| Dokumentenidentifikation |
EP1861802 17.01.2008 |
| EP-Veröffentlichungsnummer |
0001861802 |
| Titel |
AUFFINDEN VON SUBAUFLÖSUNGS-HILFSMERKMALEN BEI DER HALBLEITER-BAUELEMENTEHERSTELLUNG |
| Anmelder |
Texas Instruments Inc., Dallas, Tex., US |
| Erfinder |
ZHANG, Guohong, Plano, Texas 75024, US;
O'BRIEN, Sean, Dallas, Texas 75225, US |
| Vertreter |
derzeit kein Vertreter bestellt |
| Vertragsstaaten |
AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR |
| Sprache des Dokument |
EN |
| EP-Anmeldetag |
24.02.2006 |
| EP-Aktenzeichen |
067210534 |
| WO-Anmeldetag |
24.02.2006 |
| PCT-Aktenzeichen |
PCT/US2006/006734 |
| WO-Veröffentlichungsnummer |
2006091888 |
| WO-Veröffentlichungsdatum |
31.08.2006 |
| EP-Offenlegungsdatum |
05.12.2007 |
| Veröffentlichungstag im Patentblatt |
17.01.2008 |
| IPC-Hauptklasse |
G06F 17/50(2006.01)A, F, I, 20071106, B, H, EP
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| IPC-Nebenklasse |
G06F 19/00(2006.01)A, L, I, 20071106, B, H, EP
G03F 1/00(2006.01)A, L, I, 20071106, B, H, EP
G21K 5/00(2006.01)A, L, I, 20071106, B, H, EP
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