und die zweite Kontaktvorrichtung 7 kontaktieren
den Piezo-Stapel 11 zu dessen Steuerung. Dabei wird die erste Kontaktvorrichtung
5 auf ein erstes elektrisches Potenzial PT1 und die zweite Kontaktvorrichtung 7
auf ein zweites elektrisches Potenzial PT2 gesetzt, wobei die Differenz zwischen
dem ersten elektrischen Potenzial PT1 und dem zweiten elektrischen Potenzial PT2
die Steuerspannung U ausbildet.
Weiter weist das Einspritzsystem 1 eine erste Abdichtvorrichtung
17a, 17b auf, welche die Kontaktvorrichtungen 5, 7 im Bereich der Gehäusedurchlässe
4, 6 umgibt und eine Abdichtung zwischen dem Gehäuseinnenraum 3 und einem Außenraum
18 mit einem vorbestimmten Außenraumdruck P3 bereitstellt. Der Außenraumdruck
P3 ist beispielsweise der Atmosphärendruck.
Die erste Abdichtvorrichtung 17a, 17b weist ein erstes
O-Ring-förmiges Dichtelement 17a, welches die erste Kontaktvorrichtung 5 im
Bereich des ersten Gehäusedurchlasses 4 abdichtend umgibt, und ein zweites
O-Ring-förmiges Dichtelement 17b auf, welches die zweite Kontaktvorrichtung
7 im Bereich des zweiten Gehäusedurchlasses 6 abdichtend umgibt. Die O-Ringförmigen
Dichtelemente 17a, 17b sind beispielsweise aus Kunststoff, insbesondere aus einem
Elastomer ausgebildet.
Weiterhin weist das Einspritzsystem 1 eine zweite Abdichtvorrichtung
19a, 19b auf, welche die Kontaktvorrichtungen 5, 7 im Bereich der Kopfplattendurchlässe
12, 13 umgibt und eine Abdichtung zwischen dem Gehäuseinnenraum 3 und dem Aktor-Innenraum
15 bereitstellt. Die zweite Abdichtvorrichtung 19a, 19b weist ein erstes Abdichtelement
19a, welches die erste Kontaktvorrichtung 5 im Bereich des ersten Kopfplattendurchlasses
12 abdichtend umgibt, und ein zweites Abdichtelement 19b auf, welches die zweite
Kontaktvorrichtung 7 im Bereich des zweiten Kopfplattendurchlasses 12 abdichtend
umgibt. Die Abdichtelemente 19a, 19b sind insbesondere aus Gründen der Temperaturstabilität
aus Glas.
Außerdem weist das Gehäuse 2 eine Zuführvorrichtung
20 auf, mittels welcher der Kraftstoff K mit dem vorbestimmten Kraftstoffdruck P1
in den Gehäuseinnenraum 3 zugeführt wird. Die Zuführvorrichtung 20
ist beispielsweise als ein Stutzen ausgebildet. Weiter weist das Einspritzsystem
1 ein Kraftübertragungselement 21 auf, welches das Gehäuse 2 mit dem Piezo-Aktor
8 koppelt.
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren
zum Herstellen des Einspritzsystems 1 anhand des Blockschaltbildes in Fig. 2 erläutert.
Das erfindungsgemäße Verfahren weist folgende Verfahrensschritte a-f auf:
Verfahrensschritt a:
Es wird ein Gehäuse 2 bereitgestellt, welches einen
Gehäuseinnenraum 3, der den Kraftstoff K aufweist, einen ersten Gehäusedurchlass
4 und einen zweiten Gehäusedurchlass 6 aufweist.
Verfahrensschritt b:
In dem Gehäuseinnenraum 3 wird ein Piezo-Aktor 8 angeordnet.
Der Piezo-Aktor 8 weist eine Kopfplatte 9, welche einen ersten Kopfplattendurchlass
12 und einen zweiten Kopfplattendurchlass 13 aufweist, einen zwischen der Kopfplatte
9 und einer Bodenplatte 10 angeordneten, steuerbaren Piezo-Stapel 11, eine zwischen
der Kopfplatte 9 und der Bodenplatte 10 angeordnete, zumindest den Piezo-Stapel
11 seitlich umgebende, dichte Umhüllung 14 und ein in einem Aktor-Innenraum
15 angeordnetes Übertragungsmittel 16 auf, welches zumindest eine Flüssigkeit
mit einem Flüssigkeitsdruck P2 aufweist.
Verfahrensschritt c:
Eine erste Kontaktvorrichtung 5 wird durch den ersten Gehäusedurchlass
4 und den ersten Kopfplattendurchlass 12 angeordnet.
Verfahrensschritt d:
Eine zweite Kontaktvorrichtung 7 wird durch den zweiten
Gehäusedurchlass 6 und den zweiten Kopfplattendurchlass 13 angeordnet.
Verfahrensschritt e:
Der Gehäuseinnenraum 3 wird gegenüber einem Außenraum
18 mit einem vorbestimmten Außenraumdruck P3 mittels einer ersten Abdichtvorrichtung
17a, 17b abgedichtet, wobei die erste Abdichtvorrichtung 17a, 17b die Kontaktvorrichtungen
5, 7 im Bereich der Gehäusedurchlässe 4, 6 umgibt.
Verfahrensschritt f:
Der Aktor-Innenraum 15 wird gegenüber dem Gehäuseinnenraum
3 mittels einer zweiten Abdichtvorrichtung 19a, 19b abgedichtet, wobei die Abdichtvorrichtung
19a, 19b die Kontaktvorrichtungen 5, 7 im Bereich der Kopfplattendurchlässe
12, 13 umgibt.
Obwohl die vorliegenden Erfindung vorstehend anhand der
bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt,
sondern auf vielfältige Art und Weise modifizierbar. Beispielsweise kann der
Piezo-Stapel zylindrisch oder auch quadratisch ausgebildet sein.